JP2015232562A5

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Publication number: JP2015232562A5
Application number: JP2015116525A
Authority: JP
Filing date: 2015-06-09
Publication date: 2018-07-19
Anticipated expiration: 2035-06-09

Description

有利には、光源から放出された照射光線束は、入射平面に対して対称的または反対称的な鏡面対称性を有する直線偏光を備える。

光源から放出された照射光線束Ｂは、入射平面Ｅに対して対称的または反対称的な鏡面対称性を有する直線偏光を備える；好ましくは、この場合には照射光線束Ｂはｓ偏光またはｐ偏光されている。すなわち、対応したいわゆる「ジョーンズベクトル」（数１）

は、

もしくは

である。偏光を考慮して直線的な光学結像を記述するための既知のジョーンズ計算法に関しては、インターネット百科事典ＷＩＫＩＰＥＤＩＡの項目「ジョーンズ計算法」を参照されたい。

Claims

少なくとも１つの測定方向に沿って互いに相対的に移動可能に配置された第１基準器および第２基準器の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、
分割用回折格子では、光源から放出された照射光線束が少なくとも２つの部分光線束に分割され、部分光線束が、走査走路を通過する場合に様々な偏光光学作用を受け、様々に偏光された部分光線束が結合用回折格子において再結合された後に、生じた信号光線束から、位相をずらされ、ずれに依存した複数の走査信号を生成することができ、部分光線束の走査光路には、分割用回折格子と結合用回折格子との間に偏光光学構成素子が設けられていない光学式位置測定装置において、
部分光線束に様々な偏光光学作用をもたらすために、
円錐状に入射する照射光線束が分割用回折格子に入射し、入射する照射光線束が測定方向に対して垂直方向の入射平面を０°とは異なる角度で通過し、入射平面が、分割用回折格子に対する格子垂線と、照射光線束の入射方向との間に延在し、
部分光線束の走査光路が、入射平面に対して鏡面対称的に形成されていることを特徴とする光学式位置測定装置。
請求項１に記載の光学式位置測定装置において、
前記光源から放出された前記照射光線束が、入射平面に対して対称的または反対称的な鏡面対称性を有する直線偏光を備える光学式位置測定装置。
請求項２に記載の光学式位置測定装置において、
前記部分光線束の前記走査光路には、分割用回折格子と結合用回折格子との間にそれぞれ１つ以上の回折格子が配置されており、該回折格子が、
前記部分光線束のための前記入射平面に対する鏡面対称性が保持され、
垂直方向および平行に偏光された前記部分光線束（ＴＳ１，ＴＳ２）の偏光クロストークが可能となるように構成されている光学式位置測定装置。
請求項３に記載の光学式位置測定装置において、
再結合位置における前記部分光線束が、逆向きの円偏光を備えている光学式位置測定装置。
請求項３に記載の光学式位置測定装置において、
再結合位置における前記部分光線束が、互いに直交する楕円偏光を備えている光学式位置測定装置。
請求項３に記載の光学式位置測定装置において、
再結合位置における前記部分光線束が、対応するジョーンズベクトルのベクトル積が値２／３を超えないように偏光される光学式位置測定装置。
請求項１から６までのいずれか一項いずれか一項に記載の光学式位置測定装置において、
第１基準器が、測定方向に延在する第１反射型回折格子または透過型回折格子を含み、該第１反射型回折格子または透過型回折格子が、前記照射光線束のための分割用回折格子として作用する光学式位置測定装置。
請求項７に記載の光学式位置測定装置において、
前記第１基準器が、前記測定方向に延在する第２反射型回折格子または透過型回折格子を含み、該第２反射型回折格子または透過型回折格子が、前記部分光線束のための結合用回折格子として作用する光学式位置測定装置。
請求項７または８に記載の光学式位置測定装置において、
第２基準器が透明なプレートを含み、該プレート内にそれぞれの前記分割光線束のために、レンズおよびリフレクタを有する回折性レトロリフレクタまたは回折性屋根形プリズムが形成されている光学式位置測定装置。
請求項９に記載の光学式位置測定装置において、
前記透明なプレートの、前記第１基準器に向いた第１面に、少なくとも１つの透過型回折格子の形式のレンズが形成されており、
前記透明なプレートの、前記第１基準器に向いていない第２面に、少なくとも１つの反射層の形式のリフレクタが形成されており、反射層の反射面は前記透明なプレートの第１面の方向に向けられている光学式位置測定装置。
請求項９に記載の光学式位置測定装置において、
第１基準器および第２基準器の構成要素が次のように形成および配置されている：
前記光源から入射した照射光線束が第１基準器の第１反射型回折格子で２つの部分光線束（ＴＳ１，ＴＳ２）に分割され、次いで部分光線束が第２基準器の方向に伝播し、
前記部分光線束が、前記第２基準器の透明なプレートにおいてそれぞれ回折性レトロリフレクタまたは屋根型リフレクタを通過し、次いで測定方向に対して垂直方向に変位され、再び前記第１基準器の方向に伝播し、
前記部分光線束が、前記第１基準器の第２反射型回折格子の結合位置で重畳され、重畳された一対の前記部分光線束を有する信号光線束が再び前記第２基準器の方向に伝播するように形成および配置されている光学式位置測定装置。
請求項１１に記載の光学式位置測定装置において、
２つの基準器に対して不動の走査ユニットに、偏向ミラー、回折格子、レンズ、および複数の偏光器が配置されており、前記走査ユニットが１つ以上の光ファイバを介して光源および複数の検出素子に結合されている光学式位置測定装置。
請求項１１に記載の光学式位置測定装置において、
２つの基準器に対して不動の走査ユニットに、光源、偏向ミラー、回折格子、レンズ、複数の偏光器、および複数の検出素子が配置されている光学式位置測定装置。
請求項１から１３までのいずれか一項に記載の光学式位置測定装置において、
２つの基準器のそれぞれが、少なくとも１つの測定方向に沿って移動可能に配置されている光学式位置測定装置。