CN215263090U - 照明模块以及检测装置 - Google Patents

Abstract

一种照明模块以及检测装置，照明模块包括：光源，用于发出照明光；集光镜，用于对所述照明光进行汇聚，实现第一次成像；第一汇聚镜，用于对所述第一次成像后的光进行汇聚，实现第二次成像，并产生聚焦的出射光；物镜，用于使所述出射光透过，产生照射至待测物的检测光，所述物镜的入瞳位于所述物镜的前焦面位置处。本实用新型的照明模块包括集光镜和第一汇聚镜，以实现两次成像，产生聚焦的出射光，并搭配物镜，且物镜的入瞳位于物镜的前焦面位置处，物镜具有像方远心的特性，从而实现了科勒照明结合远心成像物镜的效果，进而使得照明模块能够获得较佳的照明均匀性。

Description

照明模块以及检测装置

技术领域

本实用新型实施例涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种照明模块以及检测装置。

背景技术

缺陷检测是指检测晶圆中是否存在凹槽、颗粒、划痕等缺陷以及缺陷位置。晶圆缺陷检测应用十分广泛，晶圆上存在缺陷将可能导致形成的器件失效，因此在制造晶圆时，通常需要进行缺陷检测以确保晶圆的产品合格率，此外，在半导体制造过程中，也需要对晶圆进行缺陷检测以保证产品合格率。

目前常用的缺陷检测技术是光学检测技术，光学检测是利用光源与芯片相互作用实现检测的方法的总称，其具有检测速度快、无污染等优点。

实用新型内容

本实用新型实施例解决的问题是提供一种照明模块以及检测装置，提高照明均匀性。

为解决上述问题，本实用新型实施例提供一种照明模块，包括：光源，用于发出照明光；集光镜，用于对所述照明光进行汇聚，实现第一次成像；第一汇聚镜，用于对所述第一次成像后的光进行汇聚，实现第二次成像，并产生聚焦的出射光；物镜，用于使所述出射光透过，产生照射至待测物的检测光，所述物镜的入瞳位于所述物镜的前焦面位置处。

相应的，本实用新型实施例还提供一种检测装置，包括：本实用新型实施例提供的照明模块，所述出射光用于聚焦至物镜的后焦面上，所述检测光经所述待测物后形成信号光，所述物镜还用于使所述信号光透过；探测模块，用于接收透过所述物镜的信号光。

与现有技术相比，本实用新型实施例的技术方案具有以下优点：

本实用新型实施例提供了一种照明模块，所述照明模块中的光源用于发出照明光，所述照明模块还包括集光镜和第一汇聚镜，以实现两次成像，产生聚焦的出射光，并搭配物镜，且所述物镜的入瞳位于所述物镜的前焦面位置处，所述物镜具有像方远心的特性，从而实现了科勒照明结合远心成像物镜的效果，进而使得本实用新型实施例的照明模块能够获得较佳的照明均匀性，例如，能够实现待测物表面97％左右的照明均匀性。

可选方案中，所述集光镜包括多个相同的第一正透镜，所述第一正透镜为双凸透镜；所述第一汇聚镜包括一个或多个第二正透镜，所述第二正透镜为双凸透镜；其中，所述集光镜包括多个相同的第一正透镜，因此，本实用新型实施例能够采用参数完全相同的多个第一正透镜，这使得所述集光镜中的各个镜片均有标准品可供采购，无需开模加工镜片，极大的降低了镜片的采购成本，从而降低了照明模块的制备成本，从而在获得低成本的科勒照明系统的同时，实现对待测物表面的均匀照明。

可选方案中，所述第二正透镜的孔径大于所述第一正透镜的孔径，有利于确保所述第一次成像后的光均能透过第二正透镜，从而有利于提高照明均匀性。

可选方案中，所述第一正透镜的数量为三个，所述第二正透镜的数量为一个，从而在提高照明均匀性的同时，采用较少的镜片，相应简化所述照明模块的结构。

可选方案中，所述照明模块还包括反射镜，用于使所述第一次成像后的光偏转90度，并朝向所述第一汇聚镜传播，通过所述反射镜，使得照明光的出射方向与出射光的出射方向相垂直，从而能够节约空间，减小照明模块的体积。

附图说明

图1是本实用新型照明模块中光源、集光镜和第一汇聚镜的一实施例的结构示意图以及光路图；

图2是本实用新型一实施例的照明模块的结构示意图以及光路图；

图3是采用本实用新型一实施例的照明模块后在待测物表面形成的光斑示意图以及在光斑直径方向的不同位置处的照明强度曲线图；

图4是本实用新型检测装置一实施例的结构示意图以及光路图。

具体实施方式

由背景技术可知，光学检测技术是一种常用的对待测物的检测技术。

其中，明场(brightfield，BF)检测是一种用于检测晶圆表面的凹坑和突起等缺陷的常用手段，检测时，需要将光线通过物镜照射在晶圆表面，对晶圆进行均匀的照明，而较低的照明均匀性会极大的影响缺陷的检测精度。

为了解决所述技术问题，本实用新型实施例提供一种照明模块，包括：光光源，用于发出照明光；集光镜，用于对所述照明光进行汇聚，实现第一次成像；第一汇聚镜，用于对所述第一次成像后的光进行汇聚，实现第二次成像，并产生聚焦的出射光；物镜，用于使所述出射光透过，产生照射至待测物的检测光，所述物镜的入瞳位于所述物镜的前焦面位置处。

本实用新型实施例提供了一种照明模块，所述照明模块中的光源用于发出照明光，所述照明模块还包括集光镜和第一汇聚镜，以实现两次成像，产生聚焦的出射光，并搭配物镜，且所述物镜的入瞳位于所述物镜的前焦面位置处，所述物镜具有像方远心的特性，从而实现了科勒照明结合远心成像物镜的效果，进而使得本实用新型实施例的照明模块能够获得较佳的照明均匀性，例如，能够实现待测物表面97％左右的照明均匀性。

为使本实用新型实施例的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。

图1是本实用新型照明模块中光源、集光镜和第一汇聚镜的一实施例的结构示意图以及光路图，图2是本实用新型一实施例的照明模块的结构示意图以及光路图。

所述照明模块50包括：光源10，用于发出照明光15；集光镜20，用于对所述照明光15进行汇聚，实现第一次成像；第一汇聚镜30，用于对所述第一次成像后的光进行汇聚，实现第二次成像，并产生聚焦的出射光35；物镜60，用于使所述出射光透过，产生照射至待测物的检测光，所述物镜60的入瞳位于所述物镜60的前焦面位置处。

本实施例中，通过所述集光镜20和第一汇聚镜30实现两次成像，产生聚焦的出射光，并搭配物镜60，且所述物镜60的入瞳位于所述物镜60的前焦面位置处，所述物镜60具有像方远心的特性，从而实现了科勒照明结合远心成像物镜的效果，进而使得本实施例的照明模块50能够获得较佳的照明均匀性，例如，能够实现待测物表面97％左右的照明均匀性。

结合参考图3，图3是采用本实用新型一实施例的照明模块后在待测物表面形成的光斑示意图以及在光斑40直径方向的不同位置处的照明强度曲线图。其中，图3中上半部分表示光斑40的示意图，图4中下半部分表示照明强度曲线图，曲线41表示沿光斑40直径方向在不同位置处的照明强度。在曲线41中，横坐标表示沿光斑40直径方向的不同位置，纵坐标表示照明强度，零点位置表示斑40的中心位置。

由图3可知，整个光斑40的照明强度均一性较高，也即照明均匀性均较高，本实施例的照明模块50能够获得较佳的照明均匀性。

所述照明模块50用于实现待测物70(如图2所示)的光学检测。

具体地，所述照明模块50包括光源10，所述光源10发出的照明光10经所述集光镜20和第一汇聚镜30后，产生出射光35，所述出射光35用于经物镜60(如图2所示)后产生检测光，从而使待测物70获得所述检测光，并通过所述检测光产生用于形成信号光，从而对待测物70实现检测(例如，缺陷检测)。

本实施例中，所述照明光10是单色光15，与白光相比，单色光15的波长范围较窄，因此对色差矫正的需求较低，甚至无需进行色差矫正，从而有利于降低光路的复杂度。这相应降低了通过所述集光镜20对照明光10进行色差矫正的需求，从而有利于使得所述集光镜20能够采用相同的多个第一正透镜21。

本实施例中，所述单色光为红光。在其他实施例中，根据应用需求，所述单色光还可以是其他颜色的单色光。

本实施例中，所述光源10、集光镜20和第一汇聚镜30构成科勒照明模块90(如图2所示)。科勒照明具有两次成像的特性，是将光源10直接成像在物镜60的后焦面上，能够在明场检测中提供均匀的照明。相应的，结合参考图2，所述照明模块50的出射光35聚焦于物镜60的后焦面上。

具体地，所述物镜60的入瞳位于所述物镜60的前焦面位置处，所述物镜60为像方远心物镜，从而实现了科勒照明结合远心成像物镜的效果，进而使得照明模块50在待测物70(例如，晶圆)处的照明均匀性较高，能够达到97％左右。

此外，当所述科勒照明模块90搭配像方远心物镜应用于DIC(微分干涉差对比度)光路中时，能够实现高精度的三维检测，从而有利于提高检测精度。

所述集光镜20用于对所述照明光15进行汇聚，实现第一次成像，从而为后续利用第一汇聚镜30实现第二次成像做准备。

本实施例中，在最靠近光源10的位置处设置了集光镜20，使得所述照明光15透过所述光镜20后，实现第一次成像，并使所述第一次成像后的光25沿着光路向前传播一段距离，从而为后续出射光35的聚焦做准备，且易于使所述出射光35聚焦至目标位置处。

本实施例中，所述集光镜20包括多个相同的第一正透镜21。

所述集光镜20包括多个相同的第一正透镜21，因此，本实施例能够采用参数完全相同的多个第一正透镜21，这使得所述集光镜20中的各个镜片均有标准品可供采购，无需开模加工镜片，极大的降低了镜片的采购成本，从而降低了照明模块50的制备成本。

正透镜又称汇聚透镜，正透镜是中间厚、边缘薄的一种透镜，具有汇聚光的能力。按照正透镜的类型，正透镜可以包括双凸透镜(两面都是凸面的透镜)、平凸透镜(一面为凸面、另一面为平面的透镜)和凹凸透镜(一面为凸面、另一面为凹面的透镜)。

本实施例中，沿所述照明光15的传播方向(如图1中X方向所示)，所述多个第一正透镜21的入光面均为凸面。

所述第一正透镜21的凸面为入光面，从而使得所述集光镜20能够对光线实现汇聚的作用。

本实施例中，所述多个第一正透镜21均为双凸透镜，从而能够在采用较少数量的第一正透镜21的情况下，满足光线偏转程度以及光线汇聚的要求，从而满足光路的调节需求，并实现第一次成像。

所述第一正透镜21的数量可以根据具体应用场景和检测要求、以及第一正透镜21的参数设置。

其中，增加第一正透镜21的数量，相应增加了用于调节光路的变量，有利于提高调节光路的精准度，能更好的保证光源10到物镜60后焦面上的物象共轭关系，从而提高照明模块50对待测物70的照明均匀性；而且，这可以减小第一正透镜21在加工制备过程中产生的参数(例如，曲面半径等)误差对光路调节效果的影响，此外，增加第一正透镜21的数量，还有利于提高成像的照明均匀性，从而提高成像质量，相应提高检测精度。

需要说明的是，当第一正透镜21的数量过多时，相应也会导致所述照明模块50的制备成本过高，因此，本实施例中，在确保成像质量和检测精度的情况下，采用较少数量的第一正透镜21。

本实施例中，在所述集光镜20中，所述第一正透镜21的数量为三个。三个第一正透镜21已能够获得较高的照明均匀度，在待测物70处的照明均匀性能够达到97％左右。

本实施例中，所述第一正透镜21的入光面曲率半径为40毫米至60毫米，所述第一正透镜21的出光面曲率半径为-40毫米至-60毫米，所述第一正透镜21的厚度为4毫米至6毫米，所述第一正透镜21的材料为折射率在1.5至2范围内的光学玻璃。

需要说明的是，此处的入光面指的是：沿所述照明光15的光路方向上，最靠近光源10的面，相应的，出光面则是与入光面相对的面。

还需要说明的是，对应任一透镜，透镜的厚度指的是：所述透镜的中心厚度，也即在光轴位置处的厚度。相应的，所述第一正透镜21的厚度指的是：所述第一正透镜21的中心厚度。

此外，对于任一正透镜，两个凸面朝向不同的方向凸出，因此，其中一个凸面的曲率半径为正值，另一个凸面的曲率半径为负值。本实施例中，所述第一正透镜21的入光面曲率半径为正值，所述第一正透镜21的出光面曲率半径为负值。

在第一正透镜21的各个参数中，增大材料折射率或减小曲率半径，均能够增大光线的偏转程度。

其中，曲率半径不宜过小，也不宜过大。如果曲率半径过大，则容易导致对光路的调节效果不佳，难以对所述照明光15进行汇聚，实现第一次成像；但是，当曲率半径过小时，第一正透镜21的镜面呈类似球面形，从而导致第一正透镜21的孔径过小，从而导致第一正透镜21对光的接收产生不良影响，进而影响成像面亮度及照明均匀性。

相应的，材料折射率不宜过小，也不宜过大。如果材料折射率过小，则需要减小曲率半径来补偿对光路的调节，但这容易导致第一正透镜21的镜面呈类似球面形，从而导致第一正透镜21的孔径过小；如果材料折射率过大，则容易导致光线的偏转程度过大，从而对后续的光路产生不良影响，例如，难以实现第一次成像，或者，后续出射光35难以聚焦至目标位置处。

因此，通过使曲率半径和材料折射率相互配合，使得第一正透镜21的孔径不会过小，且曲率半径和材料折射率能够满足第一正透镜21对光路的调节效果。

本实施例中，所述第一正透镜21的入光面曲率半径为40毫米至60毫米，所述第一正透镜21的出光面曲率半径为-40毫米至-60毫米，所述第一正透镜21的入光面和出光面的曲率半径的绝对值范围相同，这使得所述集光镜中的各个镜片均有标准品可供采购，无需开模加工镜片，极大的降低了镜片的采购成本。

本实施例中，所述第一正透镜21的厚度为4毫米至6毫米。其中，如果所述第一正透镜21的厚度过小，则容易影响第一正透镜21的边缘厚度，容易降低所述第一正透镜21的加工成品率，且所述第一正透镜21在安装时容易崩边，从而容易增大第一正透镜21损坏的概率；如果所述第一正透镜21的厚度过大，则容易增加了照明模块50的重量。

第一汇聚镜30用于对所述第一次成像后的光25进行汇聚，实现第二次成像，并产生聚焦的出射光35。

通过所述第一汇聚镜30，将出射光35聚焦至目标位置处。

本实施例中，所述集光镜20和第一汇聚镜30的组合，可以作为照明模块50的整形组件(未标示)，从而对光源10发出的出射光进行整形。

本实施例中，所述第一汇聚镜30包括一个或多个第二正透镜31。正透镜具有汇聚光的能力，从而能够形成聚焦的出射光35。

集光镜20中的第一正透镜21与第一汇聚镜30中的第二正透镜31相互配合，本实施例的照明模块50易于获得较佳的照明均匀性，例如，能够实现待测物表面97％左右的照明均匀性。

本实施例中，沿所述照明光15的传播方向(如图1中X方向所示)，所述第二正透镜31的入光面为凸面。

所述第二正透镜31的凸面为入光面，从而使得所述第一汇聚镜30能够对光线实现聚焦的作用。

本实施例中，所述第二正透镜31为双凸透镜，从而能够在采用较少数量的第二正透镜31的情况下，满足光线偏转程度的要求，从而满足光路的调节需求。

本实施例中，所述第二正透镜31的数量为一个。三个第一正透镜21搭配一个第二正透镜31，已能够获得较高的照明均匀度，在待测物70处的照明均匀性能够达到97％左右。

而且，所述第一正透镜21的数量为三个，所述第二正透镜31的数量为一个，从而在提高照明均匀性的同时，使得所述照明模块50采用较少数量的镜片，简化所述照明模块50的结构，且降低了制备所述照明模块50的工艺成本。

本实施例中，基于上述类似的分析，为了获得较佳的光路调节效果，实现第二次成像，并产生聚焦的出射光35，所述第二正透镜31的入光面曲率半径为65毫米至85毫米，所述第二正透镜31的出光面曲率半径为-65毫米至-85毫米，所述第二正透镜31的厚度为10毫米至12毫米，所述第二正透镜31的材料为折射率在1.5至2范围内的光学玻璃。

需要说明的是，所述第二正透镜31的厚度指的是：所述第二正透镜31的中心厚度。

此外，对应任一正透镜，两个凸面朝向不同的方向凸出，因此，其中一个凸面的曲率半径为正值，另一个凸面的曲率半径为负值。本实施例中，所述第二正透镜31的入光面曲率半径为正值，所述第二正透镜31的出光面曲率半径为负值。

本实施例中，所述第二正透镜31的入光面曲率半径为65毫米至85毫米，所述第二正透镜31的出光面曲率半径为-65毫米至-85毫米，所述第二正透镜31的入光面和出光面的曲率半径的绝对值范围相同，这使得所述第二正透镜31有标准品可供采购，无需开模加工镜片，极大的降低了镜片的采购成本。

本实施例中，所述第一正透镜21的数量为三个，因此，沿所述照明光15的光路方向，所述第一正透镜21包括依次排列的第一子正透镜21a、第二子正透镜21b和第三子正透镜21c。

为了获得较佳的光路调节效果，实现两次成像，并获得聚焦的出射光35，沿光路方向，第一子正透镜21a和第二子正透镜21b的相邻面的中心距离为0.5毫米至1.5毫米；第二子正透镜21b和第三子正透镜21c的相邻面的中心距离为5毫米至7毫米；第三子正透镜21c和第二正透镜31的相邻面的中心距离为70毫米至90毫米。

需要说明的是，通过设定第一正透镜21和第二正透镜31的数量，并使得第一正透镜21和第二正透镜31的镜片类型以及各个参数相互配合，从而易于实现两次成像，并获得聚焦的出射光35。

本实施例中，所述第二正透镜31的孔径大于所述第一正透镜21的孔径，有利于确保所述第一次成像后的光25均能透过第二正透镜31，从而有利于提高照明均匀性。

结合参考图4，图4是本实用新型检测装置一实施例的结构示意图以及光路图，本实施例中，所述照明模块50还可以包括：反射镜55，用于使所述第一次成像后的光25(如图1所示)偏转90度，并朝向所述第一汇聚镜30传播。

由于科勒照明需要二次成像，需要较长的光路，因此，通过所述反射镜55，使得所述照明光15的出射方向与出射光35的出射方向相垂直，从而能够节约空间，减小所述照明模块50的体积。

相应的，本实用新型实施例还提供一种检测装置。图4是本实用新型检测装置一实施例的结构示意图以及光路图。

所述检测装置包括：本实用新型实施例提供的照明模块50，所述出射光35(如图1所示)用于聚焦至物镜60的后焦面上，所述检测光经待测物70后形成信号光，所述物镜60还用于使所述信号光透过；探测模块400，用于接收所述信号光。

由前述实施例记载可知，本实用新型实施例的照明模块50能获得较佳的照明均匀性(例如，能够实现待测物表面97％左右的照明均匀性)，这相应提高了采用所述检测装置进行检测时的检测精度。

本实施例中，所述待测物70为晶圆(wafer)。晶圆适用于集成电路制造领域中，对检测精度的要求较高。在其他实施例中，所述待测物还可以为其他类型的待测目标，不仅限于晶圆。

本实施例中，所述照明模块50采用了科勒照明模块90(如图2所示)，因此，所述出射光35用于聚焦至物镜60的后焦面上。

本实施例中，所述检测装置采用了DIC(微分干涉差对比度)光路。

通过采用DIC光路，从而使图像呈现立体的三维感觉，以便于在检测过程中实现高精度的三维检测。

因此，本实施例中，所述检测光包括第一检测光和第二检测光。

相应的，所述检测装置还包括分光棱镜220，用于使所述出射光进行分光，形成偏振方向垂直的第一偏振光和第二偏振光，所述第一偏振光和第二偏振光经过所述物镜60后分别形成第一检测光和第二检测光，所述第一检测光和第二检测光在待测物70表面形成的光斑之间具有预设间距，所述预设间距大于零；所述分光棱镜220还用于使所述第一检测光形成的信号光与所述第二检测光形成的信号光合束并干涉，形成干涉信号光。

所述物镜60用于使所述出射光35透过，产生照射至待测物70的检测光，还用于使所述检测光经所述待测物70后形成的信号光透过，从而使探测模块400能够接收所述信号光。

本实施例中，所述物镜60的入瞳位于所述物镜60的前焦面位置处，所述物镜60为像方远心物镜。

所述物镜60具有像方远心的特征，因此，即使增大所述物镜60的工作距离(也即物镜60至待测物70的距离)，检测光仍能够垂直照射至待测物70上，后续所述检测光经所述待测物70后形成的信号光也能垂直入射至所述物镜60中，所述物镜60也能够更好地收集所述检测光经所述待测物70后形成的信号光，降低因反射角的存在而导致信号光无法重新被物镜60收集的概率，从而能够在满足长工作距离的同时，满足照明均匀性的要求、以及较大物方视野的成像需求，从而提高了检测精度，而且，远心物镜能够满足较大物方视野的成像需求，相应的，在检测过程中，可以增大检测范围，相应减少扫描次数，从而提高了检测效率。

此外，通过采用远心物镜，易于使得所述物镜60能够支持同时进行明场检测和暗场检测，使得明场检测和暗场检测均能获得较高的检测精度，相应的，这使得所述检测装置能够支持同时进行明场检测和暗场检测，所述检测装置的检测精度和检测效率较高。

具体地，所述物镜60设置于分光棱镜220和待测物70之间。

本实施例中，所述检测装置还包括：分束器210，用于使透过所述物镜60的信号光偏转90度，并朝向所述探测模块400传播，所述分束器210还用于使所述出射光35透过，并朝向所述物镜60传播，以实现所述信号光与所述出射光的分光。

本实施例中，所述分束器210设置于照明模块50和分光棱镜220之间。

具体地，所述分束器210为半透半反镜。

本实施例中，所述检测装置还包括：第二汇聚镜250，用于使透过所述物镜60的信号光汇聚至所述探测模块400。

具体地，所述第二汇聚镜250包括多个管镜(未标示)。作为一种示例，所述管镜的数量为两个。

本实施例中，定义所述照明模块50中的反射镜55为第一反射镜55，所述检测装置还包括：第二反射镜240，用于使所述检测光偏转90度，并朝向所述待测物70传播，还用于使所述信号光偏转90度，并朝向所述物镜60传播。

通过所述第二反射镜240，能够节约空间，减小所述检测装置的体积。

所述探测模块400用于接收所述信号光。

本实施例中，所述探测模块400用于接收所述信号光并根据所述信号光形成检测图像，从而能够通过所述检测图像实现对待测物70的检测。例如，通过检测图像，判断待测物70表面是否具有缺陷、以及识别缺陷的类型等。

具体地，所述探测模块400用于探测所述干涉信号光，并根据所述干涉信号光获取所述待测物70的表面形貌。

本实施例中，所述探测模块400包括相机，从而易于获得检测图像。

需要说明的是，所述探测模块400还可以包括其他用于进行数据处理的组件，例如，所述探测模块400还可以包括计算机，所述计算机与相机耦接，从而能够接收相机获取的检测图像，并基于所述检测图像进行图像处理和分析。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (13)

1.一种照明模块，其特征在于，包括：

光源，用于发出照明光；

集光镜，用于对所述照明光进行汇聚，实现第一次成像；

第一汇聚镜，用于对所述第一次成像后的光进行汇聚，实现第二次成像，并产生聚焦的出射光；

物镜，用于使所述出射光透过，产生照射至待测物的检测光，所述物镜的入瞳位于所述物镜的前焦面位置处。

2.如权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述集光镜包括多个相同的第一正透镜，所述第一正透镜为双凸透镜；所述第一汇聚镜包括一个或多个第二正透镜，所述第二正透镜为双凸透镜。

3.如权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述第二正透镜的孔径大于所述第一正透镜的孔径。

4.如权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述第一正透镜的数量为三个，所述第二正透镜的数量为一个。

5.如权利要求4所述的照明模块，其特征在于，所述第一正透镜的入光面曲率半径为40毫米至60毫米，所述第一正透镜的出光面曲率半径为-40毫米至-60毫米，所述第一正透镜的厚度为4毫米至6毫米，所述第一正透镜的材料为折射率在1.5至2范围内的光学玻璃。

6.如权利要求4所述的照明模块，其特征在于，所述第二正透镜的入光面曲率半径为65毫米至85毫米，所述第二正透镜的出光面曲率半径为-65毫米至-85毫米，所述第二正透镜的厚度为10毫米至12毫米，所述第二正透镜的材料为折射率在1.5至2范围内的光学玻璃。

7.如权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述第一正透镜的数量为三个，沿所述照明光的光路方向，所述第一正透镜包括依次排列的第一子正透镜、第二子正透镜和第三子正透镜；

所述第一子正透镜和第二子正透镜的相邻面的中心距离为0.5毫米至1.5毫米；

所述第二子正透镜和第三子正透镜的相邻面的中心距离为5毫米至7毫米；

所述第三子正透镜和第二正透镜的相邻面的中心距离为70毫米至90毫米。

8.如权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述照明模块还包括：反射镜，用于使所述第一次成像后的光偏转90度，并朝向所述第一汇聚镜传播。

9.如权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述照明光包括单色光。

10.一种检测装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至9任一项所述的照明模块，所述出射光用于聚焦至物镜的后焦面上，所述检测光经所述待测物后形成信号光，所述物镜还用于使所述信号光透过；

探测模块，用于接收透过所述物镜的信号光。

11.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：分束器，用于使透过所述物镜的信号光偏转90度，并朝向所述探测模块传播；

所述分束器还用于使所述出射光透过，并朝向所述物镜传播，实现所述信号光与所述出射光的分光。

12.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述检测光包括第一检测光和第二检测光；

所述检测装置还包括：分光棱镜，用于使所述出射光进行分光，形成偏振方向垂直的第一偏振光和第二偏振光，所述第一偏振光和第二偏振光经过所述物镜后分别形成第一检测光和第二检测光，所述第一检测光和第二检测光在待测物表面形成的光斑之间具有预设间距，所述预设间距大于零；所述分光棱镜还用于使所述第一检测光形成的信号光与所述第二检测光形成的信号光合束并干涉，形成干涉信号光；

所述探测模块用于探测所述干涉信号光，并根据所述干涉信号光获取所述待测物的表面形貌。

13.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：第二汇聚镜，用于使透过所述物镜的信号光汇聚至所述探测模块。

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