JP2012247431A - 光度計を用いた試料測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外光源21と光検出器52を有し、光源21から光検出器52に至る光路全体を密閉するカバー11と、カバー11の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計10において、光源21を格納する光源室20と後段の分光器30の間の隔壁22に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室20と分光器30との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット80を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット80を隔壁22に取り付けることによって、光源21付近で発生したオゾンが分光器30へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止する。
【選択図】図1
Description
11…カバー
11a、11b、11c、11d…ガス導入口
11e、11f…ガス排出口
20…光源室
21…紫外光源
22…隔壁
23…ピン
30…分光器
31、35、36、51…ミラー
32、34…スリット
33…回折格子
40…試料室
41…試料
50…検出器室
52…光検出器
60…A/D変換部
70…パーソナルコンピュータ
80…窓板ユニット
81…窓板
82…窓板ホルダ
83…ガイド穴
84…Oリング
Claims (1)
- 紫外領域の測定光を発生する光源と、試料と相互作用した後の測定光を検出する光検出器を有し、前記光源から前記光検出器に至る光路全体を密閉する構造体と、前記構造体内部から空気を排除する空気排除手段と、測定光は透過させる一方、前記構造体内部の光源を格納する空間とそれ以外の空間の間の気体の流通を遮断することのできる着脱式又は可動式の空間隔離部材とを備えた光度計を用いて試料の測定を行う試料測定方法であって、
前記空気排除手段を稼働させずに深紫外波長域のデータが必要でない測定を行う場合には、前記空間隔離部材を前記光路上に配置することで前記光源を格納する空間とそれ以外の空間の間の気体の流通を遮断し、
前記空気排除手段を稼働させた状態で深紫外波長域の測定を行う場合には、前記空間隔離部材を前記光路上から取り除くことを特徴とする試料測定方法。
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