JP2007149681A - 質量分析装置における気体導入装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料を挿入配置する試料室10と、この試料室を高真空に排気する真空ライン20と、前記試料室内に挿入される可動軸32を有し該室内の真空度を低下させることなく直線または回転運動を与えて試料を破砕する破砕手段34と、破砕された試料より脱離した気体成分を質量分析計に導入する可変バルブ22とを備える。
【選択図】図1
Description
10a フランジ部
12 高真空バルブ
14 ターボ分子ポンプ
16 フォアライントラップ
18 ロータリーポンプ
20 真空ライン
22 可変バルブ
24 分析ライン
26 開閉バルブ
28 分岐ライン
30 真空計
32 可動軸
34 破砕手段
36 破砕部品
37 破砕部品
38 通孔
39 刃
40 ベローズ管
50 貫通端子付きフランジ
52 電流端子
54 センサ端子
56 ヒータ
58 ルツボ
S 試料
Claims (2)
- 試料を挿入配置する試料室と,
前記試料室を密閉する貫通端子付き又は前記試料室へ試料の挿入を行うための開閉自在なフランジ部と、
この試料室に対して高真空バルブを介してターボ分子ポンプと真空ポンプが順次接続されて高真空に排気する真空ラインと,
前記試料室に対して微量気体試料をフーリエ変換方式イオンサイクロトロン共鳴質量分析計に接続するための分析ラインと、
前記試料室と前記真空ポンプとを開閉バルブを介して相互に連通する分岐ラインと、
を備えるフーリエ変換方式イオンサイクロトロン共鳴質量分析計において、
前記フランジ部を介して試料室内に前記試料を挿入配置し、
前記開閉バルブを開いて前記試料室内を所定の真空度に分岐ラインから排気した後に前記開閉バルブを閉じ、
前記高真空バルブを開いて前記真空ラインから前記試料室を高真空に排気することにより、
質量分析におけるバックグラウンド信号または不要信号として微量気体検出を妨げる残留気体成分を除去することを特徴とするフーリエ変換方式イオンサイクロトロン共鳴質量分析計。 - さらに残留気体量もしくはキャリアガス量を対象気体量よりも少なくすることが可能であることを特徴とする請求項1記載のフーリエ変換方式イオンサイクロトロン共鳴質量分析計。
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JP2012512393A (ja) * | 2008-12-15 | 2012-05-31 | コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | 発泡体内部のガス試料捕集装置及びこれを利用した分析方法 |
CN110310880A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-10-08 | 浙江迪谱诊断技术有限公司 | 一种连续进样真空室 |
US11133165B1 (en) | 2019-10-30 | 2021-09-28 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Extracting and analyzing trapped gasses in a glass sample |
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2006
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