JP2012070466A

JP2012070466A - リニアアクチュエータ

Info

Publication number: JP2012070466A
Application number: JP2010210453A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kakiuchi; 隆司柿内; Kosuke Sato; 浩介佐藤
Original assignee: Kayaba Industry Co Ltd
Current assignee: KYB Corp
Priority date: 2010-09-21
Filing date: 2010-09-21
Publication date: 2012-04-05
Anticipated expiration: 2030-09-21
Also published as: WO2012039293A1; EP2621066A1; US9197120B2; JP5457986B2; EP2621066A4; EP2621066B1; US20130175887A1

Abstract

【課題】内部へのコンタミの侵入を確実に防止することが可能なリニアアクチュエータを提供することである。
【解決手段】上記した目的を達成するため、本発明の課題解決手段は、アウターチューブ２と、有底筒状とされて開口側をアウターチューブ２側へ向けて当該アウターチューブ２に摺動自在に挿入されるインナーチューブ３と、インナーチューブ３の底部３ａに一端が連結されるとともに他端がインナーチューブ３から突出するロッド４と、ロッド４の他端に設けられてアウターチューブ２の内周に摺接するロッドガイド５と、複数の永久磁石６ａを備えてロッド４に保持される界磁６と、アウターチューブ２に保持されて界磁６に対向するように配置されるコイル７とを備えたリニアアクチュエータ１において、インナーチューブ３の外周形状における横断面積とアウターチューブ２のロッドガイド摺接可能範囲Ｌの内周形状における横断面積とを等しく設定したことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、リニアアクチュエータに関する。

従来、この種のリニアアクチュエータとしては、たとえば、有底筒状のチューブと、軸方向に並べて設けられる永久磁石を外周で保持する筒状のヨークと、チューブの内周に設けた複数のコイルとを備えて、チューブに対してヨークを軸方向に駆動するものがある（特許文献１参照）。

そして、このリニアアクチュエータにあっては、チューブの底部にヨーク内に進退するロッドを設けており、このロッドの先端にヨークの内周に摺接する軸受を設けるとともに、ヨークの内周に当該ロッドの外周に摺接する軸受を設けて、ヨークの移動を案内して円滑な伸縮を実現しようとしている。

また、ヨークの他端には、チューブの開口端を覆う筒状の保護カバーが設けられており、この保護カバーは、開口端内周にチューブの外周に摺接するダストシールを備えていて、このシールによって、リニアアクチュエータ内への塵や埃、水滴などと言ったコンタミの侵入を防いでいる。

特開２００７−２７４８２０号公報（図１）

しかしながら、従来のリニアアクチュエータでは、シールによってリニアアクチュエータ内が密閉状態とされており、伸縮作動を呈するとリニアアクチュエータ内の内部容積が変動することになるが、特に伸長作動によって内部容積が拡大して内部圧力がリニアアクチュエータ外圧力以下となると、シールとチューブとの間に隙間ができてリニアアクチュエータ内にコンタミを吸い込んでしまう可能性がある。

そこで、本発明は上記不具合を改善するために創案されたものであって、その目的とするところは、内部へのコンタミの侵入を確実に防止することが可能なリニアアクチュエータを提供することである。

上記した目的を達成するため、本発明の課題解決手段は、アウターチューブと、有底筒状とされて開口側をアウターチューブ側へ向けて当該アウターチューブに摺動自在に挿入されるインナーチューブと、インナーチューブの底部に一端が連結されるとともに他端がインナーチューブから突出するロッドと、ロッドの他端に設けられてアウターチューブの内周に摺接するロッドガイドと、複数の永久磁石を備えてロッドに保持される界磁と、アウターチューブに保持されて界磁に対向するように配置されるコイルとを備えたリニアアクチュエータにおいて、インナーチューブの外周形状における横断面積とアウターチューブのロッドガイド摺接可能範囲の内周形状における横断面積とを等しく設定したことを特徴とする。

本発明のリニアアクチュエータによれば、インナーチューブの外周形状における横断面積と、アウターチューブにおけるロッドガイドの摺接可能範囲の内周形状における横断面積とを等しく設定してあるので、リニアアクチュエータがストロークしてもリニアアクチュエータの内部容積が変化しない。

このように、リニアアクチュエータが伸縮しても、内部容積に変化がないから、内部圧力が然程変動することがなくリニアアクチュエータの内部へのコンタミの吸い込みを確実に防止することができる。

本発明の一実施の形態におけるリニアアクチュエータの横断面図である。（Ａ）本発明の一実施の形態におけるリニアアクチュエータの最収縮状態を示す図である。（Ｂ）本実施の形態におけるリニアアクチュエータの最伸長状態を示す図である。

以下、本発明の実施の形態を図に基づき説明する。一実施の形態におけるにリニアアクチュエータ１は、図１に示すように、アウターチューブ２と、有底筒状とされて開口側をアウターチューブ２側へ向けて当該アウターチューブ２に摺動自在に挿入されるインナーチューブ３と、インナーチューブ３の底部３ａに一端が連結されるとともに他端がインナーチューブ３から突出するロッド４と、ロッド４の他端に設けられてアウターチューブ２の内周に摺接するロッドガイド５と、複数の永久磁石６ａを備えてロッド４に保持される界磁６と、アウターチューブ２に保持されて界磁６に対向するように配置されるコイル７とを備えて構成されており、コイル７を励磁することによってアウターチューブ２とインナーチューブ３とを軸方向に相対変位させる推力を発生することができるようになっている。

以下、リニアアクチュエータ１の各部について詳しく説明する。アウターチューブ２は、この実施の形態では、筒状であって、その内方には、インナーチューブ３が挿入されている。詳しくは、アウターチューブ２は、ベース部１１と、ベース部１１に連結されるインナー側部１２とを備えて構成されている。

ベース部１１は、筒状であって、インナーチューブ側である図１中上端側より反インナーチューブ側である図１中下端側の方が小径に設定されて上記ロッドガイド５が摺動自在に挿入されるガイド摺接部１１ａとされ、ガイド摺接部１１ａより上方側の大径の部位を嵌合部１１ｂとされている。そして、嵌合部１１ｂの図１中上端開口端内周には螺子部１１ｃが形成されており、この螺子部１１ｃには、筒状のインナー側部１２が螺着される。

インナー側部１２は、ベース部１１と同様に筒状とされており、インナーチューブ側となる図１中上端の内周に設けた軸受装着部１２ｂには、インナーチューブ３の外周に摺接する環状の軸受１３が装着されており、また、同じく上端内周であって当該軸受１３の装着部位より外方側にはインナーチューブ３の外周に摺接する環状のダイナミックシール１４が装着されている。また、インナー側部１２のインナーチューブ側端となる図１中下端の外周には、上記したベース部１１の内周に形成の螺子部１１ｃに螺合する螺子部１２ａが設けられていて、インナー側部１２をベース部１１に螺着することでこれらインナー側部１２とベース部１１とが一体化されるようになっている。

コイル７は、複数が軸方向に並べられて配置されるとともに、筒状のコイルホルダ１５に保持されている。コイル７は、ロッド４の外周を取り巻くようにコイルホルダ１５に保持されて、ロッド４の外周に設けた界磁６に対向しており、図示するところでは、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相を二つずつの合計６個設けられて、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の順に配置されている。そして、たとえば、コイル７の界磁６に対する電気角に基づいて通電位相切換を行うとともに、ＰＷＭ制御により、各コイル７の電流量を制御してリニアアクチュエータ１の推力と推力の発生方向を制御することができるようになっている。また、アウターチューブ２とインナーチューブ３とを軸方向に相対変位させる外力が作用する場合、コイル７への通電、あるいは、コイル７に発生する誘導起電力によって、上記相対変位を抑制する推力を発生させてリニアアクチュエータ１に上記外力による機器の振動や運動をダンピングさせることもできる。

コイルホルダ１５は、コイル７を保持する筒状の保持部１５ａと、保持部１５ａの反インナーチューブ側となる図１中下端に設けたフランジ１５ｂと、フランジ１５ｂを軸方向に貫く透孔１５ｃとを備えて構成されている。また、リニアアクチュエータ１の制御にあたっては、コイル７に対する界磁６の相対位置を把握できればよいので、磁気センサその他の上記相対位置を把握することができる位置センサを設けておけばよいが、この実施の形態では、永久磁石６ａの磁気を検知する磁気センサ１６を位置センサとして使用しており、当該磁気センサ１６がコイルホルダ１５のフランジ１５ｂに埋設されている。なお、コイル７の数は、このリニアアクチュエータ１によって発生する推力や通電方式に適した数に設定されればよい。

そして、上述のように構成されたコイルホルダ１５のフランジ１５ｂをアウターチューブ２のベース部１１における嵌合部１１ｂに嵌合させるとともに、この状態のベース部１１の嵌合部１１ｂに形成した螺子部１１ｃにインナー側部１２の螺子部１２ａを螺合すると、上記フランジ１５ｂは、ベース部１１の嵌合部１１ｂとガイド摺接部１１ａとの境に形成される段部１１ｄとインナー側部１２の反インナーチューブ側端１２ｃとで挟持され、コイルホルダ１５はアウターチューブ２に固定される。このように、界磁６の位置を検知する位置センサ、この場合、磁気センサ１６と、コイル７とがコイルホルダ１５に組み込まれてカートリッジ化されているため、アウターチューブ２へのコイル７と磁気センサ１６の組み込みが簡単となっている。

インナーチューブ３は、有底筒状とされていて、開口側をアウターチューブ２側へ向けて、アウターチューブ２内に挿入されている。詳しくは、インナーチューブ３は、アウターチューブ２のインナー側部１２とコイルホルダ１５との間に環状の隙間に挿入されている。また、インナーチューブ３の開口側端の外周に設けた軸受装着部３ｃには、アウターチューブ２におけるインナー側部１２の内周に摺接する環状の軸受１７が装着されている。すなわち、インナーチューブ３は、上記した軸受１３および軸受１７を介して摺動自在にアウターチューブ２内に挿入されていて、リニアアクチュエータ１に作用する横力による曲げモーメントをアウターチューブ２とインナーチューブ３とで受ける構造となっている。

また、インナーチューブ３の側部であって、軸受１７の至近には、インナーチューブ３とアウターチューブ２との間に形成される環状の空隙Ａをインナーチューブ３内へ連通する連通孔３ｂを備えており、当該空隙Ａが密閉されないようになっていて、リニアアクチュエータ１の伸縮時に当該空隙Ａの圧力変動によってリニアアクチュエータ１の円滑な伸縮作動を阻害しないようになっている。

そして、インナーチューブ３の底部３ａには、ロッド４の一端が連結されていて、ロッド４の他端はインナーチューブ３の開口端から外方となるアウターチューブ側へ向けて突出していてアウターチューブ２のベース部１１におけるガイド摺接部１１ａに臨んでいる。このロッド４は、この実施の形態の場合、永久磁石６ａを内部に収容する筒部４ａと、筒部４ａの一方の開口端を閉塞するとともに上記インナーチューブ３の底部３ａに連結されるロッド４の一端としてのプラグ４ｂと、筒部４ａの他方の開口端を閉塞するとともにロッドガイド５に連結されるロッド４の他端としてのプラグ４ｃとを備えて構成されている。

そして、上述したように、ロッド４の筒部４ａ内には、軸方向に並べて配置される複数の環状の永久磁石６ａが収容されていて、この永久磁石６ａは、上記筒部４ａ内に収容されることでロッド４に保持されている。この場合、永久磁石６ａは、軸方向にＮ極とＳ極が現れるように着磁されており、隣り合う永久磁石６ａは同極同士を対向させてロッド４に軸方向に並べて保持されている。また、このロッド４は、上記したコイルホルダ１５の内周側に挿通されており、永久磁石６ａは、コイルホルダ１５に保持されたコイル７に対向している。つまり、コイル７を保持しているコイルホルダ１５は、インナーチューブ３とロッド４との間に形成される環状隙間Ｂ内に挿入されていて、永久磁石６ａとコイル７が対向している。したがって、ロッド４の外周にこれらの永久磁石６ａによって、コイル７へ作用させる磁界が発生されており、これらの永久磁石６ａでリニアアクチュエータ１における界磁６を構成している。

なお、ロッド４における筒部４ａは、強磁性体材料で形成されると筒部４ａ内に磁束が集中して永久磁石６ａの外周周りにおける磁束に影響を与えるので、非磁性体材料によって形成されるとよい。また、図示するところでは、永久磁石６ａは、ロッド４に六個設けられているが、リニアアクチュエータ１の駆動ができる限りにおいて、設置数は複数であればよく、これに限られない。

さらに、この実施の形態にあっては、ロッド４は、内部が中空とされて、当該内部に永久磁石６ａを収容する構造となっているが、ロッド４を単なる円柱として外周に永久磁石６ａを装着するようにしてもよい。また、永久磁石６ａは、内周と外周で極が異なるように着磁されていてもよく、いずれにしても、ロッド４の軸方向に沿ってＳ極とＮ極が交互に現れるようになっていればよい。なお、この実施の形態では、永久磁石６ａ間にそれぞれ円盤状のヨーク１８を介装するようにしており、これによって、ロッド４の外周に効率よく磁界を生じさせることができるようになっている。

また、ロッド４の他端となるプラグ４ｃに固定されるロッドガイド５は、円板状とされており、外周にアウターチューブ２のベース部１１におけるガイド摺接部１１ａの内周に摺接するダイナミックシール１９が装着されている。つまり、ロッド４の他端に設けたロッドガイド５は、ダイナミックシール１９を介してアウターチューブ２のガイド摺接部１１ａに摺動自在に挿入されていて、ロッド４は、当該ロッドガイド５によってガイドされて、アウターチューブ２に対して軸振れしないようになっている。そして、ロッド４の一端としてのプラグ４ｂは、インナーチューブ３の底部３ａに連結されており、インナーチューブ３はアウターチューブ２に軸受１３，１７を介して径方向に位置決めされて軸振れしないようになっているので、ロッド４は、アウターチューブ２およびインナーチューブ３に径方向に位置決めされて両者に対して軸振れしないようになっている。

また、コイル７は、アウターチューブ２に保持されて径方向に位置決めされているので、コイル７と界磁６を保持するロッド４も互いに軸振れしないので、このリニアアクチュエータ１は、円滑な作動を行うことができる。

そして、アウターチューブ２とインナーチューブ３との間は、ダイナミックシール１４によってシールされ、アウターチューブ２とロッドガイド５との間はダイナミックシール１９によってシールされているので、リニアアクチュエータ１の内部はこれらダイナミックシール１４，１９によって密閉状態に保持されている。

また、このリニアアクチュエータ１は、インナーチューブ３が図１中下方へ移動してアウターチューブ２内へ侵入する収縮行程においては、図２（Ａ）に示すように、インナーチューブ３の開口端となる図１中下端がコイルホルダ１５におけるフランジ１５ｂに当接するまでストロークすることができ、反対に、インナーチューブ３が図１中上方へ移動してアウターチューブ２内から退出する伸長行程においては、図２（Ｂ）に示すように、インナーチューブ３の軸受装着部３ｃとアウターチューブ２の軸受装着部１２ｂとの衝合するまで、ストロークすることができ、コイルホルダ１５におけるフランジ１５ｂは、リニアアクチュエータ１のストロークを規制するストッパとしても機能している。なお、伸長時のストローク規制をロッドガイド５の図１中上端をコイルホルダ１５におけるフランジ１５ｂの図１中下端に衝合させることで行うようにしてもよく、ストローク規制時に衝合しあう部材同士の間にクッションを設けたりして、ストローク規制時における衝撃を緩和するようにしてもよい。このように、リニアアクチュエータ１は、ストロークすることができ、ロッドガイド５は、図２に示すように、アウターチューブ２のガイド摺接部１１ａの内周を摺動範囲Ｌとしている。

そして、アウターチューブ２とインナーチューブ３との間の空隙Ａは、連通孔３ｂを介してインナーチューブ３内に連通されるとともに、アウターチューブ２とコイルホルダ１５との間に形成される空間Ｃ、インナーチューブ３とロッド４との間の環状隙間Ｂおよびアウターチューブ２とロッドガイド５とで形成される空間Ｄにも連通されている。

つまり、リニアアクチュエータ１内に形成される空隙Ａ、環状隙間Ｂおよび空間Ｃ，Ｄは、互いに連通されている。そして、リニアアクチュエータ１がストロークすると、これら空隙Ａ、環状隙間Ｂおよび空間Ｃ，Ｄのそれぞれ内部容積は変化する。ここで、インナーチューブ３の外周形状における横断面積と、アウターチューブ２におけるロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌの内周形状における横断面積とを等しくしている。インナーチューブ３の外周形状における横断面積は、インナーチューブ３の図１中水平切断面の外周形状で囲われた面積を示しており、アウターチューブ２におけるロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌの内周形状における横断面積は、アウターチューブ２におけるロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌの図１中水平切断面の外周形状で囲われた面積を示している。なお、この実施の形態の場合、アウターチューブ２の全長に無駄な長さが生じないように、ガイド摺接部１１ａの全長に亘ってロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌとしているが、リニアアクチュエータ１がストロークしてもロッドガイド５が摺接しない範囲を設ける場合、当該摺接しない範囲における内周形状の横断面積をインナーチューブ３の外周形状における横断面積と等しく設定する必要はない。

このように、インナーチューブ３の外周形状における横断面積と、アウターチューブ２におけるロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌの内周形状における横断面積とを等しくすると、図２のように、リニアアクチュエータ１が図２（Ａ）に示す最収縮状態からストロークして、図２（Ｂ）に示す最伸長状態へ変位すると、空隙Ａの容積と空間Ｄの容積がストロークに伴って減少し、代わりに当該ストロークに伴って、環状隙間Ｂと空間Ｃの容積が増大する。

最伸長状態へストロークすることで空隙Ａが容積減少するが、この空隙Ａにおける容積減少分ｘを図２（Ａ）に示すと図中で大網掛部分となるが、この減少分ｘは、ストローク後の状態を示す図２（Ｂ）において空間Ｃの容積増大分のうち網掛部分で示す容積増大分ｘ’（大網掛部分）と等しくなる。また、最伸長状態へストロークすることで空間Ｄが容積減少するが、この空間Ｄにおける容積減少分ｙを図２（Ａ）に示すと図中で小網掛部分となるが、この減少分ｙは、ストローク後の状態を示す図２（Ｂ）において環状空間Ｂの小網掛部分で示す容積増大分ｙ１’と図２（Ｂ）において空間Ｃの小網掛け部分で示す容積増大分ｙ２’を合算したものに等しくなる。

このように、インナーチューブ３の外周形状における横断面積と、アウターチューブ２におけるロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌの内周形状における横断面積とを等しく設定すると、リニアアクチュエータ１がストロークして、空隙Ａと空間Ｄの容積が減少する場合には、この減少分だけ環状隙間Ｂと空間Ｃの容積が増大し、反対に、環状隙間Ｂと空間Ｃの容積が減少する場合には、この減少分だけ空隙Ａと空間Ｄの容積が増大することになり、リニアアクチュエータ１の内部容積に変化がなくなる。

したがって、リニアアクチュエータ１が伸縮しても、内部容積に変化がないので、内部圧力が然程変動することがなく、リニアアクチュエータ１の内部へのコンタミの吸い込みを確実に防止することができる。

また、上記したところでは、インナーチューブ３の外周形状とアウターチューブ２におけるロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌの内周形状を円形としているので、直径を等しくすることによって、上記各横断面積を等しくすることができるが、インナーチューブ３の外周形状とアウターチューブ２におけるロッドガイド５の摺接可能範囲Ｌの内周形状の各横断面積が等しければよいので、これら形状は円形に限定されるものではない。

なお、環状隙間Ｂと空間Ｄとは、ロッド４とコイルホルダ１５との間の隙間を介して連通されるが、この隙間の断面積を極力小さくする方がリニアアクチュエータ１の推力を向上のためには有利であり、この隙間を小さくするとリニアアクチュエータ１のストロークの際に内部の気体が環状隙間Ｂと空間Ｄとを行き来する際に気体の流れに抵抗を与えてしまい、リニアアクチュエータ１のストロークに抗する減衰力が発生してしまうことになるが、本実施の形態では、コイルホルダ１５のフランジ１５ｂに気体の流れを阻害しない程度の断面積を持つ透孔１５ｃを設けていて、環状隙間Ｂと空間Ｄとを連通させているので、リニアアクチュエータ１のストロークに抗する減衰力の発生を抑制している。つまり、換言すれば、透孔１５ｃを設けることで、ロッド４とコイルホルダ１５との間の隙間を小さくすることができ、上記減衰力の発生を抑制しつつリニアアクチュエータ１の最大推力を向上させることができるのである。

また、本実施の形態のリニアアクチュエータ１によれば、リニアアクチュエータ１に作用する横力による曲げモーメントをアウターチューブ２とインナーチューブ３とで受ける構造となっているので、ロッド４には過大な曲げモーメントが作用することがなく、ロッド４に保持される永久磁石６ａへ過大な応力が作用することを防止することができる。また、この実施の形態の場合、コイル７がアウターチューブ２にフランジ１５ｂを介して固定される筒状のコイルホルダ１５に設けられているので、当該コイル７にも過大な曲げモーメントが作用しないのでコイルホルダ１５からコイル７が剥離したりコイル７が断線したりすることも阻止されることになる。

以上で、本発明の実施の形態についての説明を終えるが、本発明の範囲は図示されまたは説明された詳細そのものには限定されないことは勿論である。

本発明は、リニアアクチュエータに利用可能である。

１リニアアクチュエータ
２アウターチューブ
３インナーチューブ
３ａインナーチューブにおける底部
３ｂインナーチューブにおける連通孔
３ｃインナーチューブにおける軸受装着部
４ロッド
４ａロッドにおける筒部
４ｂ，４ｃロッドにおけるプラグ
５ロッドガイド
６界磁
６ａ永久磁石
７コイル
１１アウターチューブにおけるベース部
１１ａベース部におけるガイド摺接部
１１ｂベース部における嵌合部
１１ｃベース部における螺子部
１１ｄベース部における段部
１２アウターチューブにおけるインナー側部
１２ａインナー側部における螺子部
１２ｂインナー側部における軸受装着部
１２ｃインナー側部１２の反インナーチューブ側端
１３，１７軸受
１４，１９ダイナミックシール
１５コイルホルダ
１５ａコイルホルダにおける保持部
１５ｂコイルホルダにおけるフランジ
１５ｃコイルホルダにおける透孔
１６磁気センサ
Ａ空隙
Ｂ環状隙間
Ｃ，Ｄ空間
Ｌアウターチューブにおけるロッドガイドの摺接可能範囲

Claims

アウターチューブと、有底筒状とされて開口側をアウターチューブ側へ向けて当該アウターチューブに摺動自在に挿入されるインナーチューブと、インナーチューブの底部に一端が連結されるとともに他端がインナーチューブから突出するロッドと、ロッドの他端に設けられてアウターチューブの内周に摺接するロッドガイドと、複数の永久磁石を備えてロッドに保持される界磁と、アウターチューブに保持されて界磁に対向するように配置されるコイルとを備えたリニアアクチュエータにおいて、インナーチューブの外周形状における横断面積とアウターチューブのロッドガイド摺接可能範囲の内周形状における横断面積とを等しく設定したことを特徴とするリニアアクチュエータ。
上記インナーチューブの外周形状が円形であり、上記アウターチューブのロッドガイド摺接可能範囲の内周形状が円形であって、上記インナーチューブの外径と上記アウターチューブのロッドガイド摺接可能範囲の内径とを等しく設定したことを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
上記インナーチューブの開口端外周に上記アウターチューブの内周に摺接する環状の軸受を設け、上記アウターチューブの上記インナーチューブ側端の内周に上記インナーチューブの外周に摺接する環状の軸受を設け、上記インナーチューブと上記アウターチューブとの間に形成される環状の空隙を上記インナーチューブ内へ連通したことを特徴とする請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
上記コイルは、上記ロッドと上記インナーチューブとの間に形成される環状隙間内に挿入される筒状のコイルホルダに保持されるとともに、上記コイルホルダは反インナーチューブ側端にフランジを備え、当該フランジを上記アウターチューブへ固定したことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
上記アウターチューブは、上記ロッドガイドが摺接自在に挿入されるガイド摺接部とガイド摺接部のインナーチューブ側端に連なり上記コイルホルダのフランジが嵌合されるとともにガイド摺接部より内径が大径な嵌合部とを備えた筒状のベース部と、上記インナーチューブが挿入されるとともに上記嵌合部の端部に螺着される筒状のインナー側部とを備え、上記ベース部における嵌合部と上記ガイド摺接部との境に形成される段部と上記インナー側部の端部とで上記フランジを挟持して、上記コイルホルダを上記アウターチューブに固定することを特徴とする請求項４に記載のリニアアクチュエータ。
上記コイルホルダのフランジに軸方向に貫く透孔を設けたことを特徴とする請求項４または５に記載のリニアアクチュエータ。
上記コイルホルダのフランジに上記ロッドの位置を検出する位置センサを埋設したことを特徴とする請求項４から６のいずれかに記載のアクチュエータ。