JP2010219117A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010219117A JP2010219117A JP2009061209A JP2009061209A JP2010219117A JP 2010219117 A JP2010219117 A JP 2010219117A JP 2009061209 A JP2009061209 A JP 2009061209A JP 2009061209 A JP2009061209 A JP 2009061209A JP 2010219117 A JP2010219117 A JP 2010219117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- field plate
- length
- semiconductor layer
- gan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 abstract description 3
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 abstract description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 26
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 19
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 13
- 101150003216 SFP1 gene Proteins 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101100171666 Arabidopsis thaliana SFP2 gene Proteins 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100422767 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) SUL1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
- H01L29/0692—Surface layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/201—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds including two or more compounds, e.g. alloys
- H01L29/205—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds including two or more compounds, e.g. alloys in different semiconductor regions, e.g. heterojunctions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/402—Field plates
- H01L29/404—Multiple field plate structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/417—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/41725—Source or drain electrodes for field effect devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
- H01L29/7787—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT with wide bandgap charge-carrier supplying layer, e.g. direct single heterostructure MODFET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】窒化物半導体を用いたHFETまたはショットキーダイオードにおける信頼性を高める。
【解決手段】第1および第2の電極上に積層するように形成された第1および第2のフィールドプレート電極の少なくともいずれかにおいて、前記第1の電極から第2の電極へと向かう第1の方向における長さを、前記第1の方向に直交する第2の方向において周期的に変化させる。
【選択図】図1
【解決手段】第1および第2の電極上に積層するように形成された第1および第2のフィールドプレート電極の少なくともいずれかにおいて、前記第1の電極から第2の電極へと向かう第1の方向における長さを、前記第1の方向に直交する第2の方向において周期的に変化させる。
【選択図】図1
Description
本発明は半導体装置に関する。
スイッチング素子やダイオードなどのパワー半導体素子は、スイッチング電源やインバータなどの回路に用いられ、その特性として高耐圧・低オン抵抗が求められる。
しかし、耐圧とオン抵抗との間には、素子材料で決まるトレードオフの関係がある。主な素子材料であるシリコンについては、これまでの技術開発の進歩により既にその限界近くまで低オン抵抗が実現されているため、オン抵抗を更に低減するには素子材料を変更する必要がある。
そこで、GaNやAlGaNなどの窒化物半導体や炭化珪素(SiC)などのワイドバンドギャップ半導体をスイッチング素子材料として用いることにより、素子材料で決まるトレードオフ関係を改善でき、飛躍的に低オン抵抗化が可能になった。
ここで、GaNやAlGaNなどの窒化物半導体を用いた素子で、低オン抵抗が得られやすい素子として、例えばAlGaN/GaNへテロ構造を用いたヘテロ接合電界効果トランジスタ(Hetero structure Field Effect Transistor以下、単に「HFET」という)が挙げられる。このHFETは、ヘテロ界面チャネルの高移動度とピエゾ分極により発生する高電子濃度とにより、低オン抵抗を実現するものである。
しかし、HFETは横型素子であるため、ゲート・ドレイン間に高電圧を印加した際にゲートの端部に電界が集中し、これに起因して高電界が発生すると、高電界により加速された電子がパッシベーション膜やAlGaN層へ飛び込んで結晶欠陥を発生させる。その結果、特性が変動して素子の信頼性が劣化するという問題があった。
このような高電界に起因した信頼性劣化を抑制させるためには、電界集中を緩和することが有効である。電界緩和を実現する構造としてフィールドプレート構造がある(例えば特許文献1)。さらに、複数のフィールドプレート電極を形成し、各フィールドプレート電極下の絶縁膜厚がドレイン側に厚くなるように段階的に変化させることにより、電界が集中する箇所が増えて電界ピークを低下させることができる。
しかしながら、絶縁膜の堆積回数が増えると膜厚のばらつきによる特性ばらつきが増えるという欠点があり、さらに、絶縁膜が厚くなり過ぎると膜応力が増加することで絶縁膜中にクラックが入り、クラックに起因して信頼性が劣化するという問題もあった。
本発明の目的は、高い信頼性を有する半導体装置を提供することにある。
本発明の一態様によれば、ノンドープAlXGa1−XN(0≦X<1)で形成される第1の半導体層と、前記第1の半導体層上に形成されたノンドープまたはn型のAlYGa1−YN(0<Y≦1、X<Y)で形成される第2の半導体層と、前記第2の半導体層上に形成された第1の電極と、前記第2の半導体層上で前記第1の電極から離隔するように形成され前記第2の半導体層に電気的に接続された第2の電極と、前記第2の半導体層上で前記第1および第2の電極を覆うように形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に形成され、前記第1の電極に電気的に接続された第1のフィールドプレート電極と、前記第1のフィールドプレート電極を覆うように形成された第2の絶縁膜と、前記第2の絶縁膜上に形成された第2のフィールドプレート電極と、を備え、前記第1のフィールドプレート電極および前記第2のフィールドプレート電極の少なくともいずれかは、前記第1の電極から前記第2の電極へと向かう第1の方向における長さが、前記第1の方向に直交する第2の方向において周期的に変化していることを特徴とする半導体装置が提供される。
本発明によれば、高い信頼性を有する半導体装置が提供される。
以下、本発明の実施の形態のいくつかについて、図面を参照しながら説明する。以下の各図において同一部分には同一の参照番号を付し、その重複説明は必要な場合に限り行う。
(1)第1の実施の形態
図1は、本発明の第1の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。
図1は、本発明の第1の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。
図1上部の略示断面図に示すように、本実施形態のGaN―HFET1は、チャネル層31と、バリア層32と、ソース電極SEと、ドレイン電極DEと、ゲート電極GE1と、絶縁膜6,8と、フィールドプレート電極FFP1,SFP1とを備える。
チャネル層31はノンドープGaN層で形成され、本実施形態において例えば第1の半導体層に対応する。バリア層32はチャネル層31の上にノンドープAlGaN層で形成され、本実施形態において例えば第2の半導体層に対応する。ゲート電極GE1は、バリア層32との間でショットキー接合をなすようにバリア層32上に形成されている。ゲート電極GE1は、本実施形態において例えば制御電極に対応する。ソース電極SEとドレイン電極DEとはバリア層32の上でゲート電極GE1を間に挟むように互いに離隔してバリア層32に電気的に接続するように形成される。ここで、ソース電極SEからドレイン電極DEに向かう方向をX方向とし、平面図内でX方向に直交する方向をY方向とする。
そして、バリア層32上にソース電極SE、ドレイン電極DEおよびゲート電極GE1を覆うように絶縁膜6が形成され、絶縁膜6上にゲート電極GE1に電気的に接続されるようにフィールドプレート電極FFP1が形成される。本実施形態において、絶縁膜6およびフィールドプレート電極FFP1は、例えば第1の絶縁膜および第1のフィールドプレート電極にそれぞれ対応する。また、フィールドプレート電極FFP1を覆うように絶縁膜8が形成され、さらに、絶縁膜8の上にフィールドプレート電極SFP1がソース電極SEに電気的に接続されるように形成される。本実施形態において、絶縁膜8およびフィールドプレート電極SFP1は、例えば第2の絶縁膜および第2のフィールドプレート電極にそれぞれ対応する。
図1中央の平面図に示すように、フィールドプレート電極FFP1とフィールドプレート電極SFP1は、平面視においてそれぞれ櫛型の形状をなすように形成される。このため、ソース電極SEからドレイン電極DEへ向かうX方向におけるフィールドプレート電極の長さがY方向において周期的に変化している。本実施形態において、X方向およびY方向は例えば第12および第2の方向にそれぞれ対応する。
このように、フィールドプレート電極FFP1,SFP1のX方向の長さをY方向において変化させることにより、電極の長い部分と短い部分との両方にそれぞれ端部ができる。電界は各端部で集中するので、図1下部の電界分布グラフに示すように、X方向の長さが変化していない従来の構造(点線部分)と比較して電界ピークを低減することが可能になる(実線部分)。
電界ピークが小さくなると、電界加速によって高エネルギーを有するチャネル電子がAlGaNのバリア層32や絶縁膜6へ飛び込む確率が低下する。これにより、結晶欠陥や界面準位が発生し難くなって、リーク電流、耐圧およびオン抵抗などの特性の変動が起き難くなる。即ち、半導体装置の信頼性を高めることができる。
なお、図1中の平面図においては、説明を容易にするため、絶縁膜8のうちフィールドプレート電極SFP1が積層された部分と、フィールドプレート電極SFP1のうちフィールドプレート電極FFP1の左端に対応する箇所から紙面左側の部分とを省略した。この点は、以下の図2、図3、図5乃至図8の各の平面図において同様である。
図1では、フィールドプレート電極FFP1,SFP1の双方でX方向の長さがY方向に変化している構造のGaN―HFET1を示したが、これに限ることなく、例えば図2のGaN―HFET2に示すように、フィールドプレート電極SFP2の長さは変化せず、フィールドプレート電極FFP1のみについてX方向の長さが変化するものも実施可能である。また、図3のGaN―HFET3に示すように、フィールドプレート電極FFP2の長さは変化せず、フィールドプレート電極SFP1のみX方向の長さが変化するものも実施可能である。
また、図1乃至図3では、櫛形の平面形状を有するフィールドプレート電極FFP1,SFP1を示したが、フィールドプレート電極の最もドレイン電極DEに近い端部だけでなく、次にドレイン電極DEに近い端部でも電界が集中するように、例えば図4(a)に示すように、電極が長い部分の幅aは、短い部分の幅bよりも狭いことが望ましい(a<b)。同様に、長い部分と短い部分の長さの差cは、短い部分の幅bよりも小さいことが望ましい(c<b)。
また、フィールドプレート電極の平面形状は、櫛形に限定されることはなく、例えば図4(b)に示すような台形波状でも同様の効果を得ることができる。台形波状の場合でも、最もドレイン電極DEに近い端部だけでなく、次にドレイン電極DEに近い端部にも電界を集中させるため、図4(b)に示すように、電極が長い部分の幅aは、短い部分の幅bよりも狭いことが望ましい(a<b)。同様に、長い部分と短い部分の長さの差cも、短い部分の幅bよりも小さいことが望ましい(c<b)。
さらに、図4(c)に示すように、フィールドプレート電極の平面形状は、波型の形状でも実施可能である。本例においても、最もドレイン電極DEに近い端部だけでなく、次にドレイン電極DEに近い端部でも電界が集中するように、電極の長さが変化する周期dは、長い部分と短い部分の長さの差cよりも大きいことが望ましい(c<d)。
(2)第2の実施形態
図5は、本発明の第2の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。以下の第2乃至第6の実施の形態では、第1の実施の形態と異なる部分についてのみ説明する。
図5は、本発明の第2の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。以下の第2乃至第6の実施の形態では、第1の実施の形態と異なる部分についてのみ説明する。
図1との対比により明らかなように、本実施形態のGaN−HFET4の第1の特徴は、フィールドプレート電極FFP1の長さの変化eよりもフィールドプレート電極SFP4の長さの変化fの方が大きい点(e<f)にある。このようにフィールドプレート電極FFP1とSFP4との間でX方向の長さを大きく変化させることにより、より緩慢な電界分布を得ることができる。
また、GaN−HFET4の第2の特徴は、フィールドプレート電極SFP4下の絶縁膜6および絶縁膜8の厚さの合計hがフィールドプレート電極FFP1下の絶縁膜6の厚さgよりも厚い点(g<h)にある。このようにフィールドプレート電極FFP1とSFP4との間でX方向の長さに応じて直下の絶縁膜の厚さを変化させることにより、電界ピークをさらに低下させることができる。フィールドプレート電極FFP1,SFP4の長さの変化の比e/fは、絶縁膜6の厚さgと絶縁膜6および絶縁膜8の厚さの合計hの比(g/h)と等しくすることが望ましい。
さらに、図6に示す変形例5のように、フィールドプレート電極FFP1の長さが変化する周期iよりもフィールドプレート電極SFP5の長さが変化する周期jの方を大きくする(i<j)ことによっても同様の効果を得ることができる。フィールドプレートの長さの周期iとjの比は、絶縁膜厚gとhの比と等しくすることが望ましい(i/j=g/h)。
(3)第3の実施形態
図7は、本発明の第3の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。
図7は、本発明の第3の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。
図5との対比により明らかなように、本実施形態のGaN−HFET6の特徴は、フィールドプレート電極FFP1とフィールドプレート電極SFP6のX方向の長さが共通の周期で変化している一方、互いの位相がずれている点にある。このような構造により、電界集中する箇所が確実に分散されるので、電界ピークをさらに低下させることができる。図5では、半周期ずつずれるような構造を示したが、これに限ることなく例えば1/4周期でも位相がずれてさえいれば同様の効果を得ることができる。
(4)第4の実施形態
図8は、本発明の第4の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。
図8は、本発明の第4の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。
図5との対比により明らかなように、本実施形態のGaN−HFET7の特徴は、フィールドプレート電極のみならず、ゲート電極GE2においてもX方向の長さがY方向において周期的に変化している点にある。このような電極構造により、ドレイン電極DEの側でゲート端が二つに分かれ、電界が集中する箇所が増える。これにより、ゲート端電界ピークを低下させることができる。
図8では、櫛型の平面形状を有するゲート電極GE2を示したが、これに限ることなく、例えば図4(b)および(c)に示したような他の形状でもフィールドプレート電極の形状と同様に実施可能である。ここで、AlGaNバリア層32は、絶縁膜6および絶縁膜8よりも薄いので、電界集中を均等に分散させるためには、ゲート電極GE2の長さの変化kは、フィールドプレート電極FFP1,SFP4の長さの変化e、fよりも小さいことが望ましい(k<e<f)。
(5)第5の実施形態
図9は、本発明の第5の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。同図の上部の断面図は同図下部の平面図のA−A切断線に沿った図であり、また、同図の中央部の断面図は同図下部の平面図のB−B切断線に沿った図である。
図9は、本発明の第5の実施の形態によるGaN―HFETの概略構成を示す図である。同図の上部の断面図は同図下部の平面図のA−A切断線に沿った図であり、また、同図の中央部の断面図は同図下部の平面図のB−B切断線に沿った図である。
図1との対比により明らかなように、本実施形態のGaN−HFET11の特徴は、積層されるフィールドプレート電極が、ソース電極SEに接続されたフィールドプレート電極FFP11a、SFP11aと、ゲート電極GE1に接続されたフィールドプレート電極FFP11b、SFP11bとで構成され、かつ、それぞれのX方向の長さが異なる点にある。このような構造により、電界集中する箇所がさらに分散されて、電界ピークをさらに低下させることができ、これまでに示してきた構造と同等の効果が得られる。
また、ソース電極SEに接続されたフィールドプレート電極FFP11a、SFP11aとゲート電極GE1に接続されたフィールドプレート電極FFP11b、SFP11bとの間でX方向の長さを変化させることにより、ゲート・ソース間の容量、ゲート・ドレイン間の容量、ドレイン・ソース間の容量をそれぞれ変化させることができるという利点もある。なお、図9下部の平面図に示すように、フィールドプレート電極FFP11a、SFP11aとフィールドプレート電極FFP11b、SFP11bとの間は絶縁膜6,8の一部によって互いに絶縁されている。
図9に示したGaN−HFET11では、ソース電極SEに接続されたフィールドプレート電極FFP11a、SFP11aと、ゲート電極GE1に接続されたフィールドプレート電極FFP11b、SFP11bとの間で互いに接する面積が大きくなって、ゲート・ソース間容量が大きくなり、このため、ゲート電極GE1にノイズが入っても、誤動作し難くなる。また、ゲート・ソース間容量が大きくなることで、静電気破壊も起き難くなる。
図10は、図9に示すGaN−HFET11の一変形例を示す。図10に示すGaN−HFET12は、ゲート電極GE1のみに接続されて櫛形の平面形状を有するフィールドプレート電極FFP12並びに、ソース電極SEに接続されたフィールドプレート電極SFP11aおよびゲート電極GEに接続されたフィールドプレート電極SFP11bを備える。本変形例のGaN−HFET12は、このような構造にすることで、ゲート・ドレイン間容量を大きくすることができ、スイッチング時のdV/dtを抑制し、サージ電圧を小さくすることができる。
このように、それぞれのフィールドプレート電極の長さを任意に設定することにより、容量の大きさを変化させることできる。このため、図示された組み合わせに限定されることはなく、ソース電極SEに接続されるフィールドプレート電極の長さとゲート電極GE1,GE2に接続されるフィールドプレート電極の長さを様々に変化させて実施することが可能である。
なお、図9および図10中の各平面図においては、説明を容易にするため、フィールドプレート電極FFP11a,FFP11b,FFP12、SFP11a,SFP11bのうちゲート電極GE1,GE2から紙面左側の部分を省略した。
(6)第6の実施形態
図11は、本発明の第6の実施の形態による半導体装置の概略構造を示す図である。同図に示すGaN−HSBD21は、ヘテロ構造を用いたショットキーバリアダイオード(Schottky Barrier Diode)であり、図1との対比により明らかなように、HFET1のゲート・ドレイン間部分を抜き出してHSBDに適用したのと同様の構造を有する。
図11は、本発明の第6の実施の形態による半導体装置の概略構造を示す図である。同図に示すGaN−HSBD21は、ヘテロ構造を用いたショットキーバリアダイオード(Schottky Barrier Diode)であり、図1との対比により明らかなように、HFET1のゲート・ドレイン間部分を抜き出してHSBDに適用したのと同様の構造を有する。
即ち、図11上部の略示断面図に示すように、本実施形態のGaN―HSBD21は、図1のHFET1のゲート電極GE1の左端から左側部分を除去した上で、HFET1のゲート電極GE1を、バリア層32との間でショットキー接合をなすようにバリア層32上に形成されたアノード電極AEに置換し、また、HFET1のドレイン電極DEを、バリア層32との間でオーミック接合をなすように形成されたカソード電極KEに置換したものに相当する。HSBD21のフィールドプレート電極FFP21,SFP21も、図1のHFET1のフィールドプレート電極FFP1,SFP1にそれぞれ対応し、フィールドプレート電極SFP21がアノード電極AEに電気的に接続されている点だけを除けばフィールドプレート電極FFP1,SFP1と実質的に同一である。本実施形態において、アノード電極AEおよびカソード電極KEは例えば第1および第2の電極に対応する。
図1のHFET1と同様に、本実施形態のGaN−HSBD21においてもフィールドプレート電極FFP21,SFP21のX方向の長さをY方向において変化させることにより、電界の集中が分散され、半導体装置の信頼性を高めることができる。
図11では、フィールドプレート電極FFP21,SFP21の双方でX方向の長さがY方向に変化している構造のGaN―HFET1を示したが、これに限ることなく、例えば図2および図3で示した変形例HFET2,HFET3のように、フィールドプレート電極のどちらか一方の長さが変化するものも実施可能である。
また、図11では、櫛形の平面形状を有するフィールドプレート電極を示したが、これに限ることなく、例えば図4(b)および(c)に示したように電極の平面形状が異なるものでも勿論実施可能である。
(7)第7乃至第9の実施の形態
前述した第6の実施の形態と同様に、本発明の第7乃至第9の実施の形態は、GaN−HSBDに関するものであり、図5乃至図8を参照して上述したHFET4乃至7について、ゲート電極GE1,GE2を、バリア層32との間でショットキー接合をなすようにバリア層32上に形成されたアノード電極に置換し、かつ、ドレイン電極DEを、バリア層32との間でオーミック接合をなすように形成されたカソード電極に置換したものに相当する。また、フィールドプレート電極の構造も、積層される2つのフィールドプレート電極が共にアノード電極に電気的に接続される点を除けば、HFET4乃至7におけるフィールドプレート電極と実質的に同一である。第7乃至第9の実施の形態によれば、このような構造により、電界集中する箇所が確実に分散されるので、アノード端における電界ピークを低下させることができ、その結果、半導体装置の信頼性を高めることができる。
前述した第6の実施の形態と同様に、本発明の第7乃至第9の実施の形態は、GaN−HSBDに関するものであり、図5乃至図8を参照して上述したHFET4乃至7について、ゲート電極GE1,GE2を、バリア層32との間でショットキー接合をなすようにバリア層32上に形成されたアノード電極に置換し、かつ、ドレイン電極DEを、バリア層32との間でオーミック接合をなすように形成されたカソード電極に置換したものに相当する。また、フィールドプレート電極の構造も、積層される2つのフィールドプレート電極が共にアノード電極に電気的に接続される点を除けば、HFET4乃至7におけるフィールドプレート電極と実質的に同一である。第7乃至第9の実施の形態によれば、このような構造により、電界集中する箇所が確実に分散されるので、アノード端における電界ピークを低下させることができ、その結果、半導体装置の信頼性を高めることができる。
(8)その他
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記第1乃至第9の実施の形態に限定されるものではなく、その技術的範囲内でいわゆる当業者が容易に考え得る変形はすべて適用可能である。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記第1乃至第9の実施の形態に限定されるものではなく、その技術的範囲内でいわゆる当業者が容易に考え得る変形はすべて適用可能である。
例えば、上記実施形態では、チャネル層31が形成される基板を特に図示していないが、これはサファイア基板の他SiC基板、Si基板、GaN基板のいずれでも実施可能であり、特定の基板材料に限定されることはない。また、基板の絶縁性や導電性、さらにその導電型にも限定されるものではない。
また、上記実施形態では、バリア層32およびチャネル層31として、AlGaN/GaNの組み合わせで説明を行ったが、これに限るものでは決してなく、GaN/InGaNやAlN/AlGaNなどの組み合わせでも実施可能である。
また、ノンドープAlGaNバリア層とノンドープGaNチャネル層を用いて説明を行ったが、n型AlGaN層、n型GaN層、n型AlN層を用いても実施可能である。
さらに、ショットキーゲート構造を用いて説明したが、ゲート電極下にゲート絶縁膜を形成したMIS(Metal Insulator Semiconductor)ゲート構造や、p型GaN層、p型AlGaN層やリセス構造を形成することによりノーマリーオフ化させた構造など、ゲート構造を様々な態様に変化させても実施可能である。
1〜7,11,12:GaN―HFET
21:GaN―HFET
31:GaNチャネル層
32:AlGaNバリア層
36,38:絶縁膜
SE:ソース電極
DE:ドレイン電極
GE1,GE2:ゲート電極
FFP1,FFP2,FFP11a,11b,FFP12,FFP21,SFP1,SFP4〜6,SFP11a,11b,SFP21:フィールドプレート電極、
AE:アノード電極、
KE:カソード電極
i:第1のフィールドプレート電極の長さが変化する周期
j:第2のフィールドプレート電極の長さが変化する周期
21:GaN―HFET
31:GaNチャネル層
32:AlGaNバリア層
36,38:絶縁膜
SE:ソース電極
DE:ドレイン電極
GE1,GE2:ゲート電極
FFP1,FFP2,FFP11a,11b,FFP12,FFP21,SFP1,SFP4〜6,SFP11a,11b,SFP21:フィールドプレート電極、
AE:アノード電極、
KE:カソード電極
i:第1のフィールドプレート電極の長さが変化する周期
j:第2のフィールドプレート電極の長さが変化する周期
Claims (5)
- ノンドープAlXGa1−XN(0≦X<1)で形成される第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に形成されたノンドープまたはn型のAlYGa1−YN(0<Y≦1、X<Y)で形成される第2の半導体層と、
前記第2の半導体層上に形成された第1の電極と、
前記第2の半導体層上で前記第1の電極から離隔するように形成され前記第2の半導体層に電気的に接続された第2の電極と、
前記第2の半導体層上で前記第1および第2の電極を覆うように形成された第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に形成され、前記第1の電極に電気的に接続された第1のフィールドプレート電極と、
前記第1のフィールドプレート電極を覆うように形成された第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上に形成された第2のフィールドプレート電極と、
を備え、
前記第1のフィールドプレート電極および前記第2のフィールドプレート電極の少なくともいずれかは、前記第1の電極から前記第2の電極へと向かう第1の方向における長さが、前記第1の方向に直交する第2の方向において周期的に変化していることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のフィールドプレート電極の長さの変化に対する位相と前記第2のフィールドプレート電極の長さの変化に対する位相が一致していないことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1のフィールドプレート電極の前記第1の方向における長さが変化する周期よりも、前記第2のフィールドプレート電極の前記第1の方向における長さが変化する周期の方が大きいことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の半導体層上で前記第1の電極を間に挟むように前記第2の電極と反対側に形成され前記第2の半導体層に電気的に接続された第3の電極をさらに備え、
前記第2のフィールドプレート電極は前記第3の電極に電気的に接続され、
前記第1の電極は電界効果トランジスタの制御電極をなし、前記第2および第3の電極は前記電界効果トランジスタの主電極をなす、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記第1の電極は前記第2の半導体層との間でショットキー接合を形成するアノード電極であり、
前記第2の電極は前記第2の半導体層との間でオーミック接合を形成するカソード電極であり、
前記第2のフィールドプレート電極は前記アノード電極に電気的に接続される、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009061209A JP2010219117A (ja) | 2009-03-13 | 2009-03-13 | 半導体装置 |
US12/711,908 US8237196B2 (en) | 2009-03-13 | 2010-02-24 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009061209A JP2010219117A (ja) | 2009-03-13 | 2009-03-13 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010219117A true JP2010219117A (ja) | 2010-09-30 |
Family
ID=42729960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009061209A Withdrawn JP2010219117A (ja) | 2009-03-13 | 2009-03-13 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8237196B2 (ja) |
JP (1) | JP2010219117A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011210752A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-20 | Nec Corp | 半導体装置、電子装置、半導体装置の製造方法、および半導体装置の動作方法 |
JP2012028643A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置 |
JP2012156320A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Toshiba Corp | 半導体素子 |
JP2014078557A (ja) * | 2012-10-09 | 2014-05-01 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2015056457A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US9337267B2 (en) | 2014-02-06 | 2016-05-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Semiconductor device |
JP2016134551A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 三菱電機株式会社 | ショットキーバリアダイオード |
JP2017038047A (ja) * | 2015-08-04 | 2017-02-16 | パワー・インテグレーションズ・インコーポレーテッド | 集積型高性能横方向ショットキーダイオード |
JP2017054960A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2017524247A (ja) * | 2014-11-19 | 2017-08-24 | 蘇州捷芯威半導体有限公司Gpower Semiconductor,Inc. | ショットキーダイオード及びその製造方法 |
JP2017208556A (ja) * | 2017-06-27 | 2017-11-24 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101204580B1 (ko) * | 2010-12-09 | 2012-11-26 | 삼성전기주식회사 | 질화물계 반도체 소자 |
US8742460B2 (en) | 2010-12-15 | 2014-06-03 | Transphorm Inc. | Transistors with isolation regions |
US8643062B2 (en) | 2011-02-02 | 2014-02-04 | Transphorm Inc. | III-N device structures and methods |
JP5597581B2 (ja) | 2011-03-23 | 2014-10-01 | 株式会社東芝 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
US8901604B2 (en) | 2011-09-06 | 2014-12-02 | Transphorm Inc. | Semiconductor devices with guard rings |
US8598937B2 (en) | 2011-10-07 | 2013-12-03 | Transphorm Inc. | High power semiconductor electronic components with increased reliability |
US10002957B2 (en) | 2011-12-21 | 2018-06-19 | Power Integrations, Inc. | Shield wrap for a heterostructure field effect transistor |
WO2013155108A1 (en) | 2012-04-09 | 2013-10-17 | Transphorm Inc. | N-polar iii-nitride transistors |
US9136341B2 (en) | 2012-04-18 | 2015-09-15 | Rf Micro Devices, Inc. | High voltage field effect transistor finger terminations |
US9124221B2 (en) | 2012-07-16 | 2015-09-01 | Rf Micro Devices, Inc. | Wide bandwidth radio frequency amplier having dual gate transistors |
US8988097B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-03-24 | Rf Micro Devices, Inc. | Method for on-wafer high voltage testing of semiconductor devices |
US9142620B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-09-22 | Rf Micro Devices, Inc. | Power device packaging having backmetals couple the plurality of bond pads to the die backside |
US9147632B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-09-29 | Rf Micro Devices, Inc. | Semiconductor device having improved heat dissipation |
US9202874B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-12-01 | Rf Micro Devices, Inc. | Gallium nitride (GaN) device with leakage current-based over-voltage protection |
US9917080B2 (en) | 2012-08-24 | 2018-03-13 | Qorvo US. Inc. | Semiconductor device with electrical overstress (EOS) protection |
US9129802B2 (en) | 2012-08-27 | 2015-09-08 | Rf Micro Devices, Inc. | Lateral semiconductor device with vertical breakdown region |
US9070761B2 (en) | 2012-08-27 | 2015-06-30 | Rf Micro Devices, Inc. | Field effect transistor (FET) having fingers with rippled edges |
US9325281B2 (en) | 2012-10-30 | 2016-04-26 | Rf Micro Devices, Inc. | Power amplifier controller |
US9087718B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-07-21 | Transphorm Inc. | Enhancement-mode III-nitride devices |
DE102013006624B3 (de) * | 2013-04-18 | 2014-05-28 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Hochfrequenzleiter mit verbesserter Leitfähigkeit und Verfahren seiner Herstellung |
JP6211804B2 (ja) * | 2013-05-30 | 2017-10-11 | トランスフォーム・ジャパン株式会社 | 半導体装置 |
US9443938B2 (en) | 2013-07-19 | 2016-09-13 | Transphorm Inc. | III-nitride transistor including a p-type depleting layer |
US10910491B2 (en) | 2013-09-10 | 2021-02-02 | Delta Electronics, Inc. | Semiconductor device having reduced capacitance between source and drain pads |
TWI577022B (zh) | 2014-02-27 | 2017-04-01 | 台達電子工業股份有限公司 | 半導體裝置與應用其之半導體裝置封裝體 |
US10236236B2 (en) | 2013-09-10 | 2019-03-19 | Delta Electronics, Inc. | Heterojunction semiconductor device for reducing parasitic capacitance |
US10665709B2 (en) | 2013-09-10 | 2020-05-26 | Delta Electronics, Inc. | Power semiconductor device integrated with ESD protection circuit under source pad, drain pad, and/or gate pad |
US10833185B2 (en) | 2013-09-10 | 2020-11-10 | Delta Electronics, Inc. | Heterojunction semiconductor device having source and drain pads with improved current crowding |
JP6135487B2 (ja) | 2013-12-09 | 2017-05-31 | 富士通株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2015177016A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US9455327B2 (en) | 2014-06-06 | 2016-09-27 | Qorvo Us, Inc. | Schottky gated transistor with interfacial layer |
US9318593B2 (en) | 2014-07-21 | 2016-04-19 | Transphorm Inc. | Forming enhancement mode III-nitride devices |
US9536803B2 (en) | 2014-09-05 | 2017-01-03 | Qorvo Us, Inc. | Integrated power module with improved isolation and thermal conductivity |
US9536967B2 (en) | 2014-12-16 | 2017-01-03 | Transphorm Inc. | Recessed ohmic contacts in a III-N device |
US9536966B2 (en) | 2014-12-16 | 2017-01-03 | Transphorm Inc. | Gate structures for III-N devices |
US10062684B2 (en) | 2015-02-04 | 2018-08-28 | Qorvo Us, Inc. | Transition frequency multiplier semiconductor device |
US10615158B2 (en) | 2015-02-04 | 2020-04-07 | Qorvo Us, Inc. | Transition frequency multiplier semiconductor device |
CN108604597B (zh) | 2016-01-15 | 2021-09-17 | 创世舫电子有限公司 | 具有al(1-x)sixo栅极绝缘体的增强模式iii-氮化物器件 |
FR3050573B1 (fr) * | 2016-04-22 | 2019-10-18 | Exagan | Dispositif avec plaques de champ segmentees |
US10224401B2 (en) | 2016-05-31 | 2019-03-05 | Transphorm Inc. | III-nitride devices including a graded depleting layer |
JP6874928B2 (ja) * | 2017-10-24 | 2021-05-19 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置 |
US10103239B1 (en) * | 2017-12-28 | 2018-10-16 | Vanguard International Semiconductor Corporation | High electron mobility transistor structure |
US10483356B2 (en) * | 2018-02-27 | 2019-11-19 | Siliconix Incorporated | Power semiconductor device with optimized field-plate design |
JP2019165063A (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
CN110649096B (zh) * | 2019-10-08 | 2021-06-04 | 电子科技大学 | 一种高压n沟道HEMT器件 |
US11876118B2 (en) * | 2020-02-14 | 2024-01-16 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Semiconductor structure with gate metal layer |
CN111477690B (zh) * | 2020-04-02 | 2021-05-07 | 西安电子科技大学 | 基于P-GaN帽层和叉指结构的横向肖特基二极管及其制备方法 |
CN111613670B (zh) * | 2020-06-02 | 2022-10-18 | 华南师范大学 | 一种三明治弧形栅极结构的hemt器件及其制备方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4186032B2 (ja) | 2000-06-29 | 2008-11-26 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP4385205B2 (ja) | 2002-12-16 | 2009-12-16 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ |
JP4385206B2 (ja) | 2003-01-07 | 2009-12-16 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ |
US6933544B2 (en) * | 2003-01-29 | 2005-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Power semiconductor device |
JP4417677B2 (ja) | 2003-09-19 | 2010-02-17 | 株式会社東芝 | 電力用半導体装置 |
US7573078B2 (en) * | 2004-05-11 | 2009-08-11 | Cree, Inc. | Wide bandgap transistors with multiple field plates |
JP2006086398A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2009
- 2009-03-13 JP JP2009061209A patent/JP2010219117A/ja not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-02-24 US US12/711,908 patent/US8237196B2/en active Active
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011210752A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-20 | Nec Corp | 半導体装置、電子装置、半導体装置の製造方法、および半導体装置の動作方法 |
JP2012028643A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置 |
JP2012156320A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Toshiba Corp | 半導体素子 |
JP2014078557A (ja) * | 2012-10-09 | 2014-05-01 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US10074736B2 (en) | 2012-10-09 | 2018-09-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
JP2015056457A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US9337267B2 (en) | 2014-02-06 | 2016-05-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Semiconductor device |
JP2017524247A (ja) * | 2014-11-19 | 2017-08-24 | 蘇州捷芯威半導体有限公司Gpower Semiconductor,Inc. | ショットキーダイオード及びその製造方法 |
JP2016134551A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 三菱電機株式会社 | ショットキーバリアダイオード |
CN106449772A (zh) * | 2015-08-04 | 2017-02-22 | 电力集成公司 | 用于制造横向肖特基二极管的方法以及该二极管 |
JP2017038047A (ja) * | 2015-08-04 | 2017-02-16 | パワー・インテグレーションズ・インコーポレーテッド | 集積型高性能横方向ショットキーダイオード |
JP2017054960A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2017208556A (ja) * | 2017-06-27 | 2017-11-24 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8237196B2 (en) | 2012-08-07 |
US20100230717A1 (en) | 2010-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010219117A (ja) | 半導体装置 | |
US9461122B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method for the same | |
JP4041075B2 (ja) | 半導体装置 | |
US9911843B2 (en) | Semiconductor device | |
JP4002918B2 (ja) | 窒化物含有半導体装置 | |
JP5672756B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5653326B2 (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP5691267B2 (ja) | 半導体装置 | |
US8823061B2 (en) | Semiconductor device | |
US20130248931A1 (en) | Nitride semiconductor device | |
JP2006269586A (ja) | 半導体素子 | |
JP5534661B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR101927408B1 (ko) | 고전자 이동도 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
US20110133205A1 (en) | Field-effect transistor | |
CN104051520A (zh) | 高电子迁移率的半导体器件及其方法 | |
JP2010103158A (ja) | 双方向スイッチ | |
JP2007180143A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2007048866A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2007059589A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2010045364A (ja) | トランジスタ | |
WO2019003746A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2018056506A (ja) | 半導体装置 | |
US20150263001A1 (en) | Semiconductor device | |
JP5548906B2 (ja) | 窒化物系半導体装置 | |
WO2012144100A1 (ja) | 窒化物系半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20120605 |