CN114726995B - 检测方法和检测系统 - Google Patents

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Abstract

一种检测方法和检测系统，检测方法包括：通过照明模块产生入射光，入射光经待测物后形成信号光；利用第一镜组收集信号光，并使信号光到达成像模块；利用成像模块的探测器根据信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取监测面的第一图像，其中，监测面为第一镜组远离待测物的一侧的平面；根据探测器获取的第一图像，对照明模块进行调节，以调节入射光的照明角度。本发明有利于提高检测精度。

Description

检测方法和检测系统
技术领域
本发明实施例涉及光学检测领域，尤其涉及一种检测方法和检测系统。
背景技术
在光学检测中，检测光束的质量直接影响检测结果，现有技术中往往通过光束质量分析仪分析光束形成的光斑的均匀性、尺寸等。利用光束质量分析仪进行检测需要从检测光路中引出一路光进行检测，从而导致检测光路较复杂，检测成本增加，而且，利用光束质量分析仪进行检测需要从检测光路中引出一路光进行检测，还不容易将光束质分析仪的坐标与实际照明的光轴对应上，需要额外的标定，导致检测过程繁琐。
发明内容
本发明实施例解决的问题是提供一种检测方法和检测系统，提高检测精度。
为解决上述问题，本发明实施例提供一种检测设备的检测方法，包括：所述检测设备包括：照明模块、第一镜组和成像模块，所述成像模块包括探测器；通过照明模块产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；利用所述第一镜组收集所述信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面；根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度。
本发明实施例还提供一种检测系统，包括：照明模块、第一镜组、成像模块和调节模块；其中，所述照明模块用于产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；所述第一镜组用于收集信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；所述成像模块的探测器用于根据所述信号光对所述第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面；所述调节模块用于根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度。
与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：
本发明实施例提供的检测方法中，利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面，根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节；本发明实施例中，通过获取第一镜组的监测面的第一图像，能够直接获取入射光在第一镜组像方的成像情况，从而对照明模块的光路进行检测，相应的，根据所述探测器获取的第一图像，根据需求对照明模块进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
进一步，所述入射镜组使所述监测面与所述出射口共轭，则能够通过对监测面成像，更直观地体现获取出射光的发光情况，从而能够更容易地控制光源的发光。且所述出射口与监测面共轭，检测面位于物镜远离待测物一侧，则出射口不会成像至待测物表面，能够减少光源对待测物表面光斑均匀性的影响。
进一步，还包括第一入射镜、第二入射镜和第三入射镜，所述第一入射镜和第二入射镜之间具有第一中间像面，所述第二入射镜使所述第一中间像面与所述汇聚面共轭；则通过第一图像能够获取第一中间像面的信息，从而能够确定入射光到待测物表面的入射角。孔径光阑位于所述第一中间像面的位置处，则根据第一图像能够确定第一中间像面的光斑的调节方向，能够直接通过孔径光阑进行调节，控制入射角及待测物表面的光斑光强分布。
本发明实施例提供的检测系统中，成像模块的探测器用于根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面，调节模块用于根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度；本发明实施例中，通过获取第一镜组的监测面的第一图像，能够直接获取入射光在第一镜组像方的成像情况，从而对照明模块的光路进行检测，相应的，根据所述探测器获取的第一图像，根据需求对照明模块进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
附图说明
图1本发明检测方法两实施例的流程图；
图2是本发明检测系统一实施例的结构示意图以及光路图；
图3是本发明检测系统另一实施例的结构示意图以及光路图。
具体实施方式
由背景技术可知，光学检测方法是一种常用的对待测物的检测技术。但是，现有的用于进行检测的光学检测方法中，检测精度有待提高。
为了解决所述技术问题，本发明实施例提供一种检测方法，包括：所述检测设备包括：照明模块、第一镜组和成像模块，所述成像模块包括探测器；通过照明模块产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；利用所述第一镜组收集所述信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面；根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度。
本发明实施例中，通过获取第一镜组的监测面的第一图像，能够直接获取入射光在第一镜组像方的成像情况，从而对照明模块的光路进行检测，相应的，根据所述探测器获取的第一图像，根据需求对照明模块进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
参考图1，图1是本发明检测设备的检测方法一实施例的流程图。
本实施例中，检测设备包括：照明模块、第一镜组和成像模块，成像模块包括探测器，所述检测方法包括如下步骤：
步骤S1：通过照明模块产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；
步骤S2：利用所述第一镜组收集所述信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；
步骤S3：利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面；
步骤S4：根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度。
本发明实施例中，通过获取第一镜组的监测面的第一图像，能够直接获取入射光在第一镜组像方的成像情况，从而对照明模块的光路进行检测，相应的，根据所述探测器获取的第一图像，根据需求对照明模块进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
下面结合检测系统对检测方法的各个步骤进行说明。
结合参考图2，图2是本发明检测系统一实施例的结构示意图以及光路图，对本实施例所述的检测方法做详细说明。
本实施例中，检测设备包括：照明模块100、第一镜组200和成像模块600，成像模块600包括探测器610。
执行步骤S1，通过照明模块100产生入射光，入射光经待测物700后形成信号光。
本实施例中，检测方法用于对待测物700进行检测。
具体地，作为一种示例，待测物700为晶圆，本实施例的检测方法用于对晶圆表面进行检测。所述检测设备用于对待测物700表面的套刻标记进行检测；所述套刻标记包括位于不同层或由不同工艺形成的第一标记和第二标记，所述检测设备用于检测所述第一标记和第二标记之间的相对偏移。所述第一标记和第二标记均为中心对称图形；所述第一标记为光栅；所述第二标记为光栅。
本实施例中，根据所述探测器获取的第一图像，对照明模块100进行调节，以调节所述入射光的照明角度之后，所述检测方法还包括：利用所述检测设备对待测物700进行检测。
所述检测设备对待测物700进行检测包括：对所述套刻标记进行检测，获取所述第一标记和第二标记之间的相对偏移。
本发明的技术方案中，通过第一图像对照明模块100进行调节，能够使入射至待测物700表面的入射光的入射角对称，且能够提高待测物表面光斑光强分布的均匀性，进而提高检测设备的对称性，进而减小检测设备的TIS，提高检测设备对所述相对偏移的检测精度。
本实施例中，利用第一镜组200收集入射光、并将入射光照射至待测物700，入射光经过待测物700反射形成信号光。
本实施例中，通过照明模块100产生入射光中，利用照明模块100将入射光汇聚在第一镜组200的汇聚面，汇聚面位于第一镜组200远离待测物700的一侧，汇聚面与监测面重合；第一镜组200还用于使汇聚至汇聚面的入射光平行入射至待测物700。
需要说明的是，后续探测器对监测面进行成像，获取监测面的第一图像。
利用照明模块100产生入射光，并将入射光汇聚在第一镜组200的汇聚面，形成检测光斑，从而可以通过调节入射光在第一镜组200的像方上的分布，来实现对待测物700较为垂直的照射，有利于减小倾斜光照射产生的待测物700的影子，对待测物700在探测器610中成像的影响，进而提高对待测物700成像的精度。
而且，利用照明模块100将入射光汇聚在第一镜组200的汇聚面，则通过对第一镜组200的汇聚面成像，即可相应获得入射光在第一镜组200像方的汇聚情况，从而获得照明模块100产生的入射光的质量。
具体地，本实施例中，汇聚面为第一镜组200的后焦面，利用照明模块100将入射光汇聚在第一镜组200的后焦面上，也就是说，入射光在第一镜组200的后焦面上成像，可以通过调节入射光在第一镜组200的后焦面上的分布，使得成像上的每个点一一对应于照射待测物700表面的一组平行光，从而实现对待测物700进行垂直的平行光照射，提高对待测物700的照明效果，进而提高对待测物700成像的精度。
而且，利用照明模块100将入射光汇聚在第一镜组200的后焦面上，则通过对第一镜组200的后焦面成像，即可较为精准地获得入射光第一镜组200后焦面的汇聚情况，从而较为精准地获得照明模块100产生的入射光的质量。
本实施例中，照明模块100包括沿入射光路设置的光源组件110和入射镜组120；光源组件110包括出射口，用于产生入射光，并使入射光自出射口射出；入射镜组120使监测面与出射口共轭。
入射镜组120使监测面与出射口共轭，使得能够在监测面清晰成像。
需要说明的是，在其他实施例中，出射口可以与监测面不共轭，具体的，可以使出射口与待测物共轭。
光源组件110利用光源发出的光产生光束，光源组件110的位置可调，从而能够通过调节光源组件110的位置，来调节照明模块100产生的入射光的质量。
本实施例中，光源组件110的光源的类型包括LED光源、氙灯光源、LDLS光源或利用光学波导引入的其他光源。
本实施例中，光源组件110包括光源、滤波器和光纤，相应的，滤波器和光纤的位置均可调。
利用滤波器对光源发出的光束过滤，进行波长选择。由于各种材料对不同波长光的吸收反射性能不同，因此针对性的进行波长选择可以提升特定待测物700的测量精度。
利用光纤对光源发出的光进行整形，产生匹配需求的光束。
利用入射镜组120汇聚入射光，实现入射光的光路布局。
本实施例中，入射镜组120包括多个透镜，每个透镜的位置均可调，从而能够通过调节透镜的位置，来调节照明模块100产生的入射光的质量。
具体地，将入射镜组120的中心位置向入射光的主光轴调节，以提高照明角度的对称性和均匀性。
本实施例中，入射镜组120包括第一入射镜121、第二入射镜122和第三入射镜123，第一入射镜121和第二入射镜122之间具有第一中间像面，第二入射镜122使第一中间像面与汇聚面共轭；第一入射镜121使第一中间像面与出射口共轭；第二入射镜122和第三入射镜123之间具有第二中间像面，第三入射镜123使第二中间像面与待测物700表面共轭。第二入射镜122使第一中间像面与汇聚面共轭，使得第一中间像面能够在汇聚面清晰成像。
第一入射镜121使第一中间像面与出射口共轭，使得出射口能够在第一中间像面清晰成像。
第三入射镜123使第二中间像面与待测物700表面共轭，使得第二中间像面能够在待测物700表面清晰成像。
本实施例中，照明模块100还包括光阑组件130，光阑组件130用于调节入射光的入射方向和/或入射光在待测物700表面形成的光斑，照明模块100满足以下条件中的一种或多种，所述条件包括：光源组件110的位置可调、入射镜组120的位置可调、光阑组件130的位置可调、以及光阑组件130的透光孔的尺寸可调。
利用光阑组件130用于控制入射光通过的光线量。
本实施例中，光阑组件130的位置可调、以及光阑组件130的透光孔的尺寸可调，从而能够通过调节光阑组件130的位置、以及光阑组件130的透光孔的尺寸和形状，来调节照明模块100产生的入射光的质量。
具体地，将光阑组件130的中心位置向入射光的主光轴调节、以及增加光阑组件130的透光孔的圆度，以提高照明角度的对称性和均匀性。
本实施例中，光阑组件130包括孔径光阑131和视场光阑132中的一种或两种。
视场光阑132位于第二中间像面的位置处，用于限制入射光在待测物700表面形成的光斑，视场光阑132用于对光路的视场的限制，限制光斑尺寸，控制成像的面积大小，本实施例中，视场光阑132用于将入射光汇聚在待测物700上；孔径光阑131位于第一中间像面的位置处，用于限制入射光的入射方向，孔径光阑131的透光孔大小、形状和位置对成像的清晰程度、正确性、以及亮度均具有决定性的作用，进而对检测的精度有关键性作用，本实施例中，孔径光阑131用于将入射光汇聚在第一镜组200的像方。
本实施例中，光阑组件130包括切换光阑组件和可调光阑组件中的一种或两种。
本实施例中，切换光阑组件通过切换孔径来调节透光孔的尺寸和形状；可调光阑组件通过调节孔径来调节透光孔的尺寸和形状（例如，相机的光圈）。
具体地，切换光阑组件包括多个孔径，多个孔径包括多个尺寸不同的圆形孔或椭圆形孔，可进行旋转或平移切换。
执行步骤S2，利用第一镜组200收集信号光，并使信号光到达成像模块。
本实施例中，第一镜组200位于入射光路中，用于收集入射光、并将入射光照射至待测物700。
本实施例中，第一镜组200包括物镜，用于将入射光垂直地平行照射在待测物700上。
本实施例中，第一镜组200还设置于反射光路中，利用第一镜组200收集入射光经过待测物700反射形成的信号光。
本实施例中，第二分束器300还设置于反射光路中，用于将信号光分为多个沿不同光路方向进行传输，其中，使经过第一镜组200的信号光透过。
本实施例中，将待测物700设置于第一镜组200的前焦面上，有利于使得探测器610对待测物700的成像清晰。
本实施例中，在照明模块100与第一镜组200之间的光路上设置第二分束器300，利用第二分束器300将入射光反射至第一镜组200。
第二分束器300位于入射光路中，用于将入射光分为多个沿不同光路方向进行传输，其中，将入射光反射至第一镜组200。
本实施例中，第二分束器300包括分光棱镜。
分光棱镜能够实现将光束分束，并且，本实施例中，分光棱镜能够将一束光的水平偏振和垂直偏振分开，相应的，将一束光分为沿原光路传输方向的子光光束、以及沿垂直于原光路传输方向的子光束。而且，分光棱镜具有应力小、消光比高、成像质量好、光束偏转角小等特点。
本实施例中，分光棱镜的分光比例为1:1，从而使得两个光束较为均匀，相应两个光束的成像质量的均一性较高。
执行步骤S3，利用成像模块的探测器610根据信号光对第一镜组200的监测面进行成像，获取监测面的第一图像，其中，监测面为第一镜组200远离待测物700的一侧的平面。
本实施例中，汇聚面与所述监测面重合；监测面为第一镜组200的后焦面，后焦面为第一镜组200远离待测物700的焦平面。
本实施例中，监测面为第一镜组200的后焦面，则探测器能610够对第一镜组200的后焦面成像，本发明实施例中的入射光通过在第一镜组200的像方汇聚成像后，再经过第一镜组200照射至待测物700，则探测器610能够通过对第一镜组200的后焦面成像，直接获取入射光在第一镜组200像方的成像情况，从而对照明模块100的光路进行检测，同时，探测器610能够通过对照明模块100的光路进行检测，以便根据需求对照明模块100进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物700能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块100的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
本实施例中，检测设备还包括：位于第一镜组200和成像模块之间的补偿组件500。
本实施例中，利用补偿组件500使成像模块的探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭。
探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭，指的是第一镜组200的监测面能够在探测器610上清晰成像。
本实施例中，补偿组件500为可移动的补偿镜组510，利用补偿组件500使探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭包括：将可移动的补偿镜组510移入第一镜组200和成像模块600之间的光路。
本实施例中，补偿镜组510包括凸透镜，结构简单，易于设置于与光路需求匹配的位置。
在其他实施例中，补偿镜组还可以包括凸透镜与凹透镜构成的透镜组，采用凸透镜与凹透镜组合构成透镜组，有利于减小或消除像差。
本实施例中，在补偿组件500与第一镜组200之间的光路上设置第二镜组400，利用第二镜组400在补偿组件500移入第一镜组200和成像模块600之间的光路时，与补偿组件500一同使探测器610与第一镜组200的监测面共轭。
本实施例中，第二镜组400包括管镜。
利用探测器610获取第一图像，从而对照明模块100的光路进行检测。
具体地，利用探测器610对第一镜组200的监测面成像，获得入射光在第一镜组200监测面上成像光斑的圆度、光斑圆心的离轴量、光斑的强度均匀性等参数，再根据需求调节照明模块100，从而使得入射光在第一镜组200监测面上成像光斑的圆度较好（例如，光斑圆度大于或等于99%）、光斑圆心的离轴量较小（例如，光斑圆心的离轴量小于或等于1μm）、以及光斑的强度均匀性较好（例如，光斑的强度均匀性大于或等于95%），进而使得待测物700接收的照明光线在空间角上较为对称且均匀，减小因照明模块100的光路的非对称性引起的测量误差。
本实施例中，探测器610包括图像采集器。
检测方法还包括：利用补偿组件500使探测器610的光敏面与待测物700共轭；利用探测器610接收经过第一镜组200的信号光，获取待测物700表面的第二图像。
本实施例中，利用第二镜组400接收经过第一镜组200的信号光、并将信号光汇聚至补偿组件500。
本实施例中，利用补偿组件500使得探测器610的光敏面与待测物700共轭，则探测器610还能够对待测物700成像，实现对待测物700的检测，因此，探测器610能够同时实现对待测物700和照明模块100的光路的检测，提高检测系统的多功能化，节约检测成本。
需要说明的是，利用补偿组件500使得探测器610与待测物700共轭时，为了减小待测物700对于探测器610对第一镜组200监测面成像的干扰，采用空白的待测物700，例如，镜面、干净的无图案的晶圆表面等作为待测物700。
本实施例中，利用补偿组件500使探测器610的光敏面与待测物700共轭包括：将可移动的补偿镜组510移出第一镜组200和成像模块600之间的光路。
采用可移动的补偿镜组510，能够在同一个光路中，同时实现探测器610对待测物700的成像、以及探测器610对第一镜组200监测面的成像，有利于简化检测系统的光路结构，提高光路结构的灵活度，同时节约成本。
具体地，本实施例中，在补偿组件500移出第一镜组200和成像模块600之间的光路时，第二镜组400使探测器610与待测物700共轭。
本实施例中，探测器610接受经过第一镜组200的信号光，用于对待测物700成像，从而对待测物700进行检测。
执行步骤S4，根据探测器610获取的第一图像，对照明模块100进行调节，以调节入射光的照明角度。
具体地，根据实际应用需求，调节入射光的照明角度，例如，获得圆形垂直照明的入射光、获得环形垂直照明的入射光、获得从单侧角度照明的入射光，或者，获得从双侧角度照明的入射光。
本实施例中，根据第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节。
具体地，对所述入射光的照明角度进行调节包括：对光源组件110的位置、入射镜组120的位置、光阑组件130的位置、以及光阑组件130的透光孔的尺寸和形状中的一者或多者组合进行调节，以调节入射光的照明角度，以提高照明角度的对称性和均匀性，所述照明角度为入射光照射至所述待测物的空间角度。
具体地，本实施例中，可沿光轴方向以及垂直于光轴的方向调节光源组件110的位置、入射镜组120的位置、以及光阑组件130的位置。
需要说明的是，本实施例中，还可以根据其他要求进行调节，例如，根据照明角度的范围等需要进行调节。
本实施例中，通过切换孔径来调节切换光阑组件的透光孔的尺寸和形状；通过调节孔径来调节可调光阑组件的透光孔的尺寸和形状。
具体地，切换光阑组件包括多个孔径，多个孔径包括多个尺寸不同的圆形孔或椭圆形孔，可进行旋转或平移切换。
本实施例中，根据第一图像的光强分布，调节孔径光阑131的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物700的空间角度分布；根据第一图像的轮廓，调节孔径光阑131的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物700的空间角度范围；根据第一图像的形状，调节孔径光阑131的透光孔的形状，以调节入射光照射在待测物700上的空间角度分布。
本实施例中，根据第一图像的光强分布，调节视场光阑132的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物700的空间角度分布；根据第一图像的轮廓，调节视场光阑132的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物700的边界轮廓；根据第一图像的形状，调节视场光阑132的透光孔的形状，以调节入射光照射在待测物700上的形状。
图3还提供一种基于前述实施例所述的检测系统的检测方法的另一实施例。
本实施例与前述实施例的相同之处，在此不再赘述。本实施例与前述实施例的不同之处在于：补偿组件包括固定的补偿镜组以及第一分束器。
下面结合检测系统对检测方法的不同之处进行说明。
结合参考图3，图3是本发明检测系统另一实施例的结构示意图以及光路图，对本实施例所述的检测方法做详细说明结合参考。
参考图3，补偿组件501包括：补偿镜组511，固定于第一镜组201和成像模块601之间的光路上；第一分束器302，位于补偿镜组511和第一镜组201之间的光路上，第一分束器302用于将接收的信号光沿多个不同光路方向进行传输，多个不同光路方向包括传输至补偿镜组511中的第一光路、以及沿剩余光路方向传输的第二光路。
第一分束器302用于将接收的信号光沿多个不同光路方向进行传输，多个不同光路方向包括传输至补偿镜组511中的第一光路、以及沿剩余光路方向传输的第二光路，通过采用第一分束器302，能够在将原光路分为第一光路和第二光路，同时实现探测器对待测物701的成像、以及探测器对第一镜组201监测面的成像，光路结构简单，且可以对第一光路和第二光路分别进行调节，减小对每个光路的限制。
本实施例中，第一分束器302包括分光棱镜。
分光棱镜能够实现将光束分束，并且，本实施例中，分光棱镜能够将一束光的水平偏振和垂直偏振分开，相应的，将一束光分为沿原光路传输方向的子光光束、以及沿垂直于原光路传输方向的子光束。而且，分光棱镜具有应力小、消光比高、成像质量好、光束偏转角小等特点。
本实施例中，分光棱镜的分光比例为1:1，从而使得两个光束较为均匀，相应两个光束的成像质量的均一性较高。
补偿镜组511固定于第一光路上，用于使成像模块601的探测器与第一镜组201的监测面共轭。
本实施例中，补偿镜组511包括凸透镜，结构简单，易于设置于与光路需求匹配的位置。
在其他实施例中，补偿镜组还可以包括凸透镜与凹透镜构成的透镜组，采用凸透镜与凹透镜组合构成透镜组，有利于减小或消除像差。
本实施例中，探测器包括与第一镜组201的监测面共轭设置的第一探测器611、以及与待测物701共轭设置的第二探测器612，利用第一探测器611接收第一光路的光，获取第一图像；利用第二探测器612接收第二光路的光，获取第二图像。
利用第一探测器611接收第一光路的光，对第一镜组201的监测面成像，从而对照明模块101的光路进行检测，利用第二探测器612接收第二光路的光，对待测物701成像，从而对待测物701进行检测，从而能够同时实现对待测物701和照明模块101的光路的检测，提高检测系统的多功能化，节约检测成本。
执行步骤S3的过程中，利用第一光路获取第一镜组201的监测面的第一图像；利用第二光路获取待测物701表面的第二图像。
将原光路分为第一光路和第二光路，同时获取第一图像和第二图像，光路结构简单，且可以对第一光路和第二光路分别进行调节，减小对每个光路的限制。
相应的，本实施例还提供一种基于前述实施例所述的检测方法的检测系统。
图2是本发明检测系统一实施例的结构示意图以及光路图。
参考图2，检测系统包括：照明模块100、第一镜组200、成像模块600和调节模块，成像模块600包括探测器610；其中，照明模块100用于产生入射光，入射光经待测物700后形成信号光；第一镜组200用于收集信号光，并使信号光到达成像模块600；成像模块600的探测器610用于根据信号光对第一镜组200的监测面进行成像，获取监测面的第一图像，其中，监测面为第一镜组200远离待测物700的一侧的平面；调节模块用于根据探测器610获取的第一图像，对照明模块100进行调节，以调节入射光的照明角度。
本实施例中，检测系统用于对待测物700进行检测。
具体地，作为一种示例，待测物700为晶圆，本实施例的检测系统用于对晶圆表面进行检测。
照明模块100用于产生入射光，并将入射光汇聚在第一镜组200的汇聚面，汇聚面位于第一镜组200远离待测物700的一侧，汇聚面与监测面重合；第一镜组200还用于使汇聚至汇聚面的入射光平行入射至待测物700。
本实施例中，可以通过调节入射光在第一镜组200的像方上的分布，来实现对待测物700较为垂直的照射，有利于减小倾斜光照射产生的待测物700的影子，对待测物700在探测器610中成像的影响，进而提高对待测物700成像的精度。
而且，照明模块100将入射光汇聚在第一镜组200的汇聚面，则通过对第一镜组200的汇聚面成像，即可相应获得入射光第一镜组200像方的汇聚情况，从而获得照明模块100产生的入射光的质量。
本实施例中，监测面为第一镜组200的后焦面，后焦面为第一镜组200远离待测物700的焦平面。
具体地，本实施例中，照明模块100用于将入射光汇聚在第一镜组200的后焦面上，也就是说，入射光在第一镜组200的后焦面上成像，可以通过调节入射光在第一镜组200的后焦面上的分布，使得成像上的每个点一一对应于照射待测物700表面的一组平行光，从而实现对待测物700进行垂直的平行光照射，提高对待测物700的照明效果，进而提高对待测物700成像的精度。
而且，照明模块100将入射光汇聚在第一镜组200的后焦面上，则通过对第一镜组200的后焦面成像，即可较为精准地获得入射光第一镜组200后焦面的汇聚情况，从而较为精准地获得照明模块100产生的入射光的质量。
本实施例中，照明模块100包括沿入射光路设置的光源组件110和入射镜组120；光源组件110包括出射口，用于产生入射光，并使入射光自出射口射出；入射镜组120使监测面与出射口共轭。
入射镜组120使监测面与出射口共轭，使得能够在监测面清晰成像。
需要说明的是，在其他实施例中，出射口可以与监测面不共轭，具体的，可以使出射口与待测物共轭。
光源组件110利用光源发出的光产生光束，光源组件110的位置可调，从而能够通过调节光源组件110的位置，来调节照明模块100产生的入射光的质量。
具体地，本实施例中，光源组件110可沿光轴方向以及垂直于光轴的方向进行位置调节。
本实施例中，光源组件110的光源的类型包括LED光源、氙灯光源、LDLS光源或利用光学波导引入的其他光源。
本实施例中，光源组件110包括光源、滤波器和光纤，相应的，滤波器和光纤的位置均可调。
滤波器用于对光源发出的光束过滤，进行波长选择。由于各种材料对不同波长光的吸收反射性能不同，因此针对性的进行波长选择可以提升特定待测物700的测量精度。
光纤用于对光源发出的光进行整形，产生匹配需求的光束。
入射镜组120用于汇聚入射光，实现入射光的光路布局。
本实施例中，入射镜组120包括多个透镜，每个透镜的位置均可调，从而能够通过调节透镜的位置，来调节照明模块100产生的入射光的质量。
具体地，本实施例中，入射镜组120可沿光轴方向以及垂直于光轴的方向进行位置调节。
本实施例中，入射镜组120包括第一入射镜121、第二入射镜122和第三入射镜123，第一入射镜121和第二入射镜122之间具有第一中间像面，第二入射镜122使第一中间像面与汇聚面共轭；第一入射镜121使第一中间像面与出射口共轭；第二入射镜122和第三入射镜123之间具有第二中间像面，第三入射镜123使第二中间像面与待测物700表面共轭。第二入射镜122使第一中间像面与汇聚面共轭，使得第一中间像面能够在汇聚面清晰成像。
第一入射镜121使第一中间像面与出射口共轭，使得出射口能够在第一中间像面清晰成像。
第三入射镜123使第二中间像面与待测物700表面共轭，使得第二中间像面能够在待测物700表面清晰成像。
本实施例中，照明模块100还包括光阑组件130，光阑组件130用于调节入射光的入射方向和/或入射光在待测物700表面形成的光斑，照明模块100满足以下条件中的一种或多种，所述条件包括：光源组件110的位置可调、入射镜组120的位置可调、光阑组件130的位置可调、以及光阑组件130的透光孔的尺寸可调。
光阑组件130用于控制入射光通过的光线量。
本实施例中，光阑组件130的位置可调、以及光阑组件130的透光孔的尺寸可调，从而能够通过调节光阑组件130的位置、以及光阑组件130的透光孔的尺寸，来调节照明模块100产生的入射光的质量。
具体的，本实施例中，光阑组件130可沿光轴方向以及垂直于光轴的方向进行位置调节。
本实施例中，光阑组件130包括孔径光阑131和视场光阑132中的一种或两种。
视场光阑132位于第二中间像面的位置处，用于限制入射光在待测物700表面形成的光斑，视场光阑132用于对光路的视场的限制，限制光斑尺寸，控制成像的面积大小，本实施例中，视场光阑132用于将入射光汇聚在待测物700上；孔径光阑131位于第一中间像面的位置处，用于限制入射光的入射方向，孔径光阑131的透光孔大小、形状和位置对成像的清晰程度、正确性、以及亮度均具有决定性的作用，进而对检测的精度有关键性作用，本实施例中，孔径光阑131用于将入射光汇聚在第一镜组200的像方。
本实施例中，光阑组件130包括切换光阑组件和可调光阑组件中的一种或两种。
本实施例中，切换光阑组件通过切换孔径来调节透光孔的尺寸；可调光阑组件通过调节孔径来调节透光孔的尺寸（例如，相机的光圈）。
具体地，切换光阑组件包括多个孔径，多个孔径包括多个尺寸不同的圆形孔或椭圆形孔，可进行旋转或平移切换。
本实施例中，第一镜组200既位于入射光路中，用于收集入射光、并将入射光照射至待测物700，第一镜组200还位于反射光路中，用于收集入射光经过待测物700反射形成的信号光。
本实施例中，第一镜组200包括物镜，用于将入射光垂直地平行照射在待测物700上。
本实施例中，将待测物700设置于第一镜组200的前焦面上，有利于使得探测器610对待测物700的成像清晰。
本实施例中，检测系统还包括：第二分束器300，位于照明模块100与第一镜组200之间的光路上，第二分束器300用于将入射光反射至第一镜组200、还用于使经过第一镜组200的信号光透过。
第二分束器300既位于入射光路中，用于将入射光分为多个沿不同光路方向进行传输，其中，将入射光反射至第一镜组200，第二分束器300还位于反射光路中，用于将信号光分为多个沿不同光路方向进行传输，其中，使经过第一镜组200的信号光透过。
本实施例中，第二分束器300包括分光棱镜。
分光棱镜能够实现将光束分束，并且，本实施例中，分光棱镜能够将一束光的水平偏振和垂直偏振分开，相应的，将一束光分为沿原光路传输方向的子光光束、以及沿垂直于原光路传输方向的子光束。而且，分光棱镜具有应力小、消光比高、成像质量好、光束偏转角小等特点。
本实施例中，分光棱镜的分光比例为1:1，从而使得两个光束较为均匀，相应两个光束的成像质量的均一性较高。
在其他实施例中，还可以第二分束器用于将入射光透过至第一镜组、并使经过第一镜组的信号光反射。
本实施例中，成像模块600包括探测器610，用于接收经过第一镜组200的信号光，还用于根据信号光获取第一镜组200的监测面的第一图像。
探测器610接收经过第一镜组200的信号光，用于对待测物700成像，从而对待测物700进行检测，探测器610还用于对第一镜组200的监测面成像，从而对照明模块100的光路进行检测。
具体地，探测器610对第一镜组200的监测面成像，获得入射光在第一镜组200监测面上成像光斑的圆度、光斑圆心的离轴量、光斑的强度均匀性等参数，再根据需求调节照明模块100，从而使得入射光在第一镜组200监测面上成像光斑的圆度较好（例如，光斑圆度大于或等于99%）、光斑圆心的离轴量较小（例如，光斑圆心的离轴量小于或等于1μm）、以及光斑的强度均匀性较好（例如，光斑的强度均匀性大于或等于95%），进而使得待测物700接收的照明光线在空间角上较为对称且均匀，减小因照明模块100的光路的非对称性引起的测量误差。
本实施例中，探测器610还用于根据信号光对待测物700进行成像，获取待测物700表面的第二图像。
探测器610还能够对待测物700成像，实现对待测物700的检测，因此，探测器610能够同时实现对待测物700和照明模块100的光路的检测，提高检测系统的多功能化，节约检测成本。
本实施例中，探测610包括图像采集器。
本实施例中，检测系统还包括：位于第一镜组200和成像模块600之间的补偿组件500。
本实施例中，补偿组件500用于使成像模块600的探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭。
探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭，指的是第一镜组200的监测面能够在探测器610上清晰成像。
本实施例中，补偿组件500用于使得探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭以获得所述第一图像；补偿组件500使得探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭，则探测器能610够对第一镜组200的监测面成像，通过对第一镜组200的监测面成像，能够直接获取入射光在第一镜组200像方的成像情况，从而对照明模块100的光路进行检测，相应的，探测器610能够通过对照明模块100的光路进行检测，以便根据需求对照明模块100进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物700能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块100的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
本实施例中，补偿组件500还用于使得探测器610的光敏面与待测物700共轭以获得所述第二图像。
需要说明的是，探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭，指的是，第一镜组200的监测面能够在探测器610上清晰成像，探测器610的光敏面与待测物700共轭，指的是，待测物700表面能够在探测器610上清晰成像。
还需要说明的是，利用补偿组件500使得探测器610的光敏面与待测物700共轭时，为了减小待测物700对于探测器610对第一镜组200监测面成像的干扰，采用空白的待测物700，例如，镜面、干净的无图案的晶圆表面等作为待测物700。
本实施例中，补偿组件500为可移动的补偿镜组510，用于在移入第一镜组200和成像模块600之间的光路时，使探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭，在移出第一镜组200和成像模块600之间的光路时，使探测器610的光敏面与待测物700共轭。
采用可移动的补偿镜组510，能够在同一个光路中，同时实现探测器610对待测物700的成像、以及探测器610对第一镜组200监测面的成像，有利于简化检测系统的光路结构，提高光路结构的灵活度，同时节约成本。
本实施例中，补偿镜组510包括凸透镜，结构简单，易于设置于与光路需求匹配的位置。
在其他实施例中，补偿镜组还可以包括凸透镜与凹透镜构成的透镜组，采用凸透镜与凹透镜组合构成透镜组，有利于减小或消除像差。
本实施例中，检测系统还包括：第二镜组400，设置于补偿组件500与第一镜组200之间的光路上，第二镜组400用于接收经过第一镜组200的信号光、并将信号光汇聚至补偿组件500。
第二镜组400用于在补偿组件500移入第一镜组200和成像模块600之间的光路时，与补偿组件500一同使探测器610的光敏面与第一镜组200的监测面共轭，在补偿组件500移出第一镜组200和成像模块600之间的光路时，第二镜组400使探测器610的光敏面与待测物700共轭。
本实施例中，第二镜组400包括管镜。
管镜用于接收经过第二分束器300的信号光、并将信号光进行汇聚至探测器610中。
图3是本发明检测系统另一实施例的结构示意图以及光路图。
本实施例与前述实施例的相同之处，在此不再赘述。本实施例与前述实施例的不同之处在于：补偿组件包括固定的补偿镜组以及第一分束器。
参考图3，补偿组件501包括：补偿镜组511，固定于第一镜组201和成像模块601之间的光路上；第一分束器302，位于补偿镜组511和第一镜组201之间的光路上，第一分束器302用于将接收的信号光沿多个不同光路方向进行传输，多个不同光路方向包括传输至补偿镜组511中的第一光路、以及沿剩余光路方向传输的第二光路。
第一分束器302用于将接收的信号光沿多个不同光路方向进行传输，多个不同光路方向包括传输至补偿镜组511中的第一光路、以及沿剩余光路方向传输的第二光路，通过采用第一分束器302，能够在将原光路分为第一光路和第二光路，同时实现探测器对待测物701的成像、以及探测器对第一镜组201监测面的成像，光路结构简单，且可以对第一光路和第二光路分别进行调节，减小对每个光路的限制。
本实施例中，第一分束器302包括分光棱镜。
分光棱镜能够实现将光束分束，并且，本实施例中，分光棱镜能够将一束光的水平偏振和垂直偏振分开，相应的，将一束光分为沿原光路传输方向的子光光束、以及沿垂直于原光路传输方向的子光束。而且，分光棱镜具有应力小、消光比高、成像质量好、光束偏转角小等特点。
本实施例中，分光棱镜的分光比例为1:1，从而使得两个光束较为均匀，相应两个光束的成像质量的均一性较高。
补偿镜组511固定于第一光路上，用于使成像模块601的探测器的光敏面与第一镜组201的监测面共轭。
本实施例中，补偿镜组511包括凸透镜，结构简单，易于设置于与光路需求匹配的位置。
在其他实施例中，补偿镜组还可以包括凸透镜与凹透镜构成的透镜组，采用凸透镜与凹透镜组合构成透镜组，有利于减小或消除像差。
相应的，本实施例中，探测器包括与第一镜组201的监测面共轭设置的第一探测器611、以及与待测物701共轭设置的第二探测器612，第一探测器611用于接收第一光路的光，第二探测器612用于接收第二光路的光。
第一探测器611接收第一光路的光，用于对第一镜组201的监测面成像，从而对照明模块101的光路进行检测，第二探测器612接收第二光路的光，用于对待测物701成像，从而对待测物701进行检测，从而能够同时实现对待测物701和照明模块101的光路的检测，提高检测系统的多功能化，节约检测成本。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (23)

1.一种检测设备的检测方法，其特征在于，包括：
所述检测设备包括：照明模块、第一镜组和成像模块，所述成像模块包括探测器；
通过照明模块产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；
利用所述第一镜组收集所述信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；
利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像包括：使所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭；
根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度；
所述监测面为所述第一镜组的后焦面，所述后焦面为所述第一镜组远离所述待测物的焦平面。
2.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，通过照明模块产生入射光中，利用所述照明模块将所述入射光汇聚在所述第一镜组的汇聚面，所述汇聚面位于所述第一镜组远离待测物的一侧，所述汇聚面与所述监测面重合；所述第一镜组还用于使汇聚至所述汇聚面的入射光平行入射至所述待测物。
3.如权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述照明模块包括：沿入射光路设置的光源组件和入射镜组；所述光源组件包括出射口，用于产生入射光，并使入射光自所述出射口射出；所述入射镜组使所述监测面与所述出射口共轭。
4.如权利要求3所述的检测方法，其特征在于，所述入射镜组包括第一入射镜、第二入射镜和第三入射镜，所述第一入射镜和第二入射镜之间具有第一中间像面，所述第二入射镜使所述第一中间像面与所述汇聚面共轭；所述第一入射镜使所述第一中间像面与所述出射口共轭；所述第二入射镜和第三入射镜之间具有第二中间像面，所述第三入射镜使所述第二中间像面与所述待测物表面共轭。
5.如权利要求4所述的检测方法，其特征在于，根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节包括：根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节。
6.如权利要求5所述的检测方法，其特征在于，所述照明模块还包括沿入射光路设置的光阑组件，所述光阑组件用于调节入射光的入射方向和/或入射光在待测物表面形成的光斑，所述照明模块满足以下条件中的一种或多种，所述条件包括：所述光源组件的位置可调、所述入射镜组的位置可调、所述光阑组件的位置可调、以及所述光阑组件的透光孔的尺寸和形状可调；
根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节包括：对所述光源组件的位置、所述入射镜组的位置、所述光阑组件的位置、以及所述光阑组件的透光孔的尺寸和形状中的一者或多者组合进行调节，以调节所述入射光的照明角度，以提高照明角度的对称性和均匀性，所述照明角度为入射光照射至所述待测物的空间角度。
7.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于，对所述入射镜组的位置、所述光阑组件的位置、以及所述光阑组件的透光孔的尺寸和形状中的一者或多者组合进行调节包括：将入射镜组的中心位置向入射光的主光轴调节；将光阑组件的中心位置向入射光的主光轴调节；调节光阑组件的透光孔的圆度。
8.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述光阑组件包括：孔径光阑，位于所述第一中间像面的位置处，用于限制入射光的入射方向；根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节包括以下一者或多者组合：根据第一图像的光强分布，调节孔径光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的空间角度分布；根据第一图像的轮廓，调节孔径光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的空间角度范围；根据第一图像的形状，调节孔径光阑的透光孔的形状，以调节入射光照射在待测物上的空间角度分布。
9.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述光阑组件包括：视场光阑，位于所述第二中间像面的位置处，用于限制入射光在待测物表面形成的光斑；根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节包括以下一者或多者组合：根据第一图像的光强分布，调节视场光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的空间角度分布；根据第一图像的轮廓，调节视场光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的边界轮廓；根据第一图像的形状，调节视场光阑的透光孔的形状，以调节入射光照射在待测物上的形状。
10.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括：位于第一镜组和成像模块之间的补偿组件；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像包括：利用所述补偿组件使所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭；
所述检测方法还包括：利用所述补偿组件使所述探测器的光敏面与所述待测物共轭；利用所述探测器接收经过所述第一镜组的信号光，获取所述待测物表面的第二图像。
11.如权利要求10所述的检测方法，其特征在于，所述补偿组件为可移动的补偿镜组，利用所述补偿组件使所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭包括：将所述可移动的补偿镜组移入所述第一镜组和成像模块之间的光路；利用所述补偿组件使所述探测器的光敏面与所述待测物共轭包括：将所述可移动的补偿镜组移出所述第一镜组和成像模块之间的光路。
12.如权利要求10所述的检测方法，其特征在于，所述补偿组件包括：补偿镜组，固定于所述第一镜组和成像模块之间的光路上；第一分束器，位于所述补偿镜组和第一镜组之间的光路上，所述第一分束器用于将接收的所述信号光沿多个不同光路方向进行传输，所述多个不同光路方向包括传输至所述补偿镜组中的第一光路、以及沿剩余光路方向传输的第二光路；
所述探测器包括与所述第一镜组的监测面共轭设置的第一探测器、以及与所述待测物共轭设置的第二探测器；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像包括：利用所述第一探测器接收所述第一光路的光，获取第一图像；利用所述探测器接收经过所述第一镜组的信号光包括：利用所述第二探测器接收所述第二光路的光，获取所述第二图像。
13.一种检测系统，其特征在于，包括：
照明模块、第一镜组、成像模块和调节模块，所述成像模块包括探测器；
其中，所述照明模块用于产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；
所述第一镜组用于收集所述信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；
所述成像模块的探测器用于根据所述信号光对所述第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面；所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭以获得所述第一图像；
所述调节模块用于根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度；
所述监测面为所述第一镜组的后焦面，所述后焦面为所述第一镜组远离所述待测物的焦平面。
14.如权利要求13所述的检测系统，其特征在于，所述照明模块还用于将所述入射光汇聚在所述第一镜组的汇聚面，所述汇聚面位于所述第一镜组远离待测物的一侧，所述汇聚面与所述监测面重合；所述第一镜组还用于使汇聚至所述汇聚面的入射光平行入射至所述待测物。
15.如权利要求14所述的检测系统，其特征在于，所述照明模块包括：沿入射光路设置的光源组件和入射镜组；所述光源组件包括出射口，用于产生入射光，并使入射光自所述出射口射出；所述入射镜组使所述监测面与所述出射口共轭。
16.如权利要求15所述的检测系统，其特征在于，所述入射镜组包括第一入射镜、第二入射镜和第三入射镜，所述第一入射镜和第二入射镜之间具有第一中间像面，所述第二入射镜使所述第一中间像面与所述汇聚面共轭；所述第一入射镜使所述第一中间像面与所述出射口共轭；所述第二入射镜和第三入射镜之间具有第二中间像面，所述第三入射镜使所述第二中间像面与所述待测物表面共轭。
17.如权利要求16所述的检测系统，其特征在于，所述照明模块还包括沿入射光路设置的光阑组件，所述光阑组件用于调节入射光的入射方向和/或入射光在待测物表面形成的光斑，所述照明模块满足以下条件中的一种或多种，所述条件包括：所述光源组件的位置可调、所述入射镜组的位置可调、所述光阑组件的位置可调、以及所述光阑组件的透光孔的尺寸和形状可调。
18.如权利要求17所述的检测系统，其特征在于，所述光阑组件包括：孔径光阑，位于所述第一中间像面的位置处，用于限制入射光的入射方向；视场光阑，位于所述第二中间像面的位置处，用于限制入射光在待测物表面形成的光斑。
19.如权利要求13所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：位于第一镜组和成像模块之间的补偿组件；所述补偿组件用于使得所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭以获得所述第一图像；所述探测器还用于根据所述信号光对所述待测物进行成像，获取所述待测物表面的第二图像；
所述补偿组件还用于使得所述探测器的光敏面与所述待测物共轭以获得所述第二图像。
20.如权利要求19所述的检测系统，其特征在于，所述补偿组件为可移动的补偿镜组，用于在移入所述第一镜组和成像模块之间的光路时，使所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭，在移出所述第一镜组和成像模块之间的光路时，使所述探测器的光敏面与所述待测物共轭。
21.如权利要求19所述的检测系统，其特征在于，所述补偿组件包括：补偿镜组，固定于所述第一镜组和成像模块之间的光路上；第一分束器，位于所述补偿镜组和第一镜组之间的光路上，所述第一分束器用于将接收的所述信号光沿多个不同光路方向进行传输，所述多个不同光路方向包括传输至所述补偿镜组中的第一光路、以及沿剩余光路方向传输的第二光路；
所述探测器包括与所述第一镜组的监测面共轭设置的第一探测器、以及与所述待测物共轭设置的第二探测器，所述第一探测器用于接收所述第一光路的光，所述第二探测器用于接收所述第二光路的光。
22.如权利要求20或21所述的检测系统，其特征在于，所述补偿镜组包括凸透镜或者，包括凸透镜与凹透镜构成的透镜组。
23.如权利要求19所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：第二镜组，设置于所述补偿组件与第一镜组之间的光路上，所述第二镜组用于接收经过所述第一镜组的信号光、并使所述信号光汇聚。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104677299A (zh) * 2013-11-29 2015-06-03 上海微电子装备有限公司 一种薄膜检测装置和方法
CN106802232A (zh) * 2017-03-16 2017-06-06 北京航空航天大学 一种基于全反射的显微物镜数值孔径测量方法及系统
CN107561007A (zh) * 2016-06-30 2018-01-09 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种薄膜测量装置和方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4427737B2 (ja) * 2004-04-22 2010-03-10 ソニー株式会社 照明装置及び画像生成装置
JP4691922B2 (ja) * 2004-07-29 2011-06-01 株式会社ニコン 結像光学系の調整方法
CN104950584B (zh) * 2014-03-25 2018-01-30 上海微电子装备（集团）股份有限公司 成像对准系统
CN215263090U (zh) * 2021-03-31 2021-12-21 深圳中科飞测科技股份有限公司 照明模块以及检测装置
CN113155845A (zh) * 2021-04-09 2021-07-23 武汉精测电子集团股份有限公司 一种光源及其设置方法、光学检测方法及系统

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104677299A (zh) * 2013-11-29 2015-06-03 上海微电子装备有限公司 一种薄膜检测装置和方法
CN107561007A (zh) * 2016-06-30 2018-01-09 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种薄膜测量装置和方法
CN106802232A (zh) * 2017-03-16 2017-06-06 北京航空航天大学 一种基于全反射的显微物镜数值孔径测量方法及系统

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