JP2012014180A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1690139B1 (en) 2003-12-02 2009-01-14 Carl Zeiss SMT AG Projection optical system
WO2010032753A1 (ja) * 2008-09-18 2010-03-25 株式会社ニコン 開口絞り、光学系、露光装置及び電子デバイスの製造方法
DE102011003145A1 (de) * 2010-02-09 2011-08-11 Carl Zeiss SMT GmbH, 73447 Optisches System mit Blendeneinrichtung
JP5938405B2 (ja) * 2011-07-07 2016-06-22 キヤノン電子株式会社 光量調節装置および光学機器
JP6270475B2 (ja) 2011-07-07 2018-01-31 キヤノン電子株式会社 光量調節装置および光学機器
JP5506769B2 (ja) * 2011-12-12 2014-05-28 キヤノン株式会社 光学機器および光学機器を具備した撮像装置
JP2013235183A (ja) * 2012-05-10 2013-11-21 Canon Inc 光学系及びそれを有する撮像装置
US20150086190A1 (en) * 2012-06-06 2015-03-26 Canon Denshi Kabushiki Kaisha Light-quantity control apparatus and optical apparatus
JP6051044B2 (ja) * 2012-06-06 2016-12-21 キヤノン電子株式会社 光量調節羽根、それを用いた光量調節装置及び光学機器。
WO2013183299A1 (ja) * 2012-06-06 2013-12-12 キヤノン電子株式会社 光量調節装置及びそれを用いた光学機器
JP6051045B2 (ja) * 2012-12-27 2016-12-21 キヤノン電子株式会社 光量調節装置および光学機器
JP6051033B2 (ja) * 2012-12-17 2016-12-21 キヤノン電子株式会社 光量調節装置および光学機器
JP6099924B2 (ja) * 2012-10-04 2017-03-22 キヤノン株式会社 光学機器およびそれを備えた撮像装置
JP2015072419A (ja) * 2013-10-04 2015-04-16 キヤノン株式会社 光量調整装置およびそれを備えた光学機器、撮像装置
CN115857282A (zh) * 2022-12-16 2023-03-28 南京云创大数据科技股份有限公司 一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构
DE102023211977A1 (de) * 2023-11-30 2024-12-24 Carl Zeiss Smt Gmbh Optisches system und projektionsbelichtungsanlage

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2276667A1 (fr) * 1974-06-28 1976-01-23 Kernforschungsanlage Juelich Diaphragme a ouverture reglable de facon continue
US4296352A (en) * 1979-12-19 1981-10-20 General Electric Company Incandescent lamp
JPH02153334A (ja) * 1988-12-06 1990-06-13 Canon Inc 球面シヤツタ
US5323301A (en) * 1992-12-08 1994-06-21 Robert Kaufman Dimmable studio lighting device
US5552925A (en) * 1993-09-07 1996-09-03 John M. Baker Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates
JPH1165094A (ja) * 1997-08-22 1999-03-05 Nikon Corp 収納ケース、露光装置及びデバイス製造装置
JP2000089294A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Seiko Precision Inc カメラの羽根開閉装置
JP2001110710A (ja) * 1999-10-08 2001-04-20 Nikon Corp 露光装置、露光方法、および半導体デバイスの製造方法
DE19955984A1 (de) * 1999-11-20 2001-05-23 Zeiss Carl Optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv mit wenigstens einer Systemblende
JP4296701B2 (ja) 2000-10-11 2009-07-15 株式会社ニコン 投影光学系，該投影光学系を備えた露光装置，及び該露光装置を用いたデバイスの製造方法
JP2002318403A (ja) 2001-04-20 2002-10-31 Canon Inc 絞り装置及びそれを用いた光学機器
JP2003115127A (ja) * 2001-10-01 2003-04-18 Sony Corp 光学ピックアップ装置

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