JP2013003333A5 - - Google Patents

Description

本発明は、前記課題を解決するため、下記のような構成を採用した。
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明の顕微鏡装置は、光路に交換可能に設置される複数の対物レンズと、前記複数の対物レンズのうち前記光路に設置された１つの対物レンズを介して、照明用光源から出射された可視光を移動ステージ上に載置された試料に投光し、前記試料で反射した前記観察光を観察する観察光学系と、前記１つの対物レンズを介して、オートフォーカス用光源から出射されたAF光を前記試料に投光し、前記試料で反射した前記AF光を検出する合焦光学系とを備えた顕微鏡装置であって、前記反射した前記AF光を受光する受光手段と、前記受光手段によって受光した前記AF光の光強度信号に基づいて、前記試料の合焦位置を調整する合焦位置調整手段と、前記受光手段によって受光した前記AF光の光強度信号を用いて評価関数を算出する評価関数算出手段と、前記オートフォーカス用光源から出射されたAF光の開口径を変動させる開口絞りと、前記開口絞りの開口径を調整する調整手段を備え、前記調整手段は前記合焦光学系の光路上に配置された補正レンズ群の位置に基づき、前記開口絞りの開口径を調整することを特徴とする。

また、本発明の顕微鏡装置は、前記受光手段が前記AF光を２つの領域でそれぞれ受光し、前記評価関数算出手段が、前記受光手段の第１の領域で受光した前記AF光の第１の光強度信号と前記受光手段の第２の領域で受光した前記AF光の第２の光強度信号との差を、前記第１の強度信号と前記第２の強度信号との和で除算して算出することが望ましい。
また、本発明の顕微鏡装置は、前記調整手段が、前記評価関数算出手段によって算出される評価関数の傾きが一定となるように、前記開口絞りの開口径を調整することが望ましい。
また、本発明の顕微鏡装置は、前記AF光が赤外光であることが望ましい。

Claims (4)

1. 光路に交換可能に設置される複数の対物レンズと、
   前記複数の対物レンズのうち前記光路に設置された１つの対物レンズを介して、照明用光源から出射された可視光を移動ステージ上に載置された試料に投光し、前記試料で反射した前記観察光を観察する観察光学系と、
   前記１つの対物レンズを介して、オートフォーカス用光源から出射されたAF光を前記試料に投光し、前記試料で反射した前記赤外光を検出する合焦光学系と、
   を備えた顕微鏡装置であって、
   前記反射した前記AF光を受光する受光手段と、
   前記受光手段によって受光した前記AF光の光強度信号に基づいて、前記試料の合焦位置を調整する合焦位置調整手段と、
   前記受光手段によって受光した前記AF光の光強度信号を用いて評価関数を算出する評価関数算出手段と、
   前記オートフォーカス用光源から出射された前記AF光の開口径を変動させる開口絞りと、
   前記開口絞りの開口径を調整する調整手段を備え、
   前記調整手段は前記合焦光学系の光路上に配置された補正レンズ群の位置に基づき、
   前記開口絞りの開口径を調整することを特徴とする顕微鏡装置。
2. 前記受光手段は前記AF光を２つの領域でそれぞれ受光し、前記評価関数算出手段は、前記受光手段の第１の領域で受光した前記AF光の第１の光強度信号と前記受光手段の第２の領域で受光した前記AF光の第２の光強度信号との差を、前記第１の強度信号と前記第２の強度信号との和で除算して算出することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
3. 前記調整手段は、前記評価関数算出手段によって算出される評価関数の傾きが一定となるように前記開口絞りの開口径を調整することを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡装置。
4. 前記AF光は赤外光であることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。