JP2006084794A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 対物レンズを通して照明光を被検体に照射し、該被検体からの光を観察する撮像素子を有する観察光学系と、
   該観察光学系の前記対物レンズを通して前記被検体にレーザ光を照射する投光部と、前記被検体で反射した前記レーザ光の光像の像面に配され、前記光像の像面内位置に応じた信号を出力する光電変換部とを有して前記対物レンズと前記被検体との相対距離を検出する焦点検出光学系と、
   前記焦点検出光学系からの出力信号に基づき前記被検体の合焦位置を調整する被検体位置調整手段と、
   前記焦点検出光学系の光束を調整する絞り手段とを備えていることを特徴とする焦点位置制御機構付き観察装置。
2. 前記絞り手段は、前記焦点検出光学系の前記レーザ光の投光範囲または受光範囲を調整することを特徴とする請求項１に記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
3. 前記焦点検出光学系が、前記レーザ光の中間結像位置を備え、
   前記絞り手段が、前記中間結像位置に配されていることを特徴とする請求項１または２に記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
4. 前記絞り手段が、前記被検体と前記対物レンズとの間に配されていることを特徴とする請求項１または２に記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
5. 前記焦点検出光学系が、前記可視外光を前記光電変換部に結像させる結像レンズを備え、
   前記絞り手段が、前記結像レンズと前記光電変換部との間に配されていることを特徴とする請求項１または２に記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
6. 前記絞り手段が、絞り径を調整可能な可変絞りを備えていることを特徴とする請求項１から５の何れか１つに記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
7. 前記被検体位置調整手段からの出力信号に基づき前記絞り手段の絞り径を調整する制御部を備えていることを特徴とする請求項１から６の何れか一つに記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
8. 前記絞り手段が、互いに異なる絞り径を有して選択可能な複数の固定絞りを備えていることを特徴とする請求項１から５の何れか１つに記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
9. 前記絞り手段は、中心部から周辺部に向けて透過率が変化していることを特徴とする請求項８に記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
10. 前記絞り手段は、撮像範囲内の任意の位置に移動可能であることを特徴とする請求項１から９の何れか一つに記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
11. 前記レーザ光を前記被検体へマルチスポット方式、または、スリット状やライン状の投光方式で照射するよう変換する手段を備えることを特徴とする請求項１から１０の何れか一つに記載の焦点位置制御機構付き観察装置。
12. 前記レーザ光を多点化された複数のスポット光に変換する回折格子を備えることを特徴とする請求項１から１１の何れか１つに記載の焦点位置制御機構付き観察装置。