CN101019058A - 带焦点位置控制机构的观察装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种带焦点位置控制机构的观察装置。本发明的显微镜用AF装置(1)具有：观察光学系统(6)，其通过多个可换的物镜(2)中的一个，将照明光照射到被检体(3)上，并具有用于观察来自该被检体(3)的反射光的CCD(摄像元件)(5)；焦点检测光学系统(10)，其用于检测物镜(2)与被检体(3)的相对距离，并具有：投光部(7)和光电探测器(光电变换部)(8)，该投光部(7)将激光(非可见光)通过观察光学系统(6)的物镜(2)照射到被检体(3)上，该光电探测器(8)配置在由被检体(3)反射后的激光的光学像的像面上，并输出与光学像的像面内位置对应的信号；被检体位置调节装置(11)，其根据来自焦点检测光学系统(10)的输出信号，调节被检体(3)的聚焦位置；光圈装置(12)，其在CCD(5)的摄像范围内调节激光的投光范围。

Description

带焦点位置控制机构的观察装置

技术领域

本发明涉及带焦点位置控制机构的观察装置。

本申请根据2004年9月16日在日本国提出的特愿2004-269669号主张优先权，在此结合其内容作为参照。

背景技术

迄今为止，可以观察作为被检体的细微的试验材料或者将观察图像记录为视频图像的显微镜等观察装置，被广泛利用在以生物领域的研究为首直到工业领域的检查工序中。在使用这样的显微镜的情况下，通常通过调焦手柄的操作，进行观察试验材料的焦点调节，来进行聚焦作业。但是，如高倍物镜那样，在焦点深度较浅且聚焦范围较窄的情况下，为了快速地进行聚焦操作，而要求相当熟练才行。

在该操作性差时，就会导致作业者疲劳、生产效率降低这样的不良影响。特别在检查工序等常规作业中，快速地进行该操作而缩短检查时间，就变得非常重要。

因此，关于可自动进行这种聚焦操作的显微镜用的带焦点位置控制机构(自动聚焦：AF)的装置，已提出各种方案，而且已提出大量以改进为目的的方案。

特别在工业领域的AF装置中，不仅有对操作性或处理能力的提高的需求，还有如下的对用途的需求：例如对形成为多层的半导体晶片那样的具有高低差的被检体，穷举地检测、测量各层的缺陷或图案间的线宽，或者以高精度测量被检体上的微小高低差，而且，已经提出了具有适宜于这样的检查/测量的性能的AF装置的方案。在这样的工业领域的AF装置中，由于对被检体的适应性、AF时间的缩短等理由，广泛采用了所谓主动型(active-type)AF方式，即将红外激光等光投射到被检体上，检测反射后的光的状态，进行聚焦操作。

作为主动型AF方式的例子，已经公知有被称为刀口(knife-edge)法的方式。此外，关于聚焦位置，在日本特开2001-296469号公报中已进行详细说明。

但是，在这种通常的主动方式的AF装置中，如图8A所示，由于投影到被检体上的聚光是单个的微小光束(以后，称为单点方式)，因此如图8B所示那样的光在被检体的高低差附近的边缘部分散射，本来应当返回的信号光的光量不足，使AF动作变得不稳定。另外，如图8C所示，在同一视场内观察具有多个高低差的被检体时，只在投影了聚光的位置的高低差上进行聚焦，其它的高低差部分变得极其模糊，当在进行识别视场内的图案影像并测量线宽等时，效率较差。

对于这样的问题，最近提出了如下方案(例如，参照日本特开平10-161195号公报。)：通过使投影到被检体的激光成为窄缝状，来扩大对被检体的投射光的大小，从而对在边缘部分的不稳定动作以及具有高低差的被检体谋求提高其AF性能。

此外，还提出了如下的方案(例如，参照日本特开2001-82926号公报。)：通过由音圈电动机使准直仪透镜振动，使晶片上的聚光振动而成为直线状的投光，生成位置检测信号，从而实现了性能的提高。

在这样的方式中，在激光光束中，通过插入圆柱形透镜，使投射光成为图9A那样的窄缝形状，以提高在如图9B那样的被检体的高低差附近的边缘部分的返回光的概率，或者在如图9C那样的高低差上聚焦在与多个高低差的平均水平相当的位置。进而，提出了使用衍射光栅来扩大投射光相对于被检体的范围的方案(例如，参照日本特开2001-296469号公报。)。(以下，将多个光点状的投光方式称为多点方式)。

但是，在上述现有的带焦点位置控制机构的观察装置中，由于要对从被检体反射后的所有光点投光信号进行运算处理，因此具有受到摄像范围外等的希望聚焦的范围之外的图案的高低差或反射率的影响，而真正希望聚焦的范围内的聚焦位置却偏移的情况。因此，在进行缺陷检查的装置的情况下，难以正确地掌握缺陷。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种带焦点位置控制机构的观察装置，该带焦点位置控制机构的观察装置通过只向希望聚焦的范围内投射激光，使得不会受到希望聚焦的范围之外的图案的高低差或反射率的影响，从而带焦点位置控制机构的观察装置对具有多个高低差的被检体的平均聚焦成为可能，并且可实现聚焦的稳定性。

本发明为解决上述课题，采用以下装置。

本发明的带焦点位置控制机构的观察装置的特征在于，具有：观察光学系统，其通过多个可换的物镜中的一个，将照明光照射到被检体上，并具有用于观察来自该被检体的光的摄像元件；焦点检测光学系统，其用于检测上述物镜与上述被检体的相对距离，并具有投光部和光电变换部，该投光部将非可见光通过该观察光学系统的上述物镜照射到上述被检体上，该光电变换部配置在由上述被检体反射后的上述非可见光的光学像的像面上，并输出与上述光学像的像面内位置对应的信号；被检体位置调节装置，其根据来自上述焦点检测光学系统的输出信号，调节上述被检体的聚焦位置；以及光圈装置，其调节上述非可见光的投光范围。

该带焦点位置控制机构的观察装置，即使在实际视场范围内也可以通过光圈装置来遮断被照射到从摄像范围突出的部分上的非可见光，当进行距离调节时，可以将不需要观察的摄像范围外的非可见光向光电变换部的入射，限定在摄像范围内，从而可以进行被检体的对位。

此外，本发明的带焦点位置控制机构的观察装置，在上述带焦点位置控制机构的观察装置中，其特征在于，上述焦点检测光学系统具有上述非可见光的中间成像位置，上述光圈装置配置在上述中间成像位置上。

该带焦点位置控制机构的观察装置，通过将具有与摄像范围对应的光圈直径的光圈装置，配置在中间成像位置上，从而可以使非可见光的投光范围更理想地限定在摄像范围内进行投光。

此外，本发明所述的带焦点位置控制机构的观察装置，在上述带焦点位置控制机构的观察装置中，其特征在于，上述光圈装置被配置在上述被检体与上述物镜之间。

此外，本发明所述的带焦点位置控制机构的观察装置，在上述带焦点位置控制机构的观察装置中，其特征在于，上述焦点检测光学系统具有使上述非可见光成像在所述光电变换部上的成像透镜，上述光圈装置配置在上述成像透镜与上述光电变换部之间。

该带焦点位置控制机构的观察装置，通过将具有与摄像范围对应的光圈直径的光圈装置配置在上述位置，从而可以使非可见光的投光范围更理想地限定在摄像范围内进行投光。

此外，本发明所述的带焦点位置控制机构的观察装置，在上述带焦点位置控制机构的观察装置中，其特征在于，上述光圈装置具有可选择的多个固定光圈，上述多个固定光圈具有相互不同的光圈直径。

该带焦点位置控制机构的观察装置，可以在摄像元件或摄像范围内选择最合适的光圈直径。

此外，本发明所述的带焦点位置控制机构的观察装置，在上述带焦点位置控制机构的观察装置中，其特征在于，上述光圈装置具有可调节光圈直径的可变光圈。

该带焦点位置控制机构的观察装置，没有必要预先设定多个对摄像元件的摄像范围最合适的光圈直径，并且在该情况下可以一边进行调节一边进行选择。

此外，本发明所述的带焦点位置控制机构的观察装置，在上述带焦点位置控制机构的观察装置中，其特征在于，所述带焦点位置控制机构的观察装置具有控制部，该控制部根据来自上述被检体位置调节装置的输出信号，调节上述光圈装置的光圈直径。

该带焦点位置控制机构的观察装置，可以自动地调节对摄像范围最合适的光圈直径，可以用短时间进行最理想的调节。

根据本发明，可以提高被检体的摄像范围内的聚焦稳定性，可以提高观察性能。特别当进行图案缺陷观察等时，可以正确地进行缺陷提取，在进行缺陷分类时，可以容易地进行缺陷和参照图像的比较，从而可以谋求缺陷分类精度的提高。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的显微镜用AF装置的结构的示意图。

图2A是表示在本发明的第1实施方式的显微镜用AF装置中，作为观察对象的具有高低差的被检体的图。

图2B是表示针对具有高低差的被检体在单点投光方式的情况下被照射的聚光的状况的图。

图2C是表示针对具有高低差的被检体在多点投光方式的情况下被照射的聚光的状况的图。

图3A是表示在本发明的第1实施方式的显微镜用AF装置中，作为观察对象的具有不同高度的凹凸的被检体的图。

图3B是表示针对作为观察对象的具有不同高度的凹凸的被检体，在单点投光方式的情况下被照射到被检体上的聚光的状况、以及在此时的光电探测器上的聚光的状态的图。

图3C是表示对作为观察对象的具有高度不同的凹凸的被检体，在多点投光方式的情况下被照射到被检体上的聚光的状况、以及在此时的光电探测器上的聚光的状态的图。

图4是表示在本发明的第1实施方式的显微镜用AF装置中，在观察具有高低差的被检体的情况下的光学视场与摄像范围之间的关系的说明图。

图5表示本发明的第2实施方式的显微镜用AF装置的结构的示意图。

图6表示本发明的第3实施方式的显微镜用AF装置的结构的示意图。

图7表示本发明的第4实施方式的显微镜用AF装置的结构的示意图。

图8A是表示在单点投光方式中，对具有凹凸的被检体上的凸部的平面照射光点的情况下的该聚光的状况的图。

图8B是表示在单点投光方式中，对具有凹凸的被检体上的凸部的边缘部照射光点的情况下的该聚光的状况的图。

图8C是表示在单点投光方式中，对具有高度不同的凹凸的被检体照射的情况下的该聚光的状况的图。

图9A是表示在窄缝状的多点投光方式中，对具有凹凸的被检体上的凸部的平面照射光点的情况下的该聚光的状况的图。

图9B是表示在窄缝状的多点投光方式中，对具有凹凸的被检体上的凸部的边缘部照射光点的情况下的该聚光的状况的图。

图9C是表示在窄缝状的多点投光方式中，对具有高度不同的凹凸的被检体照射的情况下的该聚光的状况图。

图10是表示本发明的第1实施方式的显微镜用AF装置的固定光圈的其它示例的说明图。

图11是表示本发明的第2实施方式的显微镜用AF装置的可变光圈的其它示例的说明图。

标号说明

1、50：显微镜用AF装置(带焦点位置控制机构的观察装置)

2：物镜

3：被检体

5：CCD(摄像元件)

6：观察光学系统

7：投光部

8：光电探测器(光电变换部)

10：焦点检测光学系统

11：被检体位置检测装置

12、51：光圈装置

14、56：调节部(控制部)

42：固定光圈

52：可变光圈

具体实施方式

参照图1至图4，对本发明的第1实施方式进行说明。

如图1所示，本实施方式所述的显微镜用AF装置(带焦点位置控制机构的观察装置)1具有：观察光学系统6，其通过多个可换的物镜2中的一个，将照明光照射到被检体3上，并具有用于观察来自被检体3的反射光的CCD(摄像元件)5；焦点检测光学系统10，其用于检测物镜2与被检体3的相对距离，并具有投光部7和光电探测器(光电变换部)8，该投光部7将红外波长的激光(非可见光)通过观察光学系统6的物镜2照射到被检体3上，该光电探测器8配置在由被检体3反射后的激光的光学像的像面上，并输出与光学像的像面内位置对应的信号；被检体位置调节装置11，其根据来自焦点检测光学系统10的输出信号，调节被检体3的聚焦位置；光圈装置12，其在CCD 5的摄像范围内调节激光的投光范围；以及调节部(控制部)14，其根据来自操作部13的输出信号，调节光圈装置12的光圈直径。

此外，CCD 5连接到图像生成装置60，该图像生成装置60被连接到图像监视器61。

焦点检测光学系统10还具有：偏光分束镜15，其分离来自投光部7的出射光和来自被检体3的反射光的光路；分色镜16，其使出射光的方向朝被检体3的方向偏转，并且使来自被检体3的反射光朝偏光分束镜15的方向偏转；一对透镜17、18，其使激光暂时聚集在偏光分束镜15与分色镜16之间，并在与物镜2的焦点位置共轭的位置X进行中间成像；1/4波长板20，其使激光圆偏振来抑制被检体3的偏光特性；成像透镜21，其配置在偏光分束镜15与光电探测器8之间，使激光成像在光电探测器8上；以及刀口22，其被配置在投光部7与偏光分束镜15之间，使激光为半圆状。

投光部7具有：基准光源23，其发射激光；激光驱动部25，其驱动该基准光源23；准直透镜26，其将照明光变换为平行光；以及衍射光栅27，其被配置在与物镜2的光瞳共轭的位置，将平行光变换为排列在直线上的多点化后的多个聚光。此外，光电探测器8通过如下部件连接到控制部14上：放大器28，其放大由光电探测器8光电变换后的输出信号；和A/D转换器30，其对由放大器28放大后的信号进行A/D转换。

并且，衍射光栅27只要被配置在来自被检体3的反射光的光束不通过的位置即可，即使配置在刀口22与偏光分束镜15之间也没有关系。

光电探测器8将来自被检体3的反射光的光学像的像面大致2分为A区域和B区域，可以从各区域的输出信号。在本实施方式中，如图1所示，A区域和B区域与刀口22的边缘的图像被投影到光电探测器8上的位置相对应而沿上下被配置。

在控制部14中，对这些信号进行运算处理，调节聚焦位置。

被检体位置调节装置11具有：支承台31，其承载被检体3；电动旋转器32，其具有物镜2，并且可以转动以便更换物镜2；聚焦用电动机33，其上下驱动支承台31；聚焦用电动机驱动部35，其驱动控制该聚焦用电动机33；编码器36，其检测聚焦用电动机33的转速；以及脉冲计数器37，其与编码器36连接，并检测转动方向和转动量。

支承台31相对于电动旋转器32，可以沿上下方向进行移动。

电动旋转器32具有：旋转器主体38，其具有可安装多个物镜2的安装孔；旋转器转动用电动机39，其使旋转器主体38转动，以便将任意的物镜2插入光路中；旋转器用电动机驱动部40，其进行旋转器转动用电动机39的电驱动；以及旋转孔位置检测部41，其用于检测将物镜2安装在旋转器主体38的哪一个安装孔位置中。

光圈装置12具有：固定光圈转动板43，其在圆周上配设有具有光圈直径相互不同且可选择的多个固定光圈42，可将期望的固定光圈42移动到一对透镜17、18之间的中间成像位置处；转动板用电动机45，其转动驱动固定光圈转动板43；以及转动板驱动部46，其驱动该转动板用电动机45。

其次，对本实施方式所述的显微镜用AF装置1的操作方法、作用和效果进行说明，特别是对具有高低差部分的被检体3的高低差附近的AF聚焦动作的情况进行说明。

并且，关于焦点检测光学系统10的多点方式的激光的投射方法，以及通过被检体位置调节装置11对被检体3的聚焦位置的调节，例如可按与日本特开2001-296469号公报等中所述的方法相同的方法进行。

当观察图2A所示的高低差时，若根据单点方式，如图2B所示，向被检体3的聚光为单个的。因此，在图中C的高低差处，聚光的反射光的大半成为散射光，并不返回到光电探测器8，从而AF动作变得不可能进行。

此外，当观察图3A所示的高低差时，如图3B所示，只聚焦于投影到被检体3的聚光位置处，特别是在使用高倍率的物镜2的情况下，其它高低差的被检体图像非常模糊。因此，即使可以测量图中的D-E间的宽度，但也不可能进行图中F-G间宽度的测量。

另一方面，在多点方式的情况下，如图2C所示，由于多个聚光被投影到被检体3上，因此例如，即使排列在图中H所示的一列的多个聚光的大半被散射而不能返回到受光侧，但图中I、J所示的聚光的反射光也可以返回到受光侧，从而可以确保充分的检测信号。

此外，如图3C所示，由于投影到不同高低差处的多个聚光在光电探测器8上分别独立地成像，因此可以聚焦在与各高低差的平均水平相当的高度位置。从而，即使视场内的高低差有些模糊，但与单点方式的情况相比，不存在极其模糊的部位，从而可以进行图中的D-E间、F-G间的图案宽度的测量。

但是，如图4所示，一般地，光学视场47大致为圆形，与此相对，摄像范围48为四角形状，多点化的聚光L在光学视场47内沿摄像范围48的对角线方向进行配置。从而，由于光电探测器8也接收到来自摄像范围48外的多个聚光的信号，因此有时在受到该部分的影响下进行用于聚焦的信号处理，具有实际上可视觉辨认的摄像范围48内的图像不能被充分聚焦的情况。

此时，由CCD 5所摄像的图像的电信号被转换为能由图像生成装置60显示在监视器上的信号，并显示在图像监视器61上。从而，观察者能够确认是否已经聚焦。

此时，对被配置在操作部13内的未图示的聚光切换开关进行操作，将指令从控制部14发送到转动板驱动部46，驱动转动板用电动机45，使固定光圈转动板43转动，选择使被投影到被检体3上的激光聚光配置在摄像范围48内的固定光圈42，并将该固定光圈42配置在上述的中间成像位置处。

其结果是，由于在光学视场47内也只是向摄像范围48内照射多个激光聚光，并使其反射，因此光电探测器8只接收摄像范围48内的反射光并基于此来调节焦点位置，而未受到摄像范围48外的位置中的图案的高低差或反射率影响。

并且，还可以按如下进行：控制部检测来自旋转孔位置检测部41的信号，根据该信号判断将要被使用的物镜2，通过选择与所使用的摄像机的摄像范围对应的固定光圈42，从而从控制部向转动板驱动部46发送信号，转动驱动部46使转动板用电动机45旋转，来自动地设置最佳的固定光圈42。

此外，也可以是这样：使控制部具有图像合成功能，将由图像生成装置60转换后的图像信号，与模拟作成的光学视场图像合成起来进行显示。进而还可以是，可显示目前的光圈的状态，使观察者能够以手动选择光圈。

根据该显微镜用AF装置1，通过将具有与摄像范围48对应的光圈直径的光圈装置12配置在中间成像位置处，从而能够将激光的光点投光长度根据摄像范围48的大小而限定在摄像范围48内。

此外，通过控制部14，可以将对于摄像范围48最合适的针孔42自动地调节到中间成像位置，能够以短时间进行最合适的调节。

并且，如图10所示，固定光圈42的形状还形成为，根据目的而遮蔽住摄像范围外部和摄像范围内的一部分。在此情况下，可以在摄像范围的中心部和周边部进行加权聚焦。此外，也可以遮蔽摄像范围外部，使透射率从中心部向周边部连续地变化。

下面，参照图5对第2实施方式进行说明。

并且，对与上述的第1实施方式相同的结构要素标注同一标号，并且省略其说明。

第2实施方式与第1实施方式的不同点在于，本实施方式的显微镜用AF装置50的光圈装置51具有：可变光圈52，其是例如在照相机等中使用的叶片光圈那样的可以调节光圈直径的光圈；可变光圈用电动机53，其驱动可变光圈52；和可变光圈驱动部55，其驱动该可变光圈用电动机53。

此外，控制部56根据来自被检体位置调节装置11的输出信号，可调节可变光圈52的光圈直径。此外，省略了对CCD 5以后的部分的说明。

在该显微镜用AF装置50中，当控制部56进行聚焦时，检测来自旋转孔位置检测部41的信号。此时，预先在每个旋转器主体38的安装孔中，安装有倍率已被确定的物镜2。因此，通过来自旋转孔位置检测部41的信号，可识别目前使用中的物镜2。在控制部56中，对应于物镜2的倍率，计算摄像装置在摄像范围内的光圈直径。此外，还可以具有存储了与倍率对应的光圈直径的图表的存储器。进而，从控制部56对可变光圈驱动部55发出指令，驱动可变光圈用电动机53，使可变光圈52的光圈直径改变，以使投影到被检体3上的光点投光长度为与摄像范围48的对角线长度大致相同的长度。

并且，作为可变光圈，也可以通过未图示的驱动装置使如图11所示那样的L字状的部件相互沿对角方向移动。此外，作为可变光圈，还可以在保持2个部件的相对位置的状态下使它们移动到摄像范围内的任意位置。

根据该显微镜用AF装置50，可以得到与第1实施方式同样的作用和效果，没有必要预先设定多个最适于摄像范围48的光圈直径，就可以任意地调节多点的投光长度，从而可以进行更理想的聚焦操作。

下面，参照图6对第3实施方式进行说明。

并且，对与上述的其它实施方式相同的结构要素标注同一标号，并且省略其说明。

第3实施方式与第2实施方式的不同点在于，本实施方式的显微镜用AF装置60的可变光圈52，配置在被检体3与物镜2之间的位置Y处。

根据该显微镜用AF装置60，由于可变光圈52配置在激光光束会聚的位置上，因此通过改变可变光圈52的光圈直径，从而与第2实施方式相同地，可以将激光的聚光投光长度更适当地限定在摄像范围48内。

下面，参照图7对第4实施方式进行说明。

并且，对与上述的其它实施方式相同的结构要素标注同一标号，并且省略其说明。

第4实施方式与第2实施方式的不同点在于，本实施方式的显微镜用AF装置70的可变光圈52，配置在成像透镜21与光电探测器8之间的位置Z处。

根据该显微镜用AF装置70，与上述第2实施方式和第3实施方式相同地，由于将可变光圈52配置在激光光束会聚的位置上，因此通过改变可变光圈52的光圈直径，从而可以得到与上述第2实施方式和第3实施方式相同的效果。

并且，本发明的技术范围并不仅限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨范围内，可加以各种变更。

例如，在上述实施方式中，用于调节被检体与物镜间的距离的被检体位置调节装置11，使支承台31相对电动旋转器32上下驱动，但也可以使电动旋转器相对支承台上下驱动。

此外，在上述实施方式中，对多点方式进行了记述，但即使如专利文献1、2所述那样的窄缝状或直线状的投光方式，通过将光圈装置配置在影像的共轭位置，当然也可以得到同样的效果。

产业上可利用性

本发明通过将激光只投射到希望聚焦的范围内，可以进行平均的聚焦，而不会受到希望聚焦的范围之外的图案的高低差或反射率的影响，因此可以应用于具有多个高低差的被检体。

Claims (7)

1.一种带焦点位置控制机构的观察装置，其特征在于，

上述带焦点位置控制机构的观察装置具有：

观察光学系统，其通过多个可换的物镜中的一个，将照明光照射到被检体上，并具有用于观察来自该被检体的光的摄像元件；

焦点检测光学系统，其用于检测所述物镜与所述被检体的相对距离，并具有投光部和光电变换部，该投光部将非可见光通过该观察光学系统的所述物镜照射到所述被检体上，该光电变换部配置在由所述被检体反射后的所述非可见光的光学像的像面上，并输出与所述光学像的像面内位置对应的信号；

被检体位置调节装置，其根据来自所述焦点检测光学系统的输出信号，调节所述被检体的聚焦位置；以及

光圈装置，其调节所述非可见光的投光范围。

2.如权利要求1所述的带焦点位置控制机构的观察装置，其特征在于，

所述焦点检测光学系统具有所述非可见光的中间成像位置，

所述光圈装置配置在所述中间成像位置上。

3.如权利要求1所述的带焦点位置控制机构的观察装置，其特征在于，

所述光圈装置被配置在所述被检体与所述物镜之间。

4.如权利要求1所述的带焦点位置控制机构的观察装置，其特征在于，

所述焦点检测光学系统具有使所述非可见光成像在所述光电变换部上的成像透镜，

所述光圈装置配置在所述成像透镜与所述光电变换部之间。

5.如权利要求2所述的带焦点位置控制机构的观察装置，其特征在于，

所述光圈装置具有可选择的多个固定光圈，所述多个固定光圈具有相互不同的光圈直径。

6.如权利要求3或4所述的带焦点位置控制机构的观察装置，其特征在于，

所述光圈装置具有可调节光圈直径的可变光圈。

7.如权利要求1至4中的任意一项或权利要求6所述的带焦点位置控制机构的观察装置，其特征在于，

所述带焦点位置控制机构的观察装置具有控制部，该控制部根据来自所述被检体位置调节装置的输出信号，调节所述光圈装置的光圈直径。

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