CN114755838B - 光学对准系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及光学成像技术领域，尤其是涉及一种光学对准系统。光学对准系统包括对准样品、照明模块、物镜模块、低倍成像模块和高倍成像模块；对准样品设置有对准标记，照明模块能够以离轴照明模式对对准样品提供不同波段的照明光束，对准样品的成像光束经过物镜模块后分别进入低倍成像模块和高倍成像模块，通过低倍成像模块和高倍成像模块分别对对准标记进行图像采集。根据不同材料的对准样品对不同波段的光的反射情况，选择适宜波段的照明光束，进而使光学对准系统具有更好地材料选择适应性。同时，通过离轴照明能够使更多的衍射光束参与到对准标记的成像中来，从而提高成像分辨率和聚焦深度。

Description

光学对准系统

技术领域

本申请涉及光学成像技术领域，尤其是涉及一种光学对准系统。

背景技术

随着集成电路的制造设备向高精度、高产率方向的不断发展，对集成电路的制造设备的制造集成精度和工艺适应性等方面提出了更高的要求，尤其是制造设备的光学对准系统；光学对准系统是实现精密设备运行位置准确、重复加工制造误差小的核心系统。

传统地光学对准系统主要是基于图像识别、光电传感器探测等方式实现，但现有的光学对准系统装调制造难度较大，像差控制严格且难以满足多种材料及工艺下的对准需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种加工制造难度小且兼具良好的工艺适应性的光学对准系统。

本发明提供了一种光学对准系统，包括对准样品、照明模块、物镜模块、低倍成像模块和高倍成像模块；所述对准样品设置有对准标记；所述照明模块能够以离轴照明模式对所述对准样品提供不同波段的照明光束；所述对准标记的成像光束经由所述物镜模块后一部分进入到所述低倍成像模块，另一部分进入到所述高倍成像模块，以通过所述低倍成像模块和所述高倍成像模块对所述对准标记进行图像采集。

进一步地，所述照明模块包括由远离所述对准样品至靠近所述对准样品沿光轴顺序设置的第一LED光源、第一准直透镜、第一聚焦透镜、照明模式切换装置、第二准直透镜、偏振片、偏振棱镜、四分之一波片和第二聚焦透镜；其中，所述照明模式切换装置设置于所述第一聚焦透镜的出射光瞳处，所述照明模式切换装置用于对所述照明模块的多种离轴照明模式进行切换；所述偏振片用于将照明光束转换为S偏振光并出射至所述偏振棱镜；所述偏振棱镜为S偏振光全反、P偏振光全透的偏振选择型的透反偏振棱镜，所述偏振棱镜用于将所述偏振片出射的S偏振光反射至所述四分之一波片；所述四分之一波片能够将所述偏振棱镜反射的S偏振光转换为圆偏振光并经由所述第二聚焦透镜照射于所述对准样品上。

进一步地，所述第一LED光源为具有预定波长范围的宽光谱照明光源；所述照明模块还包括设置于所述第一准直透镜和所述第一聚焦透镜之间的滤光片切换装置，所述滤光片切换装置包括第一转轮和多个具有不同通光波段的滤光片；所述第一转轮转动设置，且所述第一转轮的转动轴线与经过所述第一转轮的光轴相平行；所述第一转轮上沿其周向间隔地设置有多个第一安装孔，多个所述第一安装孔内一一对应地安装有多个所述滤光片，所述第一转轮的转动能够使多个所述滤光片依次转动至所述光轴处。

进一步地，所述照明模块还包括设置于所述第一准直透镜和所述滤光片切换装置之间的衰减片切换装置；所述衰减片切换装置包括第二转轮和多个具有不同衰减率的衰减片；所述第二转轮转动设置，且所述第二转轮的转动轴线与经过所述第二转轮的光轴相平行；所述第二转轮上沿其周向间隔地设置有多个第二安装孔，多个所述第二安装孔内一一对应地安装有多个所述衰减片，所述第二转轮的转动能够使多个所述衰减片依次转动至所述光轴处。

进一步地，所述照明模块为柯勒照明模块。

进一步地，所述物镜模块包括与所述照明模块共用的所述第二聚焦透镜、所述四分之一波片和所述偏振棱镜；所述成像光束先后经由所述第二聚焦透镜、所述四分之一波片和所述偏振棱镜后出射至所述低倍成像模块和所述高倍成像模块；其中，所述第二聚焦透镜用作所述物镜模块的准直透镜；所述四分之一波片能够将所述成像光束由圆偏振光转换为能够透过所述偏振棱镜的P偏振光。

进一步地，所述照明模块和所述物镜模块还包括共用的第一透镜组，所述第一透镜组设置于所述四分之一波片和所述第二聚焦透镜之间。

进一步地，所述照明模块和所述物镜模块还包括共用的第一反射棱镜；所述第一反射棱镜设置于所述第一透镜组和所述第二聚焦透镜之间。

进一步地，所述物镜模块还包括第一分光棱镜，所述偏振棱镜出射的成像光束传播至所述第一分光棱镜，且所述对准标记的成像光束的一部分能够经由所述第一分光棱镜被反射至所述低倍成像模块，另一部分能够透过所述第一分光棱镜并传播至所述高倍成像模块。

进一步地，所述物镜模块还包括第二透镜组，所述第二透镜组设置于所述偏振棱镜和所述第一分光棱镜之间。

进一步地，所述低倍成像模块包括面阵相机；进入所述低倍成像模块的对准标记的成像光束能够经由所述第一分光棱镜传递至所述面阵相机。

进一步地，所述高倍成像模块包括第二分光棱镜、第三透镜组、第四透镜组、X方向线阵相机和Y方向线阵相机；所述对准标记的成像光束能够经由所述第一分光棱镜传递至所述第二分光棱镜；所述对准标记的成像光束的一部分经由所述第二分光棱镜被反射至所述第三透镜组，并经所述第三透镜汇聚至所述X方向线阵相机；所述对准标记的成像光束的另一部分透过所述第二分光棱镜后传播至所述第四透镜组，并经由所述第四透镜组汇聚至所述Y方向线阵相机。

进一步地，所述光学对准系统还包括参考标记模块；所述参考标记模块包括沿光轴顺序设置的第二LED光源、第三准直透镜、散射片和设置有参考标记的参考样品；所述参考标记为设置于所述参考样品上的多个沿X向延伸的线条和多个沿Y向延伸的线条；所述第二LED光源的光线经所述第三准直透镜和所述散射片后照射至所述参考样品上；所述参考标记的成像光束能够传播至所述第一分光棱镜，且所述参考标记的成像光束的一部分能够透过所述第一分光棱镜并传播至所述低倍成像模块，另一部分能够被所述第一分光棱镜反射至所述高倍成像模块。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

本发明提供的光学对准系统包括对准样品、照明模块、物镜模块、低倍成像模块和高倍成像模块；对准样品为设置有预定的对准标记的平面样品，比如对准样品为设置有对准标记的硅片或碳化硅片等。照明模块用于向对准样品上的对准标记提供照明光束，然后对准样品的成像光束经过物镜模块后能够一部分进入低倍成像模块，另一部分进入高倍成像模块，以通过低倍成像模块和高倍成像模块分别对对准标记进行图像采集。

其中，照明模块为多波段宽光谱照明模块，以使照明模块能够提供不同波段的照明光束，从而可根据不同材料的对准样品对不同波段的光的反射情况，选择适宜波段的照明光束，进而使光学对准系统具有更好地材料选择适应性。同时，照明模块能够以离轴照明模式向对准样品提供照明，以能够使更多的高阶衍射光束参与到对准标记的成像中来，从而提高成像分辨率和聚焦深度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的光学对准系统的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的照明模式切换装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的滤光片切换装置的结构示意图。

附图标记：

1-第一LED光源，2-第一准直透镜，3-衰减片切换装置，4-滤光片切换装置，5-第一聚焦透镜，6-照明模式切换装置，7-第二准直透镜，8-偏振片，9-偏振棱镜，10-四分之一波片，11-第一透镜组，12-第一反射棱镜，13-第二聚焦透镜，14-对准样品，15-第二透镜组，16-第一分光棱镜，17-面阵相机，18-参考样品，19-散射片，20-第三准直透镜，21-第二LED光源，22-第二分光棱镜，23-第三透镜组，24-X方向线阵相机，25-第四透镜组，26-Y方向线阵相机。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和显示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。

基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参照图1至图3描述根据本申请一些实施例所述的光学对准系统。

本申请提供了一种光学对准系统，如图1所示，光学对准系统包括对准样品14、照明模块、物镜模块、低倍成像模块和高倍成像模块；对准样品14为设置有预定的对准标记的平面样品，比如对准样品14为设置有对准标记的硅片或碳化硅片等。照明模块用于向对准样品14上的对准标记提供照明光束，然后对准样品14的成像光束经过物镜模块后能够一部分进入低倍成像模块，另一部分进入高倍成像模块，以通过低倍成像模块和高倍成像模块分别对对准标记进行图像采集。

其中，照明模块为多波段宽光谱照明模块，以使照明模块能够提供不同波段的照明光束，从而可根据不同材料的对准样品14对不同波段的光的反射情况，选择适宜波段的照明光束，进而使光学对准系统具有更好地材料选择适应性。同时，照明模块能够以离轴照明模式向对准样品14提供照明，以能够使更多的高阶衍射光束参与到对准标记的成像中来，从而提高成像分辨率和聚焦深度。

在本申请的一个实施例中，优选地，照明模块包括沿沿光轴顺序设置的第一LED光源1、第一准直透镜2、衰减片切换装置3、滤光片切换装置4、第一聚焦透镜5、照明模式切换装置6、第二准直透镜7、偏振片8、偏振棱镜9、四分之一波片10和第二聚焦透镜13。

第一LED光源1为具有预定波长范围的宽光谱照明光源；比如，第一LED光源1能够发出一束500nm-800nm波长的照明光束，第一LED光源1发出的照明光束能够依次经过第一准直透镜2、衰减片切换装置3、滤光片切换装置4、第一聚焦透镜5、照明模式切换装置6、第二准直透镜7、偏振片8、偏振棱镜9、四分之一波片10和第二聚焦透镜13后照射在对准样品14上。

第一准直透镜2用于对第一LED光源1发出的照明光束进行光线准直，使照明光束平行传播至衰减片切换装置3、滤光片切换装置4和第一聚焦透镜5。

衰减片切换装置3包括第二转轮和多个具有不同衰减率的衰减片，第二转轮转动设置，且第二转轮的旋转轴线与经过第二转轮的光轴相平行；第二转轮上环绕第二转轮的旋转轴线间隔地设置有多个第二安装孔，多个第二安装孔与多个衰减片一一对应，多个衰减片分别安装于对应的第二安装孔内。随着第二转轮的转动，多个衰减片能够依次地转动至光轴处，以使第一准直透镜2出射的照明光线能够经过光轴处的衰减片照射在所述滤光片切换装置4上。

如图3所示，滤光片切换装置4包括第一转轮和多个具有不同通光波段的滤光片，第一转轮转动设置，且第一转轮的旋转轴线与经过第一转轮光轴相平行；第一转轮上环绕第一转轮的旋转轴线间隔地设置有多个第一安装孔，多个第一安装孔与多个滤光片一一对应，多个滤光片分别安装于对应的第一安装孔内。随着第一转轮的转动，多个滤光片能够依次地转动至光轴处，从而使预定波段的照明光束能够经过光轴处的滤光片后照射在第一聚焦透镜5上；进而在实际使用过程中，可根据对准样品的材料，将具有适宜通光波段的滤光片转动至光轴处，以选择适宜波段的照明光束对对准样品14进行照明。

经过滤光切换装置的照明光束照射在第一聚焦透镜5上，照明模式切换装置6设置于第一聚焦透镜5和第二准直透镜7之间，且照明模式切换装置6设置于第一聚焦透镜5的出射光瞳处，以通过照明模式切换装置6切换离轴照明模式，使得照明模块能够以多种离轴照明模式对对准样品14提供照明。

优选地，如图2所示，照明模式切换装置6包括第三转轮和多个不同种类的照明模式切换片，第三转轮转动设置，第三转轮的旋转轴线与经过第三转轮的光轴相平行，第三转轮上开设有多个第三安装孔，多个第三安装孔与多个照明模式切换片一一对应，多个照明模式切换片分别安装于对应的第三安装孔内，且随着第三转轮的转动，能够分别将多个照明模式切换片转动至光轴处以供照明光线穿过，并实现对照明光线的离轴照明模式的切换。

照明光束经过第二准直透镜7形成准直光束后继续向后传播至偏振片8、偏振棱镜9和四分之一波片10，最后经过第二聚焦透镜13照射在对准样品14上；其中照明光束能够在偏振片8的作用下转换为S偏振光，偏振棱镜9为S偏振光全反、P偏振光全透的偏振选择型的透反棱镜，使得偏振片8出射的S偏振光能够被偏振棱镜9反射至四分之一波片10，然后在四分之一波片10的作用下偏振状态更改为圆偏振光并照射在第二聚焦透镜13上，以通过第二聚焦透镜13将照明光束汇聚于对准样品14上，从而使对准样品14上的对准标记处于一个均匀的照明视场条件下，并且避免了照明光强的偏振特性对成像质量产生影响。

优选地，四分之一波片10和第二聚焦透镜13之间设置有第一透镜组11，第一透镜组11由多种不同材料的透镜胶合而成，以进一步提高照明均匀性，消除色差。

优选地，第一透镜组11和第二聚焦透镜13之间设置有第一反射棱镜12，第一透镜组11出射的照明光线经过第一反射棱镜12的反射后照射在第二聚焦透镜13上，以在一定程度上减小光学对准系统的尺寸。

在该实施例中，优选地，照明模块为柯勒照明模块，以使照明模块对对准标记提供的照明具有更高的照明均匀性。

在本申请的一个实施例中，优选地，物镜模块沿光轴包括与照明模块共用的以下光学元件：第二聚焦透镜13、第一反射棱镜12、第一透镜组11、四分之一波片10和偏振棱镜9，对准标记的成像光束能够依次经过第二聚焦透镜13、第一反射棱镜12、第一透镜组11、四分之一波片10和偏振棱镜9后到达后续的低倍成像系统和高倍成像系统。

其中，第二聚焦透镜13在照明模块中用作聚焦透镜，而在物镜模块中第二聚焦透镜13则可被用作成像透镜，成像光束能够经第二聚焦透镜13准直后传播至反射棱镜处，同时，第二聚焦透镜13、第一反射棱镜12和第一透镜组11能够消除对准标记所成的像的色差、场曲和畸变等。

照明光束能够在四分之一波片10的作用下由S偏振光转换为圆偏振光并以圆偏振光照射在对准样品14上；而对准标记的成像光束则能够在四分之一波片10的作用下由圆偏振光转换为P偏振光，以使成像光束能够透过偏光棱镜而向后传播至低倍成像系统和高倍成像系统，并避免了能量的损失。

在该实施例中，优选地，物镜模块还包括第二透镜组15，第二透镜组15设置于偏振棱镜9的后方，偏振棱镜9出射的成像光束经过第二透镜组15向后传播至低倍成像系统和高倍成像系统。第二透镜组15由多块不同材质的透镜胶合而成，通过第二透镜组15能够对对准标记所成的像进行倍率以及像散场曲的调节。

在该实施例中，优选地，物镜模块还包括分光棱镜16，分光棱镜16设置于第二透镜组15的后方，第二透镜组15的出射光束能够传播至第一分光棱镜16处；通过第一分光棱镜16，对准标记的成像光束的一部分被反射至低倍成像模块处，另一部分则透过分光棱镜16并传播至高倍成像模块处。

在本申请的一个实施例中，优选地，低倍成像系统包括面阵相机17，高倍成像系统包括第二分光棱镜22、第三透镜组23、第四透镜组25、X方向线阵相机24和Y方向线阵相机26。

对准标记的成像光束经过第一分光棱镜16后，一部分被第一分光棱镜16反射至低倍成像系统的面阵相机17之上，以通过面阵相机17对对准标记所成的像进行图像采集。

成像光束的另一部分则会透过第一分光棱镜16向后传播至高倍成像系统的第二分光棱镜22，到达第二分光棱镜22的成像光束的一部分被反射至第三透镜组23，经由第三透镜组23消除像差、增大倍率后汇聚至X方向线阵相机24处，以通过X方向线阵相机24对对准标记所成的像的沿X方向的单向线条进行图像采集；到达第二分光棱镜22的成像光束的另一部分则会穿过第二分光棱镜22到达第四透镜组25，并经由第四透镜组25消除像差、增大倍率后汇聚至Y方向线阵相机26处，以通过Y向线阵相机26对对准标记所成的像的沿Y方向的单向线条进行图像采集。

因此，面阵相机17和两个线阵相机均能够探测到对准标记所成的像，通过低倍成像模块对对准标记实现粗对准，通过高倍成像模块对对准标记实现精对准，两种对准模式交叉应用，能够使光学对准系统具有较大的捕获视场，同时也具有较高的对准精度；同时，低倍成像模块采用面阵相机17，高倍成像模块采用线阵相机，在保证对准标记进入高倍视场范围的条件下，极大程度地提高了对准效率。

在本申请的一个实施例中，优选地，光学对准系统还包括参考标记模块；参考标记模块包括沿光轴顺序设置的第二LED光源21、第三准直透镜20、散射片19和设置有参考标记的参考样品18。

参考样品18为一平板玻璃，平板玻璃上镀有金属铬进行挡光，同时设置有多个沿X向延伸的线条阵列或多个沿Y向延伸的线条，以形成可供光路穿过的参考标记。第二LED光源21提供的照明光束能够先传播至第三准直透镜20，经第三准直透镜20对光线进行准直后继续向后传播至散射片19和参考样品处；然后参考标记的成像光束传播至物镜模块的第一分光棱镜16处。在分光棱镜16处，参考标记的成像光束一部分透过分光棱镜16进入低倍成像模块，并与进入低倍成像模块的对准标记的成像光束合并后继续向后传播；参考标记的成像光束的另一部分则被第一分光棱镜16反射至高倍成像模块，并与进入高倍成像模块的对准标记的成像光束合并后继续向后传播。通过设置参考标记模块，在低倍成像模块中，能够将面阵相机17采集计算到的对准标记的位置信息过滤掉光学对准系统自身的振动信息，以避免整个光学对准系统内照明成像光路振动对成像质量产生的影响，获取较高质量的对准效果；在高倍成像模块中，在低倍成像成像模块的基础上成像倍率被进一步放大，高倍率的对准标记和参考标记成像在X方向线阵相机24和Y方向线阵相机26中，以获得更加准确的测量读数结果。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (7)

1.一种光学对准系统，其特征在于，包括对准样品、照明模块、物镜模块、低倍成像模块和高倍成像模块；

所述对准样品设置有对准标记；

所述照明模块能够以离轴照明模式对所述对准样品提供不同波段的照明光束；

所述对准标记的成像光束经由所述物镜模块后一部分进入到所述低倍成像模块，另一部分进入到所述高倍成像模块，以通过所述低倍成像模块和所述高倍成像模块对所述对准标记进行图像采集；

所述照明模块包括由远离所述对准样品至靠近所述对准样品沿光轴顺序设置的第一LED光源、第一准直透镜、第一聚焦透镜、照明模式切换装置、第二准直透镜、偏振片、偏振棱镜、四分之一波片和第二聚焦透镜；

其中，所述照明模式切换装置设置于所述第一聚焦透镜的出射光瞳处，所述照明模式切换装置用于对所述照明模块的多种离轴照明模式进行切换；

所述偏振片用于将照明光束转换为S偏振光并出射至所述偏振棱镜；

所述偏振棱镜为S偏振光全反、P偏振光全透的偏振选择型的透反偏振棱镜，所述偏振棱镜用于将所述偏振片出射的S偏振光反射至所述四分之一波片；

所述四分之一波片能够将所述偏振棱镜反射的S偏振光转换为圆偏振光并经由所述第二聚焦透镜照射于所述对准样品上；

所述第一LED光源为具有预定波长范围的宽光谱照明光源；

所述照明模块还包括设置于所述第一准直透镜和所述第一聚焦透镜之间的滤光片切换装置，所述滤光片切换装置包括第一转轮和多个具有不同通光波段的滤光片；

所述第一转轮转动设置，且所述第一转轮的转动轴线与经过所述第一转轮的光轴相平行；所述第一转轮上沿其周向间隔地设置有多个第一安装孔，多个所述第一安装孔内一一对应地安装有多个所述滤光片，所述第一转轮的转动能够使多个所述滤光片依次转动至所述光轴处；

所述物镜模块包括与所述照明模块共用的所述第二聚焦透镜、所述四分之一波片和所述偏振棱镜；

所述成像光束先后经由所述第二聚焦透镜、所述四分之一波片和所述偏振棱镜后出射至所述低倍成像模块和所述高倍成像模块；

其中，所述第二聚焦透镜用作所述物镜模块的准直透镜；

所述四分之一波片能够将所述成像光束由圆偏振光转换为能够透过所述偏振棱镜的P偏振光；

所述物镜模块还包括第一分光棱镜，所述偏振棱镜出射的成像光束传播至所述第一分光棱镜，且所述对准标记的成像光束的一部分能够经由所述第一分光棱镜被反射至所述低倍成像模块，另一部分能够透过所述第一分光棱镜并传播至所述高倍成像模块；

所述低倍成像模块包括面阵相机；

进入所述低倍成像模块的对准标记的成像光束能够经由所述第一分光棱镜传递至所述面阵相机；

所述高倍成像模块包括第二分光棱镜、第三透镜组、第四透镜组、X方向线阵相机和Y方向线阵相机；

所述对准标记的成像光束能够经由所述第一分光棱镜传递至所述第二分光棱镜；

所述对准标记的成像光束的一部分经由所述第二分光棱镜被反射至所述第三透镜组，并经所述第三透镜汇聚至所述X方向线阵相机；

所述对准标记的成像光束的另一部分透过所述第二分光棱镜后传播至所述第四透镜组，并经由所述第四透镜组汇聚至所述Y方向线阵相机；

所述照明模块还包括设置于所述第一准直透镜和所述滤光片切换装置之间的衰减片切换装置。

2.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述衰减片切换装置包括第二转轮和多个具有不同衰减率的衰减片；

所述第二转轮转动设置，且所述第二转轮的转动轴线与经过所述第二转轮的光轴相平行；所述第二转轮上沿其周向间隔地设置有多个第二安装孔，多个所述第二安装孔内一一对应地安装有多个所述衰减片，所述第二转轮的转动能够使多个所述衰减片依次转动至所述光轴处。

3.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述照明模块为柯勒照明模块。

4.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述照明模块和所述物镜模块还包括共用的第一透镜组，所述第一透镜组设置于所述四分之一波片和所述第二聚焦透镜之间。

5.根据权利要求4所述的光学对准系统，其特征在于，所述照明模块和所述物镜模块还包括共用的第一反射棱镜；

所述第一反射棱镜设置于所述第一透镜组和所述第二聚焦透镜之间。

6.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述物镜模块还包括第二透镜组，所述第二透镜组设置于所述偏振棱镜和所述第一分光棱镜之间。

7.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述光学对准系统还包括参考标记模块；

所述参考标记模块包括沿光轴顺序设置的第二LED光源、第三准直透镜、散射片和设置有参考标记的参考样品；

所述参考标记为设置于所述参考样品上的多个沿X向延伸的线条和多个沿Y向延伸的线条；

所述第二LED光源的光线经所述第三准直透镜和所述散射片后照射至所述参考样品上；所述参考标记的成像光束能够传播至所述第一分光棱镜，且所述参考标记的成像光束的一部分能够透过所述第一分光棱镜并传播至所述低倍成像模块，另一部分能够被所述第一分光棱镜反射至所述高倍成像模块。