CN105881096A - 利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法 - Google Patents

利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105881096A
CN105881096A CN201410195893.XA CN201410195893A CN105881096A CN 105881096 A CN105881096 A CN 105881096A CN 201410195893 A CN201410195893 A CN 201410195893A CN 105881096 A CN105881096 A CN 105881096A
Authority
CN
China
Prior art keywords
error compensation
circular motion
circumference
compensation method
machine tool
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
CN201410195893.XA
Other languages
English (en)
Inventor
张赞秋
于德海
于本宏
吴淇
孙振
高岩
叶东国
吴福海
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dalian Guangyang Science and Technology Engineering Co Ltd
Original Assignee
Dalian Guangyang Science and Technology Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dalian Guangyang Science and Technology Engineering Co Ltd filed Critical Dalian Guangyang Science and Technology Engineering Co Ltd
Priority to CN201410195893.XA priority Critical patent/CN105881096A/zh
Publication of CN105881096A publication Critical patent/CN105881096A/zh
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

本发明公开了一种利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法,具有如下步骤:—读取激光干涉仪检测的当前机床的圆周运动位置I;—记录同一时刻下,机床运动控制系统位移传感器输出的圆周运动位置II;—计算并记录同一时刻下,激光干涉仪的运动位置和编码器的检测得到的圆周运动位置I和圆周运动位置II的差值;—重复上述步骤,将得到的每一时刻的差值求和,作为系统整体的误差补偿;进而对运动控制系统进行误差补偿。相对于统线性误差补偿方式将很大程度的上提高线性位置补偿效率,同时线性补偿精度将很大的提高。而且采用的技术成熟,结构相对简单,十分适于在精密数控机床领域内大范围的推广和使用。

Description

利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法
技术领域
本发明涉及一种机床运动过程中圆周误差的补偿方法,尤其涉及一种利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法。涉及专利分类号B23机床;其他类目中不包括的金属加工B23Q机床的零件、部件或附件,如仿形装置或控制装置。B23Q23/00用于补偿不均匀性或磨损,如导轨的,定位机构的。
背景技术
在数控机床的进给传动链中.齿轮传动、滚珠丝杠:螺母副等均存在反向间隙,这种反向间隙的存在会造成机床反向运动时,伺服电动机空转而工作台实际不运动。对于采用半闭环伺服系统的数控机床.反向间隙的存在会影响到机床的定位精度和重复定位精度,从而影响到产品的加工精度。这就需要数控系统提供反向间隙补偿功能,以便在加工过程中自动补偿一些有规律的误差,提高加工零件的精度。并且随着数控机床使用时删的增长,反向间隙还会因磨损造成的运动副间隙的增大而逐渐增加,因此需定期对数控机床各坐标轴的反向问隙进行测定和补偿。
通常采用激光干涉仪进行机床等圆周运动系统的误差补偿时,采用如下的办法
1、在运动控制端编写用于误差检测的固定循环程序。通常程序为固定间距的单方向位移循环程序。
启动-->消除反向间隙抖动-->延时-->第一次运行固定距离-->延时-->第N次运行固定距离-->反方向运动
其中程序中的延时用于让激光干涉仪得知当前运动平台的行走间距间隔,实现位置的录入。
2、激光干涉仪端编写或者设置与运动控制端类似的识别程序,用于识别具体的程序固定位移记录点。
3、启动运动控制系统和激光干涉仪,激光干涉仪记录下每个固定距离停止点的误差值,形成误差补偿文件,输入运动控制系统进行线性化后误差补偿。
通常的误差图形如图1所示。
首先,由于采用固定距离停止方式,需要利用暂停使激光干涉仪探测到固定的停止点,因此测量缓慢。
第二,由于采用固定位移暂停方法实现位置点的探测记录,因此能够记录的位置只有固定的暂停停止点,中间的过度点不能进行补偿记录,只能认为是连续线性误差采用估算值进行补偿。
第三,进行补偿期望的是把整个测量环节和运动执行环节的误差进行补偿,但是当运动平台运行和停止时由于位置闭环的应用,通常是在一个范围内进行微小的抖动,因此激光干涉仪记录的值是机械偏差+控制噪声。使补偿数据存在一个不确定性。
发明内容
本发明针对以上问题的提出,而研制的一种利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法,具有如下步骤:
—读取激光干涉仪检测的当前机床的圆周运动位置I;
—记录同一时刻下,机床运动控制系统位移传感器输出的圆周运动位置II;
—计算并记录同一时刻下,激光干涉仪的运动位置和编码器的检测得到的圆周运动位置I和圆周运动位置II的差值;
—重复上述步骤,将得到的每一时刻的差值求和,作为系统整体的误差补偿;进而对运动控制系统进行误差补偿。
所述的位移传感器为编码器或光栅尺。
由于采用了上述技术方案,本发明提供的利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法,相对于统线性误差补偿方式将很大程度的上提高线性位置补偿效率,同时线性补偿精度将很大的提高。而且采用的技术成熟,结构相对简单,十分适于在精密数控机床领域内大范围的推广和使用。
附图说明
为了更清楚的说明本发明的实施例或现有技术的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术形成的误差图形图
图2为本发明的流程图
具体实施方式
为使本发明的实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚完整的描述:
如图2所示:一种利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法,采用激光干涉仪运动位置信息输出接口,直接将激光干涉仪的精确位置引入运动控制系统,整个误差补偿过程变为
首先,连入激光干涉仪的位置信息输出接口到运动控制系统,读取激光干涉仪检测的当前机床的圆周运动位置I。
编写一个对应测量单元的匀速圆周运行程序。利用数控系统记录下同一时刻运动控制系统的编码器或光栅尺的位置反馈信息和激光干涉仪的位置值的差值作为补偿文件,即圆周运动位置I和圆周运动位置II差值m1。
第2个插补周期(时间间隔),计算设备位置传感器的位置和激光干涉仪检测到的位置差值,记做m2。
计算第n个插补周期,计算设备位置传感器的位置和激光干涉仪检测到的位置差值,记做mn。
计算每个插补周期的位移传感器和激光干涉仪对应圆周运动位置I和圆周运动位置II差值,即对应点的误差,将所有误差作为误差补偿对系统进行补偿。
采用本发明所述方法,记录差值将不会包含任何位置控制抖动等不确定噪声。记录可以采用定时、定位移等,最大记录密度可以达到相同于位置闭环周期,采用最大密度记录时将不会包括任何的区间估算线性化误差。其定位精度明显小于传统方法,如图1所示,本发明对应位于最下方的曲线,定位精度明显高于其它传统方法。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法,具有如下步骤:
—读取激光干涉仪检测的当前机床的圆周运动位置I;
—记录同一时刻下,机床运动控制系统位移传感器输出的圆周运动位置II;
—计算并记录同一时刻下,激光干涉仪的运动位置和编码器的检测得到的圆周运动位置I和圆周运动位置II的差值;
—重复上述步骤,将得到的每一时刻的差值求和,作为系统整体的误差补偿;进而对运动控制系统进行误差补偿。
2.根据权利要求1所述的利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法,其特征还在于所述的位移传感器为编码器或光栅尺。
CN201410195893.XA 2014-05-09 2014-05-09 利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法 Withdrawn CN105881096A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410195893.XA CN105881096A (zh) 2014-05-09 2014-05-09 利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410195893.XA CN105881096A (zh) 2014-05-09 2014-05-09 利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105881096A true CN105881096A (zh) 2016-08-24

Family

ID=56999823

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410195893.XA Withdrawn CN105881096A (zh) 2014-05-09 2014-05-09 利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105881096A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107368035A (zh) * 2017-08-22 2017-11-21 科德数控股份有限公司 一种激光尺安装调整装置及方法
CN107834941A (zh) * 2017-06-23 2018-03-23 高武保 一种适用于光纤缠绕机的直线电机控制系统
CN108827185A (zh) * 2018-06-04 2018-11-16 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 一种轨道车辆车身的三维重建装置及三维重建方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080137097A1 (en) * 2006-12-07 2008-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Position measuring method, position measuring system, and exposure apparatus
KR100898327B1 (ko) * 2008-03-26 2009-05-20 한국과학기술원 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
CN101564819A (zh) * 2008-12-25 2009-10-28 贵州科邦科技实业有限责任公司 一种数控机床数控轴位移精度的连续补偿方法
CN101709983A (zh) * 2009-10-30 2010-05-19 大连光洋科技工程有限公司 正余弦编码器在线实际误差补偿系统
CN101718976A (zh) * 2009-10-30 2010-06-02 大连科德数控有限公司 一种加工中心实现双主轴同步的结构
CN102749055A (zh) * 2012-07-10 2012-10-24 董欣 一种可交互的位移测量系统

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080137097A1 (en) * 2006-12-07 2008-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Position measuring method, position measuring system, and exposure apparatus
KR100898327B1 (ko) * 2008-03-26 2009-05-20 한국과학기술원 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
CN101564819A (zh) * 2008-12-25 2009-10-28 贵州科邦科技实业有限责任公司 一种数控机床数控轴位移精度的连续补偿方法
CN101709983A (zh) * 2009-10-30 2010-05-19 大连光洋科技工程有限公司 正余弦编码器在线实际误差补偿系统
CN101718976A (zh) * 2009-10-30 2010-06-02 大连科德数控有限公司 一种加工中心实现双主轴同步的结构
CN102749055A (zh) * 2012-07-10 2012-10-24 董欣 一种可交互的位移测量系统

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107834941A (zh) * 2017-06-23 2018-03-23 高武保 一种适用于光纤缠绕机的直线电机控制系统
CN107368035A (zh) * 2017-08-22 2017-11-21 科德数控股份有限公司 一种激光尺安装调整装置及方法
CN108827185A (zh) * 2018-06-04 2018-11-16 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 一种轨道车辆车身的三维重建装置及三维重建方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105881103A (zh) 利用激光直接反馈的直线误差补偿方法
US20170370689A1 (en) Method for operating a coordinate measuring machine
CN1038359A (zh) 机床刀具之类的误差补偿系统
US7792653B2 (en) Correction of interpolation errors of a machine, such as a coordinate measuring machine
JP5897891B2 (ja) 工作機械
CN106125774A (zh) 基于激光位移传感器反馈的双轴同步运动控制装置及方法
CN108515519B (zh) 一种基于力传感器的打磨路径自适应校正方法
CN109968402B (zh) 回程间隙测量方法及控制方法、装置、系统和存储介质
CN104132672B (zh) 具备精度校正功能的编码器
CN101907441A (zh) 滚珠丝杠的激光螺距测量仪及其测量方法
US20110061441A1 (en) Gantry stage orthogonality error measurement method and error compensation method for position processing
CN104049567B (zh) 数控装置和摩擦补偿方法
CN1924748B (zh) 图像拾取装置及其控制方法
CN105881096A (zh) 利用激光直接反馈的圆周误差补偿方法
CN103792888A (zh) 基于进给系统位置反馈信号的振动抑制控制器
KR101733029B1 (ko) 철심형 리니어 모터에서 힘 교정, 힘 계산, 및 힘 한정을 위한 방법
CN104316009B (zh) 一种基于拉绳编码器测量系统的动态测量误差补偿方法
CN104076740A (zh) 数控装置
KR20160100013A (ko) 레이저트레이서를 이용한 회전축의 오차측정 및 보상을 위한 시스템 및 방법
JP5972553B2 (ja) 位置決め制御装置、これを備えた工作機械
CN112816183A (zh) 一种vr头戴显示设备移动特性检测装置及方法
KR102641552B1 (ko) 커넥팅 로드 턴테이블
CN103886191A (zh) 机床床身直线度补偿方法
CN108955617B (zh) 偏斜检测器
CN109617497B (zh) 双通道反馈扰动估计补偿驱动器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

Application publication date: 20160824