JPH09211434A - 液晶電気光学装置 - Google Patents
液晶電気光学装置Info
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- JPH09211434A JPH09211434A JP3545796A JP3545796A JPH09211434A JP H09211434 A JPH09211434 A JP H09211434A JP 3545796 A JP3545796 A JP 3545796A JP 3545796 A JP3545796 A JP 3545796A JP H09211434 A JPH09211434 A JP H09211434A
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Abstract
の向きを制御する液晶電気光学装置において、液晶に均
一な電界を形成し、かつ明るいディスプレイを提供す
る。 【構成】 少なくとも一方が透明な一対の基板(10
1)間に、高分子中に分散された液晶材料(104)を
挟持する。そして、一方の基板に、駆動回路、スイッチ
ング素子(300)および液晶駆動用のドレイン(10
2)、コモン電極(103)を形成する。その時、ドレ
イン(102)、コモン電極(103)を壁状に形成す
る。液晶を駆動するのに必要な電界は、壁状のドレイン
ーコモン電極間で基板に平行かつ、セル厚方向に均一に
形成される。
Description
電気特性と良好なコントラストを持ち、画面全体に明る
く均一な表示が得られる液晶電気光学装置に関する。
料である液晶材料を、一対の基板間に挟持した構造を有
している。そして、前記一対の基板に形成された電極よ
り発せられる電界の強度を変化させることで、液晶材料
を進行する光を変調する。この光学変調の結果が表示と
なる。
すれば、電気信号を視覚的に認識可能な状態として表示
させることが可能である。さらに前記電極を複数組み合
わせ、画像データを印加すれば所望の画像を形成するこ
とができる。
装置における光の変調は、前記電界を基板に対して垂直
に印加し、さらにその電界強度を変化させることで、一
般的に棒状の形状を有する前記液晶分子の配向方向を、
基板と平行、あるいは基板に垂直と変化させることで実
現していた。一般的にこの場合、液晶材料の示す特徴の
一つである、光学的異方性を利用して光を変調させるた
め、前記装置には偏光板を配置し、入射光を直線偏光と
なるようにしていた。
気光学装置は、表示面に対して垂直な方向から見たとき
は正常な表示状態でも、斜めから見ると表示が暗く、不
鮮明になり、さらにカラー表示であれば変色してしまう
現象が見られた。
光と液晶分子の配向方向の関係からみると、次のように
説明される。
を採用した場合、表示に際して、長軸方向をそろえて配
向して状態となる。このような状態においては、位置的
にはランダムに位置する液晶分子の垂直方向面より出力
光を観測することになる。
表示を見た場合と、垂直方向から少しずれた方向から見
た場合を比較すると、後者の視点からの表示は、液晶分
子の長軸に対して少し傾いた視点からのものとなる。こ
のことは、出力光の観測面積が表示を見る方向により大
きく異なることを示している。
記垂直方向からずれるほど大きく劣化することになる。
光学装置の場合、液晶材料を特定の方向に配向させるた
め、基板には何らかの配向処理を施すのが通常である
が、基板近傍では強い配向力が働いているため、電界印
加時も基板近傍の液晶分子は配向状態を維持するか、配
向状態を変化させたとしても装置中間部に比べ、その度
合いははるかに小さいものとなる。このため、この部分
では光は散乱され表示に影響を与える。
記従来の液晶電気光学装置の動作モードと異なり、液晶
分子が基板に平行な方向にのみ回転することにより、光
学特性を変化させる動作モードが提案されている。その
詳細は、特公昭63−21907号公報等に示されてい
る。以下、この動作モードをIPSモードと称する。
は、液晶材料を駆動するために対向基板側に設けられる
対向電極が、画素電極が設けられている基板側に配置さ
れることである。すなわち、対向する一対の基板の一方
に、画素電極および対向電極が配置される。
の電極間において電界を形成する。この電界は、基板お
よび液晶層に平行な方向にその主な成分を有している。
この電界でもって、液晶分子を基板に平行な面内におい
て回転させる。
料は、前記電界により光軸が変化させられ、複屈折効果
が変化することになる。そして液晶層を透過する光の状
態が変化し、表示が可能になる。
で液晶分子が基板に対し垂直になることがない。従っ
て、動作の過程で液晶分子が垂直に配向することに起因
していた前述の視野角の問題を解決することができる。
度の不均一性が挙げられる。基板に平行な方向に電界を
印加することにより表示を行うIPSモードは、一方の
基板側のみに電界を形成する電極が設けられている。そ
して、液晶分子に印加される電界は、電極が設けられて
いる基板から距離をおき、対向する基板に近づくほど弱
まる傾向がある。
り、画面全体にわたる均一な表示が得られない。
の開口率の低さが挙げられる。IPSモードにおいて
は、同一平面上に形成された一対の電極間に形成される
電界によって液晶を制御する。従って、電極の上方およ
びその近傍に存在する液晶を制御することはできない。
このため電極の面積の分は確実に開口率が低下してしま
う。
て、明暗を表示するため、偏光板は不可欠な条件であ
り、二枚の偏光板が、更に光透過率を下げる原因となっ
ている。
低下を改善した液晶電気光学装置として、分散型液晶電
気光学装置が知られている。分散型液晶電気光学装置
は、偏光板や配向を必要としないという特徴を持つ。
料により粒状または海綿状に保持されたものである。
は、液晶のカプセル化により高分子材料中に液晶を分散
させ、その高分子材料をフィルムあるいは基板上に薄膜
として形成する方法が知られている。
ン、アラビアゴム、ポリビニルアルコール等が提案され
ている。
内部に有する高分子材料をフィルムあるいは薄膜化した
ものとしては、前述の例以外に、いくつか知られてい
る。例えば、
たもの。 (2)液晶と光硬化性物質との相分離を利用したもの。 (3)3次元につながった高分子材料中に液晶を含侵さ
せたもの。 などが知られている。本明細書においては、これらに、
代表される、液晶電気光学装置を総称して分散型液晶電
気光学装置と言う。
以下に示す。まず、分散型液晶電気光学装置において
は、電界が無い場合(無電界時)には液晶は特定の方向
に配列せず様々な方向を向いている。この状態において
は、液晶の屈折率が、液晶を包んでいるポリマーの屈折
率とずれることになり、光は散乱される。そして、光の
透過がある程度妨げられ、白濁状態となる。
と、液晶分子の長軸は基板に対し垂直になる。このた
め、液晶の長軸方向の屈折率とポリマー樹脂の屈折率と
が等しくなるように調整してあれば、屈折率の不均一性
はなくなり、光散乱が抑えられる。この状態において
は、液晶層を光が透過する。
必要としないため光の有効利用が可能となる。
においては、無電界時の光の散乱の度合いにより不透明
度が決定されるため、コントラストの大きな表示ができ
ないという問題がある。この点では表示の明度で問題が
ある偏光板を利用した液晶電気光学装置が未だ優位性を
保持している。
て、液晶分子の長軸が基板面に対して垂直な方向にそろ
う状態となり、分散型液晶電気光学装置においても前述
した視野角の問題は解決されていない。
PSモードで動作する液晶電気光学装置は、視野角が広
いという特徴を有している。しかし、開口率の向上が困
難、偏光板を使用により画面が暗くなる、電界が不均
一、等種々の欠点を有している。
は、偏光板を必要とせず入射光をそのまま出力でき光の
有効利用が可能であるという特徴がある。しかし、上記
のように、高いコントラストを実現しにくく、さらに、
前記従来の液晶電気光学装置に見られるように視野角依
存性が大きいという欠点を有している。
無くし、かつ上記の有意性、即ちIPSモードの高視野
角特性、及び分散型液晶電気光学装置の光の有効利用、
という、2つの特徴を兼ね備えた液晶電気光学装置を提
供するものである。
は、横方向電界(基板に平行な方向の電界)により液晶
分子の配列を制御し、光の透過と散乱により表示を実現
する分散型の液晶表示装置であることを基本的な特徴と
する。特に分散型の液晶層を構成する高分子材料とし
て、屈折率に異方性を有する高分子材料を用いることを
特徴とする。
と、電界印加時の液晶分子長軸方向の高分子材料の屈折
率を一致させ、かつ、これと直交方向の屈折率を液晶分
子短軸方向の屈折率と一致させる。このように高分子材
料として、屈折率の異なる一軸性のものを使用する。
を利用した視野角の向上を得ることができる。また同時
に無電界時の散乱効果を高めることができる。そしてこ
のこにより、コントラストの向上および、偏光板を必要
としないことによる分散型液晶表示装置が有する明るい
表示とを兼ね備えた液晶電気光学装置を得ることができ
る。
晶材料に駆動電圧を印加するための電極が壁状の形状、
即ち電界を形成する電極の有効面が基板面に垂直もしく
は略垂直な方向を有していることを特徴とする。
ついてセル厚方向で電界分布を均一化することができ
る。
有する基板と、液晶材料が分散した高分子材料よりなる
調光層と基板に平行な方向に電界を印加する手段とを有
し、前記液晶材料の少なくとも一部は電界印加時におい
て基板に平行または概略平行な所定の方向に長軸がそろ
い、前記高分子材料の前記所定の方向における屈折率は
前記液晶材料の長軸方向の屈折率と概略一致し、前記高
分子材料の前記所定の方向と直交する方向における屈折
率は前記液晶材料の短軸方向の屈折率と概略一致し、前
記電界を印加する手段は基板に垂直または概略垂直な方
向に有効面を有することを特徴とする液晶電気光学装置
である。
具体的な形状として、所定の高さを有する壁の側部に電
極が形成された構成を挙げることができる。
極を構成するコモン電極とドレイン電極との間で形成さ
れる。
方式、マルチプレックス方式等を利用することができ
る。
トリクス素子として、薄膜ダイオード、もしくは、薄膜
トランジスターを用いることができる。
具体的な例として、図1乃至図4に示す構成を挙げるこ
とができる。
電極を壁を構成する支持体の表面に配置した場合の例で
ある。また図2は、壁自体を電極材料で構成し、垂直面
に有効面を有する電極を配置した場合の例である。
たものである。図4(a)は、図3(a)に変形で電極
面を垂直面から少し傾けて配置した場合の例である。
ものである。図4(b)は、図3(b)に変形で電極面
を垂直面から少し傾けて配置した場合の例である。
T)を用いて、分散型液晶の駆動を行う例である。
0)、(101)は一対の基板、(102)はドレイン
電極、(103)はコモン電極、(104)は液晶であ
る。また、(105)は所定の高さの電極を形成するた
めに作製された壁である。さらに液晶(104)は高分
子材料(106)中に分散、保持された構成となってい
る。
(300)はTFT駆動部全体、(301)はゲート
線、(302)はソース線、(303)はドレイン線、
(304)はコモン線である。また(307)は層間絶
縁膜、(308)は島状シリコン膜(活性層)を示す。
なお(100)〜(105)の符号は、図1、2に示さ
れる符号に準ずる。
光学装置での表示は、調光層に入射する光の透過と散乱
とを選択して行う。
電極(102)とコモン電極(103)との間で基板に
対し平行な電界が形成される。そしてこの電界に従って
液晶の分子長軸が一斉にそろった方向に配向する。この
状態においては、入射光が調光層を透過する。また、無
電界時には、各液晶分子がランダムな方向にその長軸を
有し入射光が散乱され、散乱状態が得られる。
子材料(106)の屈折率を電界印加時における液晶分
子の長軸方向の屈折率(異常光屈折率)と一致させる。
あるいは概略一致させる。かつ、この時、短軸方向と同
じ方向の高分子材料の屈折率(常光屈折率)を液晶分子
の短軸方向の屈折率と一致させる。あるいは概略一致さ
せる。
(101)には、透光性を有し、かつ外力に対しある程
度の強度を有する材料、例えばガラス、石英などの無機
材料などを用いることができる。
(300)等を形成する場合には、基板(以下TFT基
板とする)には、無アルカリガラスや石英ガラスが用い
ることが望ましい。また、液晶電気光学装置の軽量化を
目的とする場合、複屈折性の少ないフィルム、例えばP
ES(ポリエチレンサルフェート)などを用いることも
できる。
ファスシリコン)又はP−Si(多結晶)シリコンを用
いたものを用いることが出来る。アクティブマトリクス
方式の場合、上記駆動素子の構成は、スタガー型、逆ス
タガー型といった公知の構成を利用することが出来る。
タを用いる場合、液晶材料を駆動する周辺駆動回路をT
FTを形成した基板と同一平面上に形成することが可能
となる。
路を構成するTFTを作製するのと同じプロセスで作製
することが可能である。周辺駆動回路は、一般にn−c
h型のTFTとp−ch型のTFTとを組み合わせた相
補型素子から形成される。
極、ゲート線など、画素部及び駆動回路部のTFTの各
電極を構成する材料としては、銅、アルミニウム、タン
タル、チタン、クロムなどの金属材料やシリサイド材料
が用いられる。また、ITO(酸化インジウム・ス
ズ)、酸化スズ、酸化インジウム等の透光性導電材料を
用いてもよい。
部のドレイン電極(102)やコモン電極(103)は
導体を用い、壁状に構成される点がある。特に隣合う画
素を構成する電極が背合わせの状態で配置される点が特
徴である。
に示されるようにそれ自身で壁を構成する構造としても
よい。また図3(a)や図4(a)に示されるように壁
を構成する支持体の表面に配置する構成としてもよい。
長方形の限定されることはなく、台形状、あるいは端部
に曲面を有する構造としてもよい。特に図4に示される
ような台形状とすると、壁状の電極の作製は容易にな
る。また、壁自体の強度を高めることができ、ラビング
等、電極に外力が加わるような工程でも破損されにくい
ものとすることができる。端部に曲面を持たせれば、滑
らかな電界を作り出すこともできる。
リイミドやアクリル系の有機樹脂や、酸化珪素、窒化珪
素、酸化窒化珪素といった絶縁体が好ましい。
または斜面に電極を設けて画素電極を構成する際には、
導体は各画素電極間が互いに絶縁されるように、各々独
立させるか、画素毎に絶縁物を介して設けられるように
する必要がある。
合、台形の斜面の角度は基板面に対して45°以上であ
ることが望ましい。45°より低くなると、ドレイン電
極(102)やコモン電極(103)の基板面上の面積
が増えて開口率が低下してしまうため好ましくない。
の、底部での一方の側面から他方の側面までの幅(壁の
幅)は、好ましくは10μm以下、より好ましくは5μ
m以下とする。この幅が10μm以上となると画素の開
口率が十分に得られない。
または側部にドレイン電極(102)やコモン電極(1
03)が形成された壁の、基板に対する高さ、即ちドレ
イン電極(102)やコモン電極(103)あるいは壁
の底部からその頂点までの高さは、液晶セル厚の1/8
以上が好ましい。電極の高さが液晶セル厚の1/8以下
では、基板面に対して平行な電界を効果的に形成するこ
とが難しくなる。
電極(103)は各画素に所定の共通電位を提供するた
めのものである。したがってコモン電極(103)は、
対向する各画素電極すべてに対向する大きさに設けられ
ていてもよいし、画素電極と概略同一の大きさを呈する
コモン電極(103)を、各画素毎に画素電極にそれぞ
れ対向するように設けてもよい。
電極(103)、あるいは壁(105)自体は透光性を
有していてもよい。
色の顔料を混入して、遮光性を高めてもよい。
(303)はITO等を用いて透明電極としてもよい
し、抵抗の小さい金属電極としてもよい。
は、酸化珪素、または窒化珪素を用いることが可能であ
る。
m、より好ましくは4μmから20μmの範囲すること
が好ましい。
Tを形成した基板と同種の材料を用いることが可能であ
る。また、対向基板には特に電極を形成する必要はない
が、場合によっては基板の一部もしくは全面に電極を形
成しても構わない。この時の電極材料としては上記の金
属の他、透光性を有する材料、例えばITO等を使用す
ることが出来る。
いは両方の基板上にコントラスト向上のため表示に関係
しない部分を遮光する手段(ブラックマトリクス)を配
置することは有効である。この遮光手段は、Cr等の金
属もしくは黒色の顔料が分散された高分子材料などによ
り構成することができる。
は、一定の間隔をもって重ね合わせられ液晶セルとな
る。
の基板のいずれか一方に、接着剤としてシール剤(図示
せず)を所望のパターンに形成する。シール剤としては
熱硬化型、紫外線硬化型等の樹脂材料を使用する。前記
樹脂材料としてはエポキシ系、ウレタンアクリレート系
などの材料を使用することが可能である。
隔をセル全体に一定に保持するためスペーサー(図示せ
ず)を散布する。もちろん壁が、セル厚と同じ厚みを持
つとき、壁そのものをスペーサーの代わりとしても良
い。
の混合材料を液晶セルに真空注入法等により前記基板間
に配置する。
/高分子前駆体材料の混合材料の注入が困難な場合、一
方の基板に前記材料を滴下し、他方の基板を重ねて、圧
力をかける、いわゆるラミネート法により行う。
チック、コレステリック、スメクチック性を示す材料を
挙げられる。特にネマチック液晶を用い、透明樹脂中に
分散させることが望ましい。
方法によって、誘電異方性が正もしくは負を示すものを
適宜選択して使用する。さらに屈折率異方性が小さいも
のを用いると、視野角をより拡大できる。
は、紫外線硬化型のものや、熱硬化型のものを利用する
ことができる。紫外線硬化型としてはウレタンアクリレ
ート系樹脂、また熱硬化型としてはエポキシ系樹脂が例
として挙げられる。
分子材料が硬化する前の材料)の混合比は重量比で液
晶:高分子=5:5〜9:1とすることが望ましい。特
に7:3の時、良好な表示特性が得られる。
分散させるには、液晶材料及び高分子材料の前駆体を混
合後、両者が等方相を示す温度まで上昇させ、任意の時
間攪拌後、装置作製工程条件に合った温度まで降下さ
せ、注入法等で基板上に前記材料を配設させる。
液晶層に垂直な方向における屈折率の異方性(即ち一軸
性)を与える方法としては、機械的に引き延ばすことに
より、屈折率の異方性を与える方法を挙げることができ
る。また、前記混合材料の硬化の際に電場や磁場を特定
の方向から与えることにより、屈折率の異方性を与える
こともできる。
光状態を有した光を照射することにより、所定の光学異
方性を与える方法を用いることもできる。これらは、液
晶分散後、光の透過量を観測しながら製作してもよい。
電極を必要としないため、一枚の基板に電極と液晶層を
形成し、その上に透明保護膜を塗布する構成とすること
もできる。この構成とした場合はは、基板は一枚でよ
い。
極をセル厚と同じ高さに構成することは好ましい。これ
により、電極がスペーサーの代わりとなる。この場合、
スペーサーを散布する工程を削減でき、なおかつ基板全
体にわたりセル厚方向に均一な電界を提供できる。
を有している材料を用いる必要性について説明する。
を加える型式を有する分散型の液晶電気光学装置におい
ては、電界印加時において、液晶分子の長軸方向が基板
に対して垂直な方向にそろう。
分子材料の屈折率(この場合ポリマーの屈折率は等方性
であるとする)とを一致させることにより、液晶層に入
射した光はそのまま透過する。
した場合、電界印加時において液晶分子は、その長軸が
基板と平行な方向に配列している。従って、電界印加時
において、入射光は液晶分子の長軸に垂直な方向から各
液晶分子に入射する。
晶分子の長軸方向の屈折率と、電界印加時の液晶分子長
軸方向の高分子材料の屈折率を一致させ、かつ、これと
直交方向の屈折率を液晶分子短軸方向の屈折率と一致さ
せた場合を考える。
増やすことができる。即ち、無電界時において、液晶分
子の長軸が液晶層に垂直な方向からずれた場合、入射光
の進路方向における高分子材料と液晶分子との屈折率の
違いをより大きくすることができるので、従来の等方性
のポリマー樹脂を用いた場合に比較して、より激しく入
射光を散乱できる。
光の透過と、無電界時における入射光の散乱との比を大
きくすることができる。そして、高いコントラストを得
ることができる。
ル厚に対し所定以上の高さを有する壁、あるいは壁状の
電極を形成する意義について説明する。
02)とコモン電極(103)により、対向基板近傍に
おいても、基板に対して平行もしくは概略平行な電界を
十分な強さで形成することができ、セル厚方向の電界強
度を均一にする事ができる。
する液晶分子に対しても、ドレイン電極(102)やコ
モン電極(103)が設けられた基板(101)近傍と
同様な電界を印加することが可能となる。
置の構成について詳細に説明する。基板(101)上に
は薄膜トランジスタ(300)、及びコモン電極(10
3)より構成されるアクティブマトリクス回路が形成さ
れている。前記アクティブマトリクス回路構成は図5に
示す。
体(105)の両側面に設けられた電極(102)と、
2つの支持体(105)に設けられた電極(103)と
の間で形成される電界の及ぶ範囲で定義される。図3で
いうと点線(309)で囲った領域が上記の1画素に対
応する。
なる壁(105)の両側面に形成される。ドレイン電極
は、画素毎に絶縁される。また、壁を構成する絶縁材料
はポリイミド系の樹脂を用いた。
が形成されたガラス基板(101)上に、島状シリコン
膜(308)が設けられ、アルミニウムよりなるゲイト
線(301)が、酸化珪素よりなるゲイト絶縁膜(30
5)を介して設けられ、薄膜トランジスタ(300)を
構成している。
縁膜(306)、透光性ポリイミド樹脂よりなる第2の
層間絶縁膜(307)が積層されている。(302)で
示されているのはソース線である。
は、ドレイン電極線(303)が設けられ、同電極はコ
ンタクトホールを介して薄膜トランジスタ(300)の
ドレイン領域に接続されている。また、第2の層間絶縁
膜(307)上には、コモン線(304)が設けられて
いる。
に、およびコモン線(304)上には、ポリイミド樹脂
よりなる壁(105)が設けられている。
形の断面形状を呈している。この時壁の断面形状は図4
(a)に示すように、台形状としてもよい。
膜トランジスタ(300)上の壁(105)の側面また
は斜面にはドレイン電極(102)、コモン電極上の壁
(105)の側面または斜面には、コモン電極(10
3)が設けられている。
の下部領域において、ドレイン電極線(303)と電気
的に接続されている。
の下部領域において、コモン線(304)と電気的に接
続されている。ドレイン電極およびコモン電極は、ここ
ではアルミニウムで構成されている。
わち上記構成による2つのコモン電極とその間のドレイ
ン電極により、1つの画素が構成される。
対向するドレイン電極(102)と概略同一の大きさを
有して画素毎に設けられている。
なる壁の両側面に電極を形成する場合の作製工程を示
す。
1737等のガラスでなる基板(101)上に下地膜と
して酸化珪素膜を熱CVD法により2000Å形成す
る。
スシリコン膜を300〜2000Å、例えば500Å形
成する。
以下の温度で熱アニールを行い、結晶化を行なった。熱
アニール後、レーザー光またはそれと同等な強光により
アニールを行ない、結晶性を高めてもよい。
ン膜にニッケル等の結晶化を助長する触媒元素を微量に
添加することで、結晶化が助長され、安価なガラス基板
上に高い結晶性を有するポリシリコン膜を形成すること
ができる。詳細は、特開平6−244103号公報等に
示されている。
して島状のシリコン膜(308)とする。次に、ゲイト
絶縁膜(305)としての酸化珪素膜を、TEOSを用
いたプラズマCVD法にて500〜1200Å例えば1
000Å形成する。
2000〜6000Åの厚さに形成し、これをパターニ
ングしてゲイト線(301)を得る。
は、その表面に弱酸溶液を化成液とした陽極酸化を施し
て、緻密な陽極酸化膜を数100〜数1000Å程度形
成させてもよい。これにより、薄膜トランジスタのソー
スおよびドレイン領域を形成する際に、ゲイト電極をマ
スクとして不純物イオンを打ち込んだ後に、チャネル領
域とソース・ドレイン領域との間にオフセット領域が形
成され、薄膜トランジスタのOFF電流の低下に寄与す
る。また、積層して設けられる配線間の短絡も防げる。
リコン領域に対して、ゲイト線をマスクとして自己整合
的に不純物イオンを打ち込み、n型またはp型の導電型
を付与する。
辺に、ポリシリコンよりなる薄膜トランジスタで周辺駆
動回路を構成して設ける、いわゆるモノリシック型とす
ることは有効である。その際には、pチャネル型とnチ
ャネル型の薄膜トランジスタを設けて相補構成を得るこ
とができる。
よって厚さ3000〜6000Å例えば4000Å形成
し、第1の層間絶縁膜(306)とする。これは、酸化
珪素膜または酸化珪素膜と窒化珪素膜の多層膜としても
よい。
1の層間絶縁膜に、エッチングによりコンタクトホール
を形成する。その上にスパッタ法等により厚さ2000
〜6000Å例えば3000Åのアルミニウム、または
チタンとアルミニウムの多層膜を成膜、パターニングし
て、ソース線(302)を形成する。
性有機樹脂膜を4000〜10000Å例えば5000
Å形成し、第2の層間絶縁膜(307)を形成する。そ
して、薄膜トランジスタ(300)のドレイン領域上に
コンタクトホールを設けた後、導電性材料、たとえばア
ルミニウム、銅、クロム、チタン、ITO等の被膜をス
パッタ法等の公知の方法で形成、パターンニングし、ド
レイン電極線(303)、コモン線(304)を形成す
る。
しプリベークした後、フォトリソグラフィーによりパタ
ーニングする。その後ポストベークを施してポリイミド
製の壁(105)を形成する。ここでは、図3(a)に
示すように断面形状はほぼ長方形とし、幅は約2μm、
高さは約6μmとした。
マスクパターンを適当に制御することで、図4(a)に
示すように、壁(105)の断面形状を台形にすること
も可能である。また、図には示さないが、壁断面に曲面
を持たせることも可能である。
電極となる導体を成膜する際に、壁(105)の断面形
状が長方形だと、その側面への導体の付着が不十分とな
り、接触不良等を招くことがある。そのような場合には
壁(105)の断面形状を台形とすることが特に好まし
い。
存在しないように十分な洗浄を行なうことが望ましい。
不要なポリイミドが存在すると、後に形成するドレイン
電極やコモン電極と、ドレイン電極線やコモン線との電
気的接続が不十分となるため注意が必要である。
線(303)と同種または異種の導体、例えばアルミニ
ウムの薄膜を公知の方法例えばスパッタ法により形成し
た後、パターニングしてドレイン電極(102)、コモ
ン電極(103)を得る。このようにして、壁(10
5)の側面にドレイン電極(102)、コモン電極(1
03)を形成することができる。
よりシール材(図示せず)を形成して基板(100)、
(101)を貼り合わせ、セルを形成する。
しての基板間隔維持機能を兼ねさせることも可能であ
る。その場合スペーサの散布工程は不要とすることがで
きる。もちろん、通常の液晶表示装置のようにスペーサ
を散布して、基板間隔を維持させてもよい。
する材料を基板間へ注入し、封止する。
ク液晶と、プレポリマー(高分子材料)との混合均一溶
液を使用する。このプレポリマー(高分子材料)とし
て、ウレタンアクリレート系光硬化型樹脂を用いる。上
記溶液には硬化反応を開始する重合開始剤を添加する。
記プレポリマーを硬化(高分子化)させる。
定の偏光方向を有した直線偏光の紫外光を照射すること
により、所定の方向に分子構造の配向を有した、高分子
材料を形成する。これにより、屈折率の異方性を有した
高分子材料を形成することができる。
03)やドレイン電極(102)自体が、壁状の導電性
材料で構成する場合の作製工程を示す。
モン線(304)、ドレイン電極線(303)まで形成
された基板上に、コモン電極(103)およびドレイン
電極(102)を構成する導電性材料、例えばアルミニ
ウムをスパッタ法等の公知の方法により成膜する。
ン電極(103)、ドレイン電極(102)が必要とす
る高さ、例えば6μmとする。
膜上に形成し、公知のパターニングを行う。
ス電圧を印加したプラズマエッチングを施し、基板面に
対して直角方向にエッチングをすすめることで、壁状の
電極を形成する。このようにして、壁状のコモン電極
(103)、ドレイン電極(102)が形成される。こ
のようにして作製された壁状のコモン電極(103)、
ドレイン電極(102)は、図3(b)のように、断面
形状が長方形である。
としてもよい。この場合、フォトレジストを形成したの
ち、等方性プラズマエッチングあるいはウェットエッチ
ングを施す。また、等方性エッチングと異方性エッチン
グを組み合わせて行なってもよい。
イン電極(102)を同じ材料で構成する例を示した
が、互いに異なる材料で構成してもよい。
で液晶電気光学装置を作製する。
成で面積階調を行う。
域(500)〜(503)を利用して、5つの階調を表
示する。この場合、前記4領域(以降ブロックと称す)
で1画素を構成することになる。
と”L”の2値で入力でき、このことでデジタルデータ
として扱えるため、DA(デジタルアナログレベル)変
換回路が不要となる。これにより、周辺回路を含めた制
御回路が液晶パネルのガラスもしくは石英基板上に構成
しやすくなる。
を構成した例を図5に示す。図5において、ゲート線
(スキャン線)(420)とデータ線(401)は格子
状に配置される。さらに所定の電位に固定されているコ
モン線(430)から、垂直または概略垂直に延在した
コモン電極(図3、図4を参照)が配置されている。こ
のコモン電極に対応して画素電極が配置されている。こ
の画素電極は、薄膜トランジスタ(402)、(40
4)、(406)、(408)のドレインに個別に接続
されている。さらにこの画素電極は、画素電極線を介し
て基板に垂直または概略垂直に延在する。かつ画素電極
は、前記のコモン電極とその電極面が平行または概略平
行に配置される。
号a〜dの取り込みは、そのタイミングを水平走査制御
回路(Hドライバー)(421)からのサンプリング信
号(400)により制御し、一定時間取り込んだ前記デ
ータを保持するサンプリングホールド回路(422)に
て行われる。
る水平走査基準クロックHCLKに同期して動作し水平
走査スタート信号HSYNCにより水平方向の走査が活
性化される。
0)が活性化されることによりデータ線(401(40
1a),(401b),(401c),(401d))
には映像信号a〜dのデータが供給される。
ドライバー)(423)により行われる。前記垂直制御
回路(423)は外部より入力される垂直方向基準クロ
ックVCLKに同期して動作し、垂直動作スタート信号
VSYNCにより垂直方向の走査が活性化する。
(423)に接続され2ライン分を同時に走査制御する
ものである。このスキャン線は各薄膜トランジスタのゲ
ート信号となり、対応するトランジスタのソースとドレ
イン間の導通のオンまたはオフを制御する。
のスキャン線で選択された2ライン上の水平制御回路で
選ばれた4つのデータ線(1ラインにつき2つのデータ
線)を介して対応するブロックへ映像信号が印加され
る。
トランジスタ(402)、(404)、(406)、
(408)のソースに個別の映像入力レベルを印加する
信号線(401a),(401b),(401c),
(401d)として接続される。前記4つの映像入力に
より、4つの表示ブロックに対応する液晶層(40
3)、(405)、(407)、(409)の明暗が制
御されることになる。
実行された後、垂直制御回路は次のスキャン線を活性化
して同様の動作を最大画素分繰り返すことで階調をもつ
映像表示の1画面が実現される。
4つの領域(500)、(501)、(502)、(5
03)から構成される。前記スキャン線が活性化された
場合、映像信号a〜dの入力値により図6(a)〜
(e)の5つの表示状態をとることができる。
はすべてのブロックで暗状態となる。この状態が1つの
画素で見た場合最も暗い状態となる。
ロック(500)が明状態となる。
ブロック(500)とブロック(501)が明状態とな
る。
きでブロック(503)を除く3つのブロックが明状態
となる(e)はすべての映像入力が”H”のときであ
り、すべてのブロックが明状態となり、1つの画素で見
た場合最も明るい状態となる。このように表示ブロック
の明暗の面積により階調を制御する。
各画素の明および暗の時間を制御して行う方法が考えら
れる。すなわちある一つの画素を表示する表示期間内
(通状は1フレーム)において、明、暗の2つの状態を
変化させて階調表示を行なうものである。
1/2の時間を明、残りの1/2の時間を暗とする。1
フレーム(通常1/30秒)の表示期間内での明、暗の
変化は人間の目では認識できないため、人間の目には、
表示期間内を全て明とした時の1/2の階調で表示が行
なわれているように認識される。この明と暗を呈する時
間を制御することにより、多階調の表示が可能となる。
ムをさらに複数のフレームに分割した映像データを液晶
電気光学装置に入力し、表示させればよい。
描き変えに要する時間が短くなるため、より高速な駆動
を行なう必要がある。
より、均一かつ、高いコントラスト比を有する、明るい
優れた液晶電気光学装置を提供できる。
図。
図。
の方を見た図。
の方を見た図において、壁またはコモン電極、ドレイン
電極の断面形状を台形状としたときの図。
Claims (6)
- 【請求項1】少なくとも一枚が透光性を有する基板と、 液晶材料が分散した高分子材料よりなる調光層と基板に
平行な方向に電界を印加する手段とを有し、 前記液晶材料の少なくとも一部は電界印加時において基
板に平行または概略平行な所定の方向に長軸がそろい、 前記高分子材料の前記所定の方向における屈折率は前記
液晶材料の長軸方向の屈折率と概略一致し、 前記高分子材料の前記所定の方向と直交する方向におけ
る屈折率は前記液晶材料の短軸方向の屈折率と概略一致
し、 前記電界を印加する手段は基板に垂直または概略垂直な
方向に有効面を有することを特徴とする液晶電気光学装
置。 - 【請求項2】請求項1において、所定以上の高さを持つ
電極は、少なくとも液晶層の1/8以上の高さを持つこ
とを特徴とする液晶電気光学装置。 - 【請求項3】請求項2において、画素電極またはコモン
電極は、その断面が台形状であることを特徴とする液晶
電気光学装置。 - 【請求項4】少なくとも一枚以上が透光性のある、少な
くとも一枚以上の基板と、 液晶層と、 基板上に配置された電極とを有し、 前記電極に対して基板に平行な方向に印加される電界に
よって入射光の透過と散乱のモードが選択され、 前記電極は基板に垂直または概略垂直な方向に有効面を
有することを特徴とする液晶電気光学装置。 - 【請求項5】請求項4において、電極断面が矩形状また
は台形状であることを特徴とする液晶電気光学装置。 - 【請求項6】少なくとも一枚が透光性を有する基板と、 液晶材料が分散した高分子材料よりなる調光層と基板に
平行な方向に電界を印加する手段とを有し、 前記液晶材料の少なくとも一部は電界印加時において基
板に平行または概略平行な所定の方向に長軸がそろい、 前記高分子材料の前記所定の方向における屈折率は前記
液晶材料の長軸方向の屈折率と概略一致し、 前記高分子材料の前記所定の方向と直交する方向におけ
る屈折率は前記液晶材料の短軸方向の屈折率と概略一致
し、 前記電界を印加する手段は、一対のコモン電極と該一対
のコモン電極の間に配置された画素電極とで構成される
ことを特徴とする液晶電気光学装置。
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