JP6147038B2 - 位置検出装置、レンズ装置、撮像システム、および、工作装置 - Google Patents
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Description
そして、トラック11の周期に合わせて、角度検出処理部43は、位相変化量s(i)を角度(位置)に換算する。トラック11の周期と角度の比をkとすると、角度はk・s(i)として表される。このように、角度検出処理部43(位置検出処理部)は、受光部21による第1検出信号に基づいて被検物の位置情報を取得する。
そこで、2つの誤差の差分、すなわち受光部21、22に対応する位相θ1、θ2の差分θ1−θ2を求めると、図5中の破線(C)に示される差分を求めることができる。このとき、式(2)を利用して、差分θ1−θ2は、以下の式(3)のように表される。
破線(C)で示される差分も、点線(A)および実線(B)と同位相で振幅が異なる誤差プロファイルとなる。点線(A)および実線(B)で示される振幅の比は、検出半径r1、r2のみに依存する。このため、以下の式(4)で表されるように誤差e1(偏心誤差)を算出することができる。
このように、偏心検出処理部44(偏心誤差算出部)は、受光部21による第1検出信号、受光部22による第2検出信号、半径r1(第1距離)、および、半径r2(第2距離)に基づいて偏心誤差を算出する。
(ε/r2)・sin(θ+α2)+c2 …(6)
ここで、センサ20の傾きによる周方向の検出位置のずれ量は、検出回転角度に対して十分小さいため、α1≒α2が成立する。このため、位相θ1、θ2の差分θ1−θ2は、以下の式(7)のように近似される。そして、受光部21に対応する位相の誤差は、以下の式(8)で求められる。
(ε/r1)・sin(θ+α)=(θ1−θ2−φ)・(r2/(r2−r1)) …(8)
スケール10とセンサ20とのアライメントに誤差が生じると、式(7)の最大値と最小値との平均値となる項(角度差φ)がゼロでなくなる。本実施例では、この量(角度差φ)を特定することにより、読み取り位置のずれ量、すなわちアライメントずれを検出して補正(低減)することができる。このように信号処理部40は、更に、スケール10の周方向(スケール10の径方向と垂直な方向である測長方向)における、半径r1(第1距離)の領域と半径r2(第2距離)の領域との差を低減することもできる。ここで、この差は、周方向における半径r1、r2の領域の位置ずれにより生じる誤差である。このとき、式(7)中の、α1≒α2を満たすものとして導かれた項(ε/r1−ε/r2)・sin(θ+α1)により、偏心量を検出して偏心誤差を補正(低減)することが可能である。
本実施例において、補正テーブル46に補正値を記憶するには、角度検出処理部で検出された角度jと偏心検出処理部44で求められた誤差e(補正値c(j))との組み合わせを記憶すればよい。また、角度jとその角度に対応する補正値との組み合わせの全てを補正テーブル46に記憶する代わりに、一部の値を記憶することなく間引くことも可能である。このとき、補正テーブル46に角度jに対応する補正値c(j)が存在しない場合がある。そこで、例えば、補正テーブル46に記憶されている角度k、l(k<j<l)に対応する補正値c(k)、c(l)を利用して、以下の式(10)で表されるように、角度jに対応する補正値c(j)を線形補間により求めて補正を行う。
また、補正テーブル46に記憶するデータ量を減らすため、関数へのフィッティングを行ってもよい。誤差e(偏心誤差)は、スケール10の1回転あたり1周期を有し、検出半径rは一定である。このため、以下の式(11)で表されるように誤差eを近似的に求めることができる。
このとき、補正テーブル46には、偏心量ε、定数αの値を記憶すればよい。
θP4=MOD(θP1−θP3,2π) …(13)
ただし、MOD(x,y)は、xをyで割ったときの剰余を表す。このとき、位相信号θP3および位相差信号θP4は、それぞれ、図11(c)、(d)に示されるように求められる。位相信号θP3は、128周期/回転の位相θP2を4倍しているため、512周期/回転の信号となる。位相差信号θP4は、544周期/回転の信号と512周期/回転の信号の周期差を有する32周期/回転の信号となる。
ただし、ROUND(x)はxの小数点以下第一位を四捨五入して整数に丸めることを表す。
また、位相θQ1、θQ2は、それぞれ、495、132周期/回転である。このため、以下の式(16)で表されるように、位相θQ2を4倍して2πで正規化した位相信号θQ3を求める。また、以下の式(17)で表されるように、位相θQ1と位相信号θQ3との位相差信号θQ4を求める。また、以下の式(18)で表されるように、位相θQ2と同じ精度を有する信号θQ5を求める。また、以下の式(19)で表されるように、位相θQ1と同じ精度を有する信号θQ6を求める。
θQ4=MOD(θQ3−θQ1,2π) …(17)
θQ5=ROUND((4×θQ4−θQ2)/(2π))×2π/4+θQ2/4 …(18)
θQ6=ROUND((15×θQ5−θQ1)/(2π))×2π/15+θQ1/15 …(19)
ここで、信号θP6、θQ6は、それぞれ、32周期/回転、33周期/回転であるから、以下の式(20)で表されるように、信号θP6と信号θQ6との位相差θ7を求める。
位相差θ7は、32周期/回転と33周期/回転の周期差である1周期/回転の信号となるため、角度を表す。しかし、位相差θ7は、信号θP6、θQ6に対して誤差が大きい。このため、以下の式(21)、(22)で表されるように、信号θP6、θQ6の精度を有する信号θP8、θQ8をそれぞれ求める。信号θP8、θQ8はともに、1周期/回転の信号であり、角度を表す。
θQ8=ROUND((33×θ7−θQ6)/(2π))×2π/33+θQ6/33 …(22)
偏心検出処理部44は、信号θP8、θQ8に基づいて偏心誤差を求める。信号θP8、θQ8は角度を表しているため、偏心がない場合にはθP8=θQ8となるが、偏心がある場合にはその偏心に応じた誤差が含まれる。ここで、信号θP8と信号θQ8との差分θP8−θQ8は、式(3)と同様に、以下の式(23)のように表される。
このとき、受光部21に対応する信号θP8には、以下の式(24)で表される誤差が含まれていると考えられる。偏心検出処理部44は、この誤差を算出する。
角度補正処理部45は、偏心検出処理部44で求められた誤差(偏心誤差)を信号θP8から減じた角度を求める。以上により、誤差を補正した位置(誤差を低減した位置)を求めることができる。
20 センサ
40 信号処理部
100 エンコーダ
Claims (11)
- 被検物の位置を検出する位置検出装置であって、
所定の点を中心とする円周上に周期的に形成されたパターンを含み、前記被検物の変位に伴って回転するスケールと、
前記スケールに対して相対移動可能なセンサユニットと、
前記センサユニットの出力信号を処理して前記被検物の位置情報を取得する信号処理部と、を有し、
前記センサユニットは、前記スケールの前記所定の点を始点とする半直線上の径方向に該所定の点から第1距離の領域に配置されて前記パターンを検出する第1検出部、および、該所定の点から該第1距離と異なる第2距離の領域に配置されて該パターンを検出する第2検出部を備え、
前記信号処理部は、前記第1検出部による第1検出信号に基づいて前記位置情報を取得する位置検出処理部と、
前記第1検出信号、前記第2検出部による第2検出信号、前記第1距離、および前記第2距離に基づいて、前記位置情報に含まれる前記スケールの回転中心と前記スケールの所定の点との差による誤差成分を前記位置情報から減算することによって補正位置情報を取得する位置補正部と、を有することを特徴とする位置検出装置。 - 前記信号処理部は、更に、前記スケールの周方向における前記第1距離の領域と前記第2距離の領域との差を低減することを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
- 前記偏心誤差算出部は、前記偏心誤差をe1、前記第1検出信号をθ1、前記第2検出信号をθ2、前記第1距離をr1、前記第2距離をr2とするとき、
e1=(θ1−θ2)・(r2/(r2−r1))
で表される式を用いて前記偏心誤差を算出することを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。 - 前記信号処理部は、
前記位置情報と該位置情報に対応する補正値を記憶する補正値記憶部を有し、
前記位置補正部は、前記位置検出処理部で取得された前記位置情報および前記補正値記憶部に記憶された前記補正値に基づいて補正位置情報を取得することを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。 - 前記位置検出装置は、アブソリュート型の位置検出装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 前記パターンは、第1周期の第1パターンおよび該第1周期と異なる第2周期の第2パターンを含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 前記スケールには第1トラックおよび第2トラックが設けられており、
前記第1検出部は前記第1トラックを検出し、
前記第2検出部は前記第2トラックを検出することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記偏心誤差算出部は、前記偏心誤差をe1、前記第1検出信号をθ1、前記第2検出信号をθ2、前記第1距離をr1、前記第2距離をr2とし、前記第1検出部による前記パターンの読取り位置と前記第2検出部による前記パターンの読取り位置が前記スケールの回転中心を基準として互いに角度φだけ異なるとき、
e1=(θ1−θ2−φ)・(r2/(r2−r1))
で表される式を用いて前記偏心誤差を算出することを特徴とする請求項2に記載の位置検出装置。 - 光軸方向に変位可能なレンズと、
前記レンズの位置を検出するように構成された、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位置検出装置と、を有することを特徴とするレンズ装置。 - 請求項9に記載のレンズ装置と、
前記レンズを介して光学像の光電変換を行う撮像素子を備えた撮像装置と、を有することを特徴とする撮像システム。 - ロボットアームまたは組み立て対象物を搬送する搬送体を備えた工作機器と、
前記工作機器の位置または姿勢を検出するように構成された、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位置検出装置と、を有することを特徴とする工作装置。
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Families Citing this family (19)
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JP6533360B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2019-06-19 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置及び撮影装置 |
US9427872B1 (en) * | 2014-12-21 | 2016-08-30 | Google Inc. | Devices and methods for encoder calibration |
JP6440609B2 (ja) * | 2015-01-16 | 2018-12-19 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置、レンズ装置、撮像システム、工作装置、露光装置、位置検出方法、プログラム、記憶媒体 |
US10215596B2 (en) | 2015-01-16 | 2019-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detection apparatus, lens apparatus, image pickup system, machine tool apparatus, exposure apparatus, position detection method, and non-transitory computer-readable storage medium which are capable of detecting reference position with high accuracy |
US10201901B2 (en) * | 2015-01-29 | 2019-02-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Robot apparatus, method for controlling robot, program, and recording medium |
US9863790B1 (en) * | 2015-06-08 | 2018-01-09 | X Development Llc | Devices and methods for a rotary encoder |
CN107850466B (zh) * | 2015-07-17 | 2021-01-08 | 株式会社尼康 | 编码器装置、驱动装置、旋转信息取得方法以及记录介质 |
WO2017044686A1 (en) * | 2015-09-09 | 2017-03-16 | Carbon Robotics, Inc. | Robotic arm system and object avoidance methods |
JP6555995B2 (ja) * | 2015-09-11 | 2019-08-07 | キヤノン株式会社 | 回転検知手段 |
JP6786873B2 (ja) * | 2016-05-20 | 2020-11-18 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 |
US10330467B2 (en) * | 2016-06-01 | 2019-06-25 | Virtek Vision International Ulc | Precision locating rotary stage |
JP2018059714A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-12 | キヤノン株式会社 | 偏芯算出方法、ロータリエンコーダ、ロボットアーム及びロボット装置 |
CN110291365A (zh) * | 2017-02-20 | 2019-09-27 | 日立汽车系统株式会社 | 角度检测装置 |
JP2019035700A (ja) * | 2017-08-18 | 2019-03-07 | セイコーエプソン株式会社 | エンコーダー、ロボットおよびプリンター |
JP7203584B2 (ja) * | 2018-12-03 | 2023-01-13 | キヤノンプレシジョン株式会社 | アブソリュートロータリエンコーダ |
CN111457948A (zh) * | 2019-01-22 | 2020-07-28 | 大银微系统股份有限公司 | 光学编码器及其控制方法 |
US20200271484A1 (en) * | 2019-02-25 | 2020-08-27 | Hiwin Mikrosystem Corp. | Optical encoder and control method thereof |
JP6924419B2 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-08-25 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム |
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Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4266125A (en) * | 1978-12-21 | 1981-05-05 | Hewlett-Packard Company | Optical shaft angle encoder |
JPS62231118A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-09 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | エンコ−ダ |
JPH0658771A (ja) * | 1992-08-10 | 1994-03-04 | Shimpo Ind Co Ltd | 回転位置検出器 |
US5774074A (en) * | 1997-01-21 | 1998-06-30 | Hewlett-Packard Company | Multi-track position encoder system |
JP2004071007A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ディスク装置、ディスクの偏心制御方法、及び記録媒体 |
JP2004340929A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式ロータリーエンコーダ |
JP4497970B2 (ja) * | 2004-03-22 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | レンズ装置 |
JP2005321696A (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Canon Inc | レンズ鏡筒およびそれを有する光学機器 |
GB0508325D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Rotary encoders |
JP4764099B2 (ja) * | 2005-08-10 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置及び撮像装置 |
JP4271232B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2009-06-03 | ファナック株式会社 | ロボットのオフラインプログラミングを実行するための装置、方法、プログラム及び記録媒体 |
JP5168106B2 (ja) * | 2008-09-08 | 2013-03-21 | 株式会社リコー | 回転円板の偏心測定方法 |
DE102008043556B4 (de) * | 2008-11-07 | 2022-03-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
EP2251647A1 (fr) * | 2009-05-13 | 2010-11-17 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Dispositif et méthode de mesure de position angulaire absolue |
DE102009040790B4 (de) * | 2009-09-09 | 2012-10-25 | Universität Stuttgart | Verfahren zur optischen Kompensation der Maßspurdezentrierung bei Drehwinkelsensoren |
WO2011074103A1 (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-23 | キヤノン株式会社 | ロータリエンコーダ及びそれを有する回転機構 |
JP5538870B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
JP5126290B2 (ja) * | 2010-06-07 | 2013-01-23 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボモータ、サーボユニット及びエンコーダの製造方法 |
JP5479236B2 (ja) * | 2010-06-15 | 2014-04-23 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
JP5973773B2 (ja) * | 2012-04-26 | 2016-08-23 | 株式会社トプコン | 回転角検出装置 |
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