JP7164807B2 - 濃縮ガス供給装置用のロータリー弁 - Google Patents

Description

本開示は、濃縮ガス供給装置用のロータリー弁に関する。

従来、空気中に含まれる窒素を除去して酸素の濃縮ガスを生成する酸素濃縮装置が知られている。例えば、下記特許文献１には、窒素吸着媒体を収容した２つの吸着筒を用い、一方の吸着筒に圧縮空気を供給して当該空気に含まれる窒素を窒素吸着媒体に吸着させる吸着工程と、他方の吸着筒を大気開放して窒素吸着媒体から窒素の脱着を行わせる減圧工程とを交互に繰り返し行い、酸素の濃縮ガスを連続的に得るようにした酸素濃縮装置が開示されている。

この酸素濃縮装置においては、吸着工程と減圧工程とを切り換えるために、ロータリー弁が用いられている。このロータリー弁は、内部に弁室を有する弁箱と、弁室内に配置された弁体とを備えている。弁体は、弁室内で回転することによって、弁室内に流入する加圧空気を一方の吸着筒に供給しかつ他方の吸着筒から弁室内に流入するガスを大気への排気経路に排出する態様と、その逆の態様とを交互に切り換える。

特許第４１３７８０５号公報

特許文献１記載のロータリー弁の弁箱には、弁室から排気経路に繋がる排気用の通孔と、弁室から各吸着筒に繋がる複数の吸気用の通孔とが形成されている。このうち排気用の通孔は、弁体の回転軸心上に配置され、複数の吸気用の通孔は、排気用の通孔を中心として放射状に配置されている。

特許文献１に記載された酸素濃縮装置は２つの吸着筒しか備えていないので、ロータリー弁の弁箱に形成される通孔の数も少なくて済む。しかし、吸着筒の数が増えるほど通孔の数も多くなるので、多数の通孔を形成するためには弁体の回転軸心を中心として弁箱を径方向に拡大させる必要があり、同方向にロータリー弁が大型化する。

本開示は、コンパクトに構成することが可能な濃縮ガス供給装置用のロータリー弁を提供することを目的とする。

（１）本開示のロータリー弁は、
弁箱と、
前記弁箱内に回転自在に設けられた弁体と、を備え、
前記弁箱に、
加圧空気を流入させる吸気ポートと、吸着筒からの脱着ガスを排出させる排気ポートと、複数の前記吸着筒のそれぞれに接続される吸着筒ポートを含む複数の吸着筒用流路と、が形成され、
前記弁体に、
当該弁体の回転中における所定のタイミングで前記吸気ポートと前記各吸着筒用流路とを接続する吸気接続流路と、前記排気ポートと前記各吸着筒用流路とを接続する排気接続流路と、が形成され、
前記吸気接続流路が、
前記弁体の回転軸心に沿って形成されかつ前記吸気ポートに連通する第１縦流路と、前記第１縦流路と前記各吸着筒用流路とを接続しかつ前記回転軸心方向において互いに異なる位置に配置された複数の第１横流路と、を有し、
前記排気接続流路が、
前記第１縦流路と前記回転軸心方向において異なる位置に前記回転軸心に沿って形成されかつ前記排気ポートに連通する第２縦流路と、前記第２縦流路と前記各吸着筒用流路とを接続しかつ前記回転軸心方向において互いに異なる位置に配置された複数の第２横流路と、を有している。

以上のような構成によって、吸着筒の数が多い場合は、弁体の回転軸心に沿った方向に第１，第２縦流路を延長し、かつ第１，第２横流路の数を増やすことによって対応することができる。したがって、弁体の回転軸心を中心とした径方向にロータリー弁を拡大する必要がなく、同方向におけるロータリー弁の大型化を抑制し、同方向においてロータリー弁をコンパクトに構成することができる。

（２）上記（１）のロータリー弁において、好ましくは、前記各吸着筒用流路が、前記回転軸心方向において前記第１縦流路と前記第２縦流路とに跨る範囲で形成された第３縦流路と、前記第１、第２横流路にそれぞれ接続される複数の第３横流路とを有している。
このような構成によって、吸気接続流路の第１縦流路と排気接続流路の第２縦流路との双方を、吸着筒用流路に簡単な構成で接続することができる。

（３）上記（１）又は（２）のロータリー弁において、好ましくは、前記弁体が、一定速度で回転駆動されるものであり、
前記第１横流路及び前記第２横流路が、前記各吸着筒用流路との連通時間に応じた周方向の長さを有する連通溝を含む。
以上のように、弁体を一定速度で回転させることで、第１横流路及び第２横流路をそれぞれ吸着筒用流路に適切に連通させることができる。

（４）上記（１）～（３）のいずれか１つのロータリー弁において、好ましくは、前記弁箱に、大気開放用ポートを含む大気開放用流路が複数形成され、
前記弁体に、当該弁体の回転中における所定のタイミングで前記各大気開放用流路と前記各吸着筒用流路とを互いに連通させる連通流路が形成されている。
このような構成によって、コンプレッサ又は真空ポンプによって吸着筒を加圧又は減圧する前に、大気開放用ポートおよび連通流路を用いて吸着筒を大気圧まで増圧又は減圧することができる。

（５）上記（１）～（３）のいずれか１つのロータリー弁において、好ましくは、前記弁箱に、前記各吸着筒用流路と連通する複数の大気開放用ポートが形成されている。
このような構成によって、コンプレッサ又は真空ポンプによって吸着筒を加圧又は減圧する前に、大気開放用ポートを用いて吸着筒を大気圧まで増圧又は減圧することができる。

（６）上記（１）～（５）のいずれか１つのロータリー弁において、好ましくは、前記吸気ポートと前記排気ポートとが、前記回転軸心方向に関して互いに異なる位置に配置される。
このような構成によって、互いに回転軸心方向に関して異なる位置に配置される吸気接続流路と排気接続流路とに、それぞれ吸気ポートと排気ポートとを容易に連通させることができる。

（７）上記（１）～（６）のいずれか１つのロータリー弁において、好ましくは、複数の吸着筒ポートが、前記回転軸心を中心とする周方向に関して互いに異なる位置に配置されている。
このような構成によって、吸着筒ポートを含む複数の吸着筒用流路を形成するためのスペースを弁箱に十分確保することができる。

第１の実施形態に係るロータリー弁（制御弁）が適用された濃縮ガス供給装置の説明図である。 図１に示される濃縮ガス供給装置における弁の開通期間及び各吸着筒の圧力変動を示す図である。 図２の部分図であって、第１の吸着筒の１サイクルの圧力変化と開閉弁の開通状態を示す図である。 ロータリー弁の斜視図である。 ロータリー弁の正面図である。 ロータリー弁の平面図である。 ロータリー弁の断面斜視図である。 ロータリー弁の弁体の正面図である。 図６のＬ－Ｍ線断面図である。 図６のＬ－Ｎ線断面図である。 図６のＬ－Ｐ線断面図である。 図２のαの時点における図５のＡ－Ａ線、Ｂ－Ｂ線、Ｃ－Ｃ線、Ｄ－Ｄ線の各断面図である。 図２のαの時点における図５のＥ－Ｅ線、Ｆ－Ｆ線、Ｇ－Ｇ線の各断面図である。 図２のαの時点における図５のＨ－Ｈ線、Ｉ－Ｉ線、Ｊ－Ｊ線、Ｋ－Ｋ線の各断面図である。 図２のβの時点における図５のＣ－Ｃ線、Ｅ－Ｅ線、Ｊ－Ｊ線の各断面図である。 第２の実施形態に係るロータリー弁（制御弁）が適用された濃縮ガス供給装置の説明図である。 ロータリー弁の図１０に対応する断面図である。 第３の実施形態に係るロータリー弁（制御弁）が適用された濃縮ガス供給装置の説明図である。 同ロータリー弁の図１０に対応する断面図である。

以下、添付図面を参照しつつ、本開示の濃縮ガス供給装置の一例である酸素濃縮装置を詳細に説明する。なお、本開示はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

［酸素濃縮装置の全体構成］
図１は、第１の実施形態に係るロータリー弁（制御弁）が適用された濃縮ガス供給装置の説明図である。
本実施形態の濃縮ガス供給装置Ａは、酸素濃縮装置であり、３筒の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃと、コンプレッサ２と、真空ポンプ３と、酸素タンク４と、ロータリー弁（制御弁）３０とを備えた、ＶＰＳＡ方式の酸素濃縮装置である。参照符号１ａ，１ｂ及び１ｃは、それぞれ第１の吸着筒、第２の吸着筒及び第３の吸着筒を示している。

コンプレッサ２は、空気取入口５から機内に取り入れられた空気を加圧し、管路６に送出する。管路６に送出された加圧空気は、管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃを経て吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃの各下方側から吸着筒内に送入される。吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内には加圧空気中の窒素を吸着する吸着剤が収納されている。

吸着剤が収納されている吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃを加圧空気が通過することで、空気中の酸素濃度よりも高濃度の酸素濃縮ガスを生成することができ、吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃの各上方側から得られる酸素濃縮ガスは、管路１２ａ、１２ｂ、１２ｃから管路７を経て酸素タンク４に貯留される。なお、図１において下方に図示されている管路１６は、吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内の気体を真空ポンプ３により外部に排出するための経路である。

ロータリー弁３０は、前述の管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃ、１６やその他の管路８ａ，８ｂ，８ｃを開閉する複数の開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃを備えている。各開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、それぞれが配置された管路の気体の通過を開閉するための弁として機能し、制御部（図示せず）により所定のタイミングで開閉制御される。したがって、以下の説明では、各開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃのことを「開閉弁」ともいう。

より詳細に説明すると、開閉弁１３ａ，１３ｂ，１３ｃは、加圧空気の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃへの送出操作に寄与し、開閉弁１５ａ，１５ｂ，１５ｃは吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内の気体を外部に排出する排出操作に寄与する。また、開閉弁２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃの入口側の管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃに接続され、各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃと外気とを連通する連通管８ａ，８ｂ，８ｃの管路を開閉するための弁であり、後述する負圧状態から大気圧状態への増圧操作に寄与するとともに、加圧状態から大気圧状態への減圧操作に寄与する。

各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃから酸素タンク４に至る管路１２ａ，１２ｂ，１２ｃには、逆止弁１７ａ，１７ｂ，１７ｃが設けられている。これらの逆止弁１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃから酸素タンク４への流れのみ許容する弁であり、各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃから送出される酸素濃縮ガスが酸素タンク４側よりも高圧の場合に当該酸素濃縮ガスの酸素タンク４への送出を可能にする。なお、逆止弁に代えて、一般的な開閉弁（制御弁）を用いることもできる。また、各管路１２ａ，１２ｂ，１２ｃ同士を接続する管路が設けられ、この管路には、パージ操作に寄与する開閉弁１８ａ，１８ｂ，１８ｃが設けられている。

各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃには、内部の圧力を監視するための圧力計９ａ，９ｂ，９ｃがそれぞれ取り付けられており、また、酸素タンク４には、同じく内部の圧力を監視するための圧力計１０が取り付けられている。

各連通管８ａ，８ｂ，８ｃは、外気を吸着筒内に給気するための第１管路２２ａ，２２ｂ，２２ｃと、吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内の気体を排気するための第２管路２３ａ，２３ｂ，２３ｃとを有している。これにより、第１管路２２ａ，２２ｂ，２２ｃを用いて吸着筒内に外気を給気することができ、前記第１管路２２ａ，２２ｂ，２２ｃとは別の管路である第２管路２３ａ，２３ｂ，２３ｃを用いて吸着筒内の気体を排気することできる。各第１管路２２ａ，２２ｂ，２２ｃには、外部から吸着筒内への流れのみ許容する逆止弁２４ａ，２４ｂ，２４ｃがそれぞれ設けられており、各第２管路２３ａ，２３ｂ，２３ｃには、吸着筒から外部への流れのみ許容する逆止弁２５ａ，２５ｂ，２５ｃがそれぞれ設けられている。

第１管路２２ａ，２２ｂ，２２ｃの外気取入口（図示せず）と、第２管路２３ａ，２３ｂ，２３ｃの排気口（図示せず）とは、当該排気口から排気された気体（通常の空気よりも酸素濃度が低い）が外気取入口付近の外気と混合して、酸素濃度が低くなった外気が当該外気取入口から吸着筒内に給気されるのを抑制するために、ある程度の距離だけ離間していることが望ましい。

［酸素濃縮装置の操作例］
つぎに前述した構成を備えた酸素濃縮装置Ａの操作例について、図２及び図３を参照しつつ説明する。図２は、図１に示される酸素濃縮装置Ａにおける弁の開通期間及び各吸着筒の圧力変動ないし変化を示す図であり、図３は、図２の部分図であって、第１の吸着筒１ａの１サイクルの圧力変化と開閉弁及び逆止弁（以下、「開閉弁等」ともいう）の開通状態を示す図である。図２及び図３において、左側から右側に時間が経過している。また、図２において、上側の図は、各開閉弁等の開通期間を示しており、下側の図は、各吸着筒内部の圧力の変化を示している。吸着筒内の圧力は、負圧状態から加圧状態までの間で変化する。

上側の図において、ハッチングで示す期間は、コンプレッサ２の吐出口から各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃに至る管路に設けられる開閉弁１３ａ，１３ｂ，１３ｃの開通期間を示しており、コンプレッサ２で加圧された加圧空気が各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内に送出される期間（加圧期間）である。また、ダブルハッチングで示す期間は、各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃから真空ポンプ３の吸込口に至る管路に設けられる開閉弁１５ａ，１５ｂ，１５ｃの開通期間を示しており、各吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内の気体が真空ポンプ３により排気される期間（負圧期間）である。また、下側の図において、太い実線は第１の吸着筒１ａの内部の圧力の変化を示しており、細い実線及び破線は、それぞれ第２の吸着筒１ｂ及び第３の吸着筒１ｃの内部の圧力の変化を示している。

図２に示される例では、第１の吸着筒１ａ、第２の吸着筒１ｂ及び第３の吸着筒１ｃの順に吸着筒内の加圧工程が行われる。また、図２において「Ｔ」で示される期間で第１の吸着筒１ａの１サイクルの処理が行われる。この１サイクルの処理には、コンプレッサ２による加圧処理、真空ポンプ３による吸引処理、並びに、連通管８ａ，８ｂ，８ｃを用いた、加圧状態から大気圧状態への減圧処理及び負圧状態から大気圧状態への増圧処理が含まれる。

つぎに、第１の吸着筒１ａについて、開閉弁の開閉と吸着筒内の圧力変化について詳細に説明する。なお、第２の吸着筒１ｂ及び第３の吸着筒１ｃについての、開閉弁の開閉と吸着筒内の圧力変化は、図２に示されるように、時間のずれがあるだけで内容は第１の吸着筒１ａと同様であるので、簡単のため、それらについての説明は省略する。

前述したように、図２及び図３では、左側から右側に時間が経過している。時点ｔ０で開閉弁１３ａが開通する（開状態になる）と、吸着筒１ａ内にコンプレッサ２で加圧された加圧空気が供給され、当該吸着筒１ａ内の圧力は上昇する。
吸着筒１ａ内の圧力が上昇して、所定の圧力以上になると、当該吸着筒１ａの出口側（酸素タンク側）の管路１２ａに設けられた逆止弁１７ａが開状態になる。逆止弁１７ａは時点ｔ１で開状態になっている。逆止弁１７ａが開状態になると、吸着筒１ａ内の酸素濃縮ガスは、管路７を経て酸素タンク４内に供給される。逆止弁１７ａが開通している状態では、コンプレッサ２から吸着筒１ａ内に加圧空気が供給されていても、当該吸着筒１ａの出口側が開放されているので吸着筒１ａ内の圧力は一定である。

時点ｔ２で開閉弁１３ａが閉状態になり、コンプレッサ２から吸着筒１ａへの加圧空気の供給が停止される。加圧空気供給の停止と同時にパージ弁である開閉弁１８ａが開状態になり、吸着筒１ａ内の酸素濃縮ガスの一部が、加圧工程に入る第２の吸着筒１ｂ内の酸素濃度を高めるために当該第２の吸着筒１ｂに供給される。開閉弁１８ａが開状態になると、吸着筒１ａ内の圧力は、当該開閉弁１８ａが閉状態になる時点ｔ３まで徐々に低下する。また、開閉弁１８ａが開状態になるのとほぼ同時に逆止弁１７ａは、所定の圧力未満となり、閉状態になる。

続く時点ｔ３で開閉弁１８ａが閉状態になり、開閉弁２１ａが開状態になると、吸着筒１ａ内は、連通管８ａ（図１参照）を介して大気と連通状態になる。そうすると、時点ｔ３における吸着筒１ａ内は加圧状態であり、大気は大気圧であるので、その差圧により、吸着筒１ａ内の気体（酸素濃度が空気中の酸素濃度よりも低くなった気体）は、第２管路２３ａに設けられた逆止弁２５ａを介して大気中に排気される。これにより、吸着筒１ａ内の圧力はほぼ大気圧まで減圧される。

ついで時点ｔ４で開閉弁２１ａが閉状態になり、開閉弁１５ａが開状態になると、吸着筒１ａ内の気体は真空ポンプ３により吸引されて大気中に排気される。これにより、吸着筒１ａ内の圧力は所定の負圧まで減圧される。

ついで時点ｔ５で開閉弁１５ａが閉状態になり、開閉弁２１ａが開状態になると、吸着筒１ａ内は、連通管８ａを介して大気と連通状態になる。そうすると、時点ｔ５における吸着筒１ａ内は負圧状態であり、大気は大気圧であるので、その差圧により、大気中の空気は、第１管路２２ａに設けられた逆止弁２４ａを通って吸着筒１ａ内に供給される。これにより、吸着筒１ａ内の圧力はほぼ大気圧まで増圧される。

続く時点ｔ６では、前記時点ｔ０と同じく開閉弁１３ａが開状態になり、吸着筒１ａ内にコンプレッサ２で加圧された加圧空気が供給され、当該吸着筒１ａ内の圧力は上昇する。以後、時点ｔ１～ｔ５に関連して説明した前述した工程が繰り返される。

図２の上側の図から分かるように、本実施形態では、第１の吸着筒１ａ、第２の吸着筒１ｂ、第３の吸着筒１ｃの順に開閉弁１３ａ，１３ｂ，１３ｃが開状態になっている。換言すれば、第１の吸着筒１ａ、第２の吸着筒１ｂ、第３の吸着筒１ｃの順にコンプレッサ２から加圧空気が供給されている。
また、同様に、本実施形態では、第１の吸着筒１ａ、第２の吸着筒１ｂ、第３の吸着筒１ｃの順に開閉弁１５ａ，１５ｂ，１５ｃが開状態になっている。換言すれば、第１の吸着筒１ａ、第２の吸着筒１ｂ、第３の吸着筒１ｃの順に真空ポンプ３で吸着筒内の気体が吸気されている。

本実施形態では、コンプレッサ２から吸着筒１ａ内に加圧空気を供給する直前の一定の期間（前記説明においてｔ５からｔ６までの期間）、開閉弁２１ａを開状態にして吸着筒１ａ内と大気とを連通状態にしている。これにより、吸着筒１ａ内の負圧と大気圧との差圧により、連通管８ａを介して吸着筒１ａ内に外気が供給され、吸着筒１ａ内の圧力はほぼ大気圧になる。従来のＶＰＳＡ方式の酸素濃縮装置では、前記時点ｔ５においてコンプレッサ２を用いて吸着筒１ａ内に加圧空気を供給して大気圧状態にし、さらに加圧状態にしているが、本実施形態では、負圧状態から大気圧までの増圧を吸着筒内の負圧と大気との差圧を利用しているので、同じ容積の吸着筒に対して従来よりも小さい能力のコンプレッサでも当該吸着筒内を加圧状態にすることができ、コンプレッサ２の消費電力量を低減させることができる。

また、本実施形態では、真空ポンプ３で吸着筒１ａ内を吸気する直前の一定の期間（前記説明においてｔ３からｔ４までの期間）、開閉弁２１ａを開状態にして吸着筒１ａ内と大気とを連通状態にしている。これにより、吸着筒１ａ内の加圧圧力と大気圧との差圧により、連通管８ａを介して吸着筒１ａ内の気体が外部に排気され、吸着筒１ａ内の圧力はほぼ大気圧になる。従来のＶＰＳＡ方式の酸素濃縮装置では、前記時点ｔ３において真空ポンプ３を用いて吸着筒１ａ内を吸気して大気圧状態にし、さらに負圧状態にしているが、本実施形態では、加圧状態から大気圧までの減圧を吸着筒内の加圧圧力と大気との差圧を利用しているので、同じ容積の吸着筒に対して従来よりも小さい能力のコンプレッサでも当該吸着筒内を負圧状態にすることができ、真空ポンプ３の消費電力量を低減させることができる。

［ロータリー弁３０の具体的構造］
次にロータリー３０の具体的な構造について詳細に説明する。図４は、ロータリー弁の斜視図、図５は、ロータリー弁の正面図、図６は、ロータリー弁の平面図である。また、図７は、ロータリー弁の断面斜視図である。
ロータリー弁３０は、弁箱３１と、弁体６１とを備えている。
弁箱３１は、多角柱形状に形成されている。弁箱３１の中心には円筒形状の収容孔３２が形成されている。本実施形態の弁箱は正八角柱であり、外周には８つの平面３３ａ～３３ｈが形成されている。

（弁箱３１の構造）
図５に示すように、弁箱３１の外周の一つの平面（第７の平面）３３ｇには、吸気ポート３４と、排気ポート３５とが開口している。吸気ポート３４は、弁箱３１の一端部（上端部）に形成され、排気ポート３５は、弁箱３１の他端部（下端部）に形成されている。また、吸気ポート３４及び排気ポート３５は、第１の平面３３ａから収容孔３２まで径方向に貫通して形成されている。

吸気ポート３４及び排気ポート３５にはそれぞれ管路（配管）を接続するための継手３４ａ，３５ａが取り付けられている。図１に示すように、吸気ポート３４は、コンプレッサ２の吐出側の管路６が接続される。また、排気ポート３５は、真空ポンプ３の吸引側の管路１６が接続される。

図６に示すように、第７の平面３３ｇと９０°位相が異なる弁箱の外周の他の平面（第１の平面）３３ａには、第１吸着筒ポート３６が開口している。また、第１の平面と９０°位相が異なり、第７の平面と１８０°反対側に位置する他の平面（第３の平面）３３ｃには、第２吸着筒ポート３７が開口している。さらに、第３の平面３３ｃと９０°位相が異なり、第１の平面と１８０°反対側に位置する他の平面（第５の平面）３３ｅには、第３吸着筒ポート３８が開口している。

第１～第３吸着筒ポート３６，３７，３８には、それぞれ管路を接続するための継手３６ａ，３７ａ，３８ａが取り付けられている。また、図１に示すように、第１～第３吸着筒ポート３６，３７，３８には、それぞれ第１～第３の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃに繋がる管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃが接続される。また、第１～第３吸着筒ポート３６，３７，３８は、弁箱３１に形成された第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３（図９～図１１参照）の一部を構成している。この第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３については、後述する。

図６に示すように、弁箱３１の外周において、第１の平面３３ａと第３の平面３３ｃと間の平面（第２の平面）３３ｂには、第１大気開放用ポート４５が開口している。第３の平面３３ｃと第５の平面３３ｅとの間の平面（第４の平面）３３ｄには、第２大気開放用ポート４６が開口している。また、第５の平面３３ｅと第７の平面３３ｇとの間の平面（第６の平面）３３ｆには、第３大気開放用ポート４７が開口している。

図１３（ｅ）は、図５のＥ－Ｅ線断面、図１３（ｆ）は、図５のＦ－Ｆ線断面、図１３（ｇ）は、図５のＧ－Ｇ線断面を示す。
第１～第３大気開放用ポート４５，４６，４７は、それぞれが開口する平面から収容孔３２までの間を貫通して形成されている。第１～第３大気開放用ポート４５，４６，４７には、それぞれ管路を接続するための継手４５ａ，４６ａ，４７ａが取り付けられている。図１に示すように、第１～第３大気開放用ポート４５，４６，４７には、大気開放用の連通管８ａ，８ｂ，８ｃが接続される。この第１～第３大気開放用ポート４５，４６，４７は、弁箱３１に形成された第１～第３大気開放用流路５６，５７，５８の一部を構成している。この第１～第３大気開放用流路５６，５７，５８については、後述する。

（弁体６１の構造）
図８は、ロータリー弁３０の弁体６１の正面図である。
弁体６１は、略円柱形状に形成されている。弁体６１は、弁箱３１の収容孔３２に挿入されている。弁体６１の上端及び下端は、それぞれ弁箱３１の上端部及び下端部に取り付けられた転がり軸受５９（図７参照）によって自身の中心（回転軸心）Ｏ周りに回転自在に支持されている。

弁体６１には、全周にわたる細溝６２が、弁体６１の回転軸心Ｏ方向に間隔をあけて複数形成されている。そして、最上位の細溝６２とその下の細溝６２との間が、吸気ポート３４に対応付けられた吸気部６４とされ、最下部の細溝６２とその上の細溝６２との間が、排気ポート３５に対応付けられた排気部６５とされている。吸気部６４には、弁体６１の周方向にわたる周溝６４ａが形成され、排気部６５にも、弁体６１の周方向にわたる周溝６５ａが形成されている。

吸気部６４と排気部６５との間において、弁体６１の各細溝６２の間は、弁箱３１に形成された吸気ポート３４と吸着筒ポート３６，３７，３８、排気ポート３５と吸着筒ポート３６，３７，３８、大気開放用ポート４５，４６，４７と吸着筒ポート３６，３７，３８とを相互に連通させるための弁機能を有する開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃを構成している。各細溝６２には、Ｏリング等のシール部材（図示省略）が装着され、このシール部材が収容孔３２の内周面に摺接することによって、互いに隣接する吸気部６４と開閉部１３ａ、開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ同士、開閉部１５ｃと排気部６５との間が区画され、各間の気密性が保たれている。

開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、上下方向に並べて９か所に設けられている。上位の３箇所は、図１における開閉部（第１～第３吸気側開閉部）１３ａ，１３ｂ，１３ｃであり、下位の３箇所は、図１における開閉部（第１～第３排気側開閉部）１５ａ，１５ｂ，１５ｃである。中央の３箇所は、図１における開閉部（第１～第３大気開放開閉部）２１ａ，２１ｂ，２１ｃである。

図９は、図６のＬ－Ｍ線断面図である。図１０は、図６のＬ－Ｎ線断面図である。図１１は、図６のＬ－Ｐ線断面図である。
弁体６１には、吸気接続流路６７と、排気接続流路６８とが形成されている。
吸気接続流路６７は、前述した吸気ポート３４と、第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３とを連通させるための流路であり、排気接続流路６８は、排気ポート３５と、第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３とを連通させるための流路である。吸気接続流路６７は、弁体６１の上部側に形成され、排気接続流路６８は、弁体６１の下部側に形成されている。

（吸気接続流路６７）
吸気接続流路６７は、第１縦流路７１と、複数の第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃとを有する。第１縦流路７１は、弁体６１の上部側において弁体６１の中心（回転軸心）Ｏ上に形成された流路である。第１縦流路７１は、上位６箇所の開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃにわたる長さで形成されている。弁体６１の吸気部６４における周溝６４ａは、周方向の１個所で第１縦流路７１に接続されており、第１縦流路７１と吸気ポート３４とは常に連通している。

第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃは、開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃごとに形成され、それぞれ回転軸心Ｏを横切る方向に形成されている。そして、第１吸気側開閉部１３ａの第１横流路７２ａは、第１縦流路７１と前述の第１吸着筒用流路４１とを連通させる。同様に第２吸気側開閉部１３ｂの第１横流路７２ｂは、第１縦流路７１と第２吸着筒用流路４２とを連通させる。第３吸気側開閉部１３ｃの第１横流路７２ｃは、第１縦流路７１と第３吸着筒用流路４３とを連通させる。

（排気接続流路６８）
排気接続流路６８は、第２縦流路７４と、複数の第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃとを有する。
第２縦流路７４は、弁体６１の下部側において弁体６１の中心（回転軸心）Ｏ上に形成された流路である。したがって、第２縦流路７４は、第１縦流路７１と同心状に形成され、第１縦流路７１とは回転軸心方向に異なる位置に形成されている。第２縦流路７４は、下位３箇所の開閉部１５ａ，１５ｂ，１５ｃにわたる長さで形成されている。弁体６１の排気部６５における周溝６５ａは、周方向の１個所で第２縦流路７４に接続されており、第２縦流路７４と排気ポート３５とは常に連通している。

第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃは、開閉部１５ａ，１５ｂ，１５ｃごとに形成され、それぞれ回転軸心を横切る方向に形成されている。そして、第１排気側開閉部１５ａの第２横流路７５ａは、第２縦流路７４と前述の第１吸着筒用流路４１とを連通させる。同様に第２排気側開閉部１５ｂの第２横流路７５ｂは、第２縦流路７４と第２吸着筒用流路４２とを連通させる。第３排気側開閉部１５ｃの第２横流路７５ｃは、第２縦流路７４と第３吸着筒用流路４３とを連通させる。

（弁箱３１と弁体６１との具体的連通構造）
（第１吸着筒用流路４１と吸気及び排気接続流路６７，６８との連通）
図９に示すように、弁箱３１の第１吸着筒用流路４１は、第３縦流路４８と、複数の第３横流路４９とを有する。第３縦流路４８は、弁体６１の回転軸心Ｏ方向に沿って（平行に）形成されている。また第３縦流路４８は、回転軸心Ｏ方向に関して、第１縦流路７１と第２縦流路７４とに跨る範囲で形成されている。第１吸着筒ポート３６は、回転軸心Ｏを横切る方向に第１の平面３３ａから第３縦流路４８までを貫通して形成されている。また、第１吸着筒ポート３６は、回転軸心Ｏ方向に関して、第１吸気側開閉部１３ａと同一位置に配置されている。

第１吸着筒用流路４１の第３横流路４９は、吸気側第３横流路４９ａと、排気側第３横流路４９ｂとを有している。吸気側第３横流路４９ａは、回転軸心Ｏ方向に関して第１吸気側開閉部１３ａの位置に形成されている。吸気側第３横流路４９ａは、回転軸心Ｏを横切る方向に第３縦流路４８から収容孔３２までを貫通して形成されている。吸気側第３横流路４９ａは、弁体６１に形成された吸気接続流路６７における第１横流路７２ａに連通可能である。

排気側第３横流路４９ｂは、回転軸心Ｏ方向に関して第１排気側開閉部１５ａの位置に形成されている。排気側第３横流路４９ｂは、回転軸心Ｏを横切る方向に第３縦流路４８から収容孔３２までを貫通して形成されている。排気側第３横流路４９ｂは、弁体６１に形成された排気接続流路６８における第２横流路７５ａに連通可能である。

（第２吸着筒用流路４２と吸気及び排気接続流路６７，６８との連通）
図１０に示すように、弁箱３１の第２吸着筒用流路４２は、第１吸着筒用流路４１と同様に、第３縦流路５０と、複数の第３横流路５１とを有する。第３縦流路５０は、弁体６１の回転軸心Ｏ方向に沿って形成されている。また第３縦流路５０は、第１縦流路７１と第２縦流路７４とに跨る範囲で形成されている。第２吸着筒ポート３７は、回転軸心Ｏを横切る方向に第２の平面３３ｃから第３縦流路５０までを貫通して形成されている。また、第２吸着筒ポート３７は、回転軸心Ｏ方向に関して、第２吸気側開閉部１３ｂの位置に配置されている。

第２吸着筒用流路４２の第３横流路５１は、吸気側第３横流路５１ａと、排気側第３横流路５１ｂとを有している。吸気側第３横流路５１ａは、回転軸心Ｏ方向に関して第２吸気側開閉部１３ｂの位置に形成されている。吸気側第３横流路５１ａは、回転軸心Ｏを横切る方向に第３縦流路５０から収容孔３２までを貫通して形成されている。吸気側第３横流路５１ａは、弁体６１に形成された吸気接続流路６７における第１横流路７２ｂに連通可能である。

排気側第３横流路５１ｂは、回転軸心Ｏ方向に関して第２排気側開閉部１５ｂの位置に形成されている。排気側第３横流路５１ｂは、回転軸心Ｏを横切る方向に第３縦流路５０から収容孔３２までを貫通して形成されている。排気側第３横流路５１ｂは、弁体６１に形成された排気接続流路６８における第２横流路７５ｂに連通可能である。

（第３吸着筒用流路４３と吸気及び排気接続流路６７，６８との連通）
図１１に示すように、弁箱３１の第３吸着筒用流路４３は、第１及び第２吸着筒用流路４１，４２と同様に、第３縦流路５２と、複数の第３横流路５３とを有する。第３縦流路５２は、弁体６１の回転軸心Ｏ方向に沿って形成されている。また第３縦流路５２は、第１縦流路７１と第２縦流路７４とに跨る範囲で形成されている。第３吸着筒ポート３８は、回転軸心Ｏを横切る方向に第３の平面３３ｅから第３縦流路５２までを貫通して形成されている。また、第３吸着筒ポート３８は、回転軸心Ｏ方向に関して、第３吸気側開閉部１３ｃの位置に配置されている。

第３吸着筒用流路４３の第３横流路５３は、吸気側第３横流路５３ａと、排気側第３横流路５３ｂとを有している。吸気側第３横流路５３ａは、回転軸心Ｏ方向に関して第３吸気側開閉部１３ｃの位置に形成されている。吸気側第３横流路５３ａは、回転軸心Ｏを横切る方向に第３縦流路５２から収容孔３２までを貫通して形成されている。吸気側第３横流路５３ａは、弁体６１に形成された吸気接続流路６７における第１横流路７２ｃに連通可能である。

排気側第３横流路５３ｂは、回転軸心Ｏ方向に関して第３排気側開閉部１５ｃの位置に形成されている。排気側第３横流路５３ｂは、回転軸心Ｏを横切る方向に第３縦流路５２から収容孔３２までを貫通して形成されている。排気側第３横流路５３ｂは、弁体６１に形成された排気接続流路６８における第２横流路７５ｃに連通可能である。

（弁体６１の回転と連通構造との関係）
図９～図１１に示すように、弁体６１は、弁箱３１内において一定速度で回転し、図２に示す１サイクルで１回転する。そして、弁体６１の吸気接続流路６７における第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃが、第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３における吸気側第３横流路４９ａ，５１ａ，５３ａと連通している間、吸気ポート３４と第１～第３吸着筒ポート３６，３７，３８とが接続され、コンプレッサ２からの圧縮空気が第１～第３の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃに供給される。

図２を参照して説明したように、コンプレッサ２から第１～第３の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃには、１サイクル中の所定のタイミングで所定の時間だけ圧縮空気が供給される。そのため、弁体６１の第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃは、図１２（ｂ）～（ｄ）に示すように、弁箱３１側の端部に弁体６１の周方向に長く形成された吸気側連通溝７２ａ１，７２ｂ１，７２ｃ１を備えている。この連通溝７２ａ１，７２ｂ１，７２ｃ１の長さによって、弁体６１の第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃが弁箱３１の第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３の吸気側第３横流路４９ａ，５１ａ，５３ａに連通する時間が設定されている。

また、図９～図１１に示すように、弁体６１の排気接続流路６８における第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃが、第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３における排気側第３横流路４９ｂ，５１ｂ，５３ｂと連通している間、排気ポート３５と第１～第３吸着筒ポート３６，３７，３８とが接続され、第１～第３の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内のガスが真空ポンプ３によって吸引される。

図２を参照して説明したように、第１～第３の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃ内のガスは、１サイクル中の所定のタイミングで所定の時間だけ真空ポンプ３によって吸引される。そのため、弁体６１の第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃは、図１４（ｈ）～（ｊ）に示すように、弁箱３１側の端部に弁体６１の周方向に長く形成された排気側連通溝７５ａ１，７５ｂ１，７５ｃ１を備えている。この排気側連通溝７５ａ１，７５ｂ１，７５ｃ１の長さによって、弁体６１の第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃと第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３の排気側第３横流路４９ｂ，５１ｂ，５３ｂに連通する時間が設定されている。

（大気開放用流路５６，５７，５８の構造）
図１３（ｅ）は、図５のＥ－Ｅ線断面図であり、図１３（ｆ）は、図５のＦ－Ｆ線断面図、図１３（ｇ）は、図５のＧ－Ｇ線断面図である。
弁箱３１に形成された大気開放用流路５６，５７，５８は、前述した第１～第３大気開放用ポート４５，４６，４７と、第１～第３吸着筒用流路４１，４２，４３における第３縦流路４８，５０，５２と収容孔３２との間で貫通して形成された第４横流路５４ａ，５４ｂ，５４ｃとを備えている。

図１３（ｅ）に示すように、第１大気開放用流路５６の第１大気開放用ポート４５と第４横流路５４ａとは、いずれも第１大気開放開閉部２１ａと同一の回転軸心Ｏ方向の位置に形成されている。また、弁体６１において、第１大気開放開閉部２１ａには、第１大気開放用ポート４５と第４横流路５４ａとを連通させる第１連通流路７７ａ１，７７ａ２が形成されている。この第１連通流路７７ａ１，７７ａ２は、第１吸気側連通流路７７ａ１と、第１排気側連通流路７７ａ２とからなる。

図１３（ｆ）に示すように、第２大気開放用流路５７の第２大気開放用ポート４６と第４横流路５４ｂとは、いずれも第２大気開放開閉部２１ｂと同一の回転軸心Ｏ方向の位置に形成されている。また、弁体６１において、第２大気開放開閉部２１ｂには、第２大気開放用ポート４６と第４横流路５４ｂとを連通させる第２連通流路７７ｂ１、７７ｂ２が形成されている。この第２連通流路は、第２吸気側連通流路７７ｂ１と、第２排気側連通流路７７ｂ２とからなる。

図１３（ｇ）に示すように、第３大気開放用流路５８の第３大気開放用ポート４７と第４横流路５４ｃとは、いずれも第３大気開放開閉部２１ｃと同一の回転軸心Ｏ方向の位置に形成されている。また、弁体６１において、第３大気開放開閉部２１ｃには、第３大気開放用ポート４７と第４横流路５４ｃとを連通させる第３連通流路７７ｃ１，７７ｃ２が形成されている。この第３連通流路は、第３吸気側連通流路７７ｃ１と、第３排気側連通流路７７ｃ２とからなる。

第１～第３吸気側連通流路７７ａ１，７７ｂ１，７７ｃ１は、図１において、第１～第３の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃを連通管８ａ，８ｂ，８ｃの第１管路２２ａ，２２ｂ，２２ｃに接続して大気開放し、第１～第３吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃを負圧状態から大気圧まで増圧するものである。

第１～第３排気側連通流路７７ａ２，７７ｂ２，７７ｃ２は、図１において、第１～第３の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃを連通管８ａ，８ｂ，８ｃの第２管路２３ａ，２３ｂ，２３ｃに接続して大気開放し、第１～第３吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃを加圧状態から大気圧まで減圧するものである。

以下、弁体６１の各開閉部について説明する。特に、図２の弁の開通期間におけるαの時点とβの時点とを例に各開閉部の状態を説明する。
図１２は、図２のαの時点における図５のＡ－Ａ線、Ｂ－Ｂ線、Ｃ－Ｃ線、Ｄ－Ｄ線の各断面図、図１３は、図２のαの時点における図５のＥ－Ｅ線、Ｆ－Ｆ線、Ｇ－Ｇ線の各断面図、図１４は、図２のαの時点における図５のＨ－Ｈ線、Ｉ－Ｉ線、Ｊ－Ｊ線、Ｋ－Ｋ線の各断面図である。

図２のα時点では、第１吸気側開閉部１３ａと、第２排気側開閉部１５ｂが開き、他の開閉部が閉じた状態となっている。
図１２（ａ）は吸気部６４を示す。弁箱３１の吸気ポート３４は、弁体６１の吸気部６４における周溝６４ａを介して弁体６１の第１縦流路７１に連通している。
図１２（ｂ）は第１吸気側開閉部１３ａを示す。弁体６１は、吸気接続流路６７の第１横流路７２ａが第１吸着筒用流路４１に連通し始めている。第１横流路７２ａの連通溝７２ａ１は、図２に示す第１吸気側開閉部１３ａの開通期間に応じた周方向の長さを有している。

図１２（ｃ）は、第２吸気側開閉部１３ｂを示す。吸気接続流路６７の第１横流路７２ｂは第２吸着筒用流路４２に連通していないので、第２吸気側開閉部１３ｂは閉じた状態である。
図１２（ｄ）は、第３吸気側開閉部１３ｃを示す。吸気接続流路６７の第１横流路７２ｃが第３吸着筒用流路４３との連通を終えたところであり、第３吸気側開閉部１３ｃは閉じた状態にある。

図１３（ｅ）は、第１大気開放開閉部２１ａを示す。第１大気開放用ポート４５と、第１吸着筒用流路４１とは、吸気側及び排気側の第１連通流路７７ａ１，７７ａ２のいずれによっても連通していないので、第１の吸着筒１ａは大気に開放されていない。
図１３（ｆ）は、第２大気開放開閉部２１ｂを示す。第２大気開放用ポート４６と、第２吸着筒用流路４２とは、吸気側及び排気側の第２連通流路７７ｂ１，７７ｂ２のいずれによっても連通していないので、第２の吸着筒１ｂも大気に開放されていない。

図１３（ｇ）は、第３大気開放開閉部２１ｃを示す。第３大気開放用ポート４７と、第３吸着筒用流路４３とは、吸気側及び排気側の第３連通流路７７ｃ１，７７ｃ２のいずれによっても連通していないので、第３の吸着筒１ｃも大気に開放されていない。

図１４（ｈ）は、第１排気側開閉部１５ａを示す。弁体６１の排気接続流路６８の第２横流路７５ａが、第１吸着筒用流路４１に連通していないので、第１排気側開閉部１５ａは閉じた状態にある。
図１４（ｉ）は、第２排気側開閉部１５ｂを示す。弁体６１の排気接続流路６８の第２横流路７５ｂが、第２吸着筒用流路４２に連通しているので、第２排気側開閉部１５ｂは開いた状態にある。

図１４（ｊ）は、第３排気側開閉部１５ｃを示す。弁体６１の排気接続流路６８の第２横流路７５ｃが、第３吸着筒用流路４３に連通していないので、第３排気側開閉部１５ｃも閉じた状態にある。

図１４（ｋ）は、排気部６５を示す。弁箱３１の排気ポート３５は、弁体６１の排気部６５における周溝６５ａを介して弁体６１の第２縦流路７４に連通している。

図１５は、図２のβの時点における図５のＣ－Ｃ線、Ｅ－Ｅ線、Ｊ－Ｊ線の各断面図である。図２のβ時点では、第２吸気側開閉部１３ｂと、第３排気側開閉部１５ｃと、第１大気開放開閉部２１ａとが開き、他の開閉部が閉じた状態となっている。
図１５（ｃ）は、第２吸気側開閉部１３ｂを示し、弁体６１の吸気接続流路６７の第１横流路７２ｂが、第２吸着筒用流路４２に接続され、第２吸気側開閉部１３ｂが開いた状態となる。

図１５（ｅ）は、第１大気開放開閉部２１ａを示し、第１大気開放用ポート４５と、第１吸着筒用流路４１とは、第１排気側連通流路７７ａ２によって連通しており、第１の吸着筒１ａ内が大気開放され、減圧される。
図１５（ｊ）は、第３排気側開閉部１５ｃを示し、弁体６１の排気接続流路６８の第２横流路７５ｃが、第３吸着筒用流路４３に連通し、第３排気側開閉部１５ｃが開いた状態にある。

［本実施形態の作用効果］
上記実施形態のロータリー弁３０は、図９～図１１に示すように、弁箱３１と、弁箱３１内に回転自在に設けられた弁体６１と、を備えている。弁箱３１には、加圧空気を流入させる吸気ポート３４と、吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃからの脱着ガスを排出させる排気ポート３５と、複数の吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃのそれぞれに接続される吸着筒ポート３６，３７，３８を含む複数の吸着筒用流路４１，４２，４３とが形成される。弁体６１には、当該弁体６１の回転中における所定のタイミングで吸気ポート３４と各吸着筒用流路４１，４２，４３とを接続する吸気接続流路６７と、排気ポート３５と各吸着筒用流路４１，４２，４３とを接続する排気接続流路６８とが形成される。そして、吸気接続流路６７は、弁体６１の回転軸心Ｏに沿って形成されかつ吸気ポート３４に連通する第１縦流路７１と、第１縦流路７１と各吸着筒用流路４１，４２，４３とを接続しかつ弁体６１の回転軸心Ｏ方向において互いに異なる位置に配置された複数の第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃと、を有している。さらに、排気接続流路６８は、第１縦流路７１と回転軸心Ｏ方向において異なる位置に回転軸心Ｏに沿って形成されかつ排気ポート３５に連通する第２縦流路７４と、第２縦流路７４と各吸着筒用流路４１，４２，４３とを接続しかつ回転軸心Ｏ方向において互いに異なる位置に配置された複数の第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃとを有している。

以上のような構成によって、吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃの数が多い場合は、弁体６１の回転軸心Ｏに沿った方向に第１，第２縦流路７１，７４を延長し、かつ第１，第２横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃ、７５ａ，７５ｂ，７５ｃの数を増やすことによって対応することができる。したがって、弁体６１の回転軸心Ｏを中心とした径方向にロータリー弁３０を拡大する必要がなく、同方向におけるロータリー弁３０の大型化を抑制し、同方向においてロータリー弁３０をコンパクトに構成することができる。

各吸着筒用流路４１，４２，４３は、回転軸心Ｏ方向において第１縦流路７１と第２縦流路７４とに跨る範囲で形成された第３縦流路４８，５０，５２と、第１、第２横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃ、７５ａ，７５ｂ，７５ｃにそれぞれ接続される複数の第３横流路４９，５１，５３とを有している。そのため、吸気接続流路６７の第１縦流路７１と排気接続流路６８の第２縦流路７４との双方を、吸着筒用流路４１，４２，４３に簡単な構成で接続することができる。

弁体６１は、一定速度で回転駆動される。そして、図１２及び図１４に示すように、弁体６１の第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃ及び第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃは、各吸着筒用流路４１，４２，４３との連通時間に応じた周方向の長さを有する連通溝７２ａ１，７２ｂ１，７２ｃ１、７５ａ１，７５ｂ１，７５ｃ１を含む。この構成によれば、弁体６１を一定速度で回転させることで、第１横流路７２ａ，７２ｂ，７２ｃ及び第２横流路７５ａ，７５ｂ，７５ｃをそれぞれ吸着筒用流路４１，４２，４３に適切に連通させることができる。

図１３に示すように、弁箱３１には、大気開放用ポート４５，４６，４７を含む大気開放用流路５６，５７，５８が複数形成されている。そして、弁体６１に、当該弁体６１の回転中における所定のタイミングで各大気開放用流路５６，５７，５８と各吸着筒用流路４１，４２，４３とを互いに連通させる連通流路７７ａ１，７７ｂ１，７７ｃ１、７７ａ２，７７ｂ２，７７ｃ２が形成されている。そのため、コンプレッサ２又は真空ポンプ３によって吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃを加圧又は減圧する前に、大気開放用ポート４５，４６，４７および連通流路７７ａ１，７７ｂ１，７７ｃ１、７７ａ２，７７ｂ２，７７ｃ２を用いて吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃを大気圧まで増圧又は減圧することができる。

図９～図１１に示すように、吸気ポート３４と排気ポート３５とは、回転軸心Ｏ方向に関して互いに異なる位置に配置されている。そのため、互いに回転軸心Ｏ方向に関して異なる位置に配置された吸気接続流路６７と排気接続流路６８とに、それぞれ吸気ポート３４と排気ポート３５とを容易に連通させることができる。

図６に示すように、複数の吸着筒ポート３６，３７，３８は、前記回転軸心Ｏを中心とする周方向に関して互いに異なる位置に配置されている。そのため、弁箱３１に対して、各吸着筒ポート３６，３７，３８を含む各吸着筒用流路４１，４２，４３を形成するスペースを弁箱３１に十分に確保することができる。

弁箱３１は、多角柱形状に形成され、弁箱３１の外周には複数の平面３３ａ～３３ｇが形成されているので、各平面３３ａ～３３ｇに吸気ポート３４、排気ポート３５、吸着筒ポート３６，３７，３８、及び大気開放用ポート４５，４６，４７を形成し、各ポートに管路６、１６、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ、８ａ，８ｂ，８ｃを接続することで、管路同士が干渉し難くなり、容易に各ポートに管路を接続することができる。

［第２の実施形態］
図１６は、第２の実施形態に係るロータリー弁（制御弁）が適用された濃縮ガス供給装置の説明図である。
本実施形態のロータリー弁３０は、大気開放用ポート４５，４６，４７を備えているが、大気開放開閉部２１ａ，２１ｂ，２１ｃとしての機能を備えておらず、大気開放用ポート４５，４６，４７に接続される連通管８ａ，８ｂ，８ｃにそれぞれ開閉弁２１ａ，２１ｂ，２１ｃが別途設けられている。

図１７は、第２の実施形態に係るロータリー弁の図１０に対応する断面図である。
本実施形態のロータリー弁３０は、図１０に示す第１の実施形態に係るロータリー弁３０と比べると、大気開放開閉部２１ａ，２１ｂ，２１ｃに相当する部分がなく、弁体６１には、吸気側開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃと排気側開閉部１５ａ，１５ｂ，１５ｃとの６つの開閉部が弁体６１の回転軸心Ｏ方向に並べて設けられている。そして、第２大気開放用ポート４６は、第２吸着筒用流路４２の第３縦流路５０に接続されている。第１大気開放用ポート４５及び第３大気開放用ポート４７については、図示しないが、それぞれ第１吸着筒用流路４１の第３縦流路４８と、第３吸着筒用流路４３の第３縦流路５２とに接続される。

したがって、第１～第３大気開放用ポート４５，４６，４７は、常に第１～第３吸着筒１ａ，１ｂ，１ｃに連通した状態となり、ロータリー弁３０の外に設けられた開閉弁２１ａ，２１ｂ，２１ｃによってガスの流れが制御されることになる。
その他の構成は、第１の実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。

［第３の実施形態］
図１８は、第３の実施形態に係るロータリー弁（制御弁）が適用された濃縮ガス供給装置の説明図である。
本実施形態のロータリー弁３０は、大気開放用ポートを備えていない。したがって、大気開放に用いられる連通路８ａ，８ｂ，８ｃは、管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃから直接分岐している。

図１９は、第３の実施形態に係るロータリー弁の図１０に対応する断面図である。
ロータリー弁３０は、第２の実施形態と同様に、図１０に示す第１の実施形態のロータリー弁３０と比べると、大気開放開閉部２１ａ，２１ｂ，２１ｃに相当する部分がなく、弁体６１には、吸気側開閉部１３ａ，１３ｂ，１３ｃと排気側開閉部１５ａ，１５ｂ，１５ｃとの６つの開閉部が弁体６１の回転軸心Ｏ方向に並べて設けられている。
その他の構成は、第１の実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。

［その他の変形例］
本開示は前述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内において種々の変更が可能である。
例えば、前述した実施形態では、３つの吸着筒を備えた酸素濃縮装置としているが、吸着筒の数は３以上の複数であればよく、例えば４つの吸着筒を備えていてもよい。
また、本開示の濃縮ガス供給装置は、酸素濃縮装置に限らず、酸素以外のガス（例えば、窒素）を濃縮して供給する装置であってもよい。

１ａ：第１の吸着筒
１ｂ：第２の吸着筒
１ｃ：第３吸着筒
３０：ロータリー弁（制御弁）
３１：弁箱
３４：吸気ポート
３５：排気ポート
３６：第１吸着筒ポート
３７：第２吸着筒ポート
３８：第３吸着筒ポート
４１：第１吸着筒用流路
４２：第２吸着筒用流路
４３：第３吸着筒用流路
４５：第１大気開放用ポート
４６：第２大気開放用ポート
４７：第３大気開放用ポート
４８，５０，５２：第３縦流路
４９，５１，５３：第３横流路
５６：第１大気開放用流路
５７：第２大気開放用流路
５８：第３大気開放用流路
６１：弁体
６７：吸気接続流路
６８：排気接続流路
７１：第１縦流路
７２ａ，７２ｂ，７２ｃ：第１横流路
７２ａ１，７２ｂ１，７２ｃ１：吸気側連通溝
７４：第２縦流路
７５ａ，７５ｂ，７５ｃ：第２横流路
７５ａ１，７５ｂ１，７５ｃ１：排気側連通溝
７７ａ１，７７ａ２：第１連通流路
７７ｂ１，７７ｂ２：第２連通流路
７７ｃ１，７７ｃ２：第３連通流路
Ｏ：回転軸心

Claims (7)

1. 弁箱（３１）と、
   前記弁箱（３１）内に回転自在に設けられた弁体（６１）と、を備え、
   前記弁箱（３１）に、
   加圧空気を流入させる１つの吸気ポート（３４）と、吸着筒（１ａ，１ｂ，１ｃ）からの脱着ガスを排出させる１つの排気ポート（３５）と、複数の前記吸着筒（１ａ，１ｂ，１ｃ）のそれぞれに接続される吸着筒ポート（３６，３７，３８）を含む複数の吸着筒用流路（４１，４２，４３）と、が形成され、
   前記弁体（６１）に、
   当該弁体（６１）の回転中における所定のタイミングで前記吸気ポート（３４）と前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）とを接続する吸気接続流路（６７）と、前記弁体（６１）の回転中における所定のタイミングで前記排気ポート（３５）と前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）とを接続する排気接続流路（６８）と、が形成され、
   前記吸気接続流路（６７）が、
   前記弁体（６１）の回転軸心（Ｏ）に沿って形成されかつ前記吸気ポート（３４）に連通する１つの第１縦流路（７１）と、１つの前記第１縦流路（７１）と前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）とを接続しかつ前記回転軸心（Ｏ）方向において互いに異なる位置に配置された複数の第１横流路（７２ａ，７２ｂ，７２ｃ）と、を有し、
   前記排気接続流路（６８）が、
   前記第１縦流路（７１）と前記回転軸心（Ｏ）方向において異なる位置に前記回転軸心（Ｏ）に沿って形成されかつ前記排気ポート（３５）に連通する１つの第２縦流路（７４）と、１つの前記第２縦流路（７４）と前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）とを接続しかつ前記回転軸心（Ｏ）方向において互いに異なる位置に配置された複数の第２横流路（７５ａ，７５ｂ，７５ｃ）と、を有している、濃縮ガス供給装置用のロータリー弁。
2. 前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）が、前記回転軸心（Ｏ）方向において前記第１縦流路（７１）と前記第２縦流路（７４）とに跨る範囲で形成された第３縦流路（４８，５０，５２）と、前記第１、第２横流路（７２ａ，７２ｂ，７２ｃ、７５ａ，７５ｂ，７５ｃ）にそれぞれ接続される複数の第３横流路（４９，５１，５３）とを有している、請求項１に記載の濃縮ガス供給装置用のロータリー弁。
3. 前記弁体（６１）が、一定速度で回転駆動されるものであり、
   前記第１横流路（７２ａ，７２ｂ，７２ｃ）及び前記第２横流路（７５ａ，７５ｂ，７５ｃ）が、前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）との連通時間に応じた周方向の長さを有する連通溝（７２ａ１，７２ｂ１，７２ｃ１、７５ａ１，７５ｂ１，７５ｃ１）を含む、請求項１又は２に記載の濃縮ガス供給装置用のロータリー弁。
4. 前記弁箱（３１）に、大気開放用ポート（４５，４６，４７）を含む大気開放用流路（５６，５７，５８）が複数形成され、
   前記弁体（６１）に、当該弁体（６１）の回転中における所定のタイミングで前記各大気開放用流路（５６，５７，５８）と前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）とを互いに連通させる連通流路（７７ａ１，７７ｂ１，７７ｃ１、７７ａ２，７７ｂ２，７７ｃ２）が形成されている、請求項１～３のいずれか１項に記載の濃縮ガス供給装置用のロータリー弁。
5. 前記弁箱（３１）に、前記各吸着筒用流路（４１，４２，４３）と連通する複数の大気開放用ポート（４５，４６，４７）が形成されている、請求項１～３のいずれか１項に記載の濃縮ガス供給装置用のロータリー弁。
6. 前記吸気ポート（３４）と前記排気ポート（３５）とが、前記回転軸心（Ｏ）方向に関して互いに異なる位置に配置される、請求項１～５のいずれか１項に記載の濃縮ガス供給装置用のロータリー弁。
7. 複数の吸着筒ポート（３６，３７，３８）が、前記回転軸心（Ｏ）を中心とする周方向に関して互いに異なる位置に配置されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の濃縮ガス供給装置用のロータリー弁。

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