JP2012156320A - 半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子1Aは、第1導電形層11が表面に選択的に設けられた半絶縁性基板10と、前記半絶縁性基板および前記第1導電形層の上に設けられたノンドープAlXGa1−XN(0≦X<1)を含む第1半導体層15と、前記第1半導体層上に設けられたノンドープもしくは第2導電形のAlYGa1−YN(0<Y≦1、X<Y)を含む第2半導体層16とを備える。半導体素子は、前記第2導電形層11に接続された第1主電極20と、前記第2半導体層16に接続された第2主電極と21、前記第1主電極と、前記第2主電極と、のあいだの前記第2半導体層の上に設けられた制御電極30とを備える。前記第1導電形層11は、前記制御電極30の下に設けられている。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態に係る半導体素子の要部模式図であり、(a)は、要部断面模式図、(b)は、要部平面模式図である。図1(a)には、図1(b)のX−X’断面が示されている。
バッファ層12の材質は、例えば、窒化アルミニウム(AlN)を含む。
チャネル層15の材質は、例えば、ノンドープの窒化アルミニウムガリウム(AlXGa1−XN(0≦X<1))を含む。
バリア層16の材質は、例えば、ノンドープもしくはn形の窒化アルミニウムガリウム(AlYGa1−YN(0<Y≦1、X<Y))を含む。
図2は、参考例および実施形態に係る半導体素子の要部断面模式図である。図2(a)には、参考例に係る半導体素子の要部断面が示され、図2(b)には、実施形態に係る半導体素子の要部断面が示されている。
図3は、第1の実施形態の変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
半導体素子1Bにおいては、p形層11がゲート電極30からドレイン電極21側に延在している。半導体素子1Bにおいては、支持基板10の主面に対して垂直な方向からみて、p形層11のドレイン電極21側の端11eは、ゲート電極30と、ドレイン電極21と、のあいだに位置している。すなわち、半導体素子1Bのp形層11の端11eは、半導体素子1Aのp形層11の端11eよりもドレイン電極21側に接近している。
図4は、第2の実施形態に係る半導体素子の要部断面模式図である。
半導体素子2Aにおいては、ゲート電極30、ソース電極20、およびドレイン電極21を除くバリア層16の上に、第1絶縁膜であるパッシベーション膜31が設けられている。パッシベーション膜31の材質は、例えば、酸化ケイ素(SiO2)、窒化ケイ素(Si3N4)等である。
図5は、第2の実施形態の第1変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
半導体素子2Bにおいては、バリア層16の上にパッシベーション膜31が設けられている。パッシベーション膜31の上には、ゲートフィールドプレート電極50が設けられている。ゲートフィールドプレート電極50は、ゲート電極30に電気的に接続されている。ゲートフィールドプレート電極50は、パッシベーション膜31の上においてドレイン電極21側に延在している。
図6は、第2の実施形態の第2変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
半導体素子2Cにおいては、バリア層16の上に、ゲートフィールドプレート電極50を被覆するパッシベーション膜32が設けられている。パッシベーション膜32は、実施形態において第2絶縁膜とする。パッシベーション膜32の材質は、例えば、酸化ケイ素(SiO2)、窒化ケイ素(Si3N4)等である。
図7は、第2の実施形態の第3変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
半導体素子2Dにおいては、ゲートフィールドプレート電極50の上に、パッシベーション膜32を介してソースフィールドプレート電極51が設けられている。
図8は、第3の実施形態に係る半導体素子の要部模式図であり、(a)は、要部断面模式図、(b)は、要部平面模式図である。
半導体素子3Aにおいては、支持基板10の主面に対し垂直な方向からみて、p形層11が櫛形状になっている(図8(b)参照)。p形層11のドレイン電極21側の端部11aには、ドレイン電極21側からソース電極20側に向かう凹部11cが少なくとも1つ設けられている。例えば、p形層11は、支持基板10の主面に対し垂直な方向からみて、凸部11tと、凹部11cとを有する。凸部11t(または、凹部11c)の平面形状は、矩形状である。凸部11t(または、凹部11c)は、ソース電極20からドレイン電極21に向かう方向に対し略垂直な方向に周期的に配置されている。
図9は、第3の実施形態の変形例に係る半導体素子の要部平面模式図である。
半導体素子3Bにおいては、支持基板10の主面に対し垂直な方向からみて、凸部11t(または、凹部11c)の平面形状が台形状になっている。このような平面形状であっても、半導体素子3Aと同様な効果が得られる。
図10は、第4の実施形態に係る半導体素子の要部模式図であり、(a)は、要部断面模式図、(b)は、要部平面模式図である。図10(a)には、図10(b)のX−X’断面が示されている。
図11は、第5の実施形態に係る半導体素子の要部模式図であり、(a)は、要部断面模式図、(b)は、要部平面模式図である。図11(a)には、図11(b)のX−X’断面が示されている。
図12は、第5の実施形態の第1変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
図13は、第5の実施形態の第2変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
図14は、第5の実施形態の第3変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
図15は、第5の実施形態の第4変形例に係る半導体素子の要部断面模式図である。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
1e、100e 電気力線
10 支持基板
11 p形層
11a 端部
11b 角
11e、30e、50e、51e 端
11c 凹部
11t 凸部
12 バッファ層
15 チャネル層
16 バリア層
17 Si基板
18 低濃度層
19 n形層
20 ソース電極
21 ドレイン電極
25 裏面電極
30 ゲート電極
31、32 パッシベーション膜
35 ゲート絶縁膜
40 コンタクト層
50 ゲートフィールドプレート電極
51 ソースフィールドプレート電極
60、61 p形層
62 p形ガードリング層
70 素子分離層
Claims (16)
- 第1の第1導電形層が表面に選択的に設けられた半絶縁性基板と、
前記半絶縁性基板および前記第1の第1導電形層の上に設けられたノンドープAlXGa1−XN(0≦X<1)を含む第1半導体層と、
前記第1半導体層上に設けられたノンドープもしくは第2導電形のAlYGa1−YN(0<Y≦1、X<Y)を含む第2半導体層と、
前記第2半導体層に接続された第1主電極と、
前記第2半導体層に接続された第2主電極と、
前記第1主電極と、前記第2主電極と、のあいだの前記第2半導体層の上に設けられた制御電極と、
を備え、
前記第1の第1導電形層は、前記制御電極の下に設けられていることを特徴とする半導体素子。 - 前記第1の第1導電形層は、前記第1主電極に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の半導体素子。
- 前記半絶縁性基板の主面に対して垂直な方向からみて、
前記第1の第1導電形層の前記第2主電極側の端は、前記制御電極と、前記第2主電極と、のあいだに位置していることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体素子。 - 前記制御電極、前記第1主電極、および前記第2主電極を除く前記第2半導体層の上に第1絶縁膜がさらに設けられ、
前記第1絶縁膜の上に、第1フィールドプレート電極が設けられ、
前記第1フィールドプレート電極は、前記制御電極に接続されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかひとつに記載の半導体素子。 - 前記半絶縁性基板の主面に対して垂直な方向からみて、
前記第1の第1導電形層の前記第2主電極側の端は、前記第1のフィールドプレート電極と、前記第2主電極と、のあいだに位置していることを特徴とする請求項4記載の半導体素子。 - 前記第1フィールドプレート電極を覆う第2絶縁膜がさらに設けられ、
前記第2絶縁膜の上に第2フィールドプレート電極が設けられ、
前記第2フィールドプレート電極は、前記第1主電極に接続されていることを特徴とする請求項4または5に記載の半導体素子。 - 前記半絶縁性基板の主面に対して垂直な方向からみて、
前記第1の第1導電形層の前記第2主電極側の端は、前記第2フィールドプレート電極と、前記第2主電極と、のあいだに位置していることを特徴とする請求項6記載の半導体素子。 - 前記半絶縁性基板の主面に対して垂直な方向からみて、
前記第1の第1導電形層の前記第2主電極側の端部には、前記第2主電極側から前記第1主電極側に向かう凹部が少なくとも1つ設けられていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体素子。 - 前記半絶縁性基板は、炭化ケイ素からなることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体素子。
- 前記半絶縁性基板は、ケイ素からなることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体素子。
- 隣り合う前記第1の第1導電形層のあいだの前記半絶縁性基板の表面に、少なくとも1つの第2の第1導電形層が選択的に設けられていることを特徴とする請求項10記載の半導体素子。
- 前記第2の第2導電型層の不純物濃度は、前記第1の第1導電型層の不純物濃度よりも低いことを特徴とする請求項10または11に記載の半導体素子。
- 前記第1の第1導電形層が設けられている前記半絶縁性基板の第1主面とは反対側の第2主面に第2導電形層が設けられ、前記第2導電形層は、前記第2主電極に電気的に接続されていることを特徴とする請求項10〜12のいずれか1つに記載の半導体素子。
- 前記第1の第1導電形層または前記第2の第1導電形層が設けられている領域外の前記半絶縁性基板の表面に、少なくとも1つの第3の第1導電形層が選択的に設けられていることを特徴とする請求項10〜13のいずれか1つに記載の半導体素子。
- 前記第3の第1導電型層の上には、前記第2半導体層が設けられていないことを特徴とする請求項10〜14のいずれか1つに記載の半導体素子。
- 前記第3の第1導電型層上の前記第1半導体層の上には、素子分離層が設けられていることを特徴とする請求項10〜14のいずれか1つに記載の半導体素子。
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