JP4721685B2 - 形状測定方法及び形状測定装置 - Google Patents
形状測定方法及び形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4721685B2 JP4721685B2 JP2004294381A JP2004294381A JP4721685B2 JP 4721685 B2 JP4721685 B2 JP 4721685B2 JP 2004294381 A JP2004294381 A JP 2004294381A JP 2004294381 A JP2004294381 A JP 2004294381A JP 4721685 B2 JP4721685 B2 JP 4721685B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- light
- objective lens
- diffraction grating
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
この形状測定装置では、光源1の光はコリメーターレンズ2によって平行光となり、その内、ピンホールアレイ7にマトリックス状に配列されたピンホール7aを通過した光はハーフミラー等の光路分岐光学素子4を透過し、対物レンズ5によって集光され、移動ステージ10の上に載置された被測定物体9の上に投光される。
(1)精度の高い共焦点効果を得るためには、2つのピンホールアレイ7を互いのピンホール7aのピッチが正確に合うように例えばサブミクロンの精度で精密に作成し、それらを光路分岐光学素子4を挟んで共役な位置に前記精度で精密に位置決めし、固定維持する必要がある。しかし数十万個に及ぶピンホール7aを持ったピンホールアレイ7を上記精度で作成するのは技術的に難しく、またその位置決め、固定維持も容易ではない。
(2)ピンホールアレイ7に入射する光はピンホール7a以外の部分は透過しないので、光の利用効率が悪く、光源1の光の数%しか利用されない。そのため十分な検出光量を得るのに時間がかかり、被測定物体9の形状測定に長い時間を要する。
(3)ピンホールアレイ7の遮光部分で反射する光が光検出器アレイ8(二次元検出器)に届かないようにする対策も必要である。
(4)二次元配列型共焦点撮像系においては、照明光はできるだけ可干渉性の低い光であることが要求される。局所的な光の干渉によって発生する粒状雑音(以下、スペックルと記す)がなるべく少ない画像を得るためである。
また、前記ピンホールは、遮光膜でなく反射防止膜が施されたものであることを特徴とする。
b)構造が簡単であるため、製作容易であり、各部の位置合わせも容易である。
d)照明系のピンホールアレイに入射する光源光がピンホール以外の部分(遮光膜)で反射して観察される、という従来の不具合を低減できる。
また、回折格子移動ステージを設けることによって、低倍率、低開口数の対物レンズを用いる時もスペックルの発生を抑制可能である。ファクトリーオートメーションの自動検査ラインでの三次元計測などでは低倍率の対物レンズによる粗面観察が求められることが多いため、スペックル抑制効果は非常に有効である。
(実施の形態1)
図1は本発明の形状測定方法の実施の形態1における形状測定装置を示す。
光源1より出た光はコリメーターレンズ2によってほぼ平行光とされ、透過型回折格子3で点光源アレイであるかのように分岐された後、光路分岐光学素子4を通過し、対物レンズ5に入射して被測定物体9に向けて集光される。ここでは簡便のために一部の分岐光(回折光)のみ図示しているが、実際は分岐光のそれぞれから生じる点像が被測定物体9の検査面の上に結像される。
図2は本発明の形状測定方法の実施の形態2における形状測定装置を示す。
この実施の形態2の形状測定装置は、光路分岐光学素子として偏光ビームスプリッタ13が設けられ、この偏光ビームスプリッタ13と対物レンズ5の間に1/4波長板14が設けられている点だけが実施の形態1とは異なっている。
図3は本発明の形状測定方法の実施の形態3における形状測定装置を示す。
この実施の形態3の形状測定装置は、回折格子をその面方向に沿って移動させる回折格子移動ステージ15が設けられている点だけが実施の形態1とは異なっている。
2 コリメーターレンズ
3 回折格子
4 光路分岐光学素子
5 対物レンズ
6 結像レンズ
7 ピンホールアレイ
7a ピンホール
8 光検出器アレイ
9 被測定物体
10 移動ステージ
11 三次元計測部
12 移動制御部
13 偏光ビームスプリッタ
14 1/4波長板
15 回折格子移動ステージ
Claims (5)
- 光源から出射した光を対物レンズを介して被測定物体に照射し、光軸方向に前記被測定物体を相対移動させて、その移動の時々の前記被測定物体からの反射光または投射光によって前記被測定物体自体が発する蛍光量を光検出器アレイで検出し、前記被測定物体の前記光軸方向における時々の位置データとそのときの前記光検出器アレイの検出信号とを対にしてデータ処理して、前記被測定物体の表面形状を三次元計測するに際し、
前記光源から出射した光を、その溝に直交する方向に面内変位することによりスペックルのコントラストの打ち消し合いを生じさせる回折格子を介して複数に分岐させた後に、前記対物レンズを介して前記被測定物体に照射し、前記被測定物体からの反射光または前記被測定物体自体が発する蛍光を、ピンホールアレイを通過させた後に前記光検出器アレイで検出して前記被測定物体の表面形状を三次元計測する形状測定方法。 - 光源から出射した光を複数の点光源に分岐させる回折格子と、
前記回折格子をその溝に直交する方向に、スペックルのコントラストの打ち消し合いが生じるように面内変位させる回折格子移動ステージと、
前記回折格子によって分岐された点光源を被測定物体に投影する対物レンズと、
前記対物レンズと前記回折格子の間の光路中に配設され前記回折格子から対物レンズに向かう光を透過し、前記被測定物体で反射して再び前記対物レンズを通過した反射光を前記光路から分岐させる光路分岐光学素子と、
前記光路分岐光学素子によって分岐された反射光を結像させる結像レンズと、
二次元配置された複数のピンホールを有し前記結像レンズの後ろ側焦点位置に配置されたピンホールアレイと、
前記ピンホールアレイの複数のピンホールのそれぞれに対応する複数の光検出器を有し、前記結像レンズにより前記光検出器のそれぞれに結像された像を光電変換する光検出器アレイと、
前記被測定物体を前記対物レンズの光軸方向に移動させて走査する移動ステージと、
前記移動ステージによる前記被測定物体の前記光軸方向における時々の位置データとそのときの前記光検出器アレイの検出信号とを対にしてデータ処理して、前記被測定物体の表面形状を三次元計測する三次元計測部とを備えた形状測定装置。 - 光路分岐光学素子として偏光ビームスプリッタを備え、この偏光ビームスプリッタと対物レンズとの間に1/4波長板を備えた請求項2記載の形状測定装置。
- 前記ピンホールは、遮光膜でなく反射防止膜が施されたものである請求項2または請求項3に記載の形状測定装置。
- 投射光によって被測定物体自体が発する蛍光量を光検出器アレイで検出する経路中に、蛍光波長を透過するバンドパスフィルタを介装して前記蛍光以外の光を遮断する請求項1記載の形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004294381A JP4721685B2 (ja) | 2004-10-07 | 2004-10-07 | 形状測定方法及び形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004294381A JP4721685B2 (ja) | 2004-10-07 | 2004-10-07 | 形状測定方法及び形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006105835A JP2006105835A (ja) | 2006-04-20 |
JP4721685B2 true JP4721685B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=36375746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004294381A Expired - Fee Related JP4721685B2 (ja) | 2004-10-07 | 2004-10-07 | 形状測定方法及び形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4721685B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080277595A1 (en) * | 2007-05-10 | 2008-11-13 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Highly multiplexed confocal detection systems and methods of using same |
JP2009031169A (ja) * | 2007-07-28 | 2009-02-12 | Nikon Corp | 位置検出装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 |
KR100932560B1 (ko) * | 2007-12-29 | 2009-12-17 | 강원대학교산학협력단 | 3차원 시차 영상 획득 시스템 |
FR2963673B1 (fr) * | 2010-08-03 | 2017-01-20 | Telmat Ind | Installation et procede pour l'acquisition numerique tridimensionnelle de formes et/ou de position d'objets ou de sujets |
DE102011082349B3 (de) * | 2011-09-08 | 2013-01-10 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen konfokalen Vermessung |
CN102679917A (zh) * | 2012-05-08 | 2012-09-19 | 首钢总公司 | 一种激光检测连铸坯表面振痕的方法 |
JP2014010216A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Lithotech Co Ltd | 多焦点共焦点顕微鏡 |
KR101594314B1 (ko) * | 2014-12-02 | 2016-02-16 | 주식회사 템퍼스 | 3차원 거리 측정 시스템 및 이를 이용한 3차원 거리 측정 방법 |
KR101594309B1 (ko) * | 2014-12-17 | 2016-02-16 | 주식회사 템퍼스 | 3차원 거리 측정 시스템 및 이를 이용한 3차원 거리 측정 방법 |
CN107678151B (zh) * | 2017-04-21 | 2020-04-10 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 基于干涉阵列光场的共聚焦并行显微成像仪 |
KR101912293B1 (ko) * | 2017-05-26 | 2018-10-26 | 한국영상기술(주) | 다중빔 반사광 각도 측정을 통한 시료 표면 굴곡 측정 장치 |
KR102499494B1 (ko) * | 2021-09-27 | 2023-02-13 | 상명대학교산학협력단 | 서로 다른 파장을 갖는 레이저 광원을 이용하여 3차원 영상을 재구성하기 위한 회절 격자 이미징 시스템 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08152308A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-06-11 | Komatsu Ltd | 共焦点光学装置 |
JPH08233544A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-09-13 | Komatsu Ltd | 共焦点光学装置 |
JPH10206129A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-08-07 | Rudolf Groskopf | 対象物の3次元測定装置および測定方法 |
JP2000275019A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 能動共焦点撮像装置とそれを用いた三次元計測方法 |
JP2001012926A (ja) * | 1999-05-10 | 2001-01-19 | Rudolf Groskopf | 対象物の3次元検査のための装置 |
JP2001066124A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-16 | Anritsu Corp | 三次元表面形状測定装置 |
JP2004101532A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Siemens Ag | 共焦点距離センサ |
-
2004
- 2004-10-07 JP JP2004294381A patent/JP4721685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08152308A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-06-11 | Komatsu Ltd | 共焦点光学装置 |
JPH08233544A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-09-13 | Komatsu Ltd | 共焦点光学装置 |
JPH10206129A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-08-07 | Rudolf Groskopf | 対象物の3次元測定装置および測定方法 |
JP2000275019A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 能動共焦点撮像装置とそれを用いた三次元計測方法 |
JP2001012926A (ja) * | 1999-05-10 | 2001-01-19 | Rudolf Groskopf | 対象物の3次元検査のための装置 |
JP2001066124A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-16 | Anritsu Corp | 三次元表面形状測定装置 |
JP2004101532A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Siemens Ag | 共焦点距離センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006105835A (ja) | 2006-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI743200B (zh) | 用於最佳化以成像為基礎之疊對度量之聚焦的系統及方法 | |
JP6283562B2 (ja) | 物体の3次元構造を検出する装置 | |
JP3350918B2 (ja) | 2次元配列型共焦点光学装置 | |
US6909509B2 (en) | Optical surface profiling systems | |
TWI402498B (zh) | 影像形成方法及影像形成裝置 | |
US7471396B2 (en) | Dual polarization interferometers for measuring opposite sides of a workpiece | |
CN101114134A (zh) | 用于投影扫描光刻机的对准方法及微器件制造方法 | |
JP4721685B2 (ja) | 形状測定方法及び形状測定装置 | |
JP7233536B2 (ja) | 各々入力光フィールドの入力位相及び/又は入力振幅を測定する方法、干渉計及び信号処理装置 | |
JP4090860B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP2011089804A (ja) | 干渉計 | |
JP2009162539A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
CN114502912A (zh) | 混合式3d检验系统 | |
JP5849231B2 (ja) | 表面形状測定装置及び方法 | |
JPWO2020017017A1 (ja) | 光計測装置および試料観察方法 | |
JP2023527995A (ja) | 埋込計量ターゲット用撮像システム | |
KR20180028230A (ko) | 광학식 거리 측정 장치 | |
JP2013083482A (ja) | 状態検出装置 | |
JP2006300763A (ja) | 変位検出装置 | |
KR101620594B1 (ko) | 다기능 분광장치 | |
JP2009198205A (ja) | 干渉計 | |
JP4869656B2 (ja) | 干渉計 | |
JP2006349382A (ja) | 位相シフト干渉計 | |
US20230060883A1 (en) | Defect inspection apparatus and defect inspection method | |
JP3294246B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070523 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080430 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110215 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110405 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |