JP2012208481A5 - 液晶表示装置の作製方法 - Google Patents
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Claims (5)
- 絶縁表面を有する基板上に第１導電膜と第１絶縁膜とを順に積層するように形成し、
前記第１絶縁膜の形状を加工することで、前記第１導電膜上に島状の第２絶縁膜及び島状の第３絶縁膜を形成し、
前記島状の第２絶縁膜及び島状の第３絶縁膜をマスクとして用い、前記第１導電膜をドライエッチングにより加工することで、前記島状の第２絶縁膜の下部及び側部に位置する島状の第２導電膜と、前記島状の第３絶縁膜の下部及び側部に位置する島状の第３導電膜とを形成する液晶表示装置の作製方法。 - 請求項１において、
前記第１導電膜は、タングステンまたは窒化タンタルを含む液晶表示装置の作製方法。 - 請求項１において、
前記第１導電膜は、アルミニウムを含む導電膜と、前記アルミニウムを含む導電膜上に積層されたタングステンまたは窒化タンタルを含む導電膜とを有する液晶表示装置の作製方法。 - 請求項１乃至請求項３のいずれか１項において、
前記ドライエッチングは、前記基板の温度を−２０℃以上０℃以下として行う液晶表示装置の作製方法。 - 請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
前記第１絶縁膜の形状は、ドライエッチングを用いて加工する液晶表示装置の作製方法。
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