JP2012517035A5 - - Google Patents

Description

本発明によるデバイスは、更に、以下：
−測定すべき試料７の範囲内に励起ビームの光を集光し、そして、拡散又は放射された光８を集める、集束モジュール６；
−スペクトル分離及び／又は偏光の手段を場合により含む、測定ビームの分離モジュール４；及び
−検出モジュール９；
も含む。

大域的な取得時間を最適化するために、例えば、図２の場合に、平面２１ａ内の２７の経路及び平面２１ｂ内の２６の経路を実行することにより、試料の有効なサイズに取得範囲を限定することも可能である。

Claims (3)

1. −励起ビームが測定系の軸（２２）に垂直な平均平面（２１）に位置している経路（２６）の少なくとも１つに沿って進むこと；及び
   −前記平均平面（２１）に投射された、測定すべき対象物（７）の表面の等高線に沿うように、前記経路（２６）を決定すること；
   を特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
2. 前記励起ビームの光学的コンディショニング手段の対称性に従うように、励起ビームの経路（２６）を決定することを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
3. 前記測定信号が由来する通過媒体の光学的特性の分布に従うように、励起ビームの経路（２６）を決定することを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の方法。