JP2010169496A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 光源と、
   前記光源からの光を検査光と参照光とに分割するビームスプリッタと、
   前記検査光を集光して被検物の表面に照射する第１プローブ光学系と、
   前記被検物を透過した前記検査光を集光する第２プローブ光学系と、
   前記第１プローブ光学系の軸と前記第２プローブ光学系の軸とが同軸性を保つように１つの光軸上で変位させる駆動手段と、
   前記第２プローブ光学系で集光された前記検査光と前記参照光とを干渉させて干渉信号を得る受光素子と、
   前記受光素子で得られた干渉信号に基づいて前記被検物の屈折率を算出する算出部と、を備えるとともに、
   前記第１プローブ光学系と前記第２プローブ光学系のうち、一方のプローブ光学系のプローブは、その照射光の波長より小さな範囲内の先端のみ露出し、前記プローブの他の部分は不透明な被覆層で覆われていること
   を特徴とする屈折率測定装置。
2. 前記算出部は、前記被検物の干渉信号の算出値と、屈折率と厚みが既知の基準物を被検物の代わりに用いて予め求めた干渉信号の算出値と、に基づいて、前記被検物の屈折率を算出するものであること
   を特徴とする請求項１記載の屈折率測定装置。
3. 前記第１プローブ光学系と前記第２プローブ光学系の位置を、それぞれの基準位置からの差分として測距する第１測長手段と、
   前記参照光の光路中に設けられて前記参照光の光路長を調整する参照光ミラーと、
   前記参照光ミラーの位置を、その基準位置からの差分として測距する第２測長手段と、を備え、
   前記基準物の屈折率をＮ０とし、前記基準物の厚みをＤ０とし、前記プローブ光学系の前記基準位置からの差分の合計をΔＤとし、前記参照ミラーの前記基準位置からの差分をΔＮＤとしたときに、前記被検物の屈折率Ｎを下記（式１）で算出すること
   を特徴とする請求項２記載の屈折率測定装置。
   

   
4. 前記第１プローブ光学系と前記第２プローブ光学系のうち、一方のプローブ光学系は、その照射光の波長より小さな範囲内の先端のみ露出し、前記他方のプローブ光学系の前記プローブの他の部分は不透明な被覆層で覆われており、
   他方のプローブ光学系は、その照射光の波長より小さな範囲内の先端のみ露出し、他の部分は透明な被覆層で覆われていること
   を特徴とする請求項１から３いずれか記載の屈折率測定装置。
5. 前記第１プローブ光学系と前記第２プローブ光学系のうち、他方のプローブ光学系のプローブは、その照射光の波長より小さな範囲内の先端が露出し、前記他方のプローブ光学系の前記プローブの他の部分は被覆層無しで露出していること
   を特徴とする請求項１から３いずれか記載の屈折率測定装置。
6. 前記第１プローブ光学系と前記第２プローブ光学系とを同軸のまま連動して移動させる移動機構を更に備え、
   前記第１プローブ光学系と前記第２プローブ光学系とを移動させながら前記被検物を走査し、前記被検物の屈折率分布を算出すること
   を特徴とする請求項１から５いずれか記載の屈折率測定装置。