JP6576009B2 - 蒸発源容器及び蒸発源装置 - Google Patents
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Description
蒸着材料を収容する蒸発源容器であって、
昇華又は気化された蒸着材料が通過する開口を有する第1壁部と、前記第1壁部と対向する第2壁部と、前記第1壁部と前記第2壁部とをつなぐ第3壁部と、を有し、
前記第3壁部は、前記第1壁部と接続する第4壁部と、前記第2壁部と接続する第5壁部とを有し、
少なくとも前記第1壁部及び前記第4壁部は、それぞれ単一の部材で構成されており、
前記第1壁部及び前記第4壁部の肉厚は、前記第5壁部の肉厚よりも大きいことを特徴とする。
本発明はまた、以下の構成を採用する。すなわち、
蒸着材料を収容する蒸発源容器であって、
キャップ部と、容器本体部と、を有し、
前記キャップ部は、昇華又は気化された蒸着材料が通過する開口を有する面部と、前記面部の一方の面から突出して形成され、前記容器本体部と接続する周縁部と、を有し、
前記面部の厚みは、前記容器本体部の壁の厚みよりも大きく、
前記周縁部は前記容器本体部の壁の厚みよりも厚い部分を有することを特徴とする。
本発明はまた、以下の構成を採用する。すなわち、
上記の蒸発源容器と、
前記蒸発源容器を加熱する加熱手段と、
を有する蒸発源装置であることを特徴とする。
本発明はまた、以下の構成を採用する。すなわち、
蒸着材料を収容する蒸発源容器と、前記蒸発源容器を加熱する加熱手段と、を有する蒸発源装置であって、
前記蒸発源容器は、昇華又は気化された蒸着材料が通過する開口を有する第1壁部と、前記第1壁部と対向する第2壁部と、前記第1壁部と前記第2壁部とをつなぐ第3壁部と、を有し、
前記第3壁部は、前記第1壁部と接続する第4壁部と、前記第2壁部と接続する第5壁部とを有し、
前記第1壁部及び前記第4壁部の肉厚は、前記第5壁部の肉厚よりも大きく、
前記加熱手段は、前記蒸発源容器の前記第1壁部または前記第4壁部に対向する発熱部
の出力密度が、前記蒸発源容器の前記第5壁部に対向する発熱部の出力密度よりも高い領域を有することを特徴とする。
<成膜装置の概略構成>
図1は、成膜装置の構成を示す模式図である。成膜装置は、真空チャンバ200を有する。真空チャンバ200の内部は、真空雰囲気か、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気に維持されている。被蒸着体である基板10は、搬送ロボット(不図示)によって真空チャンバ200内部に搬送されると真空チャンバ200内に設けられた基板保持ユニット(不図示)によって保持される。成膜時において、基板10は、マスク220上面に載置される。マスク220は、基板10上に形成する薄膜パターンに対応する開口パターン221を有するメタルマスクであり、真空チャンバ200内部において水平面に平行に設置されている。基板10は、基板保持ユニットによってマスク220の上面に載置されことで、真空チャンバ200内部において、水平面と平行に、かつ、下面がマスク220で覆われる態様で設置される。
図2は、本実施例に係る蒸発源装置300の模式的断面図(端面図)である。図2に示すように、蒸発源装置300は、概略、蒸発源容器301と、ヒータ302と、を備える。容器301は、収容する蒸着材料の物性等に応じて、例えばセラミックや金属、カーボン材料などから成形された有底筒状構成体である。容器301は、概略、底部311と、底部311から上方に延びて容器側壁をなす略円筒の筒状部321と、容器内部が開口部304でのみ開口するように筒状部321上方を塞ぐ上面部331と、で構成される。主として底部311と筒状部321とで構成される収容部に収容された蒸着物質は、ヒータ302の加熱によって蒸発すると、上面部331の中央に形成された開口部304を介して容器外部へ噴射される。
図3、図4を参照し、本実施例のように容器壁部に厚みの違いを持たせなかった場合を比較例とし、本実施例の有利な点について、蒸着材料の凝縮発生メカニズムとともに説明する。図3は、比較例(図3(a))と本実施例(図3(b))の構成の違いを示す模式的半断面図(端面図)と、容器温度における温度勾配と容器の肉厚とヒータによって加え
られる熱量との関係式(図3(c))を示す図である。図4は、蒸着材料の凝縮発生メカニズムと本実施例による凝縮抑制メカニズムについて説明する図である。図4(a)は、蒸発源容器の開口部(ノズル)周辺部分における模式的断面図(端面図)、図4(b)は、蒸発源容器の温度分布を比較例と本実施例とを比較して示す図、図4(c)は、蒸着材料の蒸気の状態図を示す図である。
また、容器上面部の厚みが増すことによって、開口部において、蒸発した蒸着物質を案内する(絞る)ための面の距離を(必然的に)長く取ることが可能となる。したがって、従来のように、開口部における案内面の長さを確保するために、開口部をノズル形状に成形したり、別体のノズルを開口部に追加したりする必要がなくなる。
実施例1のように厚みが変化する構成の容器は、厚みが大きい第1肉厚部分(上面部331と筒状部上方部分321a)と、厚みが小さい第2肉厚部分(筒状部下方部分321bと容器底部311)とを全て一体で成形することが可能であれば、真空環境における接触抵抗がなくなるため、熱の均一化に有利であり、好ましい。しかしながら、厚みが途中で変化する形状は、一体的な成形が難しい場合がある。そこで、製造のし易さの観点から、厚みが共通する構成ごとに別体で成形した後に一体化する構成を採用してもよい。
実施例2では、端面同士の接合によって第1肉厚部分と第2肉厚部分を接続する構成としていたが、より強固な接続構成として、嵌合部を設けてもよい。実施例3の蒸発源装置300cの蒸発源容器301cは、図5(b)に示すように、容器側壁である筒状部341の上方部分341aが、周縁部として、上面部(面部)331の開口部304が開口する下面(蒸着材料を収容する容器内部側の面)の周縁から下方に突出するような構成となっている。すなわち、上面部331及び筒状部341の上方部分341aは、筒状部341の下方部分341bと底部311からなる蒸着材料の収容部に上方から覆いかぶさるキャップ状の構造体を構成している。また、筒状部341の上方部分341aの下端外周側に、筒状部341の下方部分341bの上端の外周と重なるように延在する嵌合部341cが設けられている。また、嵌合部341c内側の上方部分341a下端と下方部分341b上端との間には、シール部材としてのパッキン341dが上下に圧縮されるように配置されている。これにより封止性が高められ、蒸着材料の漏れを抑制することができる。
蒸発源容器の分離構成は、上記以外にも種々採用し得る。実施例4の蒸発源容器301dは、図6(a)に示すように、上面部331と、筒状部351及び底部311(容器本体部)とをそれぞれ別体で成形した後に、両者を一体化する構成となっている。ここで、
筒状部351の上端には、厚みが容器外側に大きくなるように外周が拡径し、上面部331下面の周縁と接続される接続部352が設けられている。上面部331(第1部分)と接続部352(第2部分の接続部)が第1肉厚部分を構成し、筒状部351の接続部352より下方の部分と底部311が第2肉厚部分(第2部分の本体部)を構成する。なお、接続部352は、厚みが容器内側に大きくなるように内周が縮径するように構成してもよく、また、内周と外周それぞれに広がる構成としてもよい。実施例4においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
蒸発源容器の分離構成は、上記以外にも種々採用し得る。実施例5の蒸発源容器301eは、図6(b)に示すように、上面部361と、筒状部371及び底部311(容器本体部)とをそれぞれ別体で成形した後に、両者を一体化する構成となっている。ここで、上面部361の開口部304が開口する下面の周縁には、第1肉厚部分として筒状部371よりも大きい厚みを有して下方に突出し、筒状部371の上端と接続される接続部362が設けられている。上面部331と接続部362が第1肉厚部分を構成し、筒状部371と底部311が第2肉厚部分を構成する。本実施例では、接続部362の内径と筒状部371の内径が略一致し、接続部362が筒状部371に対して容器外側に大きくなる構成となっているが、これに限定されない。すなわち、接続部362の外径と筒状部371の外径が略一致し、接続部362が筒状部371に対して容器内側に大きくなる構成としてもよい。さらに、接続部362の内径が筒状部371の内径よりも小さく、かつ、接続部362の外径が筒状部371の外径よりも大きい構成としてもよい。実施例5においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
上記各実施例におけるヒータ302は、発熱体を容器301の筒状部321外周の上下に均等な間隔で巻き回しており、単位面積当たりの発熱体の占める割合が上下にわたって均等となり、容器外周にける加熱され具合(ヒータ発熱部の出力密度)は上下で均一となっている。これに対し、本実施例の蒸発源装置301fは、図7(a)に示すように、ヒータ302aの巻き具合を、上面部331の外周面(開口部304から離れた面)及び筒状部321の上方部分に対向する領域においては、発熱部の出力密度を高めるべく密に、下方部分に対応する領域においては出力密度を抑えるべく疎にした構成となっている。なお、ヒータ302aの上方領域における出力密度を、上方領域の全ての範囲で、下方領域の出力密度よりも高くする必要はなく、本発明の効果が得られる範囲において、上方領域の一部に下方領域よりも高い出力密度の領域を有する構成としてもよい。蒸発源容器としては上記各実施例を適宜使用できる。なお、ヒータの構成は上記構成に限定されるものではなく、例えば、上面部331の外周面及び上方部分に対応する発熱部と下方部分に対応する発熱部の制御(個々の発熱量の大きさの制御)を別々に行うことが可能なヒータを用いてもよい。実施例6においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
参考例の蒸発源装置300gは、図7(b)に示すように、ヒータとして実施例6のヒータ302aを用いるとともに、蒸発源容器301gが、上面部331のみが第1肉厚部分を構成し、筒状部381と底部311が第2肉厚部分を構成する。上方部分に対応する
領域において発熱部が密に構成されるヒータ302aを用いることで、上記各実施例のように筒状部381の上方部分を肉厚にしなくても、上面部331のみの厚肉化によって、上記各実施例と同様の効果を得ることができる。参考例においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
上記各実施例の蒸発源装置では、蒸発源容器の出し入れのため、容器上方が開放される
ようにヒータが容器側面外周にのみ配置される構成となっている。これに対し、実施例8の蒸発源装置300hは、図8(a)に示すように、上面部331の上面に対向する位置に配置される追加のヒータ302cを有している。実施例8においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
図8(b)に示すように、実施例9の蒸発源装置300iは、蒸発源容器301iが、上面部311上面の開口部304を囲むように突出成形されるノズル303を備え、かつ、ノズル303の周囲に冷却板305が設けられている。冷却板305は反射板としても良い。ノズル303は、天板部311等の第1肉厚部分よりも肉厚が小さく、ノズル303の厚みを小さくすることで、冷却板305の設置範囲を大きく取ることが可能となり、冷却板305による熱放出抑制効果を高めることが可能となる。実施例9においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
ノズルの形状は上記に限定されない。図9(a)に示すように、実施例10の蒸発源装置300jの蒸発源容器301jの上面部331aに設けられたノズル303bは、先端に行くほど厚みが徐々に小さくなる形状となっている。また、厚みが徐々に小さくなるだけでなく、内径及び外径も先端に行くほど徐々に小さくなるテーパ形状となっている。実施例10においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
図9(b)に示すように、実施例11の蒸発源装置300kの蒸発源容器301kは、上面部331bと、筒状部321及び底部311(容器本体部)とをそれぞれ別体で成形した後に、両者を一体化する構成となっている。ここで、上面部331bの開口部304が開口する下面の周縁には、第1肉厚部分として筒状部321よりも大きい厚みを有して下方に突出し、筒状部321の上端と接続される接続部373が設けられている。接続部373は、筒状部321に近づくにつれて外周面が縮径するテーパ形状を有している。実施例11においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
図10に示すように、実施例12の蒸発源装置300lは、蒸発源容器301lが、開口部304及びノズル303を複数備える構成となっているとともに、容器301lの底面下方にもヒータ302dが設けられた構成となっている。また、ヒータの外側にはリフレクタ306が配置されている。各種構成は枠体400に収容されている。このような装置構成においても、上記各実施例と同様、第1肉厚部分と第2肉厚部分とから構成される蒸発源容器を用いることで、上記各実施例と同様の効果を得ることができる。実施例12においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
上記各実施例の蒸発源容器において、容器を2つの部分でそれぞれ別体に成形した後に両者を一体化する構成の場合には、開口部が設けられた上面部を含む方の部分を、他方の部分に対して熱伝導率のよい別材料で成形してもよい。実施例13においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
上記各実施例は、それぞれの構成を可能な限り互いに組み合わせることができる。図11は、その一例である。実施例14の蒸発源装置300m、蒸発源容器301mにおいて、上記各実施例と共通する構成については同じ符号を付し、説明を省略する。実施例14においてここで特に説明しない事項は、上記実施例と同様である。
容器301の構成、容器301に用いられる材質、ヒータ302の構成などは、本実施例で示す構成に限定されるものではない。また、上記各実施例では、容器301において開口部304が設けられる壁部を指して上面部と称したが、容器301の配置の態様は、該上面部が上方となる配置に限定されるものではない。例えば、上記各実施例の容器301を横に倒した配置、すなわち、開口部304が容器側方の壁部に設けられるような構成が採用される場合もあり、開口部304が設けられる位置は、容器301の上方に限定されない。
<有機電子デバイスの製造方法の具体例>
上記各実施例における蒸発源容器を備える蒸発源装置を、有機電子デバイスの製造に用いた場合の一具体例を、実施例15として説明する。以下、有機電子デバイスの例として有機EL表示装置の構成及び製造方法を例示する。まず、製造する有機EL表示装置について説明する。図12(a)は有機EL表示装置60の全体図、図12(b)は1画素の断面構造を表している。
まず、有機EL表示装置を駆動するための回路(不図示)および第1電極64が形成された基板63を準備する。
第1電極64が形成された基板63の上にアクリル樹脂をスピンコートで形成し、アクリル樹脂をリソグラフィ法により、第1電極64が形成された部分に開口が形成されるようにパターニングし絶縁層69を形成する。この開口部が、発光素子が実際に発光する発光領域に相当する。
絶縁層69がパターニングされた基板63を第1の成膜装置に搬入し、基板保持ユニットにて基板を保持し、正孔輸送層65を、表示領域の第1電極64の上に共通する層として成膜する。正孔輸送層65は真空蒸着により成膜される。実際には正孔輸送層65は表示領域61よりも大きなサイズに形成されるため、高精細なマスクは不要である。
発光層66Rの成膜と同様に、第3の成膜装置により緑色を発する発光層66Gを成膜し、さらに第4の成膜装置により青色を発する発光層66Bを成膜する。発光層66R、66G、66Bの成膜が完了した後、第5の成膜装置により表示領域61の全体に電子輸送層67を成膜する。電子輸送層67は、3色の発光層66R、66G、66Bに共通の層として形成される。
電子輸送層67までが形成された基板をスパッタリング装置に移動し、第2電極68を成膜し、その後プラズマCVD装置に移動して保護層70を成膜して、有機EL表示装置60が完成する。
このようにして得られた有機EL表示装置は、発光素子ごとに発光層が精度よく形成される。
Claims (20)
- 蒸着材料を収容する蒸発源容器であって、
昇華又は気化された蒸着材料が通過する開口を有する第1壁部と、前記第1壁部と対向する第2壁部と、前記第1壁部と前記第2壁部とをつなぐ第3壁部と、を有し、
前記第3壁部は、前記第1壁部と接続する第4壁部と、前記第2壁部と接続する第5壁部とを有し、
少なくとも前記第1壁部及び前記第4壁部は、それぞれ単一の部材で構成されており、
前記第1壁部及び前記第4壁部の肉厚は、前記第5壁部の肉厚よりも大きいことを特徴とする蒸発源容器。 - 前記第3壁部は、容器の側壁を構成する壁部であることを特徴とする請求項1に記載の蒸発源容器。
- 前記第1壁部は、容器の上面部を形成する壁部であり、
前記第2壁部は、容器の底面部を形成する壁部であり、
前記第4壁部は、前記上面部に接続する容器の側壁の上方部であり、
前記第5壁部は、前記底面部に接続する容器の側壁の下方部である
ことを特徴とする請求項2に記載の蒸発源容器。 - 前記第4壁部は、前記第5壁部に対して容器内側に厚くなっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の蒸発源容器。
- 前記第4壁部は、前記第5壁部に対して容器外側に厚くなっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の蒸発源容器。
- 前記第1壁部及び前記第4壁部は、単一の部材で構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の蒸発源容器。
- 前記第2壁部及び前記第5壁部も、それぞれ単一の部材で構成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の蒸発源容器。
- 前記第1壁部及び前記第4壁部と、前記第2壁部及び前記第5壁部は、別体で成形される
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の蒸発源容器。 - 前記開口に接続され、前記蒸着材料が通過するノズルをさらに有し、
前記ノズルの肉厚は、前記第1壁部の肉厚よりも小さいことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の蒸発源容器。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の蒸発源容器と、
前記蒸発源容器を加熱する加熱手段と、
を有する蒸発源装置。 - 前記加熱手段は、前記蒸発源容器の前記第1壁部または前記第4壁部に対向する発熱部の出力密度が、前記蒸発源容器の前記第5壁部に対向する発熱部の出力密度よりも高い領域を有することを特徴とする請求項10に記載の蒸発源装置。
- 蒸着材料を収容する蒸発源容器と、前記蒸発源容器を加熱する加熱手段と、を有する蒸発源装置であって、
前記蒸発源容器は、昇華又は気化された蒸着材料が通過する開口を有する第1壁部と、前記第1壁部と対向する第2壁部と、前記第1壁部と前記第2壁部とをつなぐ第3壁部と、を有し、
前記第3壁部は、前記第1壁部と接続する第4壁部と、前記第2壁部と接続する第5壁部とを有し、
前記第1壁部及び前記第4壁部の肉厚は、前記第5壁部の肉厚よりも大きく、
前記加熱手段は、前記蒸発源容器の前記第1壁部または前記第4壁部に対向する発熱部の出力密度が、前記蒸発源容器の前記第5壁部に対向する発熱部の出力密度よりも高い領域を有することを特徴とする蒸発源装置。 - 前記第1壁部は、容器の上面部を形成する壁部であり、
前記加熱手段は、前記上面部の外周面に対向する発熱部の出力密度が、前記蒸発源容器の前記第5壁部に対向する発熱部の出力密度よりも高い領域を有することを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載の蒸発源装置。 - 蒸着材料を収容する蒸発源容器であって、
キャップ部と、容器本体部と、を有し、
前記キャップ部は、昇華又は気化された蒸着材料が通過する開口を有する面部と、前記面部の一方の面から突出して形成され、前記容器本体部と接続する周縁部と、を有し、
前記面部の厚みは、前記容器本体部の壁の厚みよりも大きく、
前記周縁部は前記容器本体部の壁の厚みよりも厚い部分を有することを特徴とする蒸発源容器。 - 前記面部は、前記容器本体部の有する底部と対向していることを特徴とする請求項14に記載の蒸発源容器。
- 前記周縁部は、前記容器本体部の上端の外周または内周に重なるように延在する嵌合部を有することを特徴とする請求項15に記載の蒸発源容器。
- 容器の側壁において、前記容器本体部の上端と前記嵌合部とが重なる部分の厚みは、前記周縁部の厚みと略同じであることを特徴とする請求項16に記載の蒸発源容器。
- 前記開口に接続され、前記蒸着材料が通過するノズルをさらに有し、
前記ノズルの肉厚は、前記面部の肉厚よりも小さいことを特徴とする請求項14〜17のいずれか1項に記載の蒸発源容器。 - 請求項14〜18のいずれか1項に記載の蒸発源容器と、
前記蒸発源容器を加熱する加熱手段と、
を有する蒸発源装置。 - 前記加熱手段は、前記蒸発源容器の前記面部の外周面に対向する発熱部の出力密度が、前記蒸発源容器の前記容器本体部に対向する発熱部の出力密度よりも高い領域を有することを特徴とする請求項19に記載の蒸発源装置。
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