RU2013158865A - Определение характеристики потока объекта, перемещаемого в элементе - Google Patents

Определение характеристики потока объекта, перемещаемого в элементе Download PDF

Info

Publication number
RU2013158865A
RU2013158865A RU2013158865/14A RU2013158865A RU2013158865A RU 2013158865 A RU2013158865 A RU 2013158865A RU 2013158865/14 A RU2013158865/14 A RU 2013158865/14A RU 2013158865 A RU2013158865 A RU 2013158865A RU 2013158865 A RU2013158865 A RU 2013158865A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
light
registration
sensor device
unit
optical unit
Prior art date
Application number
RU2013158865/14A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2622447C2 (ru
Inventor
ДЕР ЛИ Александер Марк ВАН
Йерун ВЕН
Original Assignee
Конинклейке Филипс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Н.В.
Publication of RU2013158865A publication Critical patent/RU2013158865A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2622447C2 publication Critical patent/RU2622447C2/ru

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/02Detecting, measuring or recording pulse, heart rate, blood pressure or blood flow; Combined pulse/heart-rate/blood pressure determination; Evaluating a cardiovascular condition not otherwise provided for, e.g. using combinations of techniques provided for in this group with electrocardiography or electroauscultation; Heart catheters for measuring blood pressure
    • A61B5/026Measuring blood flow
    • A61B5/0261Measuring blood flow using optical means, e.g. infrared light
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/68Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
    • A61B5/6801Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be attached to or worn on the body surface
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/49Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
    • G01N21/53Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/36Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01P3/366Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P5/00Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
    • G01P5/26Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring the direct influence of the streaming fluid on the properties of a detecting optical wave
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/50Systems of measurement based on relative movement of target
    • G01S17/58Velocity or trajectory determination systems; Sense-of-movement determination systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88Lidar systems specially adapted for specific applications
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/491Details of non-pulse systems
    • G01S7/4912Receivers
    • G01S7/4916Receivers using self-mixing in the laser cavity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/491Details of non-pulse systems
    • G01S7/4912Receivers
    • G01S7/4917Receivers superposing optical signals in a photodetector, e.g. optical heterodyne detection
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B2562/00Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
    • A61B2562/02Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
    • A61B2562/0233Special features of optical sensors or probes classified in A61B5/00
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B2562/00Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
    • A61B2562/14Coupling media or elements to improve sensor contact with skin or tissue
    • A61B2562/146Coupling media or elements to improve sensor contact with skin or tissue for optical coupling

Abstract

1. Сенсорное устройство (340, 440) для определения характеристики потока объекта (341), перемещаемого в элементе (342), содержащее:- светоизлучающий блок (344, 480), выполненный с возможностью излучения света в направлении элемента (342),- блок (344, 482) регистрации света, выполненный с возможностью регистрации света, рассеянного обратно на элементе (342),- оптический блок (346), выполненный с возможностью пространственного разделения участка (348) элемента падения света элемента (342) и участка (350) элемента регистрации света элемента (342) друг от друга, при этом участок (348) элемента падения света связан с излучаемым светом, падающим на элемент (342), а участок (350) элемента регистрации света связан с обратно рассеянным светом, рассеянным обратно от элемента (342), для регистрации и- блок (358, 458) определения, выполненный с возможностью определения характеристики потока объекта (341), перемещаемого в элементе (342), на основе света, указывающего на излучаемый свет, и регистрируемого обратно рассеянного света.2. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1, в котором светоизлучающий блок (344) и блок (344) регистрации света выполнены интегрально как единое целое.3. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1 или 2, в котором оптический блок (346) содержит элемент (352) разделениясветового пути, выполненный с возможностью разделения пути излучаемого света в направлении участка (348) элемента падения света и пути обратно рассеянного света, рассеянного обратно на участке (350) элемента регистрации света.4. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 3, в котором элемент (352) разделения светового пути выполнен в форме поляризационного светоделителя, причем направление поляризации света, излучаемого свет�

Claims (14)

1. Сенсорное устройство (340, 440) для определения характеристики потока объекта (341), перемещаемого в элементе (342), содержащее:
- светоизлучающий блок (344, 480), выполненный с возможностью излучения света в направлении элемента (342),
- блок (344, 482) регистрации света, выполненный с возможностью регистрации света, рассеянного обратно на элементе (342),
- оптический блок (346), выполненный с возможностью пространственного разделения участка (348) элемента падения света элемента (342) и участка (350) элемента регистрации света элемента (342) друг от друга, при этом участок (348) элемента падения света связан с излучаемым светом, падающим на элемент (342), а участок (350) элемента регистрации света связан с обратно рассеянным светом, рассеянным обратно от элемента (342), для регистрации и
- блок (358, 458) определения, выполненный с возможностью определения характеристики потока объекта (341), перемещаемого в элементе (342), на основе света, указывающего на излучаемый свет, и регистрируемого обратно рассеянного света.
2. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1, в котором светоизлучающий блок (344) и блок (344) регистрации света выполнены интегрально как единое целое.
3. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1 или 2, в котором оптический блок (346) содержит элемент (352) разделения
светового пути, выполненный с возможностью разделения пути излучаемого света в направлении участка (348) элемента падения света и пути обратно рассеянного света, рассеянного обратно на участке (350) элемента регистрации света.
4. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 3, в котором элемент (352) разделения светового пути выполнен в форме поляризационного светоделителя, причем направление поляризации света, излучаемого светоизлучающим блоком (344, 480), ориентировано под углом 45 градусов по отношению к оси поляризации поляризационного светоделителя (352).
5. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 3, в котором оптический блок (346) содержит элемент (354) перенаправления света, выполненный с возможностью перенаправления излучаемого света, полученного от элемента (352) разделения светового пути, в направлении участка элемента падения света (348).
6. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 5, в котором расстояние между участком (348) элемента падения света и участком (350) элемента регистрации света можно регулировать путем взаимного расположения элемента (352) разделения светового пути и элемента (354) перенаправления света.
7. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 5 или 6, в котором элемент (352) разделения светового пути и элемент (354) перенаправления света выполнены интегрально как единое целое.
8. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1 или 2, дополнительно содержащее:
- элемент (362) чередования поляризации, расположенный между оптическим блоком (346) и элементом (342), причем элемент (362)
чередования поляризации выполнен с возможностью изменения поляризации излучаемого света, полученного от оптического блока (346) и поляризации обратно рассеянного света, рассеянного обратно на элементе (342).
9. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 8, в котором оптический блок (346) и элемент (352) чередования поляризации выполнены и расположены относительно друг друга таким образом, что поляризация обратно рассеянного света, регистрируемая посредством блока (344, 482) регистрации света и поляризация света, указывающего на излучаемый свет, являются ортогональными друг к другу.
10. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1 или 2, дополнительно содержащее:
- первую линзу (364), расположенную между оптическим блоком (346) и участком (348) элемента падения света, причем первая линза (364) выполнена с возможностью фокусировки излучаемого света в направлении участка (348) элемента падения света и/или
- вторую линзу (366), расположенную между оптическим блоком (346) и участком (350) элемента регистрации света, причем вторая линза (366) выполнена с возможностью фокусировки обратно рассеянного света, рассеянного обратно на участке (350) элемента регистрации света.
11. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1 или 2, дополнительно содержащее:
- первое оптическое волокно, расположенное между оптическим блоком (346) и участком (348) элемента падения света, причем первое оптическое волокно выполнено с возможностью направления
излученного света от оптического блока (346) в направлении участка (348) элемента падения света и/или
- второе оптическое волокно, расположенное между оптическим блоком (346) и участком (350) элемента регистрации света, причем второе оптическое волокно выполнено с возможностью направления обратно рассеянного света от участка (350) элемента регистрации к оптическому блоку (346).
12. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1 или 2, дополнительно содержащее:
- третью линзу (368), расположенную между блоком (344, 482) регистрации света и оптическим блоком (346), причем третья линза (368) выполнена с возможностью фокусировки обратно рассеянного света в направлении блока (344, 482) регистрации света.
13. Сенсорное устройство (340, 440) по п. 1 или 2, в котором характеристика потока объекта (341) содержит по меньшей мере одно из скорости потока объекта (341) или направления потока объекта (341), и/или в котором объект (341) содержит клетки крови, а элемент (342) содержит кожу.
14. Способ определения характеристики потока объекта (341), перемещаемого в элементе (342), содержащий:
- излучение света в направлении элемента (342) блоком (344, 480) излучения света,
- регистрацию света, рассеянного обратно на элементе (342), блоком (344, 482) регистрации света, и
- определение, посредством блока (358, 458) определения, характеристики потока объекта (341), перемещаемого в элементе (342), на основе света, указывающего излучаемый свет и
зарегистрированный обратно рассеянный свет,
причем участок (348) элемента падения света элемента (342) и участок (350) элемента регистрации света элемента (342) пространственно отделены друг от друга посредством оптического блока (346), причем участок (348) элемента падения света связан с излучаемым светом, падающим на элемент (342), а участок (350) элемента регистрации света связан с обратно рассеянным светом, рассеянным обратно на элементе (342) для определения.
RU2013158865A 2011-06-01 2012-05-22 Определение характеристики потока объекта, перемещаемого в элементе RU2622447C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP11168498.1 2011-06-01
EP11168498 2011-06-01
PCT/IB2012/052557 WO2012164438A1 (en) 2011-06-01 2012-05-22 Determining a flow characteristic of an object being movable in an element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013158865A true RU2013158865A (ru) 2015-07-20
RU2622447C2 RU2622447C2 (ru) 2017-06-15

Family

ID=46354421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013158865A RU2622447C2 (ru) 2011-06-01 2012-05-22 Определение характеристики потока объекта, перемещаемого в элементе

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9091573B2 (ru)
EP (1) EP2713854B1 (ru)
JP (1) JP6182133B2 (ru)
CN (1) CN103561637B (ru)
RU (1) RU2622447C2 (ru)
WO (1) WO2012164438A1 (ru)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2662661A1 (de) * 2012-05-07 2013-11-13 Leica Geosystems AG Messgerät mit einem Interferometer und einem ein dichtes Linienspektrum definierenden Absorptionsmedium
WO2017016901A1 (en) 2015-07-30 2017-02-02 Koninklijke Philips N.V. Laser sensor for multi parameter detection
JP6861224B2 (ja) 2016-05-19 2021-04-21 トルンプ フォトニック コンポーネンツ ゲーエムベーハー 粒子検出用レーザーセンサ
US11740071B2 (en) 2018-12-21 2023-08-29 Apple Inc. Optical interferometry proximity sensor with temperature variation compensation
US11243068B1 (en) 2019-02-28 2022-02-08 Apple Inc. Configuration and operation of array of self-mixing interferometry sensors
US10871820B2 (en) 2019-05-09 2020-12-22 Apple Inc. Self-mixing based 2D/3D user input detection and scanning laser system
US11156456B2 (en) 2019-05-21 2021-10-26 Apple Inc. Optical proximity sensor integrated into a camera module for an electronic device
US11473898B2 (en) 2019-05-24 2022-10-18 Apple Inc. Wearable voice-induced vibration or silent gesture sensor
US11422638B2 (en) 2019-07-08 2022-08-23 Apple Inc. Input devices that use self-mixing interferometry to determine movement within an enclosure
US11409365B2 (en) * 2019-09-06 2022-08-09 Apple Inc. Self-mixing interferometry-based gesture input system including a wearable or handheld device
US11419546B2 (en) 2019-09-24 2022-08-23 Apple Inc. Wearable self-mixing interferometry device used to sense physiological conditions
US11150332B1 (en) 2020-06-30 2021-10-19 Apple Inc. Self-calibrating optical transceiver system with reduced crosstalk sensitivity for through-display proximity sensing
US11874110B2 (en) 2020-09-25 2024-01-16 Apple Inc. Self-mixing interferometry device configured for non-reciprocal sensing
US11460293B2 (en) 2020-09-25 2022-10-04 Apple Inc. Surface quality sensing using self-mixing interferometry
US11629948B2 (en) 2021-02-04 2023-04-18 Apple Inc. Optical interferometry proximity sensor with optical path extender
US11614806B1 (en) * 2021-05-12 2023-03-28 Apple Inc. Input device with self-mixing interferometry sensors
US20230304840A1 (en) * 2022-03-28 2023-09-28 Defiant Engineering Llc AXIAL LiDAR DOPPLER ANALYZER

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4611912A (en) 1983-04-04 1986-09-16 Ball Corporation Method and apparatus for optically measuring distance and velocity
DE3401535A1 (de) * 1984-01-18 1985-07-25 Gesellschaft für Strahlen- und Umweltforschung mbH, 8000 München Verfahren und schaltungsanordnung zur beruehrungslosen real-time-bestimmung von geschwindigkeiten
US4733609A (en) 1987-04-03 1988-03-29 Digital Signal Corporation Laser proximity sensor
JPH08184560A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Hoechst Japan Ltd 有機溶剤蒸気を検出するための光センサ装置
US6544193B2 (en) * 1996-09-04 2003-04-08 Marcio Marc Abreu Noninvasive measurement of chemical substances
US6411370B1 (en) 1998-11-23 2002-06-25 Vantageport, Inc. Optical system and method for measuring distance
JP2001046348A (ja) * 1999-08-10 2001-02-20 Omega Wave Kk 血流計用プローブ
JP4499341B2 (ja) * 2002-05-09 2010-07-07 ソニー株式会社 生体認証装置及び生体認証方法
US7708695B2 (en) * 2004-04-29 2010-05-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Apparatus and method for detecting blood flow
JP2006102171A (ja) * 2004-10-06 2006-04-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 脈波測定器
RU2295915C2 (ru) * 2005-02-18 2007-03-27 Тахир Хусанович Холматов Способ неинвазивного измерения концентрации оптически активных веществ, находящихся в крови
US7933023B2 (en) * 2005-05-23 2011-04-26 Mori Seiki, Co., Ltd. Displacement detection apparatus, displacement measurement apparatus and fixed point detection apparatus
US7924434B2 (en) * 2005-08-02 2011-04-12 Kla-Tencor Technologies Corp. Systems configured to generate output corresponding to defects on a specimen
EP2051623A2 (en) 2006-08-09 2009-04-29 Koninklijke Philips Electronics N.V. Light-emitting apparatus, particularly for flow measurements
US20080147147A1 (en) 2006-12-18 2008-06-19 Medrad, Inc. Vein locating device for vascular access procedures
DE602008006373D1 (de) * 2007-02-26 2011-06-01 Koninkl Philips Electronics Nv Verfahren und vorrichtung zur optischen gewebeanalyse
WO2009005748A1 (en) * 2007-06-29 2009-01-08 The Trustees Of Columbia University In The City Ofnew York Optical imaging or spectroscopy systems and methods
JP2009047429A (ja) * 2007-08-13 2009-03-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 光測定装置
WO2009027896A1 (en) 2007-08-24 2009-03-05 Koninklijke Philips Electronics N. V. Microelectronic sensor device with wetting detection
WO2009027898A1 (en) 2007-08-24 2009-03-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method and apparatuses for measuring skin properties
JP5166889B2 (ja) * 2008-01-17 2013-03-21 国立大学法人 筑波大学 眼底血流量の定量測定装置
ITMI20090400A1 (it) * 2009-03-16 2010-09-17 Datamed Srl Metodo di misurazione della velocita' di un fluido e relativa apparecchiatura.
JP5080550B2 (ja) * 2009-12-07 2012-11-21 株式会社ユメディカ 自律神経機能評価装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103561637B (zh) 2016-05-18
US20140085635A1 (en) 2014-03-27
US9091573B2 (en) 2015-07-28
EP2713854A1 (en) 2014-04-09
CN103561637A (zh) 2014-02-05
JP6182133B2 (ja) 2017-08-16
WO2012164438A1 (en) 2012-12-06
EP2713854B1 (en) 2021-03-03
RU2622447C2 (ru) 2017-06-15
JP2014515298A (ja) 2014-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013158865A (ru) Определение характеристики потока объекта, перемещаемого в элементе
BR112015029988A2 (pt) aparelho e métodos para detectar sinais óticos de sensores implantados
EP4239371A3 (en) Detector for optically detecting at least one object
CY1118267T1 (el) Μεθοδοι εστιασης και οπτικα συστηματα και διαταξεις που χρησιμοποιουν τα ιδια
WO2017186850A8 (en) Detector for optically detecting at least one object
TWI657233B (zh) 紅外測溫儀以及用於測量能量區域的溫度的方法
TWI507657B (zh) Displacement sensor
TR201801533T4 (en) Sensor Assembly
GB2505353A (en) Gimbal instrument having a prealigned and replaceable optics bench
JP2013527917A5 (ru)
EP2407752A3 (en) Measuring device
DK2021241T3 (da) Positionsdetektor
TW200726955A (en) High density multi-channel detecting device
JP2012517035A5 (ru)
ATE420390T1 (de) Optische messeinrichtung mit optischer triangulation
ATE370388T1 (de) Optischer axialverschiebungssensor
JP6614909B2 (ja) 光電センサ
KR20100043969A (ko) 거리 측정 장치
RU2014122449A (ru) Датчик для проверки ценных документов
BR112014010235A2 (pt) cartucho para o teste óptico de uma amostra, aparelho sensor para o teste óptico de uma amostra, e método de teste óptico de uma amostra
FR2880945B1 (fr) Palpeur optique ainsi que dispositif et procede le mettant en oeuvre.
JP2014503842A5 (ja) 共焦点レーザー走査顕微鏡
KR100967046B1 (ko) 거리 측정 장치
JP2009098003A (ja) 変位振動検出装置及び変位振動検出方法
WO2020126337A3 (en) Integrated biosensing systems

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200523