JP2006329662A - 質量分析装置およびその使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 質量電荷比ごとの分圧の測定部12に連結されて測定部12を制御する電気系部14に、操作部30および測定結果の表示部16を設けた。その操作部30には、複数種類の質量電荷比ごとの分圧を切り替え表示する表示切替ボタン32を備えている。また表示部16は、質量電荷比が28の窒素ガスの分圧と質量電荷比が32の酸素ガスの分圧との比率を表示しうるようになっている。
【選択図】 図1
Description
この構成によれば、分析対象ガスの存在位置の近傍で質量分析装置の操作および測定結果の確認ができるので、各種検査を効率的に行うことができる。特に、メンテナンス後の真空装置のリーク検査を効率的に行うことができる。
この構成によれば、操作部および表示部を測定部に近接して低コストで配設することができる。
この構成によれば、必要な測定結果のみを簡単に確認することができるので、各種検査を効率的に行うことができる。
また質量電荷比が28の窒素ガスの分圧と質量電荷比が32の酸素ガスの分圧との比率を、外部機器に出力しうるようになっていることが望ましい。
これらの構成によれば、手計算によることなく窒素ガスと酸素ガスとの分圧比を確認することができるので、空気リーク検査を効率的に行うことができる。
上述した質量分析装置によれば、分析対象ガスの存在位置の近傍で質量分析装置の操作および測定結果の確認ができるので、メンテナンス後の真空装置のリーク検査を効率的に行うことができる。
この構成によれば、検査用ガスを吹き付けるチャンバの近傍で質量分析装置の操作および測定結果の確認ができるので、真空装置のチャンバと制御用PCとの間を何度も往復する必要がなくなる。したがって、ピンホール位置の検出を効率的に行うことができる。
図1は、本実施形態に係る質量分析装置の側面図である。本実施形態に係る質量分析装置1は測定部12および電気系部14を備え、その電気系部14には表示部16および操作部30が設けられている。
Heランプは、Heガスの質量電荷比(=4)に対応する分圧が表示されていることを示すものであり、真空装置のHeリーク検査に使用される。H2Oランプは、水蒸気の質量電荷比(=18)に対応する分圧が表示されていることを示すものであり、真空装置の冷却水リーク検査に使用される。N2/O2ランプは、N2(窒素)ガスの分圧とO2(酸素)ガスの分圧との比率が表示されていることを示すものであり、真空装置の空気リーク検査に使用される。ANYランプは、予め登録された特定ガスの分圧が表示されていることを示すものであり、真空装置の導入ガスリーク検査に使用される。なおデフォルトとして、例えば質量電荷比が44の特定ガスが登録されている。これ以外にも、N2ガスの質量電荷比(=28)に対応する分圧が表示されていることを示すN2ランプ、O2ガスの質量電荷比(=32)に対応する分圧が表示されていることを示すO2ランプ、分析対象対象ガスの全圧が表示されていることを示すTPランプが設けられている。
次に、本実施形態に係る質量分析装置の使用方法につき、図1および図2を用いて説明する。
このように装着された質量分析装置1を用いて、真空装置50の各種検査を行う方法について以下に説明する。
最初に、真空装置50のプロセス管理を行う方法について説明する。まず真空装置50を運転して成膜処理を開始する。次に、制御用PC62から質量分析装置1を駆動して、チャンバ52の内部ガスの測定を開始する。その測定結果は電圧信号に変換し、制御用PC62に出力させる。制御用PC62では、質量電荷比を横軸にとり分圧を縦軸にとったグラフを表示する。次に、その測定結果から内部ガスに含まれる物質の種類および量を確認する。すなわち、正常なプロセスによる生成物が所定量だけ含まれているか、また製品に悪影響を及ぼす不純物が多量に含まれていないか確認する。この確認作業は、作業者が目視により、または制御用PCで実行されるプログラムにより行う。このようなプロセス管理を、運転中の真空装置50において定期的に実施する。
なお測定結果の全てを制御用PCに出力することなく、予め設定された特定ガスの分圧が許容値を超えた場合にのみ、リレーやデジタル信号等にて制御用PC62に出力するようにしてもよい。この場合、制御用PC62は測定結果を表示するとともに、作業者に警報を発令する。これにより、プロセス管理をさらに効率的に行うことができる。
次に、真空装置50のピンホール検査を行う方法について説明する。真空装置50のチャンバ52のメンテナンスに伴って、チャンバ52にピンホールが発生すると、真空装置50の機能が阻害されることになる。そこで、真空装置50のメンテナンス後にピンホール検査を行う。ピンホール検査として、ピンホールの有無を検出する空気リーク検査と、ピンホールの位置を検出するHeリーク検査とを順に行う。
次に、真空装置50の導入ガスリーク検査を行う方法について説明する。真空装置50のメンテナンスに伴って、導入ガス供給手段60からチャンバ52への導入ガスのリークが発生する場合がある。そこで、真空装置50のメンテナンス後に導入ガスリーク検査を行う。
次に、真空装置50の冷却水リーク検査を行う方法について説明する。真空装置50のメンテナンスに伴って、真空装置50の冷却水配管(不図示)からチャンバ52への冷却水のリークが発生する場合がある。そこで、真空装置50のメンテナンス後に冷却水リーク検査を行う。
Claims (7)
- 質量電荷比ごとの分圧の測定部に近接して、前記測定部の操作部および測定結果の表示部を配設したことを特徴とする質量分析装置。
- 前記操作部および前記表示部は、前記測定部に連結されて前記測定部を制御する電気系部に配設されていることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記表示部は、複数種類の質量電荷比ごとの分圧を切り替え表示しうるようになっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の質量分析装置。
- 前記表示部は、質量電荷比が28の窒素ガスの分圧と質量電荷比が32の酸素ガスの分圧との比率を表示しうるようになっていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の質量分析装置。
- 質量電荷比が28の窒素ガスの分圧と質量電荷比が32の酸素ガスの分圧との比率を、外部機器に出力しうるようになっていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の質量分析装置。
- 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の質量分析装置を用いて、メンテナンス後の真空装置のリーク検査を行うことを特徴とする質量分析装置の使用方法。
- 前記リーク検査は、真空装置におけるピンホール位置の検出手段として行うことを特徴とする請求項6に記載の質量分析装置の使用方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008157727A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Ulvac Japan Ltd | 質量分析ユニット、及び質量分析ユニットの使用方法 |
US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
US8138473B2 (en) | 2007-05-15 | 2012-03-20 | Ulvac, Inc. | Mass spectrometry unit |
DE112010001207T5 (de) | 2009-03-18 | 2012-09-20 | Ulvac, Inc. | Sauerstoffdetektionsverfahren, Luftleckbestimmungsverfahren,Gaskomponentendetektionsgerät und Vakuumverarbeitungsvorrichtung |
JP2021165653A (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社島津製作所 | ガスクロマトグラフ質量分析計、質量分析方法およびプログラム |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102444774B1 (ko) * | 2017-12-27 | 2022-09-19 | 오씨아이 주식회사 | 카본 블랙의 표면 관능기의 정량 및 정성 분석 시스템 및 방법 |
US20220065727A1 (en) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | Kla Corporation | Coolant Microleak Sensor for a Vacuum System |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58113830A (ja) * | 1981-12-28 | 1983-07-06 | Anelva Corp | 真空計測装置 |
JPS61130485A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | 真空モニタ装置 |
US4988871A (en) * | 1989-05-08 | 1991-01-29 | Leybold Inficon, Inc. | Gas partial pressure sensor for vacuum chamber |
US5313061A (en) * | 1989-06-06 | 1994-05-17 | Viking Instrument | Miniaturized mass spectrometer system |
JP2952894B2 (ja) * | 1989-07-03 | 1999-09-27 | 富士通株式会社 | 真空装置およびプロセスチャンバ内のガス分析方法 |
JPH0587668A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Japan Atom Energy Res Inst | ヘリウムリークデイテクター |
US5457316A (en) * | 1994-12-23 | 1995-10-10 | Pcp, Inc. | Method and apparatus for the detection and identification of trace gases |
US5945678A (en) * | 1996-05-21 | 1999-08-31 | Hamamatsu Photonics K.K. | Ionizing analysis apparatus |
JPH10142198A (ja) * | 1996-11-13 | 1998-05-29 | Shimadzu Corp | 残留ガスモニタ |
JP3590569B2 (ja) * | 2000-06-27 | 2004-11-17 | 三菱電機株式会社 | 水質計器メンテナンス警報装置 |
JP2002014080A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Mitsubishi Electric Corp | 発電機内部冷却ガスの監視装置および監視システム |
AUPQ945500A0 (en) * | 2000-08-15 | 2000-09-07 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Frequency adjustable oscillator and methods of operation |
JP2004212073A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Hitachi Ltd | 危険物探知装置及び危険物探知方法 |
US7427750B2 (en) * | 2003-01-17 | 2008-09-23 | Griffin Analytical Technologies, L.L.C. | Mass spectrometer assemblies, mass spectrometry vacuum chamber lid assemblies, and mass spectrometer operational methods |
JP2004289034A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Canon Inc | 酸化亜鉛膜の処理方法、それを用いた光起電力素子の製造方法 |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008157727A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Ulvac Japan Ltd | 質量分析ユニット、及び質量分析ユニットの使用方法 |
US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
US8138473B2 (en) | 2007-05-15 | 2012-03-20 | Ulvac, Inc. | Mass spectrometry unit |
KR101141782B1 (ko) | 2007-05-15 | 2012-05-03 | 가부시키가이샤 아루박 | 질량 분석 유닛 |
DE112010001207T5 (de) | 2009-03-18 | 2012-09-20 | Ulvac, Inc. | Sauerstoffdetektionsverfahren, Luftleckbestimmungsverfahren,Gaskomponentendetektionsgerät und Vakuumverarbeitungsvorrichtung |
US8288715B2 (en) | 2009-03-18 | 2012-10-16 | Ulvac, Inc. | Oxygen detection method, air leakage determination method, gas component detection device, and vacuum processing apparatus |
JP2021165653A (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社島津製作所 | ガスクロマトグラフ質量分析計、質量分析方法およびプログラム |
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