JP2012130915A - 塗布物被塗布材の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布物が被塗布材表面に塗布される対応箇所が貫通し、被塗布材表面に塗布されることを防止する対応箇所が非貫通してなるマスクパターンが形成された表面マスクで被塗布材表面を覆い、前記表面マスクを通じて噴射ノズルから前記塗布物を噴射し、塗布してなる塗布物被塗布材の製造方法は、第一の表面マスクを被塗布材表面に覆い、前記被塗布材表面へ塗布後、前記被塗布材表面の前記第一の表面マスクを外し、第二の表面マスクを覆うことで塗布してなる塗布物被塗布材の製造方法および製造装置である。
【選択図】図1
Description
図1には塗布物が被塗布材表面に塗布される対応箇所が貫通し、被塗布材表面に塗布されることを防止する対応箇所が非貫通してなるマスクパターンが形成された表面マスクで被塗布材表面を覆い、前記表面マスクを通じて噴射ノズルから前記塗布物を噴射し、塗布してなる塗布物被塗布材の製造方法であって、第一の表面マスクを被塗布材表面に覆い、前記被塗布材表面へ塗布後、前記被塗布材表面の前記第一の表面マスクを外し、第二の表面マスクを覆うことで塗布してなる有機EL素子の製造装置が示される。
収納部から供給されるマスクは、塗布液で塗れていない状態のものとすると好適である。マスクの交換頻度は、1枚毎でも複数枚毎でも良い。また、本実施形態に係る製造装置を、ライン状に並べて、多層の有機EL素子を製造することが可能である。
図2に図1の製造装置により製造された有機EL素子の構造を示す。有機EL素子は、発光機能層が主に有機物からなり、陽極からホール(正孔)が、陰極から電子が注入され、発光層で再結合し発光する。有機EL素子の有機機能層は通常、ホール注入層/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層など、それぞれの機能を持つ複数の層からなる。これら各々の有機機能層は通常、有機物からなり、更に、低分子の有機物からなる場合、高分子の有機物からなる場合がある。低分子の有機物からなる有機機能層は一般に蒸着法等のドライプロセス(真空プロセス)によって、高分子の有機物からなる有機機能層は一般にスピンコート法、ブレードコート法、ディップ法、スプレー法そして印刷法等のウエットプロセスによって、それぞれ形成されるのが一般的である。
図3の有機EL素子の製造装置は、基板表面上に配置された表面マスク、表面マスク上に配置され、スプレー噴射して塗布するノズル、表面マスクを交換するマスク交換機構、交換用マスクが収納されるマスク収納部、さらには塗布済みマスク収納部を含んでいる装置である。表面マスクには、塗布物が被塗布材表面に塗布される対応箇所が貫通して開口部が形成されている。基板上にはこの開口部を通じてのみノズルから噴射(噴出した溶液)が基板表面に塗布される。
図4の有機EL素子の製造装置は、基板表面上に配置された表面マスク、表面マスク上に配置され、スプレー噴射して塗布するノズル、表面マスクを交換するマスク交換機構、交換用マスクが収納されるマスク収納部、さらには塗布済みマスクを乾燥させる乾燥部を含んでいる装置である。表面マスクには、塗布物が被塗布材表面に塗布される対応箇所が貫通して開口部が形成されている。基板上にはこの開口部を通じてのみノズルから噴射(噴出した溶液)が基板表面に塗布される。
図6の有機EL素子の製造装置は、基板表面上に配置された表面マスク、表面マスク上に配置され、スプレー噴射して塗布するノズル、表面マスクを交換するマスク交換機構、交換用マスクが収納されるマスク収納部、さらには塗布済みマスクを洗浄させる洗浄部を含んでいる装置である。表面マスクには、塗布物が被塗布材表面に塗布される対応箇所が貫通して開口部が形成されている。基板上にはこの開口部を通じてのみノズルから噴射(噴出した溶液)が基板表面に塗布される。
Claims (4)
- 塗布物が被塗布材表面に塗布される対応箇所が貫通し、被塗布材表面に塗布されることを防止する対応箇所が非貫通してなるマスクパターンが形成された表面マスクを被塗布材表面に置載することにより当該被塗布材表面を表面マスクで覆い、前記表面マスクを通じて噴射ノズルから前記塗布物を噴射し、塗布してなる塗布物被塗布材の製造方法であって、
第一の表面マスクを被塗布材表面に覆い、前記被塗布材表面への塗布後、
前記被塗布材表面の前記第一の表面マスクを外し、第二の表面マスクを覆うことで塗布してなり、
前記外された第一の表面マスクを再利用可能な状態とし、前記第二の表面マスクとする塗布物被塗布材の製造方法。 - 請求項1に記載の塗布物被塗布材の製造方法であって、
前記第一の表面マスク表面を画像データまたは反射率データで解析し、
前記解析した解析データから、予め記憶されていた第二の表面マスクに取り替える状態を判定する判定記憶データと比較し、
前記画像解析した解析データが前記判定記憶データと比較して、前記第一の表面マスクを外し、前記第二の表面マスクを覆う時期であると判断された場合に前記被塗布材表面に前記第二の表面マスクを覆う塗布物被塗布材の製造方法。 - 塗布物が被塗布材表面に塗布される対応箇所が貫通し、被塗布材表面に塗布されることを防止する対応箇所が非貫通してなるマスクパターンが形成された表面マスクを被塗布材表面に置載することにより当該被塗布材表面を表面マスクで覆い、前記表面マスクを通じて噴射ノズルから前記塗布物を噴射し、塗布してなる塗布物被塗布材の製造装置であって、
第一の表面マスクを被塗布材表面に覆い、前記第被塗布材表面へ塗布後、
前記被塗布材表面の前記第一の表面マスクを外し、第二の表面マスクを覆うことで塗布させてなり、
前記外された第一の表面マスクを再利用可能な状態とし、前記第二の表面マスクとする塗布物被塗布材の製造装置。 - 請求項3に記載の塗布物被塗布材の製造装置であって、
前記第一の表面マスク表面を画像データまたは反射率データで解析し、
前記解析した解析データから、予め記憶されていた第二の表面マスクに取り替える状態を判定する判定記憶データと比較し、
前記画像解析した解析データが前記判定記憶データと比較して、前記第一の表面マスクを外し、前記第二の表面マスクを覆う時期であると判断された場合に前記被塗布材表面に前記第二の表面マスクを覆う塗布物被塗布材の製造装置。
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