JP5363408B2 - 発生気体分析装置 - Google Patents
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第1のオリフィスが設けられ該第1オリフィスと異なる位置にガスを供給する供給管が配設され、試料を配置する試料室と、
少なくとも前記試料室を加熱し前記試料から試料ガスを発生させる温度に加熱可能な加熱部と、
前記試料から生成した試料ガスを導入する第2のオリフィスと内部空間を減圧する測定室用減圧機と該導入された試料ガスを検出する検出器とが配設された測定室と、
前記試料室の第1オリフィスと前記測定室の第2オリフィスとが対向するように前記試料室と前記測定室とを内包して配設し該内包した空間を減圧する内包空間減圧機が配設されている減圧室と、
を備えたものである。
Claims (13)
- 第1のオリフィスが設けられ該第1オリフィスと異なる位置にガスを供給する供給管が配設され、試料を配置する試料室と、
少なくとも前記試料室を加熱し前記試料から試料ガスを発生させる温度に加熱可能な加熱部と、
前記試料から生成した試料ガスを導入する第2のオリフィスと内部空間を減圧する測定室用減圧機と該導入された試料ガスを検出する検出器とが配設された測定室と、
前記試料室の第1オリフィスと前記測定室の第2オリフィスとが対向するように前記試料室と前記測定室とを内包して配設し該内包した空間を減圧する内包空間減圧機が配設されている減圧室と、を備え、
前記試料室は、先端側が先細りになる筒状体に形成されており該先端側に前記第1オリフィスが設けられ他端側に前記供給管が配設されて前記ガスが供給され、
前記測定室は、前記試料室に向かって先細りになる筒状体に形成されており先端側に前記第2オリフィスが設けられ他端側に前記検出器が配設されており、
前記減圧室は、前記筒状体の先端側に形成された第1オリフィスと前記測定室のうち前記筒状体の先端側に形成された第2オリフィスとを内包している、
発生気体分析装置。 - 前記試料室は、前記減圧室に設けられた貫通孔に外部から挿入され、取り外し可能に前記減圧室に配設される筒状体の試料セルである、請求項1に記載の発生気体分析装置。
- 前記試料室は、前記試料を載置した試料ホルダを前記他端側から挿入することにより前記試料を配置する、請求項1又は2に記載の発生気体分析装置。
- 前記減圧室は、前記減圧室内を冷却して物質をトラップする冷却トラップが配設されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記減圧室は、前記第1オリフィスと前記第2オリフィスと前記検出器とが直線上に配置されるよう前記測定室と前記試料室とが配設されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記減圧室は、更に前記測定室用減圧機が前記第1オリフィスと前記第2オリフィスと前記検出器と直線上に配置されるよう前記測定室と前記試料室とが配設されている、請求項5に記載の発生気体分析装置。
- 前記測定室は、前記測定室用減圧機と前記検出器とが配設された検出部と、該検出部に設けられ先端側に前記第2オリフィスが形成され先細りになる筒状体に形成されたスキマー部とを有している、請求項1〜6のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 請求項7に記載の発生気体分析装置であって、
前記スキマー部と前記減圧室との間に配設され前記第2オリフィス側に第3のオリフィスが設けられた外部スキマー部により形成され、内部空間を減圧する中間減圧機が配設された中間室、を備えた発生気体分析装置。 - 前記加熱部は、前記測定室のうち前記第2オリフィスが形成されている部位と、前記試料室とを加熱するよう該第2オリフィスが形成された部位と該試料室との外周側且つ前記減圧室に設けられている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記試料室は、石英及びアルミナから選ばれる1以上の部材により形成されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記測定室用減圧機は、前記第2オリフィスから流入するガス流量よりも高い減圧能力を有している、請求項1〜10のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記内包空間減圧機は、前記試料室内の圧力が760Torr以下の範囲で前記試料ガスを発生したときに、前記減圧室の圧力を10-1Torr以下に保持する減圧能力を有している、請求項1〜11のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記測定室用減圧機は、前記試料室内の圧力が760Torr以下の範囲で前記試料ガスを発生したときに、前記測定室の圧力を1×10-3Torr以下に保持する減圧能力を有している、請求項1〜12のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
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