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Abstract
【解決手段】第1の基板31に接して設けられた下地膜と、前記下地膜上に設けられた積層された絶縁層33と、前記絶縁層上に設けられた、発光素子を有する表示部と、前記絶縁層上で且つ前記表示部の外側に設けられたシール材37と、前記シール材の外側で、前記下地膜及び前記絶縁層の外端部側面を被覆する積層された封止膜36と、前記シール材により前記第1の基板に固着された第2の基板32と、を有し、前記絶縁層の少なくとも一層は有機樹脂材料を有し、前記外端部側面は前記第1の基板上に設けられ、前記シール材は前記封止膜に接し、前記封止膜のそれぞれの膜はAl、Ti、Mo、WもしくはSiの元素から選ばれた一種、または複数種からなる合金であり、前記封止膜は前記第1の基板上で、且つ前記第1の基板に接して設けられていることを特徴とする表示装置。
【選択図】図3
Description
本発明の実施の形態を、図面を用いて詳細に説明する。
本発明の実施の形態を、図面を用いて詳細に説明する。
レジストからなるマスクを除去した後、新たにレジストからなるマスク331a〜331cを形成して第1のドーピング処理よりも高い加速電圧で第2のドーピング処理を行う。ドーピング処理は第2の導電層323b、326bを不純物元素に対するマスクとして用い、第1の導電層のテーパー部の下方の半導体層に不純物元素が添加されるようにドーピングする。続いて、第2のドーピング処理より加速電圧を下げて第3のドーピング処理を行って図8(A)の状態を得る。第2のドーピング処理および第3のドーピング処理により、第1の導電層と重なる低濃度不純物領域335、341には1×1018〜5×1019/cm3の濃度範囲でn型を付与する不純物元素を添加され、高濃度不純物領域334、337、340には1×1019〜5×1021/cm3の濃度範囲でn型を付与する不純物元素を添加される。
また、図4に示すように、開口部に封止膜を形成して、下層の膜を表示装置内で内側の領域と外側の領域に切り離し、汚染物質の侵入を防ぐ構造でもよい。配線と同時に、同材料で形成される封止膜により表示装置端部の絶縁層が剥き出しになっている部分を覆い、かつ絶縁層に形成した開口部を同封止膜で覆った構造を図20に示す。図20において、9000は封止領域、9001は周辺回路部、9002は画素部、9003、9006はpチャネル型TFT、9004、9005はnチャネル型TFT、2000は基板、2001は配線、2011、2014は電極(陽極または陰極)、2012はバンク、2013は発光層、2015は発光素子、2018は開口部、2019は開口部2018と側端部を覆う封止膜(保護膜)、2017はシール材である。導電性のある膜で覆うときは、表示装置内部でのショートなどを避けるため、図5の(B)のように、表示装置内部領域とは分断して、封止領域のみに積層する必要がある。また、図4で示すように、封止膜を積層構造にして遮断すると、封止膜単層よりさらに汚染物質の遮断効果があがる。図21に封止膜として配線と同材料の膜と、ITOと同材料の膜の積層構造を用いた例を示す。図21において、9500は封止領域、9501は周辺回路部、9502は画素部、9503、9506はpチャネル型TFT、9504、9505はnチャネル型TFT、2100は基板、2101は配線、2111、2114は電極(陽極または陰極)、2112はバンク、2113は発光層、2115は発光素子、2118は開口部、2119a、2119bは開口部2118と側端部を覆う封止膜(保護膜)、2117はシール材である。
本実施例の構造を持つ表示装置においては、この封止膜により、層間膜などの膜は表示装置外部の大気と直接接しなくなる。このため、表示装置外部の水や酸素が、層間膜などや、膜と膜の隙間から通って表示装置内に侵入することを防止することができた。よって、水や酸素などが引き起こしていた表示装置の内部の汚染、電気特性の劣化、ダークスポットやシュリンクなど様々な劣化を防止することができ、表示装置の信頼性を向上させることができた。また、本発明は表示装置を構成している膜と同じ材料の膜を封止膜として利用することから、工程数を増やすことなく、信頼性の高い表示装置を作製することができた。
図21において、2100は基板、2101は配線、2111は電極(陽極または陰極)、2013は発光層、2114は電極(陽極または陰極)、2115は発光素子、2117はシール材である。図21では、配線2101と同材料で形成される封止膜2119aと、画素電極2111と同材料で形成される封止膜2119bを用いる。封止膜2119a、2119bはそれぞれ配線2101、画素電極2111と同行程において同時に形成することができる。封止領域に基板2100まで達する開口部2118を形成し、封止膜2119a、2119bにより開口部2118を覆い、かつ、表示装置端部の絶縁層が剥き出しになっている部分を覆っている。
本発明により、シール材や外気にさらされているアクリルなどの層間膜や平坦化層2012を通って水分や酸素が侵入したとしても、封止膜により水分や酸素が遮断されるので、表示装置内部のEL素子やTFTを保護することができる。よってEL表示装置の水分や酸素による劣化を防ぐことができる。また、図21のように封止膜を複数積層すると、水分などの汚染物質を遮断する能力がより向上する。
本発明の表示装置を作製し、信頼性の評価を行った。信頼性の評価は温度65℃、湿度95%で約500時間保存し、発光輝度の変化を調べた。図23に本実施例図20の構造を有する表示装置、図24に図21の構造を有する表示装置を、それぞれ上述の条件で保存してから500時間後の発光の様子を示す。図23、図24の写真は、それぞれ発光している画素領域内の9箇所の発光の様子である。
本発明の表示装置においては封止膜により、層間膜などの膜は表示装置外部の大気と直接接しなくなる。このため、表示装置外部の水や酸素が、層間膜などや、膜と膜の隙間から通って表示装置内に侵入することを防止することができた。また、封止膜によって、水や酸素などが引き起こしていた表示装置の内部の汚染、電気特性の劣化、ダークスポットやシュリンクなど様々な劣化を防止することができ、表示装置の信頼性を向上させることができた。また、本発明は表示装置を構成している膜と同じ材料の膜を封止膜として利用することから、工程数を増やすことなく、信頼性の高い表示装置を作製することができた。
本発明の表示装置の配線の配置を図22に示す。FPCとの接続が最も装置の外側に存在する第1の陽極1902を最も外側に配置し、陰極1901を内側に配置する。よって最外周の配線が、FPC接続部分以外隙間なく完全に表示装置端部を覆うことが可能となり、水分を十分に遮断できる。
本発明の構造により、水や酸素などが引き起こしていた表示装置の内部の汚染、電気特性の劣化、ダークスポットやシュリンクなど様々な劣化を防止することができ、表示装置の信頼性をより向上させることができる。
Claims (10)
- 第1の基板に接して設けられた下地膜と、
前記下地膜上に設けられた積層された絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられた、発光素子を有する表示部と、
前記絶縁層上で且つ前記表示部の外側に設けられたシール材と、
前記シール材の外側で、前記下地膜及び前記絶縁層の外端部側面を被覆する積層された封止膜と、
前記シール材により前記第1の基板に固着された第2の基板と、を有し、
前記絶縁層の少なくとも一層は有機樹脂材料を有し、
前記外端部側面は前記第1の基板上に設けられ、
前記シール材は前記封止膜に接し、
前記封止膜のそれぞれの膜はAl、Ti、Mo、WもしくはSiの元素から選ばれた一種、または複数種からなる合金であり、
前記封止膜は前記第1の基板上で、且つ前記第1の基板に接して設けられていることを特徴とする表示装置。 - 第1の基板に接して設けられた下地膜と、
前記下地膜上に設けられた積層された絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられた、発光素子を有する表示部と、
前記絶縁層上で且つ前記表示部の外側に設けられたシール材と、
前記下地膜及び前記絶縁層に設けられた開口部を被覆し、且つ前記開口部内で前記第1の基板と接する積層された封止膜と、
前記シール材により前記第1の基板に固着された第2の基板と、を有し、
前記絶縁層の少なくとも一層は有機樹脂材料を有し、
前記シール材は前記封止膜に接し、
前記封止膜のそれぞれの膜はAl、Ti、Mo、WもしくはSiの元素から選ばれた一種、または複数種からなる合金であることを特徴とする表示装置。 - 第1の基板に接して設けられた下地膜と、
前記下地膜上に設けられた積層された絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられた、発光素子を有する表示部と、
前記絶縁層上で且つ前記表示部の外側に設けられたシール材と、
前記下地膜及び前記絶縁層に設けられた複数の開口部を被覆し、且つ前記開口部内で前記第1の基板と接する積層された封止膜と、
前記シール材により前記第1の基板に固着された第2の基板と、を有し、
前記絶縁層の少なくとも一層は有機樹脂材料を有し、
前記シール材は前記封止膜に接し、
前記封止膜のそれぞれの膜はAl、Ti、Mo、WもしくはSiの元素から選ばれた一種、または複数種からなる合金であることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記下地膜上に設けられたTFTを有することを特徴とする表示装置。 - 請求項4において、
前記封止膜は、前記TFTのソース電極及びドレイン電極と同じ配線層で形成されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記封止膜は、引き回し配線に用いられることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項において、
前記封止膜は、FPCの最も外側の端子と電気的に接続していることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至7のいずれか一項において、
前記有機樹脂材料はアクリル、ポリアミド、ポリイミドまたはアルキル基を含む酸化珪素から選ばれた一種、または複数種からなることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至8のいずれか一項において、
前記発光素子は有機発光材料を用いることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至8のいずれか一項において、
前記発光素子の代わりに液晶を用いることを特徴とする表示装置。
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