JP2012078332A - 半導体装置、半導体装置の試験方法、及びデータ処理システム。 - Google Patents
半導体装置、半導体装置の試験方法、及びデータ処理システム。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】インターフェースチップとコアチップとを電気的に接続する1又は複数の内部信号線101を備え、インターフェースチップは、内部配線に電流を出力する第1の回路111を有し、コアチップは、第1の内部信号線101に電流を出力する第2の回路121を有し、インターフェースチップは、第1の回路111が出力する電流が流れる上記内部配線に接続される第1の入力端子151aと、第1の内部信号線101のインターフェースチップ内の端部101aに接続される第2の入力端子151bとを有し、第1の入力端子151aの電圧と第2の入力端子151bの電圧との電位差に応じた電圧を出力する判定回路150を有する。
【選択図】図5
Description
Gr_SEL 被試験グループ選択信号
IF インターフェースチップ
IP インターポーザ
TEST_CORE,TEST_IF テスト信号
TSV 貫通電極
TSV_SEL 被試験貫通電極選択信号
1〜3 TSV
4〜6 内部回路
10 半導体装置
11a,11b クロック端子
11c クロックイネーブル端子
12a〜12e コマンド端子
13 アドレス端子
14 データ入出力端子
15a,15b データストローブ端子
16 キャリブレーション端子
17a,17b 電源端子
21 クロック発生回路
22 DLL回路
23 入出力バッファ回路
24 キャリブレーション回路
25 データラッチ回路
31 コマンド入力バッファ
32 コマンドデコーダ
33 不良チップ情報保持回路
41 アドレス入力バッファ
42 モードレジスタ
43 パワーオン検出回路
44 層アドレス設定回路
45 層アドレスコントロール回路
46 層アドレス発生回路
47 層アドレス比較回路
50 メモリセルアレイ
51 ロウデコーダ
52 カラムデコーダ
53 センス回路
54 データコントロール回路
55 入出力回路
61 ロウ制御回路
62 カラム制御回路
63 コントロールロジック回路
64 モードレジスタ
65 コマンドデコーダ
70 内部電圧発生回路
71 パワーオン検出回路
72 プロセスモニタ回路
73 TSV救済回路
80 シリコン基板
81 層間絶縁膜
82 絶縁リング
83,86 貫通電極の端部
84 裏面バンプ
85 表面バンプ
91 電極
92 スルーホール電極
93 再配線層
94 NCF
95 リードフレーム
96 アンダーフィル
97 封止樹脂
100 試験回路
101,170,171,201 内部信号線
101a 内部信号線のインターフェースチップ内の端部
101b 内部信号線のコアチップ内の端部
102 スイッチ回路
102a トランスファーゲート
102b,109,113 NOT回路
103,105 スイッチ素子
104 内部配線
110 第1の回路
111,121,160,161,200 Pチャンネル型MOSトランジスタ
111a,121a,200a ソース
111b,121b,200b ドレイン
111c,121c,200c ゲート
112 基準抵抗
114 レプリカ素子
115,116 Nチャンネル型MOSトランジスタ
117 フォースアンプ
118,190 抵抗
120 第2の回路
130 チップ選択受付部
131 NAND回路
140 内部信号線選択受付部
141 AND回路
150 判定回路
151,181,191 コンパレータ
151a,152b 第1の入力端子
151b,153b 第2の入力端子
152,153,154 オペアンプ
155a〜155g 抵抗
155h 可変抵抗
180 比較回路
192 カウンタ兼ラッチ回路
194a〜194e スイッチ素子
202 抵抗回路
211〜214 抵抗素子
220 遅延制御部
221 IF側選択信号生成部
222 CORE側選択信号生成部
230 TSV試験回路
231,233 TSV選択カウンタ
232,234 TSVセレクト信号生成回路
500 データ処理システム
510 システムバス
520 データプロセッサ
540 ストレージデバイス
550 I/Oデバイス
Claims (42)
- インターフェースチップ及びコアチップと、
前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第1の内部信号線とを備え、
前記インターフェースチップは、
内部配線に電流を出力する第1の回路を有し、
前記コアチップは、
前記第1の内部信号線に電流を出力する第2の回路を有し、
前記インターフェースチップは、更に、前記第1の回路が出力する電流が流れる前記内部配線に接続される第1の入力端子と、前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の端部に接続される第2の入力端子とを含み、前記第1の入力端子の電圧と前記第2の入力端子の電圧との電位差に応じた電圧を出力する判定回路を有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記インターフェースチップは、更に、前記第1の内部信号線の信号を処理する処理回路を含み、前記処理回路の出力端子が、前記半導体装置の外部端子へ接続される、ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は、更に、複数の前記コアチップを備え、
前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、該複数のコアチップのうちの1つのコアチップの選択を受け付けるチップ選択受付手段を備え、
複数の前記コアチップの前記第2の回路は、それぞれ対応する前記コアチップが前記チップ選択受付手段により選択される場合、前記第1の内部信号線に電流を出力し、選択されない場合、前記第1の内部信号線に電流を出力しない
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記インターフェースチップは、更に、前記第1の内部信号線の寄生抵抗値の目標値に応じた抵抗値を有し、前記第1の回路が出力する電流が流れる配線の少なくとも一部である基準抵抗をさらに有し、
前記第1の回路は、第1の電源電位に接続される第1の被制御端子と、前記基準抵抗の一方端部に接続される第2の被制御端子とを有する第1のトランジスタを含み、前記第1の被制御端子と前記第2の被制御端子との間に流れる電流を出力し、
前記第2の回路は、前記第1の電源電位に接続される第3の被制御端子と、前記第1の内部信号線に接続される第4の被制御端子とを有する第2のトランジスタを含み、前記第3の被制御端子と前記第4の被制御端子との間に流れる電流を出力し、
前記基準抵抗の他方の端部及び前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部は、それぞれ第1の素子を介して前記第1の電源電位とは異なる第2の電源電位に接続され、
前記第1の入力端子は、前記基準抵抗の前記他方の端部に接続され、
前記第1のトランジスタのサイズと前記第2のトランジスタのサイズとが互いに等しいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、それぞれが、前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第2の内部信号線と第3の内部信号線と、を備え、
前記第2の内部信号線は、前記第1の回路と前記第2の回路とを接続し、前記第1の回路が出力する電流が流れる配線の少なくとも一部であり、
前記第2の回路は、前記第1の回路から出力される電流を入力し、その電流を前記第1の回路が出力する電流が流れる配線の少なくとも一部である前記第1の内部信号線に出力し、
前記第3の内部信号線は、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の端部と前記第1の入力端子とを接続することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1の回路は、第1の電源電位に接続される第1の被制御端子と、前記第2の内部信号線を介して前記第2の回路に接続される第2の被制御端子とを有する第1のトランジスタを有し、前記第1の被制御端子と前記第2の被制御端子との間に流れる電流を出力し、
前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部は、第1の素子を介して前記第1の電源電位とは異なる第2の電源電位に接続されることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 前記インターフェースチップは、更に、前記判定回路の出力電圧と、所定のしきい値電圧とを比較する比較回路を備えることを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体装置。
- インターフェースチップ及びコアチップと、
前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第1の内部信号線とを備え、
前記インターフェースチップは、
前記第1の内部信号線の寄生抵抗値の目標値に応じた抵抗値を有する基準抵抗と、
第1の電流を生成し、前記基準抵抗の一方の端部に出力する第1の回路と、を有し、
前記コアチップは、
第2の電流を生成し、前記第1の内部信号線に出力する第2の回路を有し、
前記インターフェースチップは、更に、前記基準抵抗の他方の端部に接続される第1の入力端子と、前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の端部に接続される第2の入力端子とを有し、前記第1の入力端子の電圧と前記第2の入力端子の電圧との電位差に応じた電圧を出力する判定回路を有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記インターフェースチップは、更に、前記第1の内部信号線の信号を処理する処理回路を含み、前記処理回路の出力端子が、前記半導体装置の外部端子へ接続される、ことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記第1の回路は、第1の電源電位に接続される第1の被制御端子と、前記基準抵抗の前記一方の端部に接続される第2の被制御端子とを有する第1のトランジスタと、を含み、
前記第1の電流は、前記第1の被制御端子と前記第2の被制御端子との間に流れる電流であり、
前記第2の回路は、前記第1の電源電位に接続される第3の被制御端子と、前記第1の内部信号線に接続される第4の被制御端子とを有する第2のトランジスタと、を含み、
前記第2の電流は、前記第3の被制御端子と前記第4の被制御端子との間に流れる電流であり、
前記基準抵抗の前記他方の端部及び前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部は、それぞれ第1の素子を介して前記第1の電源電位とは異なる第2の電源電位に接続され、
前記第1のトランジスタのサイズと前記第2のトランジスタのサイズとが互いに等しいことを特徴とする請求項8又は9に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、複数の前記第1の内部信号線を備え、
前記第2の回路は、前記複数の第1の内部信号線ごとに設けられ、対応する前記第1の内部信号線に前記第2の電流を出力し、
前記インターフェースチップは、更に、
前記複数の第1の内部信号線のうちの1つの選択を受け付ける内部信号線選択受付手段と、
それぞれが、対応する前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部と、前記第2の入力端子との間に設けられた複数のスイッチ回路とを備え、
前記複数のスイッチ回路は、それぞれ対応する前記第1の内部信号線が前記内部信号線選択受付手段により選択される場合、該第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に接続し、選択されない場合、該第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に非接続にすることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記複数のスイッチ回路は、
それぞれ対応する前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部と、前記第2の入力端子との間に設けられた複数の第1のスイッチ素子を含み、
前記インターフェースチップは、更に、前記第1のスイッチ素子と同一な電気特性のレプリカ素子を備え、
前記レプリカ素子は、前記基準抵抗の他方の端部と前記第1の入力端子との間に配置される
ことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、複数の前記コアチップを備え、
前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、該複数のコアチップのうちの一つの選択を受け付けるチップ選択受付手段を備え、
前記複数のコアチップは、それぞれ前記第2の回路を有し、
複数の前記コアチップの前記第2の回路は、それぞれ対応する前記コアチップが前記チップ選択受付手段により選択される場合、前記第1の内部信号線に電流を出力し、選択されない場合、前記第1の内部信号線に電流を出力しない
ことを特徴とする請求項8乃至12のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、
内部回路と、
前記内部回路と前記第1の内部信号線と前記第2の回路との間とを接続する内部配線と、
前記内部配線と前記内部回路との間に設けられた第2のスイッチ素子とを備え、
複数の前記コアチップの第2のスイッチ素子は、前記第1の内部信号線の試験を行う場合に、前記第1の内部信号線と前記内部回路とを電気的に非接続にし、行わない場合、前記第1の内部信号線と前記内部回路とを電気的に接続することを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、複数の前記第1の内部信号線と、
前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第4の内部信号線と、を備え、
前記複数の第1の内部信号線は、前記コアチップ内に設けられる第1の配線と、前記インターフェースチップ内に設けられる第2の配線との間にそれぞれ並列に接続し、
前記第4の内部信号線の一方の端部が、前記インターフェースチップ側で第1の電源電位に接続し、
前記第4の内部信号線の他方の端部が、前記コアチップ側で前記第1の配線の一方端部に接続し、
前記第2の入力端子は、前記第2の配線の端部に接続する、ことを特徴とする請求項8乃至14のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、複数の前記第2の回路を備え、
前記複数の第2の回路は、前記第1の配線と前記複数の第1の内部信号線との間にそれぞれ設けられる、ことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、前記基準抵抗と直列に接続する補正抵抗素子を備える、ことを特徴とする請求項15又は16に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は、更に、一列に配置される複数の前記第1の内部信号線、を備え、
前記インターフェースチップは、更に、
互いに等しいクロック周期を有する第1及び第2のクロック信号を生成するクロック生成回路と、
前記第2の入力端子に接続する前記複数の第1の内部信号線のうち一つの前記第1の内部信号線を指定する第1の選択信号を、前記第1のクロック信号に同期して生成する第1の選択信号生成回路と、
前記第2の電流を流す前記複数の第1の内部信号線のうち少なくとも一つの前記第1の内部信号線を指定する第2の選択信号を、前記第2のクロック信号に同期して生成する第2の選択信号生成回路と、を備え、
前記クロック生成回路は、前記第1と第2の選択信号がそれぞれ選択する前記第1の内部信号線を異ならせるように、前記第1及び第2のクロック信号を、少なくとも1クロック分ずらして生成する、ことを特徴とする請求項8乃至17に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、複数の前記第1の内部信号線を備え、
前記インターフェースチップは、更に、
前記複数の第1の内部信号線のうち一つの前記第1の内部信号線を、前記第2の入力端子に接続する第1の選択信号を生成する第1の選択信号生成回路と、
前記複数の第1の内部信号線のうち少なくとも一つの前記第1の内部信号線に前記第2の電流を流す第2の選択信号を生成する第2の選択信号生成回路と、を備え、
前記第2の選択信号生成回路は、前記第1の選択信号によって指定される前記第1の内部信号線以外の1又は複数の前記第1の内部信号線を指定する前記第2の選択信号を生成する、ことを特徴とする請求項8乃至17に記載の半導体装置。 - 前記インターフェースチップは、更に、所定の周期を有するクロック信号を生成するクロック生成回路を備え、
前記第1の選択信号生成回路は、前記クロック信号に同期して前記第1の選択信号を生成し、
前記第2の選択信号生成回路は、前記クロック信号に同期して前記第2の選択信号を生成する、ことを特徴とする請求項19に記載の半導体装置。 - 前記複数の第1の内部信号線は、複数のグループに分割され、
前記第2の選択信号生成回路は、
前記複数のグループにそれぞれ隣接する1又は複数の他のグループを対応付け、
更に、前記第2の選択信号によって指定される前記第1の内部信号線が含まれるグループ内の他の前記第1の内部信号線と、該グループに隣接する他のグループに含まれる1又は複数の前記第1の内部信号線とを指定する前記第1の選択信号を生成する
ことを特徴とする請求項18又は19に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、それぞれ複数の貫通電極を含む1又は複数の前記第1の内部信号線からなる第1の内部信号線群と、それぞれ単数の貫通電極を含む1又は複数の前記第1の内部信号線からなる第2の内部信号線群とを備え、
前記インターフェースチップは、更に、
前記第1及び第2の内部信号線群のいずれか一方の選択と、前記各内部信号線群内における前記第1の内部信号線の選択とを受け付ける内部信号線選択受付手段と、
それぞれが、対応する前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部と、前記第2の入力端子との間に設けられた複数のスイッチ回路とを備え、
前記複数のスイッチ回路は、
前記第1の内部信号線群が前記内部信号線選択受付手段により選択される場合、該第1の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記内部信号線選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に接続し、
前記第2の内部信号線群が前記内部信号線選択受付手段により選択される場合、該第2の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記内部信号線選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に接続する
ことを特徴とする請求項8又は9に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、複数の前記コアチップを備え、
前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、該複数のコアチップのうちの一つの選択と、前記第1及び第2の内部信号線群のいずれか一方の選択と、前記各内部信号線群内における前記第1の内部信号線の選択とを受け付けるチップ選択受付手段を備え、
複数の前記コアチップの前記第2の回路はそれぞれ、
前記チップ選択受付手段により当該コアチップが選択され、かつ前記第1の内部信号線群が前記チップ選択受付手段により選択される場合、該第1の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記チップ選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線に電流を出力し、
前記チップ選択受付手段により当該コアチップが選択され、かつ前記第2の内部信号線群が前記チップ選択受付手段により選択される場合、該第2の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記チップ選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線に電流を出力し、
前記チップ選択受付手段により当該コアチップが選択されない場合、前記第1の内部信号線に電流を出力しない
ことを特徴とする請求項22に記載の半導体装置。 - インターフェースチップ及びコアチップと、
前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第1の内部信号線と、
電流を生成し、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の端部に出力する電流生成回路と、
前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部に接続される第1の入力端子と、前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の端部に接続される第2の入力端子とを有し、前記第1の入力端子の電圧と前記第2の入力端子の電圧との差電圧に応じた電圧を出力する判定回路とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記インターフェースチップは、更に、前記第1の内部信号線の信号を処理する処理回路を含み、前記処理回路の出力端子が、前記半導体装置の外部端子へ接続される、ことを特徴とする請求項24に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は、更に、前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第2の内部信号線を備え、
前記電流生成回路は、前記インターフェースチップ内に設けられ、
前記電流生成回路が生成する電流を流す端子は、前記第2の内部配線を介して、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部に接続される、ことを特徴とする請求項24又は25に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第3の内部信号線を備え、
前記判定回路は、前記インターフェースチップ内に設けられ、
前記判定回路の第1の入力端子は、前記第3の内部信号線を介して、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部に接続されることを特徴とする請求項26に記載の半導体装置。 - 前記電流生成回路は、
第1の電源電位に接続される第1の被制御端子と、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部に接続される第2の被制御端子と、制御端子とを有するトランジスタと、
前記トランジスタの制御端子に接続される出力端子と、前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部に接続される非反転入力端子と、所定値の電圧が入力される反転入力端子とを有するオペアンプとを有し、
前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部は、前記第1の電源電位とは異なる第2の電源電位に接続されることを特徴とする請求項24乃至27のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、複数の前記第1の内部信号線を備え、
前記電流生成回路は、前記複数の第1の内部信号線それぞれに前記電流を出力し、
前記インターフェースチップは、更に、
前記複数の第1の内部信号線のうちの1つの選択を受け付ける内部信号線選択受付手段と、
それぞれが、対応する前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部と前記第2の入力端子との間に設けられた複数の第6のスイッチ素子と、を備え、
前記複数の第6のスイッチ素子は、それぞれ対応する前記第1の内部信号線が前記内部信号線選択受付手段により選択される場合、該第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に接続し、選択されない場合、該第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に非接続にする、
ことを特徴とする請求項24乃至28のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、複数の前記コアチップを備え、
前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、該複数のコアチップのうちの一つの選択を受け付けるチップ選択受付手段、を備え、
前記複数のコアチップは、それぞれ、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路との間に設けられた第3のスイッチ素子を備え、
複数の前記第3のスイッチ素子は、それぞれ対応する前記コアチップが前記チップ選択受付手段により選択される場合、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路とを電気的に接続し、選択されていない場合、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路とを電気的に非接続にする
ことを特徴とする請求項24乃至29のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、
内部回路と、
前記内部回路と前記第1の内部信号線と前記電流生成回路との間とを接続する内部配線と、
前記内部配線と前記内部回路との間に設けられた第2のスイッチ素子と、を備え、
複数の前記コアチップの前記第2のスイッチ素子は、前記第1の内部信号線の試験を行う場合に、前記第1の内部信号線と前記内部回路とを電気的に非接続にし、行わない場合、前記第1の内部信号線と前記内部回路とを電気的に接続する、ことを特徴とする請求項30に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、複数の前記コアチップと、複数の前記第1の内部信号線と、を備え、
前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、
該複数のコアチップのうちの一つの選択を受け付けるチップ選択受付手段と、
前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路との間に挿入された第3のスイッチ素子と、
一端が、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記第3のスイッチ素子との間に接続し、他端が前記第1の入力端子に接続する第4のスイッチ素子と、を備え、
前記第1の入力端子は、前記第4のスイッチ素子を介して前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部に接続し、
前記インターフェースチップは、更に、
前記複数の第1の内部信号線のうちの1つの選択を受け付ける内部信号線選択受付手段と、
それぞれ、対応する前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部に接続された複数の第5のスイッチ素子と、
それぞれ、一端が、対応する前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部と対応する前記第5のスイッチ素子との間に接続し、他端が前記第2の入力端子に接続する複数の第6のスイッチ素子と、を有し、
前記第2の入力端子は、前記複数の第6のスイッチ素子それぞれを介して前記複数の第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部に接続し、
前記第3及び第4のスイッチ素子は、対応する前記コアチップが前記チップ選択受付手段により選択される場合に電気的に接続し、選択されない場合に電気的に非接続となり、
前記第5及び第6のスイッチ素子は、対応する前記第1の内部信号線が前記内部信号線選択受付手段により選択される場合に電気的に接続し、選択されない場合に電気的に非接続となる、
ことを特徴とする請求項24乃至28のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記判定回路の増幅率は可変であり、
前記半導体装置は、更に、
前記第1及び第2の入力端子間に第1の所定電圧を印加する電圧印加手段と、
前記電圧印加手段により前記第1の所定電圧が印加された場合の前記判定回路の出力電圧と、第2の所定電圧とを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果に基づき、前記第2の所定電圧と前記出力電圧とが等しくなる方向に前記判定回路の増幅率を調節する増幅率調節手段と、を備えることを特徴とする請求項24乃至32のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記電圧印加手段は、前記第2の所定電圧を所定の増幅率で増幅することにより前記第1の所定電圧を生成する、ことを特徴とする請求項33に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は、更に、それぞれ複数の貫通電極を含む1又は複数の前記第1の内部信号線からなる第1の内部信号線群と、それぞれ単数の貫通電極を含む1又は複数の前記第1の内部信号線からなる第2の内部信号線群とを備え、
前記インターフェースチップは、更に、
前記第1及び第2の内部信号線群のいずれか一方の選択と、前記各内部信号線群内における前記第1の内部信号線の選択とを受け付ける内部信号線選択受付手段と、
それぞれが、対応する前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の前記端部と前記第2の入力端子との間に設けられた複数の第6のスイッチ素子とを備え、
前記複数の第6のスイッチ素子は、
前記第1の内部信号線群が前記内部信号線選択受付手段により選択される場合、該第1の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記内部信号線選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に接続し、
前記第2の内部信号線群が前記内部信号線選択受付手段により選択される場合、該第2の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記内部信号線選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線と前記第2の入力端子とを電気的に接続する
ことを特徴とする請求項24乃至28のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、更に、複数の前記コアチップを備え、
前記複数のコアチップのそれぞれは、更に、
該複数のコアチップのうちの一つの選択と、前記第1及び第2の内部信号線群のいずれか一方の選択と、前記各内部信号線群内における前記第1の内部信号線の選択とを受け付けるチップ選択受付手段、を備え、
前記複数のコアチップは、それぞれ、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路との間に設けられた第3のスイッチ素子を備え、
複数の前記第3のスイッチ素子は、
前記チップ選択受付手段により当該コアチップが選択され、かつ前記第1の内部信号線群が前記チップ選択受付手段により選択される場合、該第1の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記チップ選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路とを接続し、
前記チップ選択受付手段により当該コアチップが選択され、かつ前記第2の内部信号線群が前記チップ選択受付手段により選択される場合、該第2の内部信号線群に属する前記第1の内部信号線のうち、前記チップ選択受付手段により選択される前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路とを接続し、
前記チップ選択受付手段により当該コアチップが選択されない場合、前記第1の内部信号線の前記コアチップ内の前記端部と前記電流生成回路とを電気的に非接続にする
ことを特徴とする請求項35に記載の半導体装置。 - インターフェースチップ及び複数のコアチップと、
前記複数のコアチップにそれぞれ設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップとそれぞれ対応する前記コアチップとを電気的に接続する複数の内部信号線と、
内部配線に電流を出力する第1の回路と、
前記内部信号線に電流を出力する第2の回路と、
前記第1の回路が出力する電流が流れる前記内部配線に接続される第1の入力端子と、前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の端部に接続される第2の入力端子とを有し、前記第1と第2の入力端子を入力とする判定回路と、を備える、半導体装置の試験方法であって、
前記第1の回路を活性化して電流を出力させ、
コアチップの選択信号によって、前記複数のコアチップのうち一つのコアチップを選択し、
内部信号線の選択信号によって、前記複数の内部信号線のうちの一つの内部信号線を選択し、
前記判定回路が、前記第1と第2の入力端子の電圧差分に応じた電圧を出力する、ことを特徴とする半導体装置の試験方法。 - 前記内部信号線の選択信号によって、I/Oグループの前記複数の内部信号線、アドレスグループの前記複数の内部信号線、若しくは制御信号グループの前記複数の内部信号線のうちの一つのグループの前記複数の内部信号線を選択する、ことを特徴とする請求項37に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記内部信号線の選択信号によって、前記一つのグループの前記複数の内部信号線のうちの一つの前記複数の内部信号線を選択する、ことを特徴とする請求項38に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記判定回路が出力する電圧を、半導体装置の外部端子に出力する、ことを特徴とする請求項37乃至39のいずれか一項に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記判定回路が出力する電圧を、半導体装置内の前記内部信号線をその他の前記内部信号線に切り替える冗長回路に出力する、ことを特徴とする請求項37乃至40のいずれか一項に記載の半導体装置の試験方法。
- 半導体装置と、前記半導体装置に接続されたコントローラとを備え、
前記半導体装置は、
インターフェースチップ及びコアチップと、
前記コアチップに設けられた貫通電極を含み、前記インターフェースチップと前記コアチップとを電気的に接続する第1の内部信号線とを備え、
前記インターフェースチップは、内部配線に電流を出力する第1の回路を有し、
前記コアチップは、前記第1の内部信号線に電流を出力する第2の回路を有し、
前記インターフェースチップは、更に、前記第1の回路が出力する電流が流れる前記内部配線に接続される第1の入力端子と、前記第1の内部信号線の前記インターフェースチップ内の端部に接続される第2の入力端子とを含み、前記第1の入力端子の電圧と前記第2の入力端子の電圧との電位差に応じた電圧を出力する判定回路を有し、
前記コントローラは、前記インターフェースチップにリードコマンドに関連するコマンドを発行し、
前記コントローラから前記コマンドを受けた前記インターフェースチップは、前記複数のコアチップに前記リードコマンドを発行し、
前記複数のコアチップのいずれかは、前記リードコマンドを受けて前記インターフェースチップに前記リードコマンドに対応するリードデータを出力し、
前記複数のコアチップのいずれかから前記リードデータを受けた前記インターフェースチップは、前記コントローラに前記リードデータを出力する、
ことを特徴とするデータ処理システム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014077154A1 (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-22 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル | 半導体装置 |
KR20180117280A (ko) * | 2017-04-19 | 2018-10-29 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 관통 전극의 결함 측정 방법 및 장치 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW201221981A (en) * | 2010-11-24 | 2012-06-01 | Inventec Corp | Multi-chip testing system and testing method thereof |
KR101803746B1 (ko) * | 2010-12-01 | 2017-12-04 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 칩, 적층형 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
JP5635924B2 (ja) * | 2011-02-22 | 2014-12-03 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエルPS4 Luxco S.a.r.l. | 半導体装置及びその試験方法 |
KR20120109849A (ko) * | 2011-03-28 | 2012-10-09 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 집적회로 |
DE102012107803A1 (de) * | 2011-08-26 | 2013-02-28 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Radareinheit für Millimeterwellen |
WO2013033628A1 (en) | 2011-09-01 | 2013-03-07 | Rambus Inc. | Testing through-silicon-vias |
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US20130153896A1 (en) | 2011-12-19 | 2013-06-20 | Texas Instruments Incorporated | SCAN TESTABLE THROUGH SILICON VIAs |
JP6054029B2 (ja) * | 2011-12-22 | 2016-12-27 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエルPS4 Luxco S.a.r.l. | 半導体チップおよび半導体装置 |
US9040986B2 (en) * | 2012-01-23 | 2015-05-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Three dimensional integrated circuit having a resistance measurement structure and method of use |
US8884679B2 (en) | 2012-05-10 | 2014-11-11 | Sandisk Technologies Inc. | Apparatus and method for high voltage switches |
KR101960496B1 (ko) * | 2012-08-29 | 2019-03-20 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 |
KR102085973B1 (ko) * | 2013-06-18 | 2020-03-06 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치의 테스트 회로 및 방법 |
KR102103865B1 (ko) * | 2013-11-05 | 2020-04-24 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 시스템 |
KR20160034698A (ko) * | 2014-09-22 | 2016-03-30 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체장치 및 이를 포함하는 반도체시스템 |
US9666509B2 (en) * | 2015-01-16 | 2017-05-30 | New Japan Radio Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9570142B2 (en) | 2015-05-18 | 2017-02-14 | Micron Technology, Inc. | Apparatus having dice to perorm refresh operations |
KR20180064824A (ko) * | 2016-12-06 | 2018-06-15 | 삼성전자주식회사 | 내부 신호 라인들을 테스트하는 멀티 칩 패키지 |
US10468313B2 (en) | 2017-09-26 | 2019-11-05 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for TSV resistance and short measurement in a stacked device |
US10432158B1 (en) | 2018-08-01 | 2019-10-01 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for a chopper instrumentation amplifier |
US10797033B2 (en) * | 2018-09-04 | 2020-10-06 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for high sensitivity TSV resistance measurement circuit |
US11255902B2 (en) * | 2018-09-21 | 2022-02-22 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses for selective TSV block testing |
US11152073B1 (en) * | 2020-08-07 | 2021-10-19 | Micron Technology, Inc. | Iterative read calibration enhanced according to patterns of shifts in read voltages |
KR20230015043A (ko) | 2021-07-22 | 2023-01-31 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 비휘발성 메모리 장치의 워드라인 결함 검출 방법 |
CN116736059B (zh) * | 2022-03-02 | 2024-06-07 | 长鑫存储技术有限公司 | 硅通孔检测电路及方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57180140A (en) * | 1981-04-20 | 1982-11-06 | Control Data Corp | Mutual connecting defect detector for logic circuit |
JPH04340477A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-26 | Fujitsu Ltd | 多抵抗測定装置 |
JPH0798359A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-11 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2003085968A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Canon Inc | 磁気メモリ装置の読み出し回路 |
JP2004028885A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Fujitsu Ltd | 半導体装置、半導体パッケージ及び半導体装置の試験方法 |
JP2005064455A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路及び信号送受信システム |
JP2006019328A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Nec Corp | 積層型半導体装置 |
JP2007158237A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Elpida Memory Inc | 積層型半導体装置 |
JP2008096312A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Elpida Memory Inc | 積層型半導体装置及びそのテスト方法 |
JP2008122338A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Univ Of Tokushima | 電子回路の配線故障検査法とその検査容易化回路 |
JP2008287845A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2009139273A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Elpida Memory Inc | 積層型半導体装置および導通テスト方法 |
JP2009231375A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Binteeshisu:Kk | 接続検出回路を備えた半導体装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5870617A (en) * | 1994-12-22 | 1999-02-09 | Texas Instruments Incorporated | Systems, circuits and methods for mixed voltages and programmable voltage rails on integrated circuits |
-
2010
- 2010-10-07 JP JP2010227865A patent/JP2012078332A/ja active Pending
- 2010-10-08 US US12/923,831 patent/US8498831B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57180140A (en) * | 1981-04-20 | 1982-11-06 | Control Data Corp | Mutual connecting defect detector for logic circuit |
JPH04340477A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-26 | Fujitsu Ltd | 多抵抗測定装置 |
JPH0798359A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-11 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2003085968A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Canon Inc | 磁気メモリ装置の読み出し回路 |
JP2004028885A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Fujitsu Ltd | 半導体装置、半導体パッケージ及び半導体装置の試験方法 |
JP2005064455A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路及び信号送受信システム |
JP2006019328A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Nec Corp | 積層型半導体装置 |
JP2007158237A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Elpida Memory Inc | 積層型半導体装置 |
JP2008096312A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Elpida Memory Inc | 積層型半導体装置及びそのテスト方法 |
JP2008122338A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Univ Of Tokushima | 電子回路の配線故障検査法とその検査容易化回路 |
JP2008287845A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2009139273A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Elpida Memory Inc | 積層型半導体装置および導通テスト方法 |
JP2009231375A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Binteeshisu:Kk | 接続検出回路を備えた半導体装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014077154A1 (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-22 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル | 半導体装置 |
KR20180117280A (ko) * | 2017-04-19 | 2018-10-29 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 관통 전극의 결함 측정 방법 및 장치 |
KR101981385B1 (ko) * | 2017-04-19 | 2019-05-22 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 관통 전극의 결함 측정 방법 및 장치 |
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