JP2012009511A5

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Publication number: JP2012009511A5
Application number: JP2010141921A
Authority: JP
Filing date: 2010-06-22
Publication date: 2012-04-26
Anticipated expiration: 2030-06-22

Description

ここで、特許文献１には、複数の液処理ユニットを水平に配置すると共に、酸性薬液専用の排気ライン及びアルカリ性薬液専用の排気ラインを備える構成が記載されている。この場合、例えば図１６に示すように、夫々の液処理ユニットのカップ１２は、酸性薬液専用の排気ライン１３及びアルカリ薬液専用の排気ライン１４と夫々専用の排気路１５，１６により接続される。これら排気路１５，１６には、夫々バルブＶ１５，Ｖ１６が設けられており、薬液に応じてこのバルブＶ１５，Ｖ１６を開閉することによって、カップ１２内の雰囲気を専用の排気ライン１３，１４を介して排気するように構成されている。

さらにまた、本発明の処理方法は、
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う工程と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を共通流路から排出する工程と、
前記複数種別の処理流体毎に用意され、各々が独立した処理流体を流すための複数の専用排出路の内、対応する専用排出路から処理流体を排出する工程と、を含み、
前記流路切替え方法を用いて、前記共通流路を専用排出路に切替え接続することを特徴とする。

これら第１〜第３の流路６１〜６３の内、例えば第１の流路６１は有機系薬液を含む気流、第２の流路６２はアルカリ性薬液を含む気流、第３の流路６３は酸性薬液を含む気流の専用排出路として夫々割り当てられている。この流路形成部材６の一端側には、前記第１〜第３の流路６１〜６３の夫々に専用排気ライン６１ａ〜６３ａが接続されており、これら専用排気ライン６１ａ〜６３ａは、工場用力の排気ラインを介して夫々排ガスの除害設備に接続されている。こうして、前記専用排気ライン６１ａ〜６３ａにより流路形成部材６の各流路６１〜６３の夫々の内部は陰圧に設定されている。そして、各液処理ユニット３Ａ〜３Ｅ内の雰囲気は排気路３５を介して排気され、後述する流路切替え部５により、処理流体の種別に対応して切替え接続された流路６１〜６３を介して、夫々の専用排気ライン６１ａ〜６１ｃに排気されるように構成されている。

前記外筒５１の内部には、図６〜図８に示すように、前記外筒５１内に回転自在に挿入された円筒形状の回転筒５３が設けられている。この回転筒５３の一端側は、略水平な回転軸５４を介して、外筒５１の一端側の外部に設けられた回転駆動部５５に接続されている。この回転駆動部５５は、例えばロータリーシリンダにより構成され、回転筒５３は、外筒５１の内部にて、略水平軸周りに回転自在に構成されることになる。

この際、流路形成部材６の第１〜第３の開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃと対応するように設けられており、前記開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１により覆われるように構成されている。従って、互いに対応する外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃとの組の一つが重なり合って連通するときには、当該組に対応する流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃが開き、連通しない他の組については、これら他の組に対応する流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃが閉じられる。こうして、流路切替え部５によって、前記液処理ユニット３の排気路３５が、前記処理流体の種別に対応した流路６１〜６３に切替え接続されることになる。

そして、前記第１の位置では、図８に示すように、第１の接続口５１ａが開かれ、第２及び第３の接続口５１ｂ，５１ｃが閉じられて、液処理ユニット３からの有機系薬液を含む排気成分が第１の流路６１に排気される。また、前記第２の位置では、図９（ａ）に示すように、第２の接続口５１ｂが開かれ、第１及び第３の接続口５１ａ，５１ｃが閉じられて、液処理ユニット３からのアルカリ性薬液を含む排気成分が第２の流路６２に排気される。さらに、第３の位置では、図９（ｂ）に示すように、第３の接続口５１ｃが開かれ、第１及び第２の接続口５１ａ，５１ｂが閉じられて、液処理ユニット３からの酸性薬液を含む排気成分が第３の流路６３に排気される。

こうして、外筒５１、回転筒５３及び回転駆動部５５とにより、流路切替え部５が構成されている。この例では、例えば回転筒５３が第３の位置（酸性薬液の排気成分を排気する位置）に位置にあるときを中間位置とし、ここから回転筒５３を回転駆動部５５側から見て時計回りに回転させることにより第１の位置に位置させ、また回転筒５３を回転駆動部５５側から見て反時計回りに回転させることにより第２の位置に位置させるように構成されている。

続いて、インナーカップ３４を処理位置まで上昇させ、ウエハＷを回転させると共に、流路切替え部５では回転筒５３を第１の位置に切替え、ウエハＷの上面にＩＰＡを供給する。こうして、ＩＰＡの揮発性を利用したＩＰＡ乾燥を実行し、これによりウエハＷ表面に残存するリンス後のＤＩＷ液が完全に除去される。この際、液処理ユニット３からは排気路３５、流路形成部材６の第１の流路６１を介して有機系薬液のミストを含む気流が排気されていく。しかる後、インナーカップ３４を退避位置まで退避させ、不図示の搬入出口を開き、液処理ユニット３内にプロセスアームＡ２を進入させて処理後のウエハＷを搬出し、このウエハＷを受け渡しステージ２３に受け渡す。

さらに、各液処理ユニット３の排気路３５には、圧力損失調整バルブＶ２が設けられている。このため、各液処理ユニット３は、長い排気路６１〜６３の異なる位置に接続されているので、この圧力損失調整バルブＶ２の開度の調整により、液処理ユニット３の排気路３５の圧力損失が液処理ユニット３同士の間で均一になるように調整されている。このため、液処理ユニット３同士の間では、排気量が揃えられ、液処理の処理状態のバラつきの発生を抑制することができる。

さらに、例えば図１５に示すように、回転筒８２の他端側８２０を閉じるように構成すると共に、例えば外筒８１の長さ方向において回転筒８２の開口部に対応する位置に排気路（共通流路）３５を接続するようにしてもよい。この例では、前記排気路３５は回転筒８２の中央部に形成された開口部８２２に対応する位置に接続されている。この例では、排気路３５から外筒８１と回転筒８２との隙間に気流が排気され、前記開口部８２２、他の開口部（その一つは図示せず）、８２３から回転筒８２の内部に前記気流が供給される。この際、前記開口部８２２が回転してある位置にあるときには、前記排気路３５と対向するため、当該開口部８２２が共通流路３５に接続される接続口に相当する。なお、前記接続口に相当する開口部は、流路切替え用の開口部とは別個に、流路切替えを阻害しない位置に設けるようにしてもよい。図１５中、８１１，８１２，８１３は外筒８１に形成された接続口である。

Claims

各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え装置において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、
前記回転筒を回転させるための回転駆動部と、を備え、
前記回転筒の複数の開口部は、当該回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されていることを特徴とする流路切替え装置。
前記複数の接続口は、外筒の長さ方向に沿って一列に形成されていることを特徴とする請求項１記載の流路切替え装置。
被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理部と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を排出するために、前記処理部に設けられた共通流路と、
前記複数種別の処理流体毎に設けられ、前記処理流体を排出するための複数の専用排出路と、
前記共通流路を、前記処理流体の種別に対応した専用排出路に切替え接続するための流路切替え装置と、を備え、
前記流路切替え装置は、請求項１又は２記載の流路切替え装置であることを特徴とする処理装置。
前記複数の専用排出路には、夫々複数の前記流路切替え装置を介して複数の前記共通流路が接続されていることを特徴とする請求項３記載の処理装置。
前記複数の専用排出路に夫々設けられた複数の流体取り込み用開口部と、
複数の流体取り込み用開口部に夫々設けられ、流体の取り込み量を調整するために、これら流体取り込み用開口部の開度を調整する複数の取り込み量調整バルブと、
前記専用排出路内を通流する処理流体の流量に基づいて、前記流体取り込み用バルブの開度を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする請求項４記載の処理装置。
前記複数の共通流路の内部の夫々に、これら共通流路の圧力損失を調整するために、前記共通流路の開度を調整する複数の圧力損失調整バルブを設けることを特徴とする請求項４又５記載の処理装置。
各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え方法において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、を備えた流路切替え装置を用い、
前記回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態を形成して流路の切替え接続を行うことを特徴とする流路切替え方法。
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う工程と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を共通流路から排出する工程と、
前記複数種別の処理流体毎に用意され、各々が独立した処理流体を流すための複数の専用排出路の内、対応する専用排出路から処理流体を排出する工程と、を含み、
請求項７の流路切替え方法を用いて、前記共通流路を専用排出路に切替え接続することを特徴とする処理方法。
前記複数の専用排出路には、複数の前記共通流路が接続されており、
前記複数の専用排出路に夫々複数の流体取り込み用開口部を設け、前記専用排出路内を通流する処理流体の流量に基づいて、前記流体取り込み用開口部の開度を制御することを特徴とする請求項８記載の処理方法。
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項８又は９に記載の処理方法を実施するためのステップ群が組み込まれていることを特徴とする記憶媒体。