JP2014002119A - 検量線の作成方法及び破壊試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】大気圧イオン化質量分析装置28においてアルゴンガス中の不純物成分を測定する際に、全イオンをスキャンするのではなく、親イオンのM/z=40(Ar+)、M/z=80(Ar2 +)及び必要な測定対象不純物成分のみをスキャンして、親イオンのイオン強度を分母とし、測定対象不純物成分のイオン強度を除算して相対イオン強度を求め、測定対象不純物成分の相対イオン強度に濃度換算ファクターを掛けて不純物濃度を算定する。全スキャンを行わないので60秒に1回の測定間隔が、1秒に1回の測定間隔となる。
【選択図】図1
Description
2 検査対象物
11 検査室
12 ガス導入口
13 ガス排出口
18 突起状の工具
19 加熱シート
Claims (6)
- 大気圧イオン化質量分析装置において、アルゴンガス中の不純物成分を測定する際に、M/z=40(Ar+)、M/z=80(Ar2 +)を加算したイオン強度を分母とし、測定対象不純物成分のイオン強度を除算して相対イオン強度を求め、不純物濃度を算定する検量線の作成方法。
- 大気圧イオン化質量分析装置において、窒素ガス中の不純物成分を測定する際に、M/z=28(N2 +)、M/z=42(N3 +)、M/z=56(N4 +)を加算したイオン強度を分母とし、測定対象不純物成分のイオン強度を除算して相対イオン強度を求め、不純物濃度を算定する検量線の作成方法。
- 大気圧イオン化質量分析装置において、ヘリウムガス中の不純物成分を測定する際に、M/z=4(He+)、M/z=8(He2 +)を加算したイオン強度を分母とし、測定対象不純物成分のイオン強度を除算して相対イオン強度を求め、不純物濃度を算定する検量線の作成方法。
- 大気圧イオン化質量分析装置において、水素ガス中の不純物成分を測定する際に、M/z=3(H2・H+)のイオン強度を分母とし、測定対象不純物成分のイオン強度を除算して相対イオン強度を求め、不純物濃度を算定する検量線の作成方法。
- 前記測定対象不純物成分が、M/z=18(H2O+)、M/z=32(O2 +)のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至4記載の検量線の作成方法。
- ガス導入口及びガス排出口を有し、前記ガス導入口及び前記ガス排出口を除いて気密に保たれた状態で内部に検査対象物を収納しうる検査室と、前記検査室の前記気密状態を保ちながら、前記検査室内に収容された前記検査対象物を破壊する破壊部と、前記ガス導入口から所定ガスを供給するガス供給部であって、前記所定ガス中の不純物濃度を所定の濃度以下に低下させるガス純化部を有するガス供給部と、前記ガス供給部により前記所定ガスを前記ガス導入口に供給することで、前記検査室内を通流して前記ガス排出口から排出されるガスを、少なくとも前記検査対象物が前記破壊部により破壊された後に、請求項1乃至5のいずれかに記載測定方法を用いて測定する大気圧イオン化質量分析装置を備えることを特徴とする破壊検査装置。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04353743A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Tadahiro Omi | 不純物吸着量の評価方法及びその評価用装置 |
JPH06318446A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Hitachi Ltd | 分析方法および装置 |
JPH10232221A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-09-02 | Nec Corp | 検量線作成方法及び装置 |
JP2000292762A (ja) * | 1999-04-12 | 2000-10-20 | Ricoh Co Ltd | 液晶セル内気泡のガス分析装置および該ガス分析装置を使用した液晶セル内気泡のガス分析方法 |
WO2004077006A1 (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-10 | Youtec Co.,Ltd. | プラスチック成形体のガスバリア性測定方法 |
JP2004528563A (ja) * | 2001-05-02 | 2004-09-16 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ガス蓄積速度の測定方法 |
JP2006064416A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Takeshi Kage | プラスチック成形体のガスバリア性測定方法及びそのガスバリア性測定装置。 |
JP2007184635A (ja) * | 1996-08-08 | 2007-07-19 | Nippon Api Corp | 表面清浄化部品の施工方法 |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04353743A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Tadahiro Omi | 不純物吸着量の評価方法及びその評価用装置 |
JPH06318446A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Hitachi Ltd | 分析方法および装置 |
JP2007184635A (ja) * | 1996-08-08 | 2007-07-19 | Nippon Api Corp | 表面清浄化部品の施工方法 |
JPH10232221A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-09-02 | Nec Corp | 検量線作成方法及び装置 |
JP2000292762A (ja) * | 1999-04-12 | 2000-10-20 | Ricoh Co Ltd | 液晶セル内気泡のガス分析装置および該ガス分析装置を使用した液晶セル内気泡のガス分析方法 |
JP2004528563A (ja) * | 2001-05-02 | 2004-09-16 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ガス蓄積速度の測定方法 |
WO2004077006A1 (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-10 | Youtec Co.,Ltd. | プラスチック成形体のガスバリア性測定方法 |
JP2006064416A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Takeshi Kage | プラスチック成形体のガスバリア性測定方法及びそのガスバリア性測定装置。 |
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