JP3913407B2 - 屈折率分布の測定装置及び方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラスチックレンズ等の屈折率分布の測定装置及び方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
デジタルコピーやレーザープリンタ、カメラ等に使用される光学素子として、プラスチック材料による成形レンズが普及している。このプラスチック成形レンズは、ガラス研磨レンズに比べて非球面レンズの製作性に優れ低コストであるが、屈折率の分布が不安定で、レンズ内部に不均質性を生じることが多い。レンズ内部の屈折率の不均質性は、光学特性に大きな影響を及ぼし、結像性能を劣化させる原因となる恐れがある。このようなことから、プラスチックレンズの品質安定化のためには、屈折率の分布を高精度に測定する必要がある。
【0003】
従来技術としては、最小偏角法などにより偏角を計測して屈折率を求める方法と、干渉計を構成して透過波面を計測し、屈折率分布を求める方法が知られている。しかしながら、いずれの方法も被検物を所定の形状に加工する必要があり、測定対象の光学素子を破壊しなければならない。
【0004】
そこで、本出願人は、測定対象を非破壊のままそのレンズ等の屈折率分布を計測する装置を考案した。その代表的な例として、特開平8−122210号記載の「光学素子の屈折率分布の測定方法及び測定装置」を提供している。この種の測定装置を、図13を用いて具体的に説明する。
【0005】
図13は、従来の屈折率分布の測定装置の全体構成を示している。この測定装置は、マッハ・ツェエンダ型の干渉計を基本構成としており、レーザ光源1と、ビームエキスパンダ5と、光束分割手段のビームスプリッタ7と、二つの高反射ミラー9,9’と、光束重畳手段のビームスプリッタ11と、結像レンズ20と、CCDなどによるエリアイメージセンサを用いた干渉縞検出器22と、高速画像処理装置、マイクロコンピュータなどよりなる演算処理装置25とを含んでいる。
【0006】
レーザ光源1より出射する可干渉光としてのレーザ光は、ビームエキスパンダ5によって光束径を拡大され、光束分割手段であるビームスプリッタ7にて下方に直角に屈折する参照波aと、ビームスプリッタ7によって直進する被検波bとに分割される。参照波aは、参照用の高反射ミラー9’で反射して測定対象の被検物Aを透過することなくビームスプリッタ11に入射し、被検波bは高反射ミラー9で反射して被検物Aを透過してビームスプリッタ11に入射する。ビームスプリッタ11に入射した参照波aと被検波bとはビームスプリッタ11によって相互に重畳され、結像レンズ20によって干渉縞像を干渉縞検出器22のCCD撮像面に結像する。
【0007】
図14に、上記参照波aを反射する高反射ミラー9′のミラーホルダ8の概略構造を例示する。この参照波用の高反射ミラー9′は、あおり調整可能なミラーホルダ8に保持され、これがピエゾ駆動素子などよりなる電気―変位変換素子による光路差可変手段13′で支持される。こうして位相シフト法による干渉縞解析を行なうために、被検波bの光路長を波長オーダ以下で可変設定すべく光路方向に微動変位可能に配置されている。
【0008】
図13において、被検波bの光路の途中には被検物Aを収容する容器状の被検物セル31が配置されている。被検物セル31内には、光軸方向に直交する軸y周りに被検物Aを回転させる回転被検物台37が配置され、この回転被検物台37は、図示しないサーボモータにより所定回転角位置に回転駆動される。また、被検物セル31内には屈折率を被検物Aの屈折率とほぼ同一に調合された試液(接触液)が充填されている。このような試液を以下、「マッチング液B」と称する。そして被検物セル31が被検波bの光路を横切る両端面は、各々面精度が高い入射窓38と出射窓39とからなるオプチカルフラットによって液密にシールドされている。こうして、被検物Aはマッチング液Bに浸された状態で、可干渉な被検波bは被検物セル31全体を平行に透過するようになり、被検物Aの外形形状に拘わらずその位相分布を容易に測定できるようになる。
【0009】
上記結像レンズ20によって干渉縞検出器22の撮像面には、被検物Aと共役な干渉縞像が結像し、干渉縞検出器22によって光電変換されて電気的な画像信号となり、A/D変換器を経てコンピュータ24の演算装置25に入力される。なお、演算装置25は、位相シフト法などによる干渉縞像の解析によって透過波面の計測演算を行う透過波面計測部を含んでいる。
【0010】
つぎに、上記構成の測定装置を使用して被検物Aの屈折率分布を計測する方法を説明する。まず、回転被検物台37に被検物Aをセットする前に、干渉縞検出器22が出力する干渉縞像の画像信号を演算装置25に取り込んで透過波面計測部により干渉縞像の解析を行い、初期状態の透過波面の計測する。この計測結果に基づいて測定装置自体の定常的な誤差成分を排除する初期処理を行う。
【0011】
そして、回転被検物台37に被検物Aをセットし、干渉縞検出器22が出力する干渉縞像の画像信号を演算装置25に取り込んで透過波面計測部により干渉縞像の解析を行い、透過波面の計測する。ここで、被検物Aの屈折率が完全に均一で、この屈折率が被検物セル31内に充填されているマッチング液Bの屈折率と等しい場合には、位相シフト法による干渉縞像の解析は0になるはずである。これに対し、回転被検物台37が一定の位置にあるとき、被検物Aの屈折率がマッチング液の屈折率より僅かに相違している場合、干渉縞検出器22の撮像面に結像した干渉縞像の解析結果は、z方向(光路進行方向)に積算される。ここで、レーザ光の波長を「λ」とすれば、透過波面(rad)は、次のように求まる。
透過波面=(2π/λ)×∫(AとBの屈折率差)dx
【0012】
また、被検物Aの屈折率分布を完全な3次元空間分布として測定する場合には、被検物Aをy軸周りに回転させて被検物Aに対する被検波bの入射方向を180度あるいは360度の範囲で変化させ、各回転角位置における透過波面の計測データを収集してコンピュータ24により画像を再構成する。この画像の再構成は公知のCT(コンピュータ・トモグラフィ)法により可能である。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように被検物Aをマッチング液Bに浸して測定する測定装置及び方法において、被検物セル31内に充填したマッチング液は、屈折率の基準となるため均質な状態になければならない。
しかしながら、マッチング液Bは、僅かでも温度分布に偏りが有ると屈折率が変化するため、屈折率が不均質となってしまい、これが測定精度の低下の原因となっていた。
【0014】
また、上記従来の測定装置では、光路差を変化させるためのピエゾ素子などの光路差可変手段13′を参照波a用の高反射ミラー9′に設けることが一般的に行われている。この高反射ミラー9′は、光線が斜めから照射するため有効径が必然的に大きくなっている。また、図14に示すように、高反射ミラー9′のミラーホルダ8は参照光aの光軸と被検光bのそれとを合わせるためのあおり調整部分8aを持つ構成である。このためもともと剛性が低く、その光路差可変手段の素子13′がいくら高精度でもその光学面自体を精度良く駆動することが難しかった。
【0015】
また、被検物Aとして、例えばレーザープリンタなどの書込光学系に使用されるfθレンズは、細長い形状のものである。このため、上記従来の装置においては、被検物Aが大きい場合、その必要な有効領域を測定するには、光束の径によって制限されている有効径(以下「測定有効径」と称する)を越えて測定しなければならない。しかし、装置の構造上、測定有効径は限られることから、例えばfθレンズのように主走査方向の屈折率分布に有効な測定が困難であった。
【0016】
そこで、本発明の目的は、マッチング液の屈折率を均質に保つことができ、また、精度良く光路差を変化させることができ、さらに、被検物の大きさに拘わらず容易に被検物の有効領域を測定できる屈折率分布の測定装置及び方法を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の屈折率分布の測定装置は、可干渉光を出射する光源と、該光源からの可干渉光を被検波と参照波とに分割する分割手段と、測定対象である被検物を該被検物とほぼ同一の屈折率のマッチング液内に保持する被検物収容器と、該被検物収容器を透過した被検波と上記参照波とを重畳させ干渉させる重畳手段と、該重畳手段から出射された光束を干渉縞像として結像可能な結像光学系と、該結像光学系により結像する光像を検出する干渉縞像検出器と、該干渉縞像検出器の検出結果から被検物の屈折率分布を求める演算装置と、を有する屈折率分布の測定装置において、上記分割手段又は上記重畳手段を、光軸方向に波長以下のオーダで変位可能な光路差可変手段を備え、上記マッチング液の屈折率をほぼ均一に維持するための制御手段を備えたことを特徴としている。
【0018】
上記被検物収容器が、上記マッチング液の接触する隔壁の外側に沿って熱交換媒体が流れる通路を有し、上記制御手段により、上記通路へ温度制御された熱交換媒体を循環させる構成とすることができる。この場合、上記通路は、ほぼ同一の横断面形状が連続するもので、上記マッチング液の接触する隔壁に沿って隙間無く蛇行するように配置されているとよい。
【0019】
上記結像光学系が、上記干渉縞像検出器に結像する光像の大きさを可変とする変倍手段を備え、少なくとも該変倍手段に基準となるスケール像を投影可能な投光手段と、上記変倍手段を介して結像したスケール像からその変倍率を求める計算手段とを有する構成とすることができる。
【0020】
上記結像光学系が、上記重畳手段から投影された光像を非干渉な光像に変換する拡散手段を備えた構成にするとよい。この場合、上記変倍手段の入射側手前に上記拡散手段を配置し、該拡散手段上の非干渉な光像が上記変倍手段を介して上記干渉縞像検出器に結像する構成にすることができる。
【0022】
上記被検物に対する被検波の透過位置をその光軸方向と直交する方向へ移動させる透過位置変位手段を備えた構成にすることができる。
【0023】
上記干渉縞像検出器が、2次元方向に配した複数画素よりなる光センサを有するものであり、該光センサにより2次元の屈折率分布を測定可能な構成にすることができる。
【0024】
また、本発明の屈折率分布の測定方法は、上記いずれかの構成の測定装置を用い、上記干渉縞像検出器で検出される干渉縞像を解析し、各透過位置における透過波面を計測することにより、その光軸方向に平均化された屈折率分布を測定することを特徴としている。
【0025】
上記被検物に対する被検波の透過位置を移動させ、各移動位置にて透過波面を計測し、各透過波面データをつなぎ合わせ処理することにより、その測定有効径を越えた範囲の屈折率分布を求めることができる。
【0026】
上記光軸方向と直交する軸線周りに被検物を相対的に回転させ、各回転位置にて透過波面を計測し、各透過波面データからCT(コンピュータ・トモグラフィ)法により画像を再構成し、該再構成画像より被検物の屈折率分布を求めることができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。
図1は、本実施例の屈折率分布測定装置の全体構成を示している。同図に示すように、この測定装置の光学系には、上記従来例と同様のマハツェンダ干渉計を採用している。したがって、大部分の構成が従来例と共通しているため、同一の部分には同じ符号を付して説明は省略する。
【0028】
光源1から照射されたレーザービーム(He―Neレーザー、波長633nm)は、NDフィルタ2を通過し、ミラー3で偏向されて2枚の偏光板4を通過する。各偏光板4により光量と偏光方向を適正に調整されたビームは、2つのビームエキスパンダレンズ5によって必要な大きさの有効径まで拡大される。また、ビームエキスパンダレンズ5間に配した空間フィルタ6により、フレア光、ゴースト光といった不要な光がカットされる。そして、ビームスプリッタ7によって、直角に曲げられた参照波aと、直進して測定対象の位相物体である被検物Aを通過する被検波bとに分割される。
【0029】
図2は、本実施例の被検物収容器の内部構造を示しており、(a)は斜視図、(b)は上面図である。被検物収容器30のセル31内には、その屈折率が被検物Aとほぼ等しいマッチング液Bが充填されており、被検物Aの表面における屈折を排除するとともに、マッチング液Bに対してもその入射側および射出側の窓には面精度の高いオプティカルフラットを配置している。したがって、被検物Aがいかなる外径形状であっても被検波bは直進可能となっている。ここで被検物Aに対する光軸の水平幅方向をx軸、その光軸と直交する上下方向をy軸、光軸方向をz軸として説明する。
【0030】
被検物Aは、図2(b)に示すようにセル31内にある被検物保持台32により保持されている。被検物保持台32は、被検物Aに対する被検波bの透過位置を移動する透過位置変位手段を構成する。すなわち、この透過位置変位手段としての被検物保持台32は、被検物Aをセル31内のほぼ中央に保持した状態でy軸方向を軸として回動自在である。また同時に、その被検波bが透過する一の測定有効径よりも大きな被検物Aを測定可能とするために、その保持した被検物Aをy軸方向に沿って所定距離内で上下に変位可能な昇降手段を備えている。
【0031】
これにより、透過角度や透過位置を移動させ、被検物Aの任意方向からの透過波面を測定できる。なお、このように被検物A自体を移動する手段に限らず、例えば、被検物Aは動かさずに固定し、これに対して干渉計全体を昇降自在な一の回転台に載せるような構成によっても透過位置を相対的に変更することができる。この場合、液状又は気体状の被検物Aの測定に有効である。
【0032】
上記被検物収容器30のセル1内のマッチング液Bの屈折率を均質化するためには、その温度分布を高精度に制御する必要がある。そこで、図1にも示されるように、マッチング液Bの屈折率を均一にするための制御手段として、セル31の周りを熱交換媒体としての水で満たし、セル31に接触する水が常に一定温度を維持するようにな循環流水装置Cを設けている。
【0033】
このため、本実施例の被検物収容器30は、マッチング液Bを充填する円筒状のセル31と、水の循環する通路である水槽部33とをアルミ一体鋳造によって形成した二重の円筒形状となっている。このセル31は、レーザ光軸の入射及び出射用の窓を除いて円筒状の隔壁がそのまま水槽部33の内壁を形成し、さらに、この水槽部33は外気と間の熱伝達を遮断するために外側に断熱材が充填されている。また、水が出入りする注入口34及び排出口35は、被検物収容器30の一側面の下方位置に設けている。
【0034】
上記水槽部33は、その周方向に等間隔で且つy軸方向に平行な複数の仕切36によって流水通路となる4つの小部屋33a〜33dに区切られ、また、流れの方向からみて各部屋33a〜33dの断面積が常に一定であり、流れの抵抗を低減して水流をスムーズにしている。図示の例では、注入口34から進入した水は、4つの仕切36a〜36dにより小部屋33aから、33b、33c、33dの順番に流れるようになっている。
【0035】
すなわち、注入口34と排出口35との間を仕切る仕切36aと、小部屋33aの上方と小部屋33bの上方を接続する仕切36bと、小部屋33bの下方と小部屋33cの下方とを接続する仕切36cと、小部屋33cの上方と小部屋33dの上方とを接続する仕切36dと、が設けられ、小部屋36a〜36dからなる一続きの通路はセル31の隔壁を隙間無く上下に蛇行するようになっている。この場合、本実施例のように隣り合う注入口34と排出口35とが同じ高さにあれば、上記のように注入口34と排出口35間を完全に仕切る一枚の仕切と、注入口34から排出口35までの通路を形成するために奇数枚の仕切が必要となる。なお、例えば、注入口34と排出口35のいずれかが側面の上方にあり、注入口34と排出口35が上下反対位置の関係ならば上記仕切36aの間に偶数枚の仕切を設けることとなる。
【0036】
上記セル内の温度均一化を目的とする制御手段は、注入口34及び排出口35から循環流水装置Cの図示しないサーキュレータを介して温度制御された水を、各小部屋36a〜36dの上方向と下方向の交互に循環させ、マッチング液Bとの熱交換を行う。これにより、常に一定の温度の水を交換しつづけ、セル31の円筒状の隔壁を均一な温度にし、さらにセル31を介した熱交換によりマッチング液Bの温度も一定になり、その温度分布は±0.1℃以下の範囲で均一に維持される。また、セル31の円筒隔壁のうち、入射・出射窓の部分を除くすべての隔壁が循環水流と接触するため、熱の伝達が良く温度制御の効率を高めることができる。
【0037】
上記被検物収容器30に被検物Aをセットしたマッハ・ツェンダ干渉計において、図1に示すように、上記被検物Aを通過しビームスプリッタ10で図中の下方に直角に曲げられた被検波bと、高反射ミラー9で直角に曲げられた参照波aとは、ビームスプリッタ11により干渉を起こす。ここで本実施例では、干渉縞解析のための光路差可変手段は、上記重畳手段であるビームスプリッタ11に設けている。
【0038】
図3は、上記光路差可変手段を設けたビームスプリッタ11の構成を示す斜視図である。ビームスプリッタ11は、スプリッタホルダ12と共に光路差可変手段としてのピエゾ素子13上に設置され、このピエゾ素子13がスプリッタベース14上に固定されている。このピエゾ素子13によりビームスプリッタ11を図中矢印方向に駆動可能である。この場合、ピエゾ素子13の駆動方向は被検波bと平行な方向であり、参照波aの光路長を波長以下のオーダで可変としている。なお、光路差は相対的なものであるから、ピエゾ素子13の駆動方向はそのような被検波b方向に限らず、被検波bと垂直な別光路の参照波aに沿った方向でもよく、また、このような光路差可変手段は可干渉光の分割手段であるビームスプリッタ7に設けてもよい。
【0039】
このようにビームスプリッタ11にピエゾ素子13を取り付けた構成により、その光学面が非常に安定した状態で駆動可能となる。すなわち、この光学系では干渉縞像の解析のために駆動するステップ量π/2は、λ/4(波長λ=633nm)の約160nmであるが、ピエゾ素子13を参照ミラー9に取り付けた構成では、(λ/4)/√2の約110nmである。したがって、同じ駆動素子を使用した場合、駆動誤差の割合が相対的に小さくなる。
【0040】
上記重畳手段にて干渉を起こした干渉光束は、次に説明する結像光学系によって、干渉縞検出器22,23のCCD受光部に干渉縞像を結像させる。この結像光学系は、ミラー15と、結像レンズ16,20,21、拡散板17からなる拡散手段(diffuser)、ズームレンズ18からなる変倍手段と、2つの干渉縞検出器へ光路を分割するビームスプリッタ19とを有する。拡散板17の手前には、拡散板17が被検物Aと幾何光学的に共役関係になるように結像レンズ16を配置している。
【0041】
干渉縞検出器22は1次元CCDを、干渉縞検出器23は2次元CCDを用いている。干渉縞検出器22の1次元CCDはx方向に配列されたデータ取り込み用のラインセンサである。干渉縞検出器23の2次元CCDは、x,y面の2次元データを取り込むことのできるエリアセンサであってこれはアライメント用のモニターとしても使用される。また、拡散板17の結像面と、干渉縞検出器22の1次元CCDの受光面とがズームレンズ18及び結像レンズ20によってそれぞれ幾何光学的に共役関係にあり、また、干渉縞検出器23の2次元CCDの受光面が、ビームスプリッタ19の別光路において、ズームレンズ18及び結像レンズ21によって同様に拡散板17と共役関係である。このズームレンズ18を備えた結像光学系により、干渉縞検出器22,23の位置を変えることなく各CCD面に結像する干渉縞像の大きさが可変となっている。各干渉縞検出器22,23からの出力は、図示しないA/D変換器を経てコンピュータの演算装置に取り込まれる。
【0042】
上記構成の結像光学系において、ビームスプリッタ11からの光束はミラー15で反射し、拡散板17に結像レンズ16を介して干渉縞像が結像する。この拡散板17に至るまでの光束は、可干渉(コヒーレント)なレーザ光であるが、ここで一旦、拡散板17に映し出される干渉縞像はその裏面に非干渉光(インコヒーレント光)な光像として投影される。ズームレンズ18には、その拡散板17からの非干渉な光束が入射する。したがって、これによって拡散板17以降にある光学部品、すなわち、干渉縞検出器22,23の前面の保護ガラス等での多重反射による干渉が起こらないので、干渉縞ノイズが低減される。
【0043】
上記ズームレンズ18を使用する結像光学系で、被検物Aの実長を計測するための手段の一例を説明する。本実施例で採用する計測手段は、ビームスプリッタ10の別光路にハロゲンランプ26からなる光源と、その大きさが既知のスケール板27と、ミラー28とを設置し、スケール板27の背後から照射されたスケール像を結像光学系を介してCCD面にて検出し、ズームレンズ18の実際の変倍率についてキャリブレーション可能としている。
【0044】
上記計測手段によるズームレンズ18の倍率の求め方を説明する。例えば、スケール板27には短形をした不透明の板であり、基準となるスケール像を投影するために2本の透明なスリットが既知のLmmの間隔で平行に形成されている。ハロゲンランプ26が点灯するとスケール板27のスリットを透過した光束がビームスプリッタ10を直進し干渉光と同様の光路でズームレンズ18に入射する。スケール板27から投影されるスケール像は、ズームレンズ18の設定倍率Mにより拡大されて干渉縞検出器22,23のCCD面に結像する。ここでLmmの間隔のスリット状の透過光が受光された画素のレベルのみが大きくなるので、この結像したスケール像の間隔L′を測定し、M=L/L′からズームレンズ18の設定倍率が求まる。
【0045】
つぎに、上記測定装置による屈折率分布の測定方法を説明する。図4に被検物と共役な干渉縞像の一例を示す。1次元CCDではこの干渉縞像のx方向断面の波面が検出される。以下、干渉縞像の解析方法としては、上記光路差可変手段により光路差をπ/2間隔でステップ状に駆動し、5回前後、干渉縞像を取り込んで解析する位相シフト法を用いる。なおこれに限らず、フーリエ変換法等の他の公知の縞解析方法を使用してもよい。
【0046】
図5は、x方向における透過波面の測定結果を示している。まず、設計値又は汎用測定器等を用い、あらかじめ被検物Aの光軸方向肉厚d(x)を計算しておく。被検物Aに被検波bを透過して干渉縞検出器22に干渉縞像を結像させる。そして、そのリニアCCDで受光を行う干渉縞検出器22の出力が、透過波面計測部を有する演算装置25に取り込まれる。その透過波面計測部により、位相シフト法などの縞解析方法を用いて、透過波面WF(x)(単位:λ)を計測することができる。
【0047】
図6は、x−z一断面について得られた屈折率分布Δn(x)を示している。このλは、光源の波長である。CCDの任意の位置をx=0として基準の透過波面WF(0)を求め、次式によりz方向(光軸方向)に平均化された屈折率分布Δn(x)を算出することができる。
Δn(x)=(WF(x)−WF(0))・λ/d(x)
【0048】
図7は、x−z断面の平均屈折率分布を立体的に表したものである。上記透過位置変位手段によって、被検物Aをy軸に沿って昇降させてyの値を変えながら複数のx−z断面について計測する。こうして任意の測定断面について干渉縞検出器22からの出力をコンピュータ24の演算装置25に取り込みそれぞれの透過波面を計測し、上記複数の断面の測定結果から、下記の式により2次元的に表現できる。これにより、x,yの2次元においてz方向(光軸方向)に平均化された平均屈折率分布が得られる。これを、図7に示すように平均屈折率分布を縦軸にとれば、立体的に示すことができる。こうして被検物Aの外形形状に拘わらず、非破壊で2次元の平均屈折率分布Δnの測定結果を得ることができる。
Δn(x,y)=(WF(x,y)−WF(0,y))・λ/d(x,y)
【0049】
また、この式では、基準となる波面をWF(0,0)ではなくWF(0,y)としている。これは、fθレンズのように、被検物Aの肉厚がy方向で数10%以上異なる場合に、被検物Aとマッチング液Bとの僅かなずれに伴う誤差要因となるのを補正するためである。このためΔn(0,y)=0と近似している。また、上記Δn(x,y)を多項式級数に展開することも可能であり、これによりレンズ設計へのフィードバックが容易となる。また、ここでは、1次元CCDよりなるラインセンサを使用し光軸方向に積算された結果としてZ方向で平均化した分布を測定する簡便な方法であるが、このような平均屈折率分布について、つぎに説明するように2次元CCDよりなるエリアセンサによっても同様な測定が可能である。
【0050】
図8は、2次元CCDの干渉縞検出器に検出された干渉縞像の測定結果を示している。また、図9は、図8の測定結果におけるy方向断面のデータを示している。一般に2次元CCDは1次元CCDの一方向画素数と比べて、そのx,yの各方向における画素数は少ない。このため空間的な分解能はやや落ちることもあるが、1次元CCDと異なり被検物Aを昇降させなくとも2次元の屈折率分布を測定することができる。例えば、図9に示すように、y軸方向に局所的な屈折率分布が存在する場合、これを検出するのに有効である。干渉縞検出器23の2次元CCDで検出された干渉縞像を解析する場合、x−y面の2次元撮像面にて干渉縞を受光し、位相シフト法などを用いて縞解析を行い位相分布を算出する。
【0051】
また、被検波の透過位置を移動させることでy値を変えながら、各移動位置にて透過波面を計測し、各透過波面データをつなぎ合わせ処理することにより、その測定有効径を越えた範囲の屈折率分布を求めることができる。これにより例えば、fθレンズのようにy軸方向にかなり大きな被検物Aも効率的に測定できる。このような計測及びデータ処理は、上記ラインセンサ又はエリアセンサのいずれを用いた測定であっても適用可能である。
【0052】
以上のように入射方向が一定である場合のz軸方向における平均屈折率分布のみでは、屈折率分布を3次元的に特定することはできない。以下、公知のCT(Computed Tomography)法によるZ方向も加味した3次元屈折率分布の測定方法を説明する。
図10は、CT解析法の原理を説明する図である。同図に示した投影切断面定理によれば、物理分布量をもつ物体f(x,y)のradon変換、すなわち角度θの方向からの投影データg(x,θ)を1次元フーリエ変換した結果のG(ζ,θ)は、物体の2次元フーリエ変換した結果のF(ξ,η)の極座標表現におけるθ方向成分と一致することがわかっている。数式で表すと次式となる。
F(ζcosθ,ζsinθ)=G(ζ,θ)
ここで、物体f(x,y)を被検物Aの屈折率分布とするならば、g(x,θ)は光路差である。この光路差は、本実施例のようなマッハ・ツェエンダ干渉計の場合、透過波面として計測される。
【0053】
図11は、CT解析法の手順を示すフローチャートである。まず、被検物Aをセットしない状態で初期処理を行った後、被検物Aを被検物保持台32にセットし(S1)、θ=の位置(基準となる位置)で干渉縞検出器22が出力する画像信号を演算装置25に取り込んで透過波面を計測する(S2)。ついで被検物保持台32の回転により被検物Aを0≦θ≦π(又は0≦θ≦2π)の角度範囲にわたって回転させ(S3,S4)、例えば1゜刻みで透過波面を計測する。それらの透過波面データは、位相つなぎ処理により接続し(S5)、1次元フーリエ変換する(S6)。1次フーリエ変換された各断面の極座標データG(ζ,θ)を直交座標データに変換することによりF(ξ,η)を計算して(S7)、これを2次元逆フーリエ変換(S8)すれば、被検物Aのx−z断面の屈折率分布を再構成することができる(S9)。このCT解析法による場合、屈折率分布に規則性がなく、またその分布が不明である被検物Aであっても、屈折率分布を被検物Aの屈折率の不均一部分の空間的位置を特定することが可能になる。
【0054】
図12に、上記CT解析法によって構成した屈折率分布データを示す。上記のように被検物Aを回転させてCT解析を行えば、(x,z)の各位置について実際の屈折率が得られる。そして、上記被検物Aの昇降手段によりy値を変えながら、被検波透過位置をy軸方向へ相対的に移動させて連続的に計測し、これら複数の屈折率分布データから3次元の屈折率分布を構成することができる。なお、上記屈折率分布の測定において、測定断面数やその間隔には特に制限はない。
【0055】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の屈折率分布の測定装置は、可干渉光を出射する光源と、該光源からの可干渉光を被検波と参照波とに分割する手段と、測定対象である被検物を該被検物とほぼ同一の屈折率のマッチング液内に保持する被検物収容器と、該被検物収容器を透過した被検波と上記参照波とを重畳させ干渉させる重畳手段と、該重畳手段から出射された光束を干渉縞像として結像させる結像光学系と、該結像光学系により結像する光像を検出する干渉縞像検出器と、該干渉縞像検出器の検出結果から被検物の屈折率分布を求める演算装置と、を有する屈折率分布の測定装置において、上記分割手段又は上記重畳手段を、光軸方向に波長以下のオーダで変位可能な光路差可変手段を備え、上記マッチング液の屈折率をほぼ均一に維持するための制御手段を備えた構成なので、光路差を精度良く可変することができ、また、外乱の影響も小さく抑えるので、再現性がよく測定精度が向上するとともに、被検物の外形形状にかかわらず非破壊でその屈折率分布を精度良く測定することができる。
【0056】
上記結像光学系が、上記干渉縞像検出器に結像する光像の大きさを可変とする変倍手段を備え、少なくとも該変倍手段に基準となるスケール像を投影可能な投光手段と、上記変倍手段を介して結像したスケール像からその変倍率を求める計算手段とを有する構成によれば、大きさの異なる種々の被検物に対して、良好な条件で測定できる。
【0057】
上記結像光学系が、上記重畳手段から投影された光像を非干渉な光像に変換する拡散手段を備えた構成によれば、拡散手段以降にあるレンズ系や保護ガラス等での多重反射による干渉縞ノイズを低減でき、精度良く測定できる。
【0059】
上記被検物に対する被検波の透過位置をその光軸方向と直交する方向へ移動させる透過位置変位手段を備えた構成によれば、光軸方向の平均屈折率分布を簡易に計測することができ、測定有効径よりも大きな被検物を測定することが容易となる。特に、書込光学系のfθレンズなどの測定対象物に有効で、測定結果をレンズ設計へフィードバックすることが容易となる。
【0060】
上記干渉縞像検出器が、2次元方向に配した複数画素よりなる光センサを有するものであり、該光センサにより2次元の屈折率分布を測定可能とした構成によれば、透過波面又は、屈折率分布を2次元的に測定することができ、局所的な屈折率の異常分布の検出や任意の方向の断面の計測に適した測定が可能となる。
【0061】
また、上記いずれかの構成の測定装置を用い、上記光軸方向と直交する軸線周りに被検物を相対的に回転させ、各回転位置にて透過波面を計測し、各透過波面データからCT(コンピュータ・トモグラフィ)法により画像を再構成し、該再構成画像より被検物の屈折率分布を求める測定方法によれば、被検物の外形形状に関わらず非破壊で3次元的な屈折率分布を、より高精度に計測することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例の屈折率分布の測定装置の全体構成を示す平面図である。
【図2】本実施例に係る被検物収容器の内部構造を示す図で、(a)は斜視図、(b)は上面図である。
【図3】本実施例に係る光路差可変手段を設けた重畳手段の構成を示す斜視図である。
【図4】本実施例に係る干渉計で形成される干渉縞像の一例を示す。
【図5】本実施例の測定装置で測定した一光軸方向の透過波面を示す線図である。
【図6】図5の透過波面データより求めた平均屈折率分布を示す線図である。
【図7】光軸方向の平均屈折率分布を垂直方向に繋いで立体的に示した図である。
【図8】本実施例の測定装置の2次元CCDで検出された平均屈折率分布データを示す図である。
【図9】図8のy軸方向一断面のデータを示す線図である。
【図10】本実施例の測定方法に使用するCT解析法の原理を説明する図である。
【図11】本実施例の測定方法のCT解析法の手順を示すフローチャートである。
【図12】本実施例の測定方法のCT解析法によって求めた屈折率分布の一断面データを示す図である。
【図13】従来の屈折率分布の測定装置の全体構成を示す平面図である。
【図14】従来の測定装置の参照ミラーのミラーホルダの概略構造を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 光源
11 重畳手段
13 光路差可変手段
17 拡散手段
18 変倍手段
22,23 干渉縞像検出器
24 演算装置
30 被検物収容器
31 マッチング液の接触する隔壁(被検物セル)
32 透過位置変位手段
33a,33b,33c,33d 通路
A 被検物
B マッチング液
a 参照波
b 被検波
Claims (11)
- 可干渉光を出射する光源と、該光源からの可干渉光を被検波と参照波とに分割する分割手段と、測定対象である被検物を該被検物とほぼ同一の屈折率のマッチング液内に保持する被検物収容器と、該被検物収容器を透過した被検波と上記参照波とを重畳させ干渉させる重畳手段と、該重畳手段から出射された光束を干渉縞像として結像させる結像光学系と、該結像光学系により結像する光像を検出する干渉縞像検出器と、該干渉縞像検出器の検出結果から被検物の屈折率分布を求める演算装置と、を有する屈折率分布の測定装置において、上記分割手段又は上記重畳手段を、光軸方向に波長以下のオーダで変位可能な光路差可変手段を備え、上記マッチング液の屈折率をほぼ均一に維持するための制御手段を備えたことを特徴とする屈折率分布の測定装置。
- 上記被検物収容器が、上記マッチング液の接触する隔壁の外側に沿って熱交換媒体が流れる通路を有し、上記制御手段により、上記通路へ温度制御された熱交換媒体を循環させることを特徴とする請求項1記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記通路は、ほぼ同一の横断面形状が連続するもので、上記マッチング液の接触する隔壁に沿って隙間無く蛇行するように配置されていることを特徴とする請求項2記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記結像光学系が、上記干渉縞像検出器に結像する光像の大きさを可変とする変倍手段を備え、少なくとも該変倍手段に基準となるスケール像を投影可能な投光手段と、上記変倍手段を介して結像したスケール像からその変倍率を求める計算手段とを有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記結像光学系が、上記重畳手段から投影された光像を非干渉な光像に変換する拡散手段を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記変倍手段の入射側手前に上記拡散手段を配置し、該拡散手段の非干渉な光像が上記変倍手段を介して上記干渉縞像検出器に結像するようにしたことを特徴とする請求項5記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記被検物に対する被検波の透過位置をその光軸方向と直交する方向へ移動させる透過位置変位手段を備えたことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記干渉縞像検出器が、2次元方向に配した複数画素よりなる光センサを有するものであり、該光センサにより2次元の屈折率分布を測定可能としたことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の屈折率分布の測定装置。
- 請求項1から8のいずれかの測定装置を用いる屈折率分布の測定方法であって、上記干渉縞像検出器で検出される干渉縞像を解析し、各透過位置における透過波面を計測することにより、その光軸方向に平均化された屈折率分布を測定することを特徴とする屈折率分布の測定方法。
- 上記被検物に対する被検波の透過位置を移動させ、各移動位置にて透過波面を計測し、各透過波面データをつなぎ合わせ処理することにより、その測定有効径を越えた範囲の屈折率分布を求めることを特徴とする請求項9に記載の屈折率分布の測定方法。
- 上記光軸方向と直交する軸線周りに被検物を相対的に回転させ、各回転位置にて透過波 面を計測し、各透過波面データからCT(コンピュータ・トモグラフィ)法により画像を再構成し、該再構成画像より被検物の屈折率分布を求めることを特徴とする請求項9または10に記載の屈折率分布の測定方法。
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