JP2013030757A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013030757A5
JP2013030757A5 JP2012134845A JP2012134845A JP2013030757A5 JP 2013030757 A5 JP2013030757 A5 JP 2013030757A5 JP 2012134845 A JP2012134845 A JP 2012134845A JP 2012134845 A JP2012134845 A JP 2012134845A JP 2013030757 A5 JP2013030757 A5 JP 2013030757A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffraction grating
optical system
diffracted
pole
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012134845A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5713961B2 (ja
JP2013030757A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012134845A priority Critical patent/JP5713961B2/ja
Priority claimed from JP2012134845A external-priority patent/JP5713961B2/ja
Publication of JP2013030757A publication Critical patent/JP2013030757A/ja
Publication of JP2013030757A5 publication Critical patent/JP2013030757A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5713961B2 publication Critical patent/JP5713961B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2012134845A 2011-06-21 2012-06-14 位置検出装置、インプリント装置及び位置検出方法 Active JP5713961B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012134845A JP5713961B2 (ja) 2011-06-21 2012-06-14 位置検出装置、インプリント装置及び位置検出方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011137820 2011-06-21
JP2011137820 2011-06-21
JP2012134845A JP5713961B2 (ja) 2011-06-21 2012-06-14 位置検出装置、インプリント装置及び位置検出方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013030757A JP2013030757A (ja) 2013-02-07
JP2013030757A5 true JP2013030757A5 (enExample) 2014-09-25
JP5713961B2 JP5713961B2 (ja) 2015-05-07

Family

ID=47362070

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012134845A Active JP5713961B2 (ja) 2011-06-21 2012-06-14 位置検出装置、インプリント装置及び位置検出方法

Country Status (3)

Country Link
US (2) US8842294B2 (enExample)
JP (1) JP5713961B2 (enExample)
KR (1) KR101390624B1 (enExample)

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2469339B1 (en) * 2010-12-21 2017-08-30 ASML Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP5706861B2 (ja) * 2011-10-21 2015-04-22 キヤノン株式会社 検出器、検出方法、インプリント装置及び物品製造方法
DE102012221566A1 (de) * 2012-11-26 2014-05-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Positionsmesseinrichtung
JP6285666B2 (ja) * 2013-09-03 2018-02-28 キヤノン株式会社 検出装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法及び検出方法
JP6228420B2 (ja) * 2013-10-08 2017-11-08 キヤノン株式会社 検出装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法
JP6097704B2 (ja) 2014-01-06 2017-03-15 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP6701263B2 (ja) * 2014-06-27 2020-05-27 キヤノン株式会社 位置検出装置、位置検出方法、インプリント装置及び物品の製造方法
JP6341883B2 (ja) * 2014-06-27 2018-06-13 キヤノン株式会社 位置検出装置、位置検出方法、インプリント装置及び物品の製造方法
WO2016092697A1 (ja) * 2014-12-12 2016-06-16 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
CN105807573B (zh) * 2014-12-31 2017-12-29 上海微电子装备（集团）股份有限公司 用于套刻误差检测的装置和方法
WO2016125790A1 (ja) * 2015-02-05 2016-08-11 株式会社ニコン 計測装置及び計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
JP6525628B2 (ja) * 2015-02-13 2019-06-05 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
CN104748686B (zh) * 2015-04-21 2017-07-11 中国科学院光电技术研究所 一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法
JP2018517933A (ja) 2015-06-05 2018-07-05 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． アライメントシステム
US10386737B2 (en) * 2015-06-10 2019-08-20 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus and method for producing article
JP2018526812A (ja) * 2015-06-15 2018-09-13 ザイゴ コーポレーションＺｙｇｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 変形体の変位測定
JP6570914B2 (ja) * 2015-08-03 2019-09-04 東芝メモリ株式会社 インプリント方法
JP6632252B2 (ja) * 2015-08-21 2020-01-22 キヤノン株式会社 検出装置、インプリント装置、物品の製造方法及び照明光学系
JP6685821B2 (ja) 2016-04-25 2020-04-22 キヤノン株式会社 計測装置、インプリント装置、物品の製造方法、光量決定方法、及び、光量調整方法
JP6884515B2 (ja) * 2016-05-10 2021-06-09 キヤノン株式会社 位置検出方法、インプリント装置及び物品の製造方法
JP6207671B1 (ja) * 2016-06-01 2017-10-04 キヤノン株式会社 パターン形成装置、基板配置方法及び物品の製造方法
JP2018005067A (ja) * 2016-07-06 2018-01-11 日本電気株式会社 アライメント用光学測定素子及び該光学測定素子を用いた光プローブのアライメント方法
US9653404B1 (en) * 2016-08-23 2017-05-16 United Microelectronics Corp. Overlay target for optically measuring overlay alignment of layers formed on semiconductor wafer
JP2018041774A (ja) * 2016-09-05 2018-03-15 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP6307730B1 (ja) * 2016-09-29 2018-04-11 株式会社新川 半導体装置の製造方法、及び実装装置
CA3044241A1 (en) 2016-11-18 2018-05-24 Magic Leap, Inc. Waveguide light multiplexer using crossed gratings
JP6827785B2 (ja) * 2016-11-30 2021-02-10 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
CA3051239C (en) 2017-01-23 2023-12-19 Magic Leap, Inc. Eyepiece for virtual, augmented, or mixed reality systems
JP6993782B2 (ja) * 2017-03-09 2022-01-14 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP7152877B2 (ja) * 2017-06-15 2022-10-13 キヤノン株式会社 検出装置、リソグラフィー装置および物品製造方法
JP6937203B2 (ja) 2017-09-14 2021-09-22 キオクシア株式会社 インプリント装置、インプリント方法および半導体装置の製造方法
JP7057094B2 (ja) * 2017-10-13 2022-04-19 キヤノン株式会社 位置検出装置、インプリント装置および、物品製造方法
AU2018386296B2 (en) 2017-12-15 2023-11-23 Magic Leap, Inc. Eyepieces for augmented reality display system
JP7038562B2 (ja) 2018-02-13 2022-03-18 キヤノン株式会社 検出装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法
JP7030569B2 (ja) * 2018-03-12 2022-03-07 キヤノン株式会社 位置検出装置、位置検出方法、インプリント装置及び物品の製造方法
JP7182904B2 (ja) * 2018-05-31 2022-12-05 キヤノン株式会社 検出装置、インプリント装置、平坦化装置、検出方法及び物品製造方法
US11237393B2 (en) 2018-11-20 2022-02-01 Magic Leap, Inc. Eyepieces for augmented reality display system
JP7278828B2 (ja) * 2019-03-26 2023-05-22 キヤノン株式会社 成形方法、成形装置、インプリント方法、および物品の製造方法
EP3987343A4 (en) 2019-06-20 2023-07-19 Magic Leap, Inc. EYEWEARS FOR AUGMENTED REALITY DISPLAY SYSTEM
CN111336940B (zh) * 2020-04-22 2020-09-29 福清市鸿远科技有限公司 一种火花塞用电极间隙测量调节装置
JP2022147786A (ja) * 2021-03-23 2022-10-06 キオクシア株式会社 テンプレート、被加工部材、及びアライメント方法
JP7678726B2 (ja) 2021-07-28 2025-05-16 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品製造方法
JP2023043534A (ja) * 2021-09-16 2023-03-29 キオクシア株式会社 測定方法、測定装置、及びマーク
CN115031925B (zh) * 2022-08-10 2022-12-09 歌尔光学科技有限公司 一种光栅检测方法、装置、系统以及计算机可读存储介质

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0581118B1 (en) * 1992-07-15 1999-04-21 Nikon Corporation Light source for a heterodyne interferometer
JP3600920B2 (ja) * 1995-04-28 2004-12-15 株式会社ニコン 位置検出装置、それを用いた露光装置、その露光装置を用いた素子製造方法。
DE19507613C2 (de) * 1995-03-04 1997-01-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
JPH09189520A (ja) * 1996-01-12 1997-07-22 Nikon Corp 位置検出装置
JP2003068613A (ja) * 2001-08-27 2003-03-07 Nikon Corp 位置合わせ装置
US7295315B2 (en) * 2003-06-30 2007-11-13 Kenneth C. Johnson Focus and alignment sensors and methods for use with scanning microlens-array printer
US7292326B2 (en) 2004-11-30 2007-11-06 Molecular Imprints, Inc. Interferometric analysis for the manufacture of nano-scale devices
EP2187430B1 (en) * 2007-07-24 2018-10-03 Nikon Corporation Position measuring system, exposure apparatus, position measuring method, exposure method, and device manufacturing method
US20090147237A1 (en) * 2007-12-05 2009-06-11 Molecular Imprints, Inc. Spatial Phase Feature Location
KR20100124245A (ko) * 2008-02-08 2010-11-26 가부시키가이샤 니콘 위치 계측 시스템 및 위치 계측 방법, 이동체 장치, 이동체 구동 방법, 노광 장치 및 노광 방법, 패턴 형성 장치, 그리고 디바이스 제조 방법
KR20090103845A (ko) * 2008-03-27 2009-10-01 캐논 가부시끼가이샤 위치 검출 장치, 위치 검출 방법, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법
JP5706861B2 (ja) * 2011-10-21 2015-04-22 キヤノン株式会社 検出器、検出方法、インプリント装置及び物品製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013030757A5 (enExample)
JP2013102139A5 (enExample)
JP2004069702A5 (enExample)
JP5539011B2 (ja) インプリント装置、検出装置、位置合わせ装置、及び物品の製造方法
JP2013254780A5 (enExample)
JP2010204117A5 (enExample)
KR101966572B1 (ko) 오버레이 에러를 검출하는 방법 및 디바이스
JP2012500989A5 (enExample)
CN103175468B (zh) 位置检测装置、压印装置和用于制造器件的方法
KR101240413B1 (ko) 원점 검출 장치, 변위 측정 장치 및 광학 장치
JP2016027325A5 (enExample)
JP2011243664A5 (enExample)
JP2014109577A (ja) 位置測定装置
KR101184167B1 (ko) 광 위치 인코더
CN103604375A (zh) 抗光学混叠的双频激光光栅干涉二维测量方法及系统
TW201344151A (zh) 三維量測系統與三維量測方法
JP2016536576A5 (enExample)
WO2015078301A1 (zh) 一种基于交变光场的时栅直线位移传感器
Xie et al. High-efficiency polarization-independent gold-coated crossed grating under normal incidence
JP2019212672A5 (enExample)
GB2507022A (en) Grating-based scanner with phase and pitch adjustment
JP2019117386A5 (ja) エンコーダ装置及び露光装置
JP6386337B2 (ja) 光学式エンコーダ
JP2018025817A5 (ja) エンコーダ装置及び計測方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法
CN102865810B (zh) 基于正交双光栅的同步相移共光路干涉检测装置及检测方法