JP6072267B2 - 軸外アライメントシステム及びアライメント方法 - Google Patents
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Description
前記照射モジュールは、光源、多重波長入射光ファイバー及びビームスプリッターを備え、
前記検出モジュールは、レンズ群、偏光手段、検出光ファイバー及び光電検出器を順に備え、
前記干渉モジュールは、
四つの側面を有する偏光ビームスプリッターと、
前記偏光ビームスプリッターの第1の側に対して逆側の当該偏光ビームスプリッターの第2の側に順に配置された第1の1/4波長板及び第1の反射体と、
前記偏光ビームスプリッターの第3の側に順に配置された第2の1/4波長板及びキューブコーナープリズムと、
前記偏光ビームスプリッターの第3の側に対して逆側の当該偏光ビームスプリッターの第4の側に順に配置された第3の1/4波長板、第2の反射体及びレンズと、
を備え、
前記照射モジュール及び前記検出モジュールは、前記偏光ビームスプリッターの第1の側に配置され、
前記第2の反射体は、前記レンズの後焦点面に配置され、
前記キューブコーナープリズムの底面中央は、前記レンズの光軸上に位置する。
前記光源からレーザービームを照射し、前記ビームスプリッターを用いて前記レーザービームを複数の波長を有し、複数の次数の照射ビームに分け、各々の照射ビームが第1のサブビーム及び第2のサブビームに分けられるように前記偏光ビームスプリッターに前記照射ビームを導き、前記第1のサブビーム及び前記第2のサブビームが前記レンズの光軸に対して対称となるように前記第1のサブビーム及び前記第2のサブビームが夫々、前記第1の反射体及び前記キューブコーナープリズムで反射し、先ず対称な第1のサブビーム及び第2のサブビームが等しい入射角度でアライメントマークに入射し、前記アライメントマークによって回折されるように、前記対称な第1のサブビーム及び第2のサブビームが前記レンズを通過し、
前記回折したサブビームが前記レンズを通過し、前記回折したサブビームが前記レンズの後焦点面に配置された前記第2の反射体で反射し、次に反射したサブビームが前記アライメントマークによって回折するように、回折して反射したサブビームを前記アライメントマークに導き、
再回折したサブビームを前記レンズで集め、前記再回折したビームが前記偏光ビームスプリッター、前記キューブコーナープリズム及び第1の反射体を通過し、前記再回折したビームが相互に干渉信号を生成するために前記偏光ビームスプリッターの界面の等しい位置で重ね合わされ、
前記干渉信号が前記光電検出器に向かって前記レンズ群及び前記偏光手段を通過し、前記光電検出器が前記干渉信号の位相変化に基づいてアライメントマークの位置を検出する。
1)入射ビームがアライメントマークで二回回折したとき、再回折ビームの方向が入射ビームに対して正確な逆方向であり、アライメント結果がアライメントマークの傾き及び/又は焦点ぼけの影響を受けない。
2)キューブコーナープリズムを用いることで、入射ビームを対称に反射させて180°回転させることができ、それ故に、高い空間コヒーレンス照射ビームを使用しなくてもよい。
3)単一光路設計及び複雑な光学系(光学くさびのような)を用いることなく、本願発明のシステムは小型で、操作又は他の装置への統合が容易である。
実施形態1
図1は、本願発明に係る軸外アライメントシステムを概略的に示す。軸外アライメントシステムは、光ビームの光路に沿って順に、照射モジュール10、干渉モジュール20及び検出モジュール30を備える。照射モジュール10及び検出モジュール30は、干渉モジュール20の等しい側に配置されている。照射モジュール10は、光源(不図示)、多重波長入射光ファイバー11及びビームスプリッター12を備える。好ましくは、光源は、十分な輝度及び指向性を得ることができるレーザーのようなものを備える。実施形態1において、光源は、単一周波数を有する直線偏光ビームを供給するための単一周波数レーザーである。好ましくは、照射モジュール10は、また、シャッター(不図示)、光アイソレーター(不図示)及び位相変調器(不図示)を備える。シャッターは、必要なときに照射ビームを遮る構成とされ;光アイソレーターは、光ビームを一方向のみに進めることを許容するために、光ビームの伝送を規定する構成とされ;位相変調器は、不要な光ビームと信号光との間の干渉を良好に抑制するためにビーム位相変調を実行する構成とされ、それにより、干渉縞間のコントラストを最小化し、対雑音比の高い信号を確保する。好ましくは、ビームスプリッター12は、回折格子ビームスプリッター、光ファイバービームスプリッター、又は平面光波回路スプリッターである。干渉モジュール20は、偏光ビームスプリッター21を備える。照射モジュール10及び検出モジュール30が配置された偏光ビームスプリッター21の側に対して逆側の偏光ビームスプリッター21の一方の側には、第1の1/4波長板22及び第1の反射体23が順に配置されている。加えて、偏光ビームスプリッター21の二つの側に夫々、第2の1/4波長板24及びキューブコーナープリズム25が順に配置され、第3の1/4波長板26、第2の反射体27及びレンズ28が順に配置されている。第2の反射体27は、レンズ28の後焦点面に位置し、アライメントマーク40は、レンズ28の他方の側に配置されている。キューブコーナープリズム25の底面中央は、レンズ28の光軸上に位置する。検出モジュール30は、レンズ群31、偏光手段32、検出光ファイバー33及び光電検出器34を順に備える。好ましくは、偏光手段32は、二色性偏光子、多層コーティングベースの通常の偏光ビームスプリッター及び複屈折ビームスプリッターの一つである。例として、偏光手段32は、サバール板や三次元ウォラストンプリズムなどを備えることができる。照射モジュール10から出射する光ビームは、干渉モジュール20で二回回折され、それにより、アライメントマーク40の位置に関する指標を含む干渉信号を形成する。その後、干渉信号は、検出モジュール30に入射し、そして、検出モジュール30は、干渉信号の位相変化に基づいてアライメントマーク40の位置を示す情報を検出する。
本実施形態は、光源として二重周波数レーザー及びビームスプリッター52としてレーザー周波数分周器を用いる点で実施形態1と異なる。好ましくは、レーザー周波数分周器は、電気光学変調器又は音響光学変調器である。
Claims (9)
- 光ビームの光路に沿って順に、照射モジュール、干渉モジュール及び検出モジュールを備える軸外アライメントシステムであって、
前記照射モジュールは、光源、多重波長入射光ファイバー及びビームスプリッターを備え、
前記検出モジュールは、レンズ群、偏光手段、検出光ファイバー及び光電検出器を順に備え、
前記干渉モジュールは、
四つの側面を有する偏光ビームスプリッターと、
前記偏光ビームスプリッターの第1の側に対して逆側の当該偏光ビームスプリッターの第2の側に順に配置された第1の1/4波長板及び第1の反射体と、
前記偏光ビームスプリッターの第3の側に順に配置された第2の1/4波長板及びキューブコーナープリズムと、
前記偏光ビームスプリッターの第3の側に対して逆側の当該偏光ビームスプリッターの第4の側に順に配置された第3の1/4波長板、第2の反射体及びレンズと、
を備え、
前記照射モジュール及び前記検出モジュールは、前記偏光ビームスプリッターの第1の側に配置され、
前記第2の反射体は、前記レンズの後焦点面に配置され、
前記キューブコーナープリズムの底面中央は、前記レンズの光軸上に位置する、軸外アライメントシステム。 - 前記照射モジュールは、シャッター、光アイソレーター及び位相変調器を備える、請求項1に記載の軸外アライメントシステム。
- 前記光源はレーザーである、請求項1に記載の軸外アライメントシステム。
- 前記光源は、少なくとも四つの異なる波長を備え、そのうち二つは赤外線スペクトルである光を供給する、請求項3に記載の軸外アライメントシステム。
- 前記光源は、単一周波数レーザーであり、
前記ビームスプリッターは、回折格子ビームスプリッター、光ファイバービームスプリッター及び平面光波回路スプリッターから成るグループから一つ選ばれる、請求項3に記載の軸外アライメントシステム。 - 前記光源は、二重周波数レーザーであり、
前記ビームスプリッターは、レーザー周波数分周器である、請求項3に記載の軸外アライメントシステム。 - 前記レーザー周波数分周器は、電気光学変調器又は音響光学変調器である、請求項6に記載の軸外アライメントシステム。
- 前記偏光手段は、二色性偏光子、多層コーティングベースの通常の偏光ビームスプリッター及び複屈折ビームスプリッターから成るグループから一つ選ばれる、請求項1に記載の軸外アライメントシステム。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の軸外アライメントシステムを用いる軸外アライメント方法であって、
前記光源からレーザービームを照射し、前記多重波長入射光ファイバー及び前記ビームスプリッターを用いて前記レーザービームを波長が異なる複数の照射ビームに分け、各々の照射ビームが第1のサブビーム及び第2のサブビームに分けられるように前記偏光ビームスプリッターに前記照射ビームを導き、前記第1のサブビーム及び前記第2のサブビームが前記レンズの光軸に対して対称となるように前記第1のサブビーム及び前記第2のサブビームが夫々、前記第1の反射体及び前記キューブコーナープリズムで反射し、先ず対称な第1のサブビーム及び第2のサブビームが等しい入射角度でアライメントマークに入射し、前記アライメントマークによって回折されるように、前記対称な第1のサブビーム及び第2のサブビームが前記レンズを通過し、
前記回折したサブビームが前記レンズを通過し、前記回折したサブビームが前記レンズの後焦点面に配置された前記第2の反射体で反射し、次に反射したサブビームが前記アライメントマークによって回折するように、回折して反射したサブビームを前記アライメントマークに導き、
再回折したサブビームを前記レンズで集め、前記再回折した第1のサブビームが前記偏光ビームスプリッター及び前記キューブコーナープリズムを通過し、前記再回折した第2のサブビームが前記偏光ビームスプリッター及び第1の反射体を通過し、前記再回折した第1のサブビーム及び第2のサブビームが前記レンズ群及び前記変更手段を通過した時点で相互に干渉信号を生成するために前記偏光ビームスプリッターの界面の等しい位置で重ね合わされ、
前記干渉信号が前記光電検出器に向かって前記レンズ群及び前記偏光手段を通過し、前記光電検出器が前記干渉信号の位相変化に基づいてアライメントマークの位置を検出する、軸外アライメント方法。
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