CN219390835U - 检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种检测设备，照明光经所述物镜组件以第一倾斜角入射至待测物表面，并在待测物表面的待测区域形成照明光斑，所述照明光斑处的所述照明光经待测物表面反射形成信号光，并以第二倾斜角入射至所述物镜组件，并经所述物镜组件入射至所述检测组件，通过照明组件和检测组件共物镜以获得待测物表面的检测信息，如高度信息，能够减少设备体积，提高空间利用率。可以看出，本申请实施例所提供的检测设备，不受物镜差异及物镜工作距离的限制，具有适用性广、空间体积小等特点。

Description

检测设备

技术领域

本申请实施例涉及光学显微镜、成像设备以及半导体检测设备的动态聚焦跟踪，尤其涉及一种检测设备。

背景技术

在半导体行业，电子束成像、光学检测以及光刻领域，在对样品表面测量或曝光时，需要将样品Z向高度控制在百纳米范围内，因此首先需要对样品表面形貌进行高精度检测。

随着半导体晶圆检测设备检测精度要求的提高，物镜的放大倍率不断增大、景深逐渐减小，物镜和晶圆之间距离变化造成的影响变得不可忽视。为了使晶圆保持在正确的工作距离上，需要实时迅速、精确对物镜和晶圆之间的距离变化进行测量。

因物镜的工作距离非常短，且光学系统空间有限，如何在与物镜耦合的基础上减小检测设备体积，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型实施例解决的技术问题是在与物镜耦合的基础上减小检测设备体积。

为解决上述问题，本申请实施例提供一种检测设备，包括：

照明组件，物镜组件及检测组件；

所述照明组件用于产生照明光，所述照明光经所述物镜组件以第一倾斜角入射至待测物表面，并在待测物表面的待测区域形成照明光斑，所述照明光斑为条形光斑；

所述照明光斑处的所述照明光经待测物表面反射形成信号光，至少部分所述信号光以第二倾斜角入射至所述物镜组件，并经所述物镜组件入射至所述检测组件；

所述检测组件用于收集至少部分所述信号光以形成检测信号，并根据所述检测信号获取所述待测区域的高度信息。

可选的，所述检测设备，还包括：

分光组件，所述分光组件为半透半反镜片；

所述照明光入射至所述分光组件经所述分光组件反射至所述物镜组件，所述信号光入射至所述分光组件经所述分光组件透射至所述检测组件；

或者，所述照明光入射至所述分光组件经所述分光组件透射至所述物镜组件，所述信号光入射至所述分光组件经所述分光组件反射至所述检测组件。

可选的，所述照明组件包括光源和整形组件，所述光源用于产生初始照明光，所述整形组件用于对所述初始照明光进行整形形成照明光，所述照明光经所述物镜组件在待测物表面形成照明光斑。

可选的，所述整形组件包括投影光栅，所述照明光斑包括沿同一方向排列的多个条纹光斑。

可选的，所述照明光斑用于对所述待测物表面进行扫描，所述条纹光斑的延伸方向与所述照明光斑在待测物表面的扫描方向呈一夹角。

可选的，所述待测物表面包括切割道，所述条纹光斑的延伸方向与所述切割道延伸方向呈一夹角。

可选的，沿所述信号光传输方向，所述检测组件包括：探测光栅和图像采集器；所述探测光栅用于接收所述照明光斑的像，所述照明光斑的像与所述探测光栅形成莫尔条纹，所述检测信号包括所述莫尔条纹的光强信号，所述图像采集器用于收集所述检测信号，并根据所述检测信号获取所述待测物的待测区域的高度信息。

可选的，所述检测组件还包括光束调整模块，所述光束调整模块设于所述物镜组件和所述探测光栅之间的光路，所述光束调整模块用于将所述信号光分成第一信号光和第二信号光，所述第一信号光经所述探测光栅形成第一莫尔条纹，所述第二信号光经所述探测光栅形成第二莫尔条纹。

可选的，所述第一信号光的强度与所述第二信号光的强度相同。

可选的，所述检测组件还包括：

空间分光模块，所述空间分光模块用于接收所述第一莫尔条纹和所述第二莫尔条纹，并将所述第一莫尔条纹和所述第二莫尔条纹在空间上分开；

所述图像采集器用于探测所述第一莫尔条纹的光强信号和所述第二莫尔条纹的光强信号，并将所述光强信号转化为电信号，根据归一化差分处理获得所述待测物的待测区域的高度信息。

可选的，所述光束调整模块包括：偏振片，用于将所述信号光转化为线偏振光；

分光晶体，所述分光晶体位于所述偏振片之后光路上，用于使所述线偏振光形成两个偏振态相互垂直的所述第一信号光和所述第二信号光。

可选的，所述图像采集器包括第一探测器和第二探测器，所述第一探测器用于获得所述第一莫尔条纹的光强信号，所述第二探测器用于获得所述第二莫尔条纹的光强信号。

可选的，所述检测设备，还包括：

聚焦镜，所述聚焦镜位于所述空间分光模块和所述图像采集器之间的光路，用于将所述第一莫尔条纹的光强信号汇聚至所述第一探测器，并将所述第二莫尔条纹的光强信号汇聚到所述第二探测器。

可选的，所述光束调整模块还包括滤光片，沿所述信号光传输方向，所述滤光片设置于所述偏振片前的光路上。

可选的，所述检测设备，还包括：

第一聚焦镜组，配置为与所述物镜组件组合将所述照明光入射至所述待测物体表面上，所述整形组件位于所述第一聚焦镜组的前焦面上，且在所述物镜组件的后焦面形成照明光斑；

第二聚焦镜组，配置为与所述物镜组件组合以接收经所述待测物表面反射后形成的信号光，所述照明光斑的像经所述物镜组件和所述第二聚焦镜组成像于所述探测光栅。

与现有技术相比，本申请实施例的技术方案具有以下优点：

本实用新型实施例所提供的检测设备，照明光经所述物镜组件以第一倾斜角入射至待测物表面，并在待测物表面的待测区域形成照明光斑，所述照明光斑处的所述照明光经待测物表面反射形成信号光，并以第二倾斜角入射至所述物镜组件，并经所述物镜组件入射至所述检测组件，通过照明组件和检测组件共物镜以获得待测物表面的检测信息，如高度信息，能够减少设备体积，提高空间利用率。可以看出，本申请实施例所提供的检测设备，不受物镜差异及物镜工作距离的限制，具有适用性广、空间体积小等特点。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使提高半导体晶圆检测设备的测量精度用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例所提供的检测设备的示意图；

图2本申请实施例所提供的检测设备的空间分光示意图；

图3是本申请实施例所提供的检测设备的整形组件成像图。

其中，10-照明组件；101-光源；102-照明装置；103-整形组件；30-聚焦镜组模块；301-第一聚焦镜组；302-第二聚焦镜组；40-物镜组件；50-待测物；60-光束调整模块；601-探测光栅；602-偏振片；603-分光晶体；604-滤光片；70-空间分光模块；701-分光装置；702-聚焦镜；80-图像采集器；90-分光组件。

具体实施方式

由背景技术可知，如何在与物镜耦合的基础上减小设备体积，是目前需要解决的技术问题。

为了在与物镜耦合的基础上减小设备体积，以提高检测设备的空间利用率，本申请实施例提供了一种检测设备，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本说明书所涉及到的指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位，以特定的方位构造，因此不能理解为对本申请的限制。

请参考图1，图1是本申请实施例所提供的检测设备的示意图。

如图1所示，本申请实施例所提供的检测设备，包括：

照明组件10，物镜组件40及检测组件；

所述照明组件10用于产生照明光，所述照明光经所述物镜组件40以第一倾斜角入射至待测物50表面，并在待测物50表面的待测区域形成照明光斑，所述照明光斑为条形光斑；

所述照明光斑处的所述照明光经待测物50表面反射形成信号光，至少部分所述信号光以第二倾斜角入射至所述物镜组件40，并经所述物镜组件40入射至所述检测组件；所述检测组件用于收集至少部分所述信号光以形成检测信号，并根据所述检测信号获取所述待测区域的高度信息。

如图1所示，照明光经物镜组件40以第一倾斜角入射待测物50表面，再经待测物50表面反射以第二倾斜角入射至所述物镜组件40，从而，入射光线、反射光线与物镜组件的中心平面组成三角形，当待测物50与检测装置沿Y方向发生相对位移时，照明光经物镜组件40入射到待测物50表面的照明光斑的位置会产生变化，从而，根据照明光斑处的信号光可以计算出待测物50的高度变化量。

由于物镜组件40的工作距离非常短，为了便于光路设置，本申请实施例中，照明光路与检测光路共用物镜组件40，使得物镜组件40与检测系统的照明光路和检测光路实现同轴工作。通过照明组件和检测组件共物镜组件40以获得待测物表面的检测信息，如高度信息，能够减少设备体积，提高空间利用率。可以看出，本申请实施例所提供的检测设备，不受物镜差异及物镜工作距离的限制，具有适用性广、空间体积小等特点。

具体地，所述照明组件10包括光源101、照明装置102和整形组件103，所述光源101适于发出满足系统波长要求的测量光，产生初始照明光；本申请实施例中，所述测量光的入射角度基于所述物镜组件40的数值孔径NA确定。

照明装置102将光源101发出的测量光均匀照射到整形组件103上；

所述整形组件103用于对所述初始照明光进行整形形成照明光，所述照明光经所述物镜组件40在待测物50表面形成照明光斑。

考虑到物镜组件本身有检测范围且物镜组件尺寸有限，为了避免物镜因素限制自动聚焦的视场角(FOV)，同时为了增加检测面积，提高测量精度，本申请实施例所提供的检测设备，沿入射光传输方向，可以在整形组件前面设置光阑或者光圈调节装置，根据FOV调节光斑尺寸，以保证照明光覆盖物镜组件的全视场。通过调节照明光斑的尺寸，满足系统使用需求。

光源101可以选择LED，氙灯，汞灯，卤素灯，激光等光源。

在一种具体实施例中，所述整形组件103包括投影光栅，所述照明光斑包括沿同一方向排列的多个条纹光斑。

本实施例中，所述整形组件103用于在所述待测物50表面形成条纹光斑。所述条纹光斑包括多个周期性排列的条纹。即所述条纹光斑为明暗条纹交替排列的光斑。当然，在其他实施例中，所述整形组件的结构还可以是多个小孔的形式。

所述照明光斑用于对所述待测物表面进行扫描，所述条纹光斑的延伸方向与所述照明光斑在待测物表面的扫描方向呈一夹角。

如图3所示，以整形组件为投影光栅为例，为了避免规则性结构造成的测量误差，在一种具体实施例中，整形组件103在待测物50上所成的条纹光斑的延伸方向与待测物50(以晶圆为例)扫描方向成锐角。

需要说明的是，本申请提供的技术方案中两个方向之间的夹角指的是两个方向之间的较小的夹角，也即两个方向之间的夹角范围只能为0°至90°。

需要说明的是，条纹光斑的延伸方向避免与晶圆规则性结构平行或垂直即可，即条纹光斑的延伸方向与扫描方向的夹角范围是0°～90°之间，例如，条纹光斑的延伸方向与晶圆扫描方向所成的夹角可以是45°、40°、35°、30°、25°、22°、20°等。

以待测物为晶圆为例，所述待测物表面包括切割道，所述条纹光斑的延伸方向与所述切割道延伸方向呈一夹角。同理，夹角范围是0°～90°之间，例如，条纹光斑的延伸方向与所述切割道延伸方向所成的夹角可以是45°、40°、35°、30°、25°、22°、20°等。

继续参考图1，所述检测设备还包括：

分光组件90，所述分光组件90为半透半反镜片；

在一种实施例中，可以是所述照明光入射至所述分光组件90经所述分光组件90反射至所述物镜组件40，所述信号光入射至所述分光组件90经所述分光组件90透射至所述检测组件；分光组件90适于使所述照明光偏转90度并朝向所述物镜组件40传播，所述分光组件90还用于使出射光(信号光)透过，并使所述信号光朝向所述检测组件传播。

在另一实施例中，还可以是所述照明光入射至所述分光组件90经所述分光组件90透射至所述物镜组件40，所述信号光入射至所述分光组件90经所述分光组件90反射至所述检测组件。

继续参考图1，为了便于光路设置，所述分光组件90可以采用分光片。分光片实现光路的耦合，用于反射探测，并返回信号光。在其他实施例中，分光元件还可以是立方分光镜、偏振分光棱镜(PBS，Polarization Beam Splitter)等。

继续参考图1，在一种具体实施例中，沿所述信号光传输方向，所述检测组件包括：探测光栅601和图像采集器80；所述探测光栅601用于接收所述照明光斑的像，所述照明光斑的像与所述探测光栅601形成莫尔条纹，所述检测信号包括所述莫尔条纹的光强信号，所述图像采集器80用于收集所述检测信号，并根据所述检测信号获取所述待测物的待测区域的高度信息。根据莫尔条纹的图像对待测物50进行检测能够提高检测精度。

为了消除反射率变化、明暗场变化等固有变化带来的干扰，对光学信号进行空间差分，本申请实施例所提供的检测设备，检测组件适于将信号光分成偏振方向相互垂直、光强相等的第一信号光和第二信号光，所述第一信号光的像和所述第二信号光的像分别与所述探测光栅601叠加形成第一莫尔条纹和第二莫尔条纹。本实施例中，所述检测组件还包括光束调整模块60，所述光束调整模块60设于所述物镜组件40和所述探测光栅601之间的光路，所述光束调整模块60用于将所述信号光分成第一信号光和第二信号光，所述第一信号光经所述探测光栅601形成第一莫尔条纹，所述第二信号光经所述探测光栅601形成第二莫尔条纹。

具体地，所述光束调整模块60包括：偏振片602，用于将所述信号光转化为线偏振光；分光晶体603，所述分光晶体603位于所述偏振片602之后光路上，用于使所述线偏振光形成两个偏振态相互垂直的所述第一信号光和所述第二信号光，所述分光晶体603厚度满足能够使第一信号光和第二信号光的偏振图像在垂直光栅刻线方向上错位半个周期。

通过设计分光晶体603的光轴和厚度，使第一信号光和第二信号光的偏振图像在垂直光栅刻线方向上错位半个周期。周期指的是相邻明条纹之间的距离或相邻暗条纹之间的距离。

继续参考图1，所述光束调整模块60还包括滤光片604，沿所述信号光传输方向，所述滤光片604设置于所述偏振片前的光路上。所述滤光片604为窄带滤光片。窄带滤波片用于隔离干扰光，透过信号光，减小干扰信息，为后续分光奠定基础。

容易理解的是，由于第一信号光和第二信号光是由同一束光分离开的，且第一信号光和第二信号光的强度相同，具有一定的相位差，即使受到环境干扰，两个光强值的差值仍然不变，其差值仅受到待测物50反射率或明暗场变化的影响。通过对光学信号进行空间差分，能够消除反射率变化、明暗场变化等固有变化带来的干扰，提高检测精度。

为了实现精准测量待测物50位移的变化，在一种具体实施例中，探测光栅601相对投影光栅(整形组件)103沿垂直于光轴的方向错开四分之一周期，当完全在零位时，第一信号光和第二信号光光强相等，当待测物50移动时，第一信号光和第二信号光的信号是相反的，即第一信号光变亮第二信号光就会变暗，第二信号光变暗第一信号光就会变亮。因此，当被测面(待测物)发生位移时，通过测量第一信号光和第二信号光的光强变化来实现高精度测量。

具体地，如图2所示，信号光通过分光晶体603后分成偏振方向相互垂直的第一信号光(o光)和第二信号光(e光)，且在垂直于信号光传播的方向上分开一定的距离，该距离正好是条纹光斑周期的二分之一，从而使得第一信号光的像和第二信号光的像正好也错开1/2个光栅周期。

如图1所示，本实施例中，所述检测组件还包括：

空间分光模块70，所述空间分光模块70用于接收所述第一莫尔条纹和所述第二莫尔条纹，并将所述第一莫尔条纹和所述第二莫尔条纹在空间上分开；

具体地，所述分光模块70包括分光装置701和聚焦镜702，所述分光装置701将第一莫尔条纹和第二莫尔条纹在空间上完全分开，通过设计分光装置701的结构来设计第一信号光和第二信号光分开的角度。在一种具体实施例中，分光装置701可以选用沃拉斯顿棱镜。

所述图像采集器80用于探测所述第一莫尔条纹的光强信号和所述第二莫尔条纹的光强信号，并将所述光强信号转化为电信号，根据归一化差分处理获得所述待测物的待测区域的高度信息。

图像采集器80用于检测设备的光学信号检测，将接收的光信号转换为电信号按指定公式进行运算，输出的模拟量作为闭环控制系统的输入信号。

所述图像采集器80可以包括光电二极管阵列检测器、阵列式传感器。图像采集器80可以为光电阵列检测器，用同一个光电阵列检测器同时探测两束空间分开的像，以保证数据采集模组不同探测区域内的暗电流、光谱响应度等电学性能指标的一致性。光电阵列检测器同时将第一信号光与第二信号光光强信号转换为电流信号，经过信号放大和转换，传输到计算机进行计算和存储。

需要说明的是，所述图像采集器还可以包括其他用于进行数据处理的组件，例如，所述图像采集器还可以包括计算机和相机，所述计算机与相机耦接，从而能够接收相机获取的检测图像，并基于所述检测图像进行图像处理和分析。

为了提高测量精度，在对第一信号光的光强信号和第二信号光的光强信号进行归一化处理前，还可以包括：标定所述第一信号光的光强信号和第二信号光的光强信号；并对所述差分信号进行拟合，得到拟合参数，根据所述拟合参数对信号进行处理，得到测量信息。当然，在其他实施例中，也可以采用其他信号处理方法得到测量信息。

所述图像采集器80可以包括第一探测器和第二探测器，所述第一探测器用于获得所述第一莫尔条纹的光强信号，所述第二探测器用于获得所述第二莫尔条纹的光强信号。通过将完全分开的第一莫尔条纹和第二莫尔条纹分别成像到一对探测器上，能够避免图像采集器分时探测不同偏振方向光强易引入测量误差的问题。

聚焦镜702，所述聚焦镜702位于所述空间分光模块70和所述图像采集器80之间的光路，用于将所述第一莫尔条纹的光强信号汇聚至所述第一探测器，并将所述第二莫尔条纹的光强信号汇聚到所述第二探测器。当然，在其他实施例中，还可以是将第一莫尔条纹和第二莫尔条纹的光强信号汇聚到同一个探测器的不同区域。

本申请实施例所提供的检测设备，采用叠加莫尔条纹检测待测物50的位移量，并通过空间分光模块70将叠加莫尔条纹信号分开进行探测，并进行差分，实现空间光学信号差分。通过空间光学信号差分，能够消除反射率变化、明暗场变化等固有变化带来的干扰，提高半导体晶圆检测设备的测量精度。

继续参考图1，在一种具体实施例中，本申请实施例所提供的检测设备，还包括：聚焦镜组模块30，能够适配不同倍率的物镜组件40，所述聚焦镜组模块30包括第一聚焦镜组301和第二聚焦镜组302，所述第一聚焦镜组301设置于投影光路上且与物镜组件40耦合，所述第二聚焦镜组302设置于探测光路上且与所述物镜组件40耦合；

第一聚焦镜组301，配置为与所述物镜组件组合将所述照明光入射至所述待测物体表面上，所述整形组件103位于所述第一聚焦镜组301的前焦面上，且在所述物镜组件40的后焦面形成照明光斑；第二聚焦镜组302，配置为与所述物镜组件组合以接收经所述待测物50表面镜面反射后形成的信号光，所述照明光斑的像经所述物镜组件50和所述第二聚焦镜组302成像于所述探测光栅601上。

需要说明的是，本文所述的投影光路，指的是投影到待测物表面之前的光路，本文所述的探测光路，指的是经待测物表面反射出之后的光路。

第一聚焦镜组301设置于投影光路上，第二聚焦镜组302设置于探测光路上，第一聚焦镜组301结合物镜组件40将整形组件以一定倍率成像到待测物50表面上，并保证检测设备满足系统工作距离要求。照明光斑的像经待测物50表面反射后，携带待测物50的高度信息，经过物镜组件40和第二聚焦镜组302再次成像到探测光栅601上，照明光斑的像与探测光栅601叠加形成叠加莫尔条纹。当待测物50表面高度发生变化时，照明光斑的像也会随之相应发生移动，使得叠加莫尔条纹光强随之变化。根据叠加莫尔条纹光强弱变化，可以得到照明光斑的像的移动量，从而精确计算待测物50高度变化量。

结合图1可以看出，所述物镜组件40设置于聚焦镜组模块30和待测物50(以晶圆为例)之间。为了便于设置其他的光学系统，聚焦镜组模块30和物镜组件40之间留有很大的空间距离，该距离可以用来适配系统要求，使得聚焦镜组模块满足系统的工作距离。

容易理解的是，不同物镜的焦距不同，不同系统的物镜倍率不同，物镜参数变化会对整个系统产生影响。为了实现跟物镜组件耦合，聚焦镜组模块需要根据物镜系统参数变化进行改变以适应物镜。由于本申请实施例所提供的聚焦镜组模块30设置有适配不同倍率物镜的聚焦镜，能够适配不同倍率物镜组件，例如，50倍物镜、100倍物镜等都可以应用，检测设备可以直接在不同系统上适配，从而扩大了应用范围。

在一种实施例中，第一聚焦镜组301和第二聚焦镜组302可以为远心镜组，以保证成像时不会产生视差，提高成像效果。

虽然本申请实施例披露如上，但本申请并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本申请的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本申请的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (15)

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

照明组件，物镜组件及检测组件；

所述照明组件用于产生照明光，所述照明光经所述物镜组件以第一倾斜角入射至待测物表面，并在待测物表面的待测区域形成照明光斑，所述照明光斑为条形光斑；

所述照明光斑处的所述照明光经待测物表面反射形成信号光，至少部分所述信号光以第二倾斜角入射至所述物镜组件，并经所述物镜组件入射至所述检测组件；

所述检测组件用于收集至少部分所述信号光以形成检测信号，并根据所述检测信号获取所述待测区域的高度信息。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：

分光组件，所述分光组件为半透半反镜片；

所述照明光入射至所述分光组件经所述分光组件反射至所述物镜组件，所述信号光入射至所述分光组件经所述分光组件透射至所述检测组件；或者，所述照明光入射至所述分光组件经所述分光组件透射至所述物镜组件，所述信号光入射至所述分光组件经所述分光组件反射至所述检测组件。

3.如权利要求1或2所述的检测设备，其特征在于，所述照明组件包括光源和整形组件，所述光源用于产生初始照明光，所述整形组件用于对所述初始照明光进行整形形成照明光，所述照明光经所述物镜组件在待测物表面形成照明光斑。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述整形组件包括投影光栅，所述照明光斑包括沿同一方向排列的多个条纹光斑。

5.如权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述照明光斑用于对所述待测物表面进行扫描，所述条纹光斑的延伸方向与所述照明光斑在待测物表面的扫描方向呈一夹角。

6.如权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述待测物表面包括切割道，所述条纹光斑的延伸方向与所述切割道延伸方向呈一夹角。

7.如权利要求4所述的检测设备，其特征在于，沿所述信号光传输方向，所述检测组件包括：探测光栅和图像采集器；所述探测光栅用于接收所述照明光斑的像，所述照明光斑的像与所述探测光栅形成莫尔条纹，所述检测信号包括所述莫尔条纹的光强信号，所述图像采集器用于收集所述检测信号，并根据所述检测信号获取所述待测物的待测区域的高度信息。

8.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述检测组件还包括光束调整模块，所述光束调整模块设于所述物镜组件和所述探测光栅之间的光路，所述光束调整模块用于将所述信号光分成第一信号光和第二信号光，所述第一信号光经所述探测光栅形成第一莫尔条纹，所述第二信号光经所述探测光栅形成第二莫尔条纹。

9.如权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述第一信号光的强度与所述第二信号光的强度相同。

10.如权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述检测组件还包括：

空间分光模块，所述空间分光模块用于接收所述第一莫尔条纹和所述第二莫尔条纹，并将所述第一莫尔条纹和所述第二莫尔条纹在空间上分开；所述图像采集器用于探测所述第一莫尔条纹的光强信号和所述第二莫尔条纹的光强信号，并将所述光强信号转化为电信号，根据归一化差分处理获得所述待测物的待测区域的高度信息。

11.如权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述光束调整模块包括：偏振片，用于将所述信号光转化为线偏振光；

分光晶体，所述分光晶体位于所述偏振片之后光路上，用于使所述线偏振光形成两个偏振态相互垂直的所述第一信号光和所述第二信号光。

12.如权利要求10所述的检测设备，其特征在于，所述图像采集器包括第一探测器和第二探测器，所述第一探测器用于获得所述第一莫尔条纹的光强信号，所述第二探测器用于获得所述第二莫尔条纹的光强信号。

13.如权利要求12所述的检测设备，其特征在于，还包括：

聚焦镜，所述聚焦镜位于所述空间分光模块和所述图像采集器之间的光路，用于将所述第一莫尔条纹的光强信号汇聚至所述第一探测器，并将所述第二莫尔条纹的光强信号汇聚到所述第二探测器。

14.如权利要求11所述的检测设备，其特征在于，所述光束调整模块还包括滤光片，沿所述信号光传输方向，所述滤光片设置于所述偏振片前的光路上。

15.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，还包括：

第一聚焦镜组，配置为与所述物镜组件组合将所述照明光入射至所述待测物体表面上，所述整形组件位于所述第一聚焦镜组的前焦面上，且在所述物镜组件的后焦面形成照明光斑；

第二聚焦镜组，配置为与所述物镜组件组合以接收经所述待测物表面反射后形成的信号光，所述照明光斑的像经所述物镜组件和所述第二聚焦镜组成像于所述探测光栅。