ATE520005T1 - Vorrichtung und verfahren zur optischen distanzmessung - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur optischen distanzmessung

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ATE520005T1
ATE520005T1 AT07108013T AT07108013T ATE520005T1 AT E520005 T1 ATE520005 T1 AT E520005T1 AT 07108013 T AT07108013 T AT 07108013T AT 07108013 T AT07108013 T AT 07108013T AT E520005 T1 ATE520005 T1 AT E520005T1
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light
structured
detector system
light beam
circular
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AT07108013T
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Pekka Typpo
Lee Chase
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Voith Patent Gmbh
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010510485A (ja) * 2006-11-17 2010-04-02 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 外部ビームスプリッタを有しない自己混合光コヒーレンス検出器
GB2451442B (en) * 2007-07-30 2013-03-06 Lein Applied Diagnostics Ltd Optical measurement apparatus and method therefor
CA2884632C (en) * 2007-08-31 2016-10-25 Abb Ltd. Web thickness measurement device
US8194233B2 (en) 2008-04-11 2012-06-05 Microsoft Corporation Method and system to reduce stray light reflection error in time-of-flight sensor arrays
KR101026030B1 (ko) * 2008-10-21 2011-03-30 삼성전기주식회사 거리 측정 장치
DE102010029144A1 (de) 2009-07-02 2011-01-05 Voith Patent Gmbh Verfahren zur berührungslosen Bestimmung der Dicke einer Materialbahn
EP2449338B1 (de) 2009-07-02 2013-08-14 Voith Patent GmbH Verfahren und vorrichtung zur berührungslosen bestimmung der dicke einer materialbahn mit korrektur des ausrichtfehlers
DE102009027425A1 (de) 2009-07-02 2011-01-05 Voith Patent Gmbh Verfahren zur Standardisierung eines optischen Dickensensors
DE102009027421A1 (de) 2009-07-02 2011-01-05 Voith Patent Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Bestimmung der Dicke einer Materialbahn
DE102009027424A1 (de) 2009-07-02 2011-01-05 Voith Patent Gmbh Verfahren zum Kalibrieren eines optischen Dickensensors
DE102009027430A1 (de) 2009-07-02 2011-01-05 Voith Patent Gmbh Verfahren zur berührungslosen Bestimmung der Dicke einer Materialbahn
DE102009027428A1 (de) 2009-07-02 2011-01-05 Voith Patent Gmbh Verfahren zum Kalibrieren einer optischen Dickensensors
NO336546B1 (no) * 2010-09-24 2015-09-21 Tomra Sorting As Apparat og fremgangsmåte for inspeksjon av materie
DE102011076491A1 (de) * 2011-05-26 2012-11-29 Esw Gmbh Messeinrichtung zur Distanzmessung
US9062964B1 (en) * 2012-05-07 2015-06-23 Clearwater Paper Corporation Laser caliper measurement of paper material
US9885878B2 (en) * 2013-04-10 2018-02-06 Fei Efa, Inc. Apparatus and method for annular optical power management
DE112017007344T5 (de) * 2017-03-31 2019-12-12 Sony Corporation Abstandsmessvorrichtung und fahrzeug
US10976151B2 (en) 2018-12-26 2021-04-13 Industrial Technology Research Institute Optical interferometer with reference arm longer than sample arm
CN109916347A (zh) * 2019-04-16 2019-06-21 合肥工业大学 一种基于近红外低相干光掺杂硅晶片表面形貌测量方法
KR20220123177A (ko) 2020-06-11 2022-09-06 에이리더 비전 테크놀로지 코포레이션 리미티드 분광 공초점 측정장치 및 그 측정 방법
CN113359146A (zh) * 2021-07-05 2021-09-07 上海钊晟传感技术有限公司 一种环形反射结构的激光三角测距传感器

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1595422A (en) 1977-04-28 1981-08-12 Nat Res Dev Scaning microscopes
JPH0652171B2 (ja) * 1987-02-10 1994-07-06 株式会社オカダ 光学式非接触位置測定装置
US4844617A (en) * 1988-01-20 1989-07-04 Tencor Instruments Confocal measuring microscope with automatic focusing
EP0534288A1 (de) 1991-09-26 1993-03-31 Tesa S.A. Optoelektronische Messanordnung einer Abmessung
US5737084A (en) * 1995-09-29 1998-04-07 Takaoka Electric Mtg. Co., Ltd. Three-dimensional shape measuring apparatus
JPH09113523A (ja) * 1995-10-23 1997-05-02 Canon Inc ドップラー速度計及び駆動システム
US5831736A (en) * 1996-08-29 1998-11-03 Washington University Method and apparatus for generating a three-dimensional topographical image of a microscopic specimen
JP3438855B2 (ja) * 1997-01-23 2003-08-18 横河電機株式会社 共焦点装置
EP1329690A1 (de) * 2002-01-22 2003-07-23 Leica Geosystems AG Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Auffinden von Zielmarken
JP2004037317A (ja) * 2002-07-04 2004-02-05 Murata Mfg Co Ltd 三次元形状測定方法、三次元形状測定装置
US6904199B2 (en) * 2002-08-14 2005-06-07 Infraredx, Inc. Optical catheter with double-clad fiber
US7102761B2 (en) * 2003-06-13 2006-09-05 Zygo Corporation Scanning interferometry
DE10361161A1 (de) 2003-12-22 2005-07-21 Voith Paper Patent Gmbh Messvorrichtung
US20060232790A1 (en) * 2005-04-18 2006-10-19 Lee Chase Confocal measurement method and apparatus in a paper machine

Also Published As

Publication number Publication date
EP1855083B1 (de) 2011-08-10
US7768629B2 (en) 2010-08-03
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EP1855083A1 (de) 2007-11-14

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