JP2012229973A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な機構を付加するだけで、測定室内の雰囲気を短時間でヘリウムガスから空気に置換することが可能な蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】開口部3を有するベース板1の下方に測定室2が設けられ、該開口部3を塞ぐように試料Sを載置し、試料SにX線光源4から一次X線を照射して、発生する蛍光X線を検出器5で検出して試料Sに含まれる元素を分析する蛍光X線分析装置において、測定室2にヘリウムガスを注入するヘリウムガス注入手段Aと、測定室2に空気を強制送入する空気送入手段Bと、ベース板1の試料Sの上方空間14を囲う着脱可能な蓋体15とを備え、ヘリウムガス注入手段Aは、測定室2の壁板2aに形成されたガス注入口6と、該ガス注入口6からガスボンベ7に接続する配管8とからなり、空気送入手段Bは、測定室2の壁板2aに形成された空気注入口9と、該空気注入口9から空気供給源10に接続する配管11とで構成する。
【選択図】図1
【解決手段】開口部3を有するベース板1の下方に測定室2が設けられ、該開口部3を塞ぐように試料Sを載置し、試料SにX線光源4から一次X線を照射して、発生する蛍光X線を検出器5で検出して試料Sに含まれる元素を分析する蛍光X線分析装置において、測定室2にヘリウムガスを注入するヘリウムガス注入手段Aと、測定室2に空気を強制送入する空気送入手段Bと、ベース板1の試料Sの上方空間14を囲う着脱可能な蓋体15とを備え、ヘリウムガス注入手段Aは、測定室2の壁板2aに形成されたガス注入口6と、該ガス注入口6からガスボンベ7に接続する配管8とからなり、空気送入手段Bは、測定室2の壁板2aに形成された空気注入口9と、該空気注入口9から空気供給源10に接続する配管11とで構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、試料の下面に励起X線を照射して試料から発する蛍光X線の検出を行う蛍光X線分析装置に関する。
試料に対して一次X線を照射し、これにより発生する蛍光X線を検出器で検出することにより試料中に含まれる元素の種類や量の分析を行う蛍光X線分析装置が、例えば特許文献1や特許文献2等で開示されている。
蛍光X線分析装置では、大気中で蛍光X線測定を行うと、大気中に含まれる元素によって蛍光X線の一部波長の吸収が生じ、測定結果に影響を及ぼすことがある。
そこで高精度の測定を行いたい場合には、真空ポンプでX線光学系が設置されている測定室の内部を真空排気してX線測定を行う方法と、測定室内の雰囲気をX線吸収の少ないヘリウムガスに置き換えて、ヘリウムガス雰囲気でX線測定を行う方法が行われている。特許文献1には前者の真空雰囲気による測定手段を備えた装置が示されており、特許文献2には真空雰囲気とヘリウムガス雰囲気による両者の測定手段を備えた装置が開示されている。
そこで高精度の測定を行いたい場合には、真空ポンプでX線光学系が設置されている測定室の内部を真空排気してX線測定を行う方法と、測定室内の雰囲気をX線吸収の少ないヘリウムガスに置き換えて、ヘリウムガス雰囲気でX線測定を行う方法が行われている。特許文献1には前者の真空雰囲気による測定手段を備えた装置が示されており、特許文献2には真空雰囲気とヘリウムガス雰囲気による両者の測定手段を備えた装置が開示されている。
真空雰囲気でX線測定を行う方法では、測定室を完全な真空状態に維持するために気密性や耐圧性が要求されるとともに、真空排気設備を必要とすることから装置が高価となる。加えて、真空雰囲気でのX線測定では、液体試料や粉体試料を取り扱うことができないといった大きな制約があった。
そこで、真空排気設備を持たずに、測定室内がヘリウムガス雰囲気か大気雰囲気かのいずれかになるように測定室内の気体を置換してX線測定を行う汎用タイプのものが提供されている。
そこで、真空排気設備を持たずに、測定室内がヘリウムガス雰囲気か大気雰囲気かのいずれかになるように測定室内の気体を置換してX線測定を行う汎用タイプのものが提供されている。
図4は、真空ポンプ設備を持たないヘリウムガス−大気置換型の蛍光X線分析装置を説明するための概略的な構成図である。
ベース板21の下方に壁板22aによって気密に囲まれた測定室22が設けられ、その壁板22aにはX線光源23と検出器24並びにヘリウムガス注入口25が設けられている。ヘリウムガス注入口25には配管26を介してヘリウムガスボンベ27が接続されている。前記ベース板21には開口部28が設けられていて、この開口部28を塞ぐようにベース板21上に試料Sが載置される。試料Sの上方部分の空間29は着脱可能な蓋体30で密に囲まれている。蓋体30で囲まれた空間29と測定室22とはベース板21に設けられた連絡通路31で連通されている。X線光源23からの励起X線が試料Sに照射され、試料Sから発せられる蛍光X線を検出器24で検出するように形成されている。
ベース板21の下方に壁板22aによって気密に囲まれた測定室22が設けられ、その壁板22aにはX線光源23と検出器24並びにヘリウムガス注入口25が設けられている。ヘリウムガス注入口25には配管26を介してヘリウムガスボンベ27が接続されている。前記ベース板21には開口部28が設けられていて、この開口部28を塞ぐようにベース板21上に試料Sが載置される。試料Sの上方部分の空間29は着脱可能な蓋体30で密に囲まれている。蓋体30で囲まれた空間29と測定室22とはベース板21に設けられた連絡通路31で連通されている。X線光源23からの励起X線が試料Sに照射され、試料Sから発せられる蛍光X線を検出器24で検出するように形成されている。
図4で示した従来装置において、ヘリウムガス雰囲気によるX線測定を行った後に、通常の大気雰囲気に戻して蛍光X線測定を行いたい場合がある。その場合には、蓋体30と試料Sとを取り外して、測定室22のヘリウムガスをベース板21の開口部28や連絡通路31から自然に外部に逃がして空気に置換している。
しかしこの方法では、ヘリウムガスが大気に完全に置換するまで長時間(標準的な装置で約20〜30分)を必要とし、作業の迅速性を損なうといった問題点があった。
しかしこの方法では、ヘリウムガスが大気に完全に置換するまで長時間(標準的な装置で約20〜30分)を必要とし、作業の迅速性を損なうといった問題点があった。
そこで本発明は、上記従来課題を解決し、簡単な機構を付加するだけで、測定室内の雰囲気を短時間でヘリウムガスから空気に置換することが可能な蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明では次のような技術的手段を講じた。すなわち、本発明の蛍光X線分析装置は、開口部を有するベース板の下方に壁板によって気密に囲まれた測定室が設けられ、前記開口部の上方に当該開口部を塞ぐように試料を載置して、当該試料に向けてX線光源から一次X線を照射することにより、試料から発生する蛍光X線を検出器で検出して試料に含まれる元素を分析する蛍光X線分析装置において、前記測定室に、ヘリウムガスを注入するヘリウムガス注入手段と、前記測定室内のヘリウムガスを空気に置換するために測定室に空気を強制送入する空気送入手段と、前記ベース板の上方で試料の上方部分の空間を囲う着脱可能な蓋体とを備え、前記ヘリウムガス注入手段は、前記測定室の壁板に形成されたガス注入口と、このガス注入口からガスボンベに接続する配管とからなり、前記空気送入手段は、測定室の壁板に形成された空気注入口と、この空気注入口から空気供給源に接続する配管とからなる構成とした。
本発明では、測定室内をヘリウムガス雰囲気から大気雰囲気に置換する際、試料並びに蓋体を取り外して空気注入口から測定室に空気を送入することにより、測定室内のヘリウムガスを強制的に外部大気に押し出して短時間でヘリウムガスから空気に置き換えることができ、これにより、置換にかかる時間ロスを短くしてトータルのX線測定時間を短縮することができる。また、空気供給源は大気に開放された測定室に空気を送入するだけでよいことから、市販の手動送風ポンプや簡単な電動送風ポンプを用いることが可能となり、コストの低減化を図ることができる。
(その他の課題を解決するための手段及び効果)
本発明において、前記ガス注入口と前記空気注入口とが共通の一つの注入口で形成され、この注入口から分岐切換弁を介して前記ガスボンベ並びに空気供給源に接続されている構成とするのがよい。
これにより、ガス注入口と空気注入口とが一つの注入口で共用できて構造を簡略化することができる。
本発明において、前記ガス注入口と前記空気注入口とが共通の一つの注入口で形成され、この注入口から分岐切換弁を介して前記ガスボンベ並びに空気供給源に接続されている構成とするのがよい。
これにより、ガス注入口と空気注入口とが一つの注入口で共用できて構造を簡略化することができる。
前記ガス注入口から注入されるヘリウムガスが検出器近傍の蛍光X線の光路上に向かって吹き出すように、蛍光X線の光路に向けてガス注入口が配置されている構成とするのがよい。
これにより、検出器に向かう蛍光X線の光路周辺部分のヘリウムガス雰囲気の濃度を安定して維持できて、高精度のX線測定を確実に行うことができる。
これにより、検出器に向かう蛍光X線の光路周辺部分のヘリウムガス雰囲気の濃度を安定して維持できて、高精度のX線測定を確実に行うことができる。
以下において、本発明に係る蛍光X線分析装置を、図1並びに図2に示した実施例に基づいて詳細に説明する。図1は蛍光X線分析装置の構成を示す概略的な断面図であり、図2はガス置換時の状態を示す断面図である。
平坦なベース板1の下方に、壁板2aによって気密に囲まれた測定室2が設けられている。測定室2の実質的な上壁を形成する前記ベース板1の中央には開口部3が設けられ、この開口部3を塞ぐように試料Sが開口部3の上方に載置される(試料が開口部の径より小さいときは試料を保持するための治具である試料ホルダを用いることとなるので、この試料ホルダと協同して開口部3を塞ぐようにしてもよい)。
測定室2の壁板2aには、試料Sに向けて励起X線を出射するX線光源4と、検出器5とが取り付けられている。検出器5は、試料Sからの蛍光X線が検出できる位置に設置されている。
測定室2の壁板2aには、試料Sに向けて励起X線を出射するX線光源4と、検出器5とが取り付けられている。検出器5は、試料Sからの蛍光X線が検出できる位置に設置されている。
測定室2の壁板2aにはヘリウムガスを測定室2に注入するヘリウムガス注入手段Aと、測定室2内のヘリウムガスを空気に置換するために測定室2に空気を強制送入する空気送入手段Bとが設けられている。
前記ヘリウムガス注入手段Aは、測定室2の壁板2aに形成されたガス注入口6と、このガス注入口6からガスボンベ7に連なる配管8とからなる。
また、前記空気送入手段Bは、測定室2の壁板2aに形成された空気注入口9と、この空気注入口9から空気供給源10に連なる配管11とからなる。
本実施例では、前記ガス注入口6と前記空気注入口9とは、共通の一つの注入口で形成され、この注入口から共通の配管12を経て分岐切換弁13で分岐されて前記ガスボンベ7並びに空気供給源10に接続されている。空気供給源10として、手動送風ポンプや簡単な電動送風ポンプが用いられる。
前記ヘリウムガス注入手段Aは、測定室2の壁板2aに形成されたガス注入口6と、このガス注入口6からガスボンベ7に連なる配管8とからなる。
また、前記空気送入手段Bは、測定室2の壁板2aに形成された空気注入口9と、この空気注入口9から空気供給源10に連なる配管11とからなる。
本実施例では、前記ガス注入口6と前記空気注入口9とは、共通の一つの注入口で形成され、この注入口から共通の配管12を経て分岐切換弁13で分岐されて前記ガスボンベ7並びに空気供給源10に接続されている。空気供給源10として、手動送風ポンプや簡単な電動送風ポンプが用いられる。
また、前記ガス注入口6は、蛍光X線の光路に向けて配置され、ガス注入口6からのヘリウムガスが、蛍光X線の光路の軸線に沿って吹き出すようにしている。
さらに、前記ベース板1の上方で、試料Sの上方部分の空間14を囲う蓋体15が着脱可能に設置されており、この蓋体15で囲われた空間14と測定室2とは連絡通路16で連通されている。
ベース板1の開口部3上に載置した試料SをX線測定するに際して、大気に含まれる成分元素による影響を避けた測定を行いたいときに、測定室2内にヘリウムガスを充満させた状態で行う。この測定時において、測定室2内のヘリウムガスは蓋体15とベース板1との隙間などから徐々に減少するので、少しずつヘリウムガスをガス注入口6から注入しながら行う。この際、ガス注入口6は、検出器5に向かう蛍光X線の光路に向けて配置されているので、ガス注入口6からのヘリウムガスが、X線光路の軸線に沿って吹き出される。これにより、蛍光X線の光路周辺部分のヘリウムガス雰囲気の濃度を安定して維持できて、高精度のX線測定を確実に行うことができる。
ヘリウムガス雰囲気による蛍光X線測定を行った後、大気雰囲気によるX線測定を行う場合は、図2に示すように蓋体15並びに試料Sを取り除いた後、分岐切換弁13を切り換えて空気供給源10からの空気を空気注入口9から測定室2に強制送入する。この空気注入口9から送り込まれた空気により、測定室2内のヘリウムガスは開口部3や連絡通路16から大気中に強制的に押し出され、短時間で測定室2内のヘリウムガスを空気に置換することができ、短時間で雰囲気が切り換わり、次の大気雰囲気での蛍光X線測定を行うことができる。また、空気供給源10は大気に開放された測定室2に空気を送入するだけでよいから、市販の手動送風ポンプや簡単な電動送風ポンプを用いることが可能となり、コストの低減化を図ることができる。
また、ガス注入口6と空気注入口9とは、共通の一つの注入口で形成され、この注入口から共通の配管12を経て分岐切換弁13で分岐されて前記ガスボンベ7並びに空気供給源10に接続されているので、ガス注入口6と空気注入口9とが一つの注入口で共用できて構造を簡略化することができる。
なお、上記実施例では、ガス注入口6と空気注入口9とを、共通の一つの注入口で形成した例を示したが、これに代えて図3に示すように、空気注入口9を独立させて測定室2の壁板2aに設けるようにしてもよい。この場合、ガス注入口6を可能な限り検出器5の近くに設置して、ガス注入口6からのヘリウムガスが、X線光路の近傍に吹き出るようにする。これにより、先の実施例と同様に、蛍光X線の光路周辺部分のヘリウムガス雰囲気の濃度を確実に維持することができる。
以上本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施形態に特定されるものでなく、本発明の目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
本発明は、真空ポンプ設備を持たないヘリウムガス−大気置換型の蛍光X線分析装置に好適に利用することができる。
A ヘリウムガス注入手段
B 空気送入手段
S 試料
1 ベース板
2 測定室
2a 測定室の壁板
3 開口部
4 X線光源
5 検出器
6 ガス注入口
7 ガスボンベ
8 配管
9 空気注入口
10 空気供給源
11 配管
13 分岐切換弁
15 蓋体
B 空気送入手段
S 試料
1 ベース板
2 測定室
2a 測定室の壁板
3 開口部
4 X線光源
5 検出器
6 ガス注入口
7 ガスボンベ
8 配管
9 空気注入口
10 空気供給源
11 配管
13 分岐切換弁
15 蓋体
Claims (3)
- 開口部を有するベース板の下方に壁板によって気密に囲まれた測定室が設けられ、前記開口部の上方に当該開口部を塞ぐように試料を載置して、当該試料に向けてX線光源から一次X線を照射することにより、試料から発生する蛍光X線を検出器で検出して試料に含まれる元素を分析する蛍光X線分析装置において、
前記測定室に、ヘリウムガスを注入するヘリウムガス注入手段と、
前記測定室内のヘリウムガスを空気に置換するために測定室に空気を強制送入する空気送入手段と、
前記ベース板の上方で試料の上方部分の空間を囲う着脱可能な蓋体とを備え、
前記ヘリウムガス注入手段は、前記測定室の壁板に形成されたガス注入口と、このガス注入口からガスボンベに接続する配管とからなり、
前記空気送入手段は、測定室の壁板に形成された空気注入口と、この空気注入口から空気供給源に接続する配管とからなる蛍光X線分析装置。 - 前記ガス注入口と前記空気注入口とが共通の一つの注入口で形成され、この注入口から分岐切換弁を介して前記ガスボンベ並びに空気供給源に接続されている請求項1に記載の蛍光X線分析装置。
- 前記ガス注入口から注入されるヘリウムガスが検出器近傍の蛍光X線の光路上に向かって吹き出すように、蛍光X線の光路に向けてガス注入口が配置されている請求項1または請求項2に記載の蛍光X線分析装置。
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JP2011097959A JP2012229973A (ja) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | 蛍光x線分析装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014192173A1 (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-04 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
JP2019105596A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
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WO2014192173A1 (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-04 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
CN105247354A (zh) * | 2013-05-27 | 2016-01-13 | 株式会社岛津制作所 | 荧光x射线分析装置 |
EP2998730A4 (en) * | 2013-05-27 | 2016-05-04 | Shimadzu Corp | X-FLUORESCENCE ANALYZER |
JP5962855B2 (ja) * | 2013-05-27 | 2016-08-03 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
US10168290B2 (en) | 2013-05-27 | 2019-01-01 | Shimadzu Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
JP2019105596A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
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