JP2012002592A5 - - Google Patents
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- 第1パターン及び該第1パターンとは異なる第2パターンを有し、回転軸を中心に回転可能なスケールと、
前記スケールに光束を照射する光源と、
前記第1パターンを透過または反射した光束を検出して第1検出信号を出力する第1検出手段と、
前記第2パターンを透過または反射した光束を検出して第2検出信号を出力する第2検出手段と、
前記第1検出信号に基づいて偏芯補正信号を生成し、該偏芯補正信号に基づいて前記第2検出信号を補正する制御手段と、を有し、
前記第1パターン及び第2パターンの一方は、前記回転軸を中心に螺旋状に形成され、所定値より大きい回転角変位を検出する螺旋状パターンであり、
前記第1パターン及び前記第2パターンの他方は、前記回転軸を中心に放射状に形成され、前記螺旋状パターンで検出される前記回転角変位よりも小さい回転角変位を検出する放射状パターンである、
ことを特徴とするロータリーエンコーダ。 - 前記螺旋状パターンは、前記回転軸を基準として、前記放射状パターンの内側に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のロータリーエンコーダ。
- 前記第1検出信号、前記第2検出信号、及び、前記偏芯補正信号の関係を記憶する記憶手段をさらに有し、
前記第1パターンは前記螺旋状パターンであり、
前記第2パターンは前記放射状パターンであり、
前記制御手段は、前記第1検出信号と、前記記憶手段に記憶された前記関係に基づいて、前記第2検出信号を補正することを特徴とする請求項1に記載のロータリーエンコーダ。 - 前記第1検出手段は、前記第2検出手段に対して前記回転軸を中心として90度回転した位置に配置されていることを特徴とする請求項3に記載のロータリーエンコーダ。
- 前記第1検出手段は、前記第1パターンを透過または反射した前記光束を検出する2つの検出部を備え、
前記制御手段は、前記2つの検出部で検出された前記第1検出信号に基づいて前記偏芯補正信号を生成し、前記第2検出信号を補正することを特徴とする請求項1に記載のロータリーエンコーダ。 - 前記2つの検出部は、前記回転軸を中心として互いに180度回転した位置に配置されていることを特徴とする請求項5に記載のロータリーエンコーダ。
- 前記第2検出手段は、前記2つの検出部に対して前記回転軸を中心に90度回転した位置に配置されていることを特徴とする請求項6に記載のロータリーエンコーダ。
- 前記第1パターンは前記螺旋状パターンであり、
前記第2パターンは前記放射状パターンであることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載のロータリーエンコーダ。 - 前記第1パターンは前記放射状パターンであり、
前記第2パターンは前記螺旋状パターンであることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載のロータリーエンコーダ。 - 前記螺旋状パターンは、第1方向の第1螺旋状パターンと該第1方向とは逆方向の第2螺旋状パターンから構成されていることを特徴とする請求項1に記載のロータリーエンコーダ。
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US8835832B2 (en) * | 2012-01-17 | 2014-09-16 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical encoder with signal offset correction system |
CN102589579B (zh) * | 2012-02-22 | 2015-07-01 | 三一重工股份有限公司 | 旋转编码器和测量角度的方法 |
JP6147038B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2017-06-14 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置、レンズ装置、撮像システム、および、工作装置 |
JP6421410B2 (ja) * | 2013-11-28 | 2018-11-14 | 株式会社ニコン | エンコーダ用スケール、エンコーダ、駆動装置、及びステージ装置 |
US10119842B1 (en) * | 2014-08-05 | 2018-11-06 | X Development Llc | Encoder design and use |
US9851225B2 (en) * | 2015-05-06 | 2017-12-26 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Nonvolatile multitum rotation sensor with magnetic particle following a spiral track |
WO2017014189A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、回転情報取得方法及び回転情報取得プログラム |
JP2018059714A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-12 | キヤノン株式会社 | 偏芯算出方法、ロータリエンコーダ、ロボットアーム及びロボット装置 |
CN108426593A (zh) * | 2017-02-15 | 2018-08-21 | 何锋 | 一种高响应高分辨率双编码系统绝对值编码器 |
EP3428751A1 (en) * | 2017-07-12 | 2019-01-16 | Koninklijke Philips N.V. | Measuring position of motion stage |
JP6959835B2 (ja) * | 2017-11-06 | 2021-11-05 | 株式会社東海理化電機製作所 | 回転検出装置 |
JP7075784B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2022-05-26 | Dmg森精機株式会社 | エンコーダ |
US10969246B2 (en) * | 2018-07-27 | 2021-04-06 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Apparatus for sensing rotating device |
JP6924419B2 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-08-25 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム |
JP2021076587A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-20 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、その使用方法、その位置決め方法、及び位置検出方法 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3241132A (en) * | 1960-05-02 | 1966-03-15 | Wojslaw J Milan-Kamski | Signal translation apparatus |
US3757128A (en) * | 1972-03-20 | 1973-09-04 | Ibm | Multiphase tachometer |
US4606008A (en) * | 1983-07-25 | 1986-08-12 | Cain Encoder Company | Angular position detector |
JPS62105012A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-15 | Ebara Res Co Ltd | 回転検出器付軸受装置 |
JPS63262523A (ja) * | 1987-04-21 | 1988-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 絶対位置検出方法及びその装置 |
JPH0769190B2 (ja) | 1987-08-12 | 1995-07-26 | オムロン株式会社 | ロ−タリィ・エンコ−ダ |
WO1990000720A1 (en) * | 1988-07-12 | 1990-01-25 | Furuno Electric Company, Limited | Rotary encoder |
JP2754635B2 (ja) | 1988-12-22 | 1998-05-20 | 株式会社ニコン | アブソリュートエンコーダ |
US5017776A (en) * | 1989-03-10 | 1991-05-21 | Hewlett-Packard Company | Apparatus for and methods of optical encoding having spiral shaped light modulator |
JPH04208810A (ja) * | 1990-12-03 | 1992-07-30 | Omron Corp | 変位信号出力装置 |
JPH06341858A (ja) * | 1993-06-02 | 1994-12-13 | Copal Co Ltd | 光学式変位検出装置 |
US5691646A (en) * | 1994-12-07 | 1997-11-25 | Mitutoya Corporation | Capacitance-type displacement measuring device with electrodes having spiral patterns |
DE69620061T2 (de) * | 1995-06-29 | 2002-11-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optisches Medium und Aufzeichnungs-/Wiedergabegerät dafür |
JPH11108698A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 光学式位置検出装置の検出器 |
DE19820014A1 (de) * | 1998-05-06 | 1999-11-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Multiturn-Codedrehgeber |
DE19944004A1 (de) * | 1999-09-14 | 2001-03-15 | Kostal Leopold Gmbh & Co Kg | Optoelektronischer Drehwinkelsensor |
JP4724282B2 (ja) * | 1999-10-12 | 2011-07-13 | キヤノン株式会社 | 回転角検出装置 |
JP4433240B2 (ja) * | 2000-03-16 | 2010-03-17 | 株式会社安川電機 | ロータリエンコーダおよびその偏心補正方法 |
JP4768164B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2011-09-07 | 株式会社リコー | ロータリーエンコーダ装置 |
SE528486C2 (sv) * | 2004-05-24 | 2006-11-28 | Audiodev Ab | Kvalitetstestningsmetod för optiska databärare |
US7298678B2 (en) * | 2004-08-19 | 2007-11-20 | Seagate Technology Llc | Rotating recorder with dual encoder arrangement having eccentricity compensation |
JP4908764B2 (ja) | 2005-02-04 | 2012-04-04 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP4504331B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2010-07-14 | 東芝ストレージデバイス株式会社 | ヘッド位置制御方法、ヘッド位置制御装置及びディスク装置 |
JP5198761B2 (ja) * | 2006-12-11 | 2013-05-15 | 株式会社ミツトヨ | 回転変位補正装置、および、変位検出装置 |
US7875844B2 (en) * | 2008-09-02 | 2011-01-25 | Delta Electronics, Inc. | Absolute-type encoder and method for detecting absolute position |
JP5170046B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2013-03-27 | 株式会社安川電機 | ロータリエンコーダ、ロータリモータ、ロータリモータシステム、ディスク及びロータリエンコーダの製造方法 |
JP5436578B2 (ja) * | 2009-12-17 | 2014-03-05 | キヤノン株式会社 | ロータリエンコーダ及びそれを有する回転機構 |
US8309906B2 (en) * | 2010-06-10 | 2012-11-13 | Mitutoyo Corporation | Absolute optical encoder with long range intensity modulation on scale |
JP5479236B2 (ja) * | 2010-06-15 | 2014-04-23 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
JP5574899B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-08-20 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ及びこれを備えた光学機器 |
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