JP2008145203A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計を含む計測手段と、
   前記レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器と、
   空調装置の空気振動源から前記波長検出器までの空気振動が伝わる第１経路と、前記空気振動源から前記レーザ干渉計の光路までの前記空気振動が伝わる第２経路との長さの差に基づいて決定された、前記波長検出器と前記光路における前記空気振動の位相差に基づいて、前記波長検出器で検出される波長変化を補正する第１補正手段と、
   前記第１補正手段で補正された波長変化に基づいて前記レーザ干渉計による計測値を補正する第２補正手段とを備え、
   前記第２経路の長さよりも、前記第１経路の長さの方が短いことを特徴とする位置測定システム。
2. 前記第１補正手段は、前記空気振動の前記位相差の分だけ前記波長検出器で検出された波長変化を遅延させて出力することを特徴とする請求項１に記載の位置測定システム。
3. 前記第１経路は、前記光路に気体を送風するためのファンから前記波長検出器までの経路であり、前記第２経路は、前記ファンから前記光路までの経路であることを特徴とする請求項１または２に記載の位置測定システム。
4. 前記第１及び第２経路に消音器が設けられたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の位置測定システム。
5. 前記第１補正手段は、前記計測手段により計測された前記測定対象の位置に基づいて前記第２経路の長さを算出する算出手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の位置測定システム。
6. レーザ干渉計を利用して測定対象の位置を計測する計測工程と、
   前記レーザ干渉計が用いるレーザ光の波長の変化を波長検出器により検出する検出工程と、
   空調装置の空気振動源から前記波長検出器までの空気振動が伝わる第１経路と、前記空気振動源から前記レーザ干渉計の光路までの前記空気振動が伝わる第２経路との長さの差に基づいて決定された、前記波長検出器と前記光路における前記空気振動の位相差に基づいて、前記検出工程で検出される波長変化を補正する第１補正工程と、
   前記第１補正工程で補正された波長変化に基づいて前記レーザ干渉計による計測値を補正する第２補正工程とを備え、
   前記第２経路の長さよりも、前記第１経路の長さの方が短いことを特徴とする位置測定方法。
7. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の位置測定システムを用いて、基板を搭載したステージまたは原版を搭載したステージの位置を測定することを特徴とする露光装置。