JPS62105012A - 回転検出器付軸受装置 - Google Patents
回転検出器付軸受装置Info
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- JPS62105012A JPS62105012A JP60244920A JP24492085A JPS62105012A JP S62105012 A JPS62105012 A JP S62105012A JP 60244920 A JP60244920 A JP 60244920A JP 24492085 A JP24492085 A JP 24492085A JP S62105012 A JPS62105012 A JP S62105012A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 2
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/443—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed mounted in bearings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
- G01P3/486—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by photo-electric detectors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
「産業上の利用分野」
本発明は回転体を支持する軸受及び回転体の回転速度或
は回転の数を計数する装置に関するものである。
は回転の数を計数する装置に関するものである。
「従来の技術」
従来回転速度を検出する機器は多数あり、例えば機械式
の回転計、エンコーダ等が用いられ、そして装置内に内
蔵するものとしては永久磁石を回転体に備えホール素子
により検出するものがある。回転体の回転の数を知る計
器としては量水器、自動車の距離計等がある。
の回転計、エンコーダ等が用いられ、そして装置内に内
蔵するものとしては永久磁石を回転体に備えホール素子
により検出するものがある。回転体の回転の数を知る計
器としては量水器、自動車の距離計等がある。
「発明が解決しようとする問題点」
然し乍ら、回転計とかエンコーダでは回転軸に対して連
結しなければならず、軸端に軸方向に大きく外部附加し
なければならない。永久磁石をホール素子で検出するた
めには永久磁石を回転体に取付けねばならず高速の回転
体の場合埋込むこととなる。回転の数を知ることにより
使用水量を知る量水器では検出用の羽根車の軸より多数
の歯車列により、回転の数の累計を各桁に夫々表示する
ようにしており、複雑高価である１、又自動車の距離計
も車輪に連動する部分から回転をとり、桁上げ装置を用
いて距離を表示しており、構成が複雑である。
結しなければならず、軸端に軸方向に大きく外部附加し
なければならない。永久磁石をホール素子で検出するた
めには永久磁石を回転体に取付けねばならず高速の回転
体の場合埋込むこととなる。回転の数を知ることにより
使用水量を知る量水器では検出用の羽根車の軸より多数
の歯車列により、回転の数の累計を各桁に夫々表示する
ようにしており、複雑高価である１、又自動車の距離計
も車輪に連動する部分から回転をとり、桁上げ装置を用
いて距離を表示しており、構成が複雑である。
このような問題点のないものとしては光学的な検出手段
があるが回転体の回転につれて投射光が断続して反射す
る円板又は回転体の回転につれて断続して透光する円板
を取り付ける必要があり、断続する光の反射又は透光信
号を得るための部材を特に設ける必要がある。
があるが回転体の回転につれて投射光が断続して反射す
る円板又は回転体の回転につれて断続して透光する円板
を取り付ける必要があり、断続する光の反射又は透光信
号を得るための部材を特に設ける必要がある。
本発明はスパイラル溝を備えた軸受装置を用いて光学的
に信号を得ることにより回転数の検出における上記従来
の問題点を解決することを目的とするものである。
に信号を得ることにより回転数の検出における上記従来
の問題点を解決することを目的とするものである。
〔発明の構成〕
「問題点を解決するための手段」
本発明は回転体側に固定されたセラミックス円板の鏡面
仕上された摺動面にスパイラル溝を設け、該セラミック
ス円板の鏡面仕上された摺動面と摺動する摺動面を持つ
固設した軸受部材を備え、スパイラル溝の存するセラミ
ックス円板に対向する位置において軸受部材にセラミッ
クス円板側まで達する貫通孔を設け、該貫通孔を通じて
光をセラミックス円板に投光する光源及び光学装置を配
すると共に、セラミックス円板よりの反射光を導く光学
装置並びに該反射光を受光する素子を配し、該受光素子
の信号を導いて計数する制御装置を備えた回転検出器付
軸受装置である。
仕上された摺動面にスパイラル溝を設け、該セラミック
ス円板の鏡面仕上された摺動面と摺動する摺動面を持つ
固設した軸受部材を備え、スパイラル溝の存するセラミ
ックス円板に対向する位置において軸受部材にセラミッ
クス円板側まで達する貫通孔を設け、該貫通孔を通じて
光をセラミックス円板に投光する光源及び光学装置を配
すると共に、セラミックス円板よりの反射光を導く光学
装置並びに該反射光を受光する素子を配し、該受光素子
の信号を導いて計数する制御装置を備えた回転検出器付
軸受装置である。
「作用」
セラミックス円板の鏡面仕上部分は反射光度が大きく又
、スパイラル溝の部分やこのスパイラル溝と同じくショ
ツトブラストによって形成した溝の部分は反射光度が低
い従って光源から光学装置により集束して軸受部材の貫
通孔を通じてセラミックス円板に照射された光はセラミ
ックス円板の回転数に応じて軸受部材の貫通孔を通過す
る鏡面仕上部分により断続して反射する。この反射光を
光学装置により受光素子に導いて単位時間当りの受光素
子の発するパルスの計数を行ないセラミックス円板の回
転数を知ることにより回転体の回転速度を知ることがで
き。
、スパイラル溝の部分やこのスパイラル溝と同じくショ
ツトブラストによって形成した溝の部分は反射光度が低
い従って光源から光学装置により集束して軸受部材の貫
通孔を通じてセラミックス円板に照射された光はセラミ
ックス円板の回転数に応じて軸受部材の貫通孔を通過す
る鏡面仕上部分により断続して反射する。この反射光を
光学装置により受光素子に導いて単位時間当りの受光素
子の発するパルスの計数を行ないセラミックス円板の回
転数を知ることにより回転体の回転速度を知ることがで
き。
或は受光素子の発するパルスの累計を知ることによりセ
ラミックス円板の回転した数を知ることができる。
ラミックス円板の回転した数を知ることができる。
また、両面に同一方向のスパイラル溝加工をしたセラミ
ックス円板を軸端と軸受部との間に介在させた場合には
、回転軸が正転時においてこの両−面スパイラル加工の
セラミックス円板が回転軸に密着して回転し、他方逆回
転時においては軸受部に密着するようにできるので、こ
のような場合において本発明は正回転時の回転速度の計
測ばかりでなく、回転体の回転方向をも把握できること
となる。
ックス円板を軸端と軸受部との間に介在させた場合には
、回転軸が正転時においてこの両−面スパイラル加工の
セラミックス円板が回転軸に密着して回転し、他方逆回
転時においては軸受部に密着するようにできるので、こ
のような場合において本発明は正回転時の回転速度の計
測ばかりでなく、回転体の回転方向をも把握できること
となる。
従って、本明細書において「回転体側に固定されたセラ
ミックス円板」とはこのように圧着されて実質的に同一
回転速度で回転する場合をも意味する。
ミックス円板」とはこのように圧着されて実質的に同一
回転速度で回転する場合をも意味する。
「実施例」
以下、本発明の実施例を図面により説明する。
第１図は縦断面図、第２図は第１図の摺動面部材の摺動
面側の平面図である。
面側の平面図である。
１は片面に多数のスパイラル溝２を設けたセラミックス
の円板でできている摺動面部材、４は摺動面部材１の摺
動面６に高粘性潤滑剤の液膜を介して接する摺動面を備
え固設された軸受部材、６は軸受部材４と摺動面部材１
の対向面の夫々中心に設けた半球形の凹部８，７に収容
されている小球、９は小球６と軸受部材４及び摺動面部
材１との間、摺動面部材１のスパイラル溝２と軸受部材
４の間及び摺動面部材１の摺動面３と摺動面部材１の間
に封入された例えば透明グリースのような高粘性潤滑剤
である。
の円板でできている摺動面部材、４は摺動面部材１の摺
動面６に高粘性潤滑剤の液膜を介して接する摺動面を備
え固設された軸受部材、６は軸受部材４と摺動面部材１
の対向面の夫々中心に設けた半球形の凹部８，７に収容
されている小球、９は小球６と軸受部材４及び摺動面部
材１との間、摺動面部材１のスパイラル溝２と軸受部材
４の間及び摺動面部材１の摺動面３と摺動面部材１の間
に封入された例えば透明グリースのような高粘性潤滑剤
である。
スパイラル溝２の深さは３〜５０μｍであり、その幅は
摺動面３の幅よりもせまい。摺動面３と軸受部材４の両
面は平面度１μｍ、面粗度０，３μｍ程度に高精度のい
わゆる鏡面仕上の超仕上がされる。
摺動面３の幅よりもせまい。摺動面３と軸受部材４の両
面は平面度１μｍ、面粗度０，３μｍ程度に高精度のい
わゆる鏡面仕上の超仕上がされる。
凹部７，８と小球６の間隙は、摺動面部材１と軸受部材
４が固体接触した場合にきわめてわずかのすきまをおく
か、或は接するようにしである。
４が固体接触した場合にきわめてわずかのすきまをおく
か、或は接するようにしである。
摺動面部材１の材質は熱伝導性の良いもの、表面加工精
度を確保できるもの、圧縮強度の大きいものが良く、セ
ラミックス材、例えば炭化珪素５ｉＣ１窒化珪素５ｉ５
Ｎ４が使用され、ＳｉＯの多孔体が好適であるが緻密性
材種でもよい。軸受部材４の材質はＳｉＣやアルミナセ
ラミックス或は超硬合金、高鉛青銅、普通鋳鉄、１３チ
クロムステンレス鋼等であり、緻密性或は多孔体材稽が
用いられる。小球６はＳｉＣで作られ、高粘性を有する
潤滑液を含浸させであるが軸受鋼製の鋼球でもよい。
度を確保できるもの、圧縮強度の大きいものが良く、セ
ラミックス材、例えば炭化珪素５ｉＣ１窒化珪素５ｉ５
Ｎ４が使用され、ＳｉＯの多孔体が好適であるが緻密性
材種でもよい。軸受部材４の材質はＳｉＣやアルミナセ
ラミックス或は超硬合金、高鉛青銅、普通鋳鉄、１３チ
クロムステンレス鋼等であり、緻密性或は多孔体材稽が
用いられる。小球６はＳｉＣで作られ、高粘性を有する
潤滑液を含浸させであるが軸受鋼製の鋼球でもよい。
多孔体とする場合があるのは摺動面部材１と小球６であ
り、多孔体と緻密体との組合せは上記材質において次の
とおりである。
り、多孔体と緻密体との組合せは上記材質において次の
とおりである。
組合せ
Ａ Ｂ Ｃ摺動面部材１
多孔体 緻密体 緻密体軸受部材４ 緻密体 緻密体
緻密体 率 球６ 緻密体 多孔体 緻密体 このスラスト軸受では摺動面の液膜は２００Ｋｆ１０ｎ
”の面圧の場合に約１．５μｍ程度と小さい。
多孔体 緻密体 緻密体軸受部材４ 緻密体 緻密体
緻密体 率 球６ 緻密体 多孔体 緻密体 このスラスト軸受では摺動面の液膜は２００Ｋｆ１０ｎ
”の面圧の場合に約１．５μｍ程度と小さい。
従って、上記スパイラル溝２及び小球６及び小球６廻り
の全潤滑液量は摺動面部材１の外径を５０ミリメートル
として０．００３ａ：という微量である。
の全潤滑液量は摺動面部材１の外径を５０ミリメートル
として０．００３ａ：という微量である。
上記組合せＢの場合、外径５０ミリメートルの摺動面部
材１に対して用いられる小球６は球径２ミリメートルで
空隙率６０％のＳｉＣである。
材１に対して用いられる小球６は球径２ミリメートルで
空隙率６０％のＳｉＣである。
軸受部材４には摺動面部材のスパイラル溝２の存する半
径方向の位置において摺動面部材１まで達する貫通孔１
１が設けである。貫通孔１１の摺動面部材１にのぞむ縁
には拡径して深さ６０μｍ程度の凹部１２が設けである
。貫通孔１１には透明なガラス１０が嵌入固設されてい
る。
径方向の位置において摺動面部材１まで達する貫通孔１
１が設けである。貫通孔１１の摺動面部材１にのぞむ縁
には拡径して深さ６０μｍ程度の凹部１２が設けである
。貫通孔１１には透明なガラス１０が嵌入固設されてい
る。
１６は光源となるレーザ半導体であってレーザ光を摺動
面部材１の軸方向に出射して貫通孔１１に保持するガラ
ス１０を通じて摺動面部材１のスパイラル溝２を設けた
摺動面側を照射するようになっている。１４はレーザ半
導体１１から発するレーザ光を平行光にするシリンドリ
カルレンズである。１６は該レーザ光を透過すると共に
摺動面部材１より反射した反射光を受光素子１５に基く
ハーフミラ−である。受光素子１５はフォトセルのよう
な光電素子であって光電変換された電圧の信号は該信号
を計数する制御装置１７に導かれている。
面部材１の軸方向に出射して貫通孔１１に保持するガラ
ス１０を通じて摺動面部材１のスパイラル溝２を設けた
摺動面側を照射するようになっている。１４はレーザ半
導体１１から発するレーザ光を平行光にするシリンドリ
カルレンズである。１６は該レーザ光を透過すると共に
摺動面部材１より反射した反射光を受光素子１５に基く
ハーフミラ−である。受光素子１５はフォトセルのよう
な光電素子であって光電変換された電圧の信号は該信号
を計数する制御装置１７に導かれている。
該制御装置１７は受光素子１５よりのパルス信号を計数
してその累計を求めるもの或は単位時間当りの受光素子
１５の発するパルス信号を求めるものである。これらの
光学装置は軸受部材４に密封固定したケース２０に堰付
けられている（取付方法は図示されない）。
してその累計を求めるもの或は単位時間当りの受光素子
１５の発するパルス信号を求めるものである。これらの
光学装置は軸受部材４に密封固定したケース２０に堰付
けられている（取付方法は図示されない）。
摺動面部材１の背面は平面でその中心には円筒形ダボ１
８が設けられており、計測しようとする軸心１９を中心
とする回転体２１の凹部に該ダボ１８は嵌入し、位置決
めされ、回転体２１と摺動面部材１は接着されている。
８が設けられており、計測しようとする軸心１９を中心
とする回転体２１の凹部に該ダボ１８は嵌入し、位置決
めされ、回転体２１と摺動面部材１は接着されている。
こ＼で回転体２１とは一般的ｌこは回転軸であり、その
場合軸受部材４、摺動面部材１、小球６等よりなる軸受
装置で両方向スラストを担持し、小球６によりラジアル
荷重も受ける一つの軸受装置として回転軸の一方を担持
するものである。又１片持支持の場合は上述した軸受装
置により回転体は片持支持されるものであり、例えば回
転体に羽根車を備えて量水器の水量検出手段とするもの
である。或は又、フラットモータ等の場合は同様に片持
支持され、回転体２１は回転子に構成されるものである
。
場合軸受部材４、摺動面部材１、小球６等よりなる軸受
装置で両方向スラストを担持し、小球６によりラジアル
荷重も受ける一つの軸受装置として回転軸の一方を担持
するものである。又１片持支持の場合は上述した軸受装
置により回転体は片持支持されるものであり、例えば回
転体に羽根車を備えて量水器の水量検出手段とするもの
である。或は又、フラットモータ等の場合は同様に片持
支持され、回転体２１は回転子に構成されるものである
。
回転体２１が第２図において図示矢印の時計方向に回転
すると摺動面部材１と軸受部材４間ではスパイラル溝２
により、潤滑剤９は中心に向って附勢され、動圧は中心
部で高くなり、動圧流体軸受が構成される。
すると摺動面部材１と軸受部材４間ではスパイラル溝２
により、潤滑剤９は中心に向って附勢され、動圧は中心
部で高くなり、動圧流体軸受が構成される。
回転体２１のスラスト負荷が第１図の上方より下方に向
うものである場合には上記では面圧２００ Ｋ４１０ｎ
”の負荷能力があり、大きなスラスト負荷に耐えるが、
回転体２１を上方に持上げようとするスラスト荷重が加
わっても摺動面部材１と軸受部材４との間には吸着力が
働くので主要なスラスト方向に対する反スラスト向のス
ラスト荷重にも耐える。そして小球６と凹部７，８によ
り中心が保たれる。
うものである場合には上記では面圧２００ Ｋ４１０ｎ
”の負荷能力があり、大きなスラスト負荷に耐えるが、
回転体２１を上方に持上げようとするスラスト荷重が加
わっても摺動面部材１と軸受部材４との間には吸着力が
働くので主要なスラスト方向に対する反スラスト向のス
ラスト荷重にも耐える。そして小球６と凹部７，８によ
り中心が保たれる。
回転体２１により摺動面部材１が共に回転して前述のよ
うに回転体２１に加わる負荷を担持する。その際、レー
ザ半導体１３から出射するレーザ光はシリンドリカルレ
ンズ１４、ハーフミラ−１６、ガラス１０を通じて貫通
孔１１から回転している摺動面部材１に投ぜられる。貫
通孔１１の部分には摺動面部材１のスパイラル溝２とス
パイラル溝２間の鏡面の摺動面３が交互に現われ、摺動
面３にてレーザ光は反射してガラス１０を透過してハー
フミラ−１６にて方向を変え、受光素子１５に入射し、
受光素子１５で光電変換した信号は制御装置１７に送ら
れる。
うに回転体２１に加わる負荷を担持する。その際、レー
ザ半導体１３から出射するレーザ光はシリンドリカルレ
ンズ１４、ハーフミラ−１６、ガラス１０を通じて貫通
孔１１から回転している摺動面部材１に投ぜられる。貫
通孔１１の部分には摺動面部材１のスパイラル溝２とス
パイラル溝２間の鏡面の摺動面３が交互に現われ、摺動
面３にてレーザ光は反射してガラス１０を透過してハー
フミラ−１６にて方向を変え、受光素子１５に入射し、
受光素子１５で光電変換した信号は制御装置１７に送ら
れる。
摺動面部材１により反射、非反射により生ずる断続した
レーザ光が受光素子１５に送られるため、受光素子１５
の受ける信号は回転体２１の回転に依存するパルスであ
る。
レーザ光が受光素子１５に送られるため、受光素子１５
の受ける信号は回転体２１の回転に依存するパルスであ
る。
従って応用目的により制御装置１７は光電変換されたパ
ルスを加算して累計し、或は一定時間における受光素子
１５からのパルスを数えて回転体２１の回転速度を求め
る。
ルスを加算して累計し、或は一定時間における受光素子
１５からのパルスを数えて回転体２１の回転速度を求め
る。
軸受部材４と摺動面部材１間のスラスト負荷能力は動圧
発生によるため極めて大きく、回転体２１が回転軸とし
ても軸受部材４と摺動面部材１の軸受面積は回転軸と等
しい直径でも充分な場合が多い。一方回転の数を検出す
る手段の光源、光学装置、受光素子、制御装置にしても
小さいものであり、ユニット化して固設できるものであ
る。従って全装置は回転体２１の端部に小さくまとめる
ことができる。
発生によるため極めて大きく、回転体２１が回転軸とし
ても軸受部材４と摺動面部材１の軸受面積は回転軸と等
しい直径でも充分な場合が多い。一方回転の数を検出す
る手段の光源、光学装置、受光素子、制御装置にしても
小さいものであり、ユニット化して固設できるものであ
る。従って全装置は回転体２１の端部に小さくまとめる
ことができる。
この軸受部分の実施例をのべると負荷能力については既
にのべたように軸受面圧２００Ｋｇ／ｃｍ”あり極めて
大きい。これを１０万回くり返し停止回転を行った処、
軸受面の損傷は一切なく、且つ潤滑剤９をグリースとし
た場合全く損耗していなかった。常温水道水中の場合も
グリースの流失は見られなかったし、グリース中への水
道水の混入が認められなかった。
にのべたように軸受面圧２００Ｋｇ／ｃｍ”あり極めて
大きい。これを１０万回くり返し停止回転を行った処、
軸受面の損傷は一切なく、且つ潤滑剤９をグリースとし
た場合全く損耗していなかった。常温水道水中の場合も
グリースの流失は見られなかったし、グリース中への水
道水の混入が認められなかった。
第３図は他の実施例の縦断面図を示す。この実施例では
軸受部材４に設ける貫通孔１１の入口側を広げ、光源１
１ａからの光を結像レンズ２２を通じて摺動面部材１上
に結像させ、その反射光を直接受光素子１５で受光する
ようにしたものである。２３は反射板で、２４は遮蔽板
であり、受光素子１５に直接投光されないようにする。
軸受部材４に設ける貫通孔１１の入口側を広げ、光源１
１ａからの光を結像レンズ２２を通じて摺動面部材１上
に結像させ、その反射光を直接受光素子１５で受光する
ようにしたものである。２３は反射板で、２４は遮蔽板
であり、受光素子１５に直接投光されないようにする。
実施例は小球６を凹部７，８に収容したが他にラジアル
荷重を担持する軸受がある場合は小球６と凹部７，８を
なくすることができる。
荷重を担持する軸受がある場合は小球６と凹部７，８を
なくすることができる。
実施例ではセラミックス円板の摺動面部材１をスパイラ
ル溝相当部分を抜いたフォトマスクをかぶせショツトブ
ラストによりスパイラル溝２を形成しであるがこれに限
定されるものではない。ショツトブラストによりスパイ
ラル溝２を形成した場合は粗面となり光の反射率が低い
ので好適である。
ル溝相当部分を抜いたフォトマスクをかぶせショツトブ
ラストによりスパイラル溝２を形成しであるがこれに限
定されるものではない。ショツトブラストによりスパイ
ラル溝２を形成した場合は粗面となり光の反射率が低い
ので好適である。
実施例は中心部も鏡面仕上した摺動面６と同面としであ
るが、この面をスパイラル溝２につづく凹面としても中
心部の動圧発生をさまたげることはない。
るが、この面をスパイラル溝２につづく凹面としても中
心部の動圧発生をさまたげることはない。
さらに、動圧の発生に寄与するスパイラル溝の内周又は
外周側に別途回転を検出するための溝を設けてもよい。
外周側に別途回転を検出するための溝を設けてもよい。
このようにすればスパイラル溝の本数、幅等とは無関係
に回転の計測のための溝を設けることができ、大きさや
性能が異なる軸受であっても計測回路を同一のものとす
ることができる。また、他の実施態様として、光ファイ
バーを光学装置として用いることもてきる。即ち、ＬＥ
Ｄ （発光ダイオード）や半導体レーザからなる光源部
を軸受から離隔して設け、この光源部と軸受部とを光フ
ァイバーによって光学的に接続し、さらに、反射光を他
の光ファイバーによって光源部近傍におかれた受光素子
まで導くことである。
に回転の計測のための溝を設けることができ、大きさや
性能が異なる軸受であっても計測回路を同一のものとす
ることができる。また、他の実施態様として、光ファイ
バーを光学装置として用いることもてきる。即ち、ＬＥ
Ｄ （発光ダイオード）や半導体レーザからなる光源部
を軸受から離隔して設け、この光源部と軸受部とを光フ
ァイバーによって光学的に接続し、さらに、反射光を他
の光ファイバーによって光源部近傍におかれた受光素子
まで導くことである。
このように、光ファイバーを利用すれば回転速度の信号
を遠方まで送信することができ、又、光ファイバーは一
般に金属材料よりも腐食されにくいので耐久性に富み、
信頼性も高くなる。
を遠方まで送信することができ、又、光ファイバーは一
般に金属材料よりも腐食されにくいので耐久性に富み、
信頼性も高くなる。
本発明は回転体側に固定されたセラミックス円板の鏡面
仕上された摺動面にスパイラル溝を設け、該セラミック
ス円板の鏡面仕上された摺動面と摺動する摺動面を持つ
固設した軸受部材を備え、スパイラル溝の存するセラミ
ックス円板に対向する位置において軸受部材にセラミッ
クス円板側まで達する貫通孔を設け、該貫通孔を通じて
光をセラミックス円板に投光する光源及び光学装置を配
すると共に、セラミックス円板よりの反射光を導く光学
装置並びに該反射光を受光する素子を配し、該受光素子
の信号を導いて計数する制御装置を備えた回転検出器付
軸受装置としたから、高負荷能力のスラスト軸受を得る
ことができると共に特に回転体の回転の数を得るために
回転体にパルスを生ずるための部材を設ける必要がない
。従って回転体の端面に装着することにより小さな取付
寸法の回転体の回転の数を検出する装置を提供できる。
仕上された摺動面にスパイラル溝を設け、該セラミック
ス円板の鏡面仕上された摺動面と摺動する摺動面を持つ
固設した軸受部材を備え、スパイラル溝の存するセラミ
ックス円板に対向する位置において軸受部材にセラミッ
クス円板側まで達する貫通孔を設け、該貫通孔を通じて
光をセラミックス円板に投光する光源及び光学装置を配
すると共に、セラミックス円板よりの反射光を導く光学
装置並びに該反射光を受光する素子を配し、該受光素子
の信号を導いて計数する制御装置を備えた回転検出器付
軸受装置としたから、高負荷能力のスラスト軸受を得る
ことができると共に特に回転体の回転の数を得るために
回転体にパルスを生ずるための部材を設ける必要がない
。従って回転体の端面に装着することにより小さな取付
寸法の回転体の回転の数を検出する装置を提供できる。
また、本発明では軸受部材の表面とセラミックス円板の
摺動面との間隔がおよそ５〜６０μｍと極めて短かいた
めこの間に介在する流体による光の減衰は少なく、従っ
て流体が着色していても実質的に影響を受けることがな
いという利点もある。
摺動面との間隔がおよそ５〜６０μｍと極めて短かいた
めこの間に介在する流体による光の減衰は少なく、従っ
て流体が着色していても実質的に影響を受けることがな
いという利点もある。
第１図は本発明の実施例の縦断面図、第２図は第１図の
摺動面部材の摺動面の平面図、第３図は他の実施例の縦
断面図である。 １・・摺動面部材 ２・・スパイラル溝 ３・・摺動面
４・・軸受部材 ６・・小球 ７゜８・・凹部 ９・
・潤滑剤 １０・・ガラス１１・１１貫通孔 １ｊａ・
・光源 １３・・レーザ半導体 １４・・シリンドリカ
ルレンズ１５・・受光素子 １６・・ハーフミラ−１７
・・制御装置 １８・・ダボ １９・・軸心２０−壷ケ
ース ２１・・回転体 ２２・・結像レンズ ２３・・
反射板 ２４・・遮光板。 特許出願人 株式会社荏原総合研究所株式会社荏原製
作所
摺動面部材の摺動面の平面図、第３図は他の実施例の縦
断面図である。 １・・摺動面部材 ２・・スパイラル溝 ３・・摺動面
４・・軸受部材 ６・・小球 ７゜８・・凹部 ９・
・潤滑剤 １０・・ガラス１１・１１貫通孔 １ｊａ・
・光源 １３・・レーザ半導体 １４・・シリンドリカ
ルレンズ１５・・受光素子 １６・・ハーフミラ−１７
・・制御装置 １８・・ダボ １９・・軸心２０−壷ケ
ース ２１・・回転体 ２２・・結像レンズ ２３・・
反射板 ２４・・遮光板。 特許出願人 株式会社荏原総合研究所株式会社荏原製
作所
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転体側に固定されたセラミックス円板の鏡面仕上
された摺動面にスパイラル溝を設け、該セラミックス円
板の鏡面仕上された摺動面と摺動する摺動面を持つ固設
した軸受部材を備え、スパイラル溝の存するセラミック
ス円板に対向する位置において軸受部材にセラミックス
円板側まで達する貫通孔を設け、該貫通孔を通じて光を
セラミックス円板に投光する光源及び光学装置を配する
と共に、セラミックス円板よりの反射光を導く光学装置
並びに該反射光を受光する素子を配し、該受光素子の信
号を導いて計数する制御装置を備えた回転検出器付軸受
装置。 ２、前記光学装置が光ファイバーであり、前記光源及び
前記受光素子並びに制御装置が該光ファイバーによつて
前記貫通孔に接続されている特許請求の範囲第１項記載
の回転検出器付軸受装置。 ３、 前記貫通孔がスパイラル溝の位置に対応して設け
られている特許請求の範囲第１項又は第２項いずれかに
記載の回転検出器付軸受装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244920A JPS62105012A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 回転検出器付軸受装置 |
| DE8686114810T DE3677477D1 (de) | 1985-10-31 | 1986-10-24 | Lager verbunden mit mitteln zur bestimmung der drehgeschwindigkeit. |
| EP86114810A EP0225999B1 (en) | 1985-10-31 | 1986-10-24 | Bearing associated with means for determining rotational speed |
| US06/925,263 US4774463A (en) | 1985-10-31 | 1986-10-31 | Bearing associated with means for determining rotational speed |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244920A JPS62105012A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 回転検出器付軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62105012A true JPS62105012A (ja) | 1987-05-15 |
| JPH0481730B2 JPH0481730B2 (ja) | 1992-12-24 |
Family
ID=17125938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60244920A Granted JPS62105012A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 回転検出器付軸受装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4774463A (ja) |
| EP (1) | EP0225999B1 (ja) |
| JP (1) | JPS62105012A (ja) |
| DE (1) | DE3677477D1 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6419121A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-23 | Isuzu Motors Ltd | Turbocharger with revolving armature |
| JPS6419122A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-23 | Isuzu Motors Ltd | Turbocharger with revolving armature |
| JPH0576927A (ja) * | 1991-04-23 | 1993-03-30 | Showa Alum Corp | マンドレル押出機用アタツチドダミー装置 |
| JPH0543020U (ja) * | 1991-11-11 | 1993-06-11 | 三洋電機株式会社 | 回転検出装置 |
| JP2013117512A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-06-13 | Alone Co Ltd | 光学式エンコーダに用いられる反射板及びその製造方法 |
| JP2018506389A (ja) * | 2015-02-25 | 2018-03-08 | キングス カレッジ ロンドン | 磁気共鳴弾性率計測用振動誘導装置 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3681773D1 (de) * | 1985-03-12 | 1991-11-07 | Kitamura Valve Kk | Ventil mit ventilkoerper aus keramik. |
| US4880966A (en) * | 1988-04-08 | 1989-11-14 | Scientific-Atlanta, Inc. | Tachometer sensor using a lens system to a in sensing the rotational speed of an object |
| US5218199A (en) * | 1992-04-21 | 1993-06-08 | The Boeing Company | Optical position sensor having rigidly fixed read head |
| US5678933A (en) * | 1995-01-20 | 1997-10-21 | Nsk Ltd. | Speed sensing rolling bearing unit |
| DE19516154A1 (de) * | 1995-05-03 | 1996-11-14 | Hell Ag Linotype | Vorrichtung zur Positionserfassung von rotierenden Objekten |
| FR2768221B1 (fr) * | 1997-09-11 | 1999-10-08 | Skf France | Procede de fabrication d'un codeur optique pour palier a roulement et palier a roulement correspondant |
| US6618128B2 (en) | 2002-01-23 | 2003-09-09 | Csi Technology, Inc. | Optical speed sensing system |
| US7135986B2 (en) * | 2003-06-13 | 2006-11-14 | Arad Measuring Technologies Ltd. | Meter register having an encoder for measuring material flow and an algorithm to selectively block signal transmission |
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| JP5479236B2 (ja) * | 2010-06-15 | 2014-04-23 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
| JP5574899B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-08-20 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ及びこれを備えた光学機器 |
| EP2691328B1 (en) | 2011-03-31 | 2017-05-03 | Otis Elevator Company | Optics based sensor device |
| CN108226571B (zh) * | 2017-11-27 | 2020-03-06 | 江阴市永兴机械制造有限公司 | 一种数控喷丸机流量流速的测量校准方法 |
| US11519757B2 (en) * | 2020-06-11 | 2022-12-06 | Honeywell International Inc. | System and method for determining angular position in rotating machines |
Family Cites Families (11)
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|---|---|---|---|---|
| US3693024A (en) * | 1971-05-17 | 1972-09-19 | Litton Systems Inc | Rotational shaft encoder having a bearing tube having a slot therein |
| US3935447A (en) * | 1971-09-01 | 1976-01-27 | Burroughs Corporation | Angular motion detection apparatus |
| US3757128A (en) * | 1972-03-20 | 1973-09-04 | Ibm | Multiphase tachometer |
| FR2245950A1 (en) * | 1973-09-28 | 1975-04-25 | Peugeot & Renault | Angular speed measuring device - has optical sensor for use with printed circuit motor to sense printed pattern |
| CH580812A5 (en) * | 1975-02-07 | 1976-10-15 | Polymotor Italiana Spa | Machine parts rotational speed transmitter - has rotor and stator for inductive or photoelectric interaction |
| GB1570191A (en) * | 1976-03-05 | 1980-06-25 | Ass Eng Ltd | Rotational speed transducers |
| US4132890A (en) * | 1977-11-22 | 1979-01-02 | International Business Machines Corporation | Self adjusting tachometer |
| DE2758854C2 (de) * | 1977-12-30 | 1979-09-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Vorrichtung zum Messen der Verschiebung und/oder der Geschwindigkeit eines mit einem optischen Streifenmuster verbundenen Körpers |
| US4327362A (en) * | 1978-10-23 | 1982-04-27 | Rockwell International Corporation | Meter rotor rotation optical sensor |
| DD223984A1 (de) * | 1984-05-08 | 1985-06-26 | Polygraph Leipzig | Synchronisiereinrichtung fuer eine elektrisch zu betaetigende kupplung |
| IT1182310B (it) * | 1984-10-04 | 1987-10-05 | Elcis Sas Di Battaglino Piccol | Trasduttore rotativo con mozzo elastico accoppiabile direttamente ad un albero rotante |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP60244920A patent/JPS62105012A/ja active Granted
-
1986
- 1986-10-24 DE DE8686114810T patent/DE3677477D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-24 EP EP86114810A patent/EP0225999B1/en not_active Expired
- 1986-10-31 US US06/925,263 patent/US4774463A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
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| US11921183B2 (en) | 2015-02-25 | 2024-03-05 | King's College London | Vibration inducing apparatus for magnetic resonance elastography |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0481730B2 (ja) | 1992-12-24 |
| EP0225999B1 (en) | 1991-02-06 |
| US4774463A (en) | 1988-09-27 |
| DE3677477D1 (de) | 1991-03-14 |
| EP0225999A1 (en) | 1987-06-24 |
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