JP2010256294A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、光源と、前記光源から出力された光を信号光と参照光とに分割し、信号光路を介して被測定物体を経由した前記信号光と参照光路を経由した参照光とを重畳させて干渉光を生成し、前記生成された干渉光を検出して検出信号を生成する光学系と、前記生成された検出信号に基づいて前記被測定物体の画像を形成する画像形成手段と、を有する光画像計測装置であって、前記光学系は、前記光源から出力された光を導光する第１の光ファイバと、前記導光された光を信号光と参照光とに分割する第１のファイバカプラと、第２のファイバカプラとを含むとともに、前記信号光路として、前記第１のファイバカプラに一端が接続され、前記信号光を前記被測定物体に向けて導光するとともに前記被測定物体を経由した信号光を前記第１のファイバカプラに導光する第２の光ファイバと、前記第２の光ファイバにより前記第１のファイバカプラに導光された信号光を前記第２のファイバカプラに導光する第３の光ファイバとを含み、前記参照光路として、前記第１のファイバカプラに一端が接続され、前記参照光を導光する第４の光ファイバと、前記第４の光ファイバの他端から出射された参照光を複数回反射させる反射手段と、前記反射手段を経由した参照光を前記第２のファイバカプラに導光する第５の光ファイバと、前記第４の光ファイバと前記第５の光ファイバとの間の光路上に設けられ、前記参照光の分散特性を調整する分散調整手段及び／又は前記参照光の偏光状態を調整する偏光調整手段とを含み、前記第２のファイバカプラは、前記第３の光ファイバにより導光された信号光と前記第５の光ファイバにより導光された参照光とを重畳させて干渉光を生成する、ことを特徴とする。

Claims (7)

1. 光源と、
   前記光源から出力された光を信号光と参照光とに分割し、信号光路を介して被測定物体を経由した前記信号光と参照光路を経由した参照光とを重畳させて干渉光を生成し、前記生成された干渉光を検出して検出信号を生成する光学系と、
   前記生成された検出信号に基づいて前記被測定物体の画像を形成する画像形成手段と、
   を有する光画像計測装置であって、
   前記光学系は、
   前記光源から出力された光を導光する第１の光ファイバと、前記導光された光を信号光と参照光とに分割する第１のファイバカプラと、第２のファイバカプラとを含むとともに、
   前記信号光路として、前記第１のファイバカプラに一端が接続され、前記信号光を前記被測定物体に向けて導光するとともに前記被測定物体を経由した信号光を前記第１のファイバカプラに導光する第２の光ファイバと、前記第２の光ファイバにより前記第１のファイバカプラに導光された信号光を前記第２のファイバカプラに導光する第３の光ファイバとを含み、
   前記参照光路として、前記第１のファイバカプラに一端が接続され、前記参照光を導光する第４の光ファイバと、前記第４の光ファイバの他端から出射された参照光を複数回反射させる反射手段と、前記反射手段を経由した参照光を前記第２のファイバカプラに導光する第５の光ファイバと、前記第４の光ファイバと前記第５の光ファイバとの間の光路上に設けられ、前記参照光の分散特性を調整する分散調整手段及び／又は前記参照光の偏光状態を調整する偏光調整手段とを含み、
   前記第２のファイバカプラは、前記第３の光ファイバにより導光された信号光と前記第５の光ファイバにより導光された参照光とを重畳させて干渉光を生成する、
   ことを特徴とする光画像計測装置。
2. 前記反射手段は、前記参照光を偶数回反射させる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光画像計測装置。
3. 前記反射手段は、前記参照光を分割するビームスプリッタと、該分割された一方の参照光を複数回反射させて前記ビームスプリッタに導く第１の反射部材と、他方の参照光を複数回反射させて前記ビームスプリッタに導く第２の反射部材とを含み、
   前記第１の反射部材及び前記第２の反射部材は、前記一方の参照光の光路長と前記他方の参照光の光路長とが異なるように前記ビームスプリッタに対して配置され、
   前記第５の光ファイバは、前記第１の反射部材を経由した前記一方の参照光及び／又は前記第２の反射部材を経由した前記他方の参照光を前記第２のファイバカプラに導光し、
   前記画像形成手段は、前記一方の参照光と前記信号光との干渉光の検出信号に基づいて前記被測定物体の第１の深度の画像を形成し、前記他方の参照光と前記信号光との干渉光の検出信号に基づいて前記被測定物体の第２の深度の画像を形成する、
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光画像計測装置。
4. 前記光学系は、前記反射手段を移動させて前記参照光路の光路長を変更する変更手段を含む、
   ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の光画像計測装置。
5. 前記分散調整手段は、一対のプリズムと、前記一対のプリズムを相対的に移動させる移動手段とを含む、
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の光画像計測装置。
6. 前記偏光調整手段は、円偏光若しくは楕円偏光を直線偏光に又は直線偏光を円偏光若しくは楕円偏光にそれぞれ変換する２つの１／４波長板と、前記２つの１／４波長板の間に配置され、前記参照光の偏光面の向きを変更する１／２波長板と、前記１／２波長板を回転させる回転手段とを含む、
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の光画像計測装置。
7. 前記偏光調整手段は、前記参照光の偏光状態を直線偏光に変換する偏光板と、直線偏光に変換された前記参照光を円偏光に変換する１／４波長板と、前記偏光板を回転させる回転手段とを含む、
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の光画像計測装置。