JP2012208481A - 液晶表示装置及び液晶表示装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁表面を有する第1基板と、絶縁表面上の第1導電膜及び第2導電膜と、第1導電膜上の第1絶縁膜と、第2導電膜上の第2絶縁膜と、第1基板と対峙する第2基板と、第1基板と第2基板の間に位置する液晶層と、を有し、第1導電膜の一部は第1絶縁膜の側部にも位置し、なおかつ、第2導電膜の一部は第2絶縁膜の側部にも位置し、液晶層は、ブルー相を示す液晶を含んでいる液晶表示装置。
【選択図】図1
Description
図1(A)に、本発明の一態様における、画素電極と共通電極の断面構造を一例として示す。図1(A)では、基板100上に画素電極101及び共通電極102が形成されている。なお、基板100と、画素電極101及び共通電極102との間には、トランジスタなどの半導体素子、絶縁膜、配線などの導電膜が形成されていても良い。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る液晶表示装置の、画素の構成について説明する。
本実施の形態では、図5の断面図において示した本発明の一態様に係る液晶表示装置の作製方法について、図7及び図8を用いて説明する。なお、本実施の形態では、トランジスタ301がn型チャネル型である場合を例に挙げている。
本実施の形態では、本発明の液晶表示装置が有する画素部の具体的な構成について説明する。図9に、画素部400の具体的な回路図を一例として示す。
本実施の形態では、画素部の動作を制御する駆動回路の構成について、説明する。
図12は、液晶表示装置の構造を示す、斜視図の一例である。図12に示す液晶表示装置は、一対の基板間に画素部が形成されたパネル1601と、第1の拡散板1602と、プリズムシート1603と、第2の拡散板1604と、導光板1605と、複数の光源1607を有するバックライト1620と、反射板1606と、回路基板1608と、信号線駆動回路の形成された基板1611とを有している。
101 画素電極
102 共通電極
103 絶縁膜
104 絶縁膜
105 破線
106 破線
107 基板
108 液晶層
109 トランジスタ
110 ゲート電極
111 ゲート絶縁膜
112 活性層
113 ソース電極
114 ドレイン電極
115 配線
116 信号線
117 実線
118 絶縁膜
200 基板
201 絶縁膜
202 導電膜
203 絶縁膜
204 マスク
205 絶縁膜
206 導電膜
301 トランジスタ
302 画素電極
303 共通電極
304 容量素子
305 導電膜
306 活性層
307 導電膜
308 導電膜
309 導電膜
310 導電膜
311 導電膜
312 導電膜
313 導電膜
314 導電膜
315 導電膜
316 導電膜
317 半導体層
318 基板
319 絶縁膜
320 ゲート絶縁膜
321 絶縁膜
322 絶縁膜
323 絶縁膜
324 絶縁膜
325 絶縁膜
326 絶縁膜
327 基板
328 液晶層
329 微結晶半導体層
330 非晶質半導体層
331 不純物半導体層
332 不純物半導体層
333 遮蔽膜
334 液晶素子
340 導電膜
350 絶縁膜
400 画素部
401 画素
402 液晶素子
403 トランジスタ
404 容量素子
450 シフトレジスタ
451 レベルシフタ
452 デジタルバッファ
453 記憶回路
454 記憶回路
455 アナログバッファ
460 シフトレジスタ
462 レベルシフタ
463 デジタルバッファ
1601 パネル
1602 拡散板
1603 プリズムシート
1604 拡散板
1605 導光板
1606 反射板
1607 光源
1608 回路基板
1609 COFテープ
1610 FPC
1611 基板
1620 バックライト
5001 筐体
5002 筐体
5003 表示部
5004 表示部
5005 マイクロホン
5006 スピーカー
5007 操作キー
5008 スタイラス
5201 筐体
5202 表示部
5203 キーボード
5204 ポインティングデバイス
5401 筐体
5402 表示部
5403 操作キー
Claims (12)
- 絶縁表面を有する第1基板と、前記絶縁表面上の第1導電膜及び第2導電膜と、前記第1導電膜上の第1絶縁膜と、前記第2導電膜上の第2絶縁膜と、前記第1基板と対峙する第2基板と、前記第1基板と前記第2基板の間に位置する液晶層と、を有し、
前記第1導電膜の一部は前記第1絶縁膜の側部にも位置し、なおかつ、前記第2導電膜の一部は前記第2絶縁膜の側部にも位置し、
前記液晶層は、ブルー相を示す液晶を含んでいる液晶表示装置。 - 請求項1において、
前記第1導電膜または前記第2導電膜は、タングステンまたは窒化タンタルを含む液晶表示装置。 - 請求項1において、
前記第1導電膜または前記第2導電膜は、アルミニウムを含む導電膜と、前記アルミニウムを含む導電膜上に積層されたタングステンまたは窒化タンタルを含む導電膜とを有する液晶表示装置。 - 絶縁表面を有する第1基板と、
前記絶縁表面上のゲート電極と、
前記ゲート電極上のゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上において前記ゲート電極と重なり、なおかつ微結晶半導体を含む層を有する活性層と、
前記活性層上に位置し、なおかつ前記活性層の側部と離隔している第1導電膜及び第2導電膜と、
前記第1導電膜及び前記第2導電膜を覆うように前記活性層上に位置する第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に位置し、なおかつ前記第1絶縁膜が有する第1開口部を介して第1導電膜に接続されている第3導電膜と、
前記第1絶縁膜上に位置し、なおかつ前記第1絶縁膜が有する第2開口部を介して第2導電膜に接続されている第4導電膜と、
前記第1絶縁膜上の第5導電膜及び第6導電膜と、
前記第5導電膜上の第2絶縁膜と、
前記第6導電膜上の第3絶縁膜と、
前記第1基板と対峙する第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板の間に位置する液晶層と、を有し、
前記第4導電膜と前記第5導電膜とは電気的に接続されており、
前記第5導電膜の一部は前記第2絶縁膜の側部にも位置し、なおかつ、前記第6導電膜の一部は前記第3絶縁膜の側部にも位置し、
前記液晶層は、ブルー相を示す液晶を含んでいる液晶表示装置。 - 請求項4において、
前記第3導電膜乃至前記第6導電膜のいずれか1つまたは複数は、タングステンまたは窒化タンタルを含む液晶表示装置。 - 請求項4において、
前記第3導電膜乃至前記第6導電膜のいずれか1つまたは複数は、アルミニウムを含む導電膜と、前記アルミニウムを含む導電膜上に積層されたタングステンまたは窒化タンタルを含む導電膜とを有する液晶表示装置。 - 請求項4において、
前記第3導電膜乃至前記第6導電膜のいずれか1つまたは複数は、チタンを含む導電膜と、前記チタンを含む導電膜上に積層されたアルミニウムを含む導電膜と、前記アルミニウムを含む導電膜上に積層されたタングステンまたは窒化タンタルを含む導電膜とを有する液晶表示装置。 - 絶縁表面を有する基板上に第1導電膜と第1絶縁膜とを順に積層するように形成し、
前記第1絶縁膜の形状を加工することで、前記第1導電膜上に島状の第2絶縁膜及び島状の第3絶縁膜を形成し、
前記島状の第2絶縁膜及び島状の第3絶縁膜をマスクとして用い、前記第1導電膜をドライエッチングにより加工することで、前記島状の第2絶縁膜の下部及び側部に位置する島状の第2導電膜と、前記島状の第3絶縁膜の下部及び側部に位置する島状の第3導電膜とを形成する液晶表示装置の作製方法。 - 請求項8において、
前記第1導電膜は、タングステンまたは窒化タンタルを含む液晶表示装置の作製方法。 - 請求項8において、
前記第1導電膜は、アルミニウムを含む導電膜と、前記アルミニウムを含む導電膜上に積層されたタングステンまたは窒化タンタルを含む導電膜とを有する液晶表示装置の作製方法。 - 請求項8乃至請求項10のいずれか1項において、前記ドライエッチングは、前記基板の温度を−20℃以上0℃以下として行う液晶表示装置の作製方法。
- 請求項8乃至請求項11のいずれか1項において、前記第1絶縁膜の形状は、ドライエッチングを用いて加工する液晶表示装置の作製方法。
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