JP2016024009A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 光を出射する光源と、
   前記光源から出射された光を光軸上に集束する光学系と、
   前記光学系により集束した光を反射する反射部と、
   前記光学系を通過した光の光軸上での集束位置に応じた反射光の強度を検出する検出部と、
   前記光学系と前記反射部との間に測定対象物が配置されていない場合に前記反射部で反射した光について前記検出部で反射光強度のピークを検出した前記光軸上での第１集束位置と、前記光学系と前記反射部との間に前記測定対象物が配置されている場合に前記測定対象物を透過し前記反射部で反射した光について前記検出部で反射光強度のピークを検出した前記光軸上での第２集束位置との変位量と、前記測定対象物の屈折率と、を用いて前記測定対象物の厚さを演算する演算部と、
   を備えたことを特徴とする厚さ測定装置。
2. 前記光学系は、前記光軸上において軸上色収差を有し、
   前記検出部は、前記光学系の共焦点位置に配置されたピンホールを通過した反射光を波長ごとに分光する分光器と、前記分光器で分光された反射光の強度を検出する受光部と、を有し、
   前記演算部は、前記受光部で検出した反射光の波長に対応した前記光軸上での集束位置を演算することを特徴とする請求項１記載の厚さ測定装置。
3. 前記光源から出射される光は、広帯域光であることを特徴とする請求項２記載の厚さ測定装置。
4. 前記光源は、白色光源であることを特徴とする請求項２または３に記載の厚さ測定装置。
5. 前記第１集束位置と前記第２集束位置との変位量をΔＺ、前記屈折率をｎ、前記測定対象物の厚さをｔとした場合、前記演算部は、
   ｔ＝｛ｎ／（ｎ−１）｝×ΔＺ
   によって前記測定対象物の厚さｔを演算することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の厚さ測定装置。
6. 光ファイバの端面のコア部分を前記ピンホールとみなし、前記光ファイバを介して前記反射光を伝達することを特徴とする請求項２記載の厚さ測定装置。
7. 光源から出射した光を光学系で光軸上に集束して反射部に向けて照射する工程と、
   前記光学系と前記反射部との間に測定対象物を配置していない状態で、前記反射部にて反射した光について反射光強度のピークとなる前記光軸上での第１集束位置を検出する工程と、
   前記光学系と前記反射部との間に前記測定対象物を配置した状態で、前記測定対象物を透過し前記反射部にて反射した光について反射光強度のピークとなる前記光軸上での第２集束位置を検出する工程と、
   前記第１集束位置と前記第２集束位置との変位量と、前記測定対象物の屈折率と、を用いて前記測定対象物の厚さを演算する工程と、
   を備えたことを特徴とする厚さ測定方法。