JP2011251890A5 - - Google Patents
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本発明の酸化アルミニウム前駆体ゾルは、アルミニウムアルコキシドまたはアルミニウム塩化合物の加水分解物および/またはその縮合物、溶媒および下記一般式(1)で表される有機アルミニウム化合物を含むことを特徴とする。
R1、R2は炭素数1以上6以下のアルキル基、パーフルオロアルキル基、またはアリル基であり、R3は炭素数1以上6以下のアルキル基、パーフルオロアルキル基、アリル基、またはアリール基であり、nは1以上3以下の整数である。
本発明の光学用部材の製造方法は、(a)基材上、あるいは基材上に形成された一層または複数の層上に、請求項1に記載の酸化アルミニウム前駆体ゾルを供給する工程と、(b)前記供給された酸化アルミニウム前駆体ゾルを乾燥および/または焼成し、酸化アルミニウム膜を形成する工程と、(c)前記酸化アルミニウム膜を60℃以上100℃以下の温水と接触させて酸化アルミニウムの結晶による凹凸構造を形成する工程と、を有することを特徴とする。
本発明の光学用部材は、基材上、あるいは基材上に形成された一層または複数の層上に、酸化アルミニウムの結晶による凹凸構造が形成された酸化アルミニウムを主成分とする層を有し、前記酸化アルミニウムを主成分とする層は、下記一般式2を満たすことを特徴とする。
本発明の光学用部材は、基材上、あるいは基材上に形成された一層または複数の層上に、酸化アルミニウムの結晶による凹凸構造が形成された酸化アルミニウムを主成分とする層を有する光学用部材であって、前記酸化アルミニウムを主成分とする層の厚みは240nm以上であり、かつ、微小光散乱度が6.0以下であることを特徴とする。
Claims (10)
- 前記アルミニウムアルコキシドまたはアルミニウム塩化合物の加水分解物および/またはその縮合物を、金属酸化物に換算して2.5重量%以上6重量%以下含むことを特徴とする請求項1に記載の酸化アルミニウム前駆体ゾル。
- 前記溶媒が炭素数5以上8以下の一価のアルコールであることを特徴とする請求項1または2記載の酸化アルミニウム前駆体ゾル。
- 前記溶媒を、60重量%以上93重量%以下含むことを特徴とする請求項3に記載の酸化アルミニウム前駆体ゾル。
- 酸または塩基を含むことを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項記載の酸化アルミニウム前駆体ゾル。
- 前記酸または塩基を、0.0001重量%以上0.06重量%未満含むことを特徴とする請求項5記載の酸化アルミニウム前駆体ゾル。
- (a)基材上、あるいは基材上に形成された一層または複数の層上に、請求項1に記載の酸化アルミニウム前駆体ゾルを供給する工程と、
(b)前記供給された酸化アルミニウム前駆体ゾルを乾燥および/または焼成し、酸化アルミニウム膜を形成する工程と、
(c)前記酸化アルミニウム膜を60℃以上100℃以下の温水と接触させて酸化アルミニウムの結晶による凹凸構造を形成する工程と、
を有することを特徴とする光学用部材の製造方法。 - 基材上、あるいは基材上に形成された一層または複数の層上に、酸化アルミニウムの結晶による凹凸構造が形成された酸化アルミニウムを主成分とする層を有し、
前記酸化アルミニウムを主成分とする層は、下記一般式2を満たすことを特徴とする光学用部材。
Y−X≦0.4 (一般式2)
ここで、
Xは、前記酸化アルミニウムを主成分とする層の表面を、光電子の検出角度を45°に設定してX線光電子分光法で分析したときの、アルミニウムの原子の数を1とした時の酸素の原子の数の比(O/Al)
Yは、前記酸化アルミニウムを主成分とする層の表面を、光電子の検出角度を75°に設定してX線光電子分光法で分析したときの、アルミニウムの原子の数を1とした時の酸素の原子の数の比(O/Al) - 前記Xは、2.0より大きいことを特徴とする請求項8記載の光学用部材。
- 基材上、あるいは基材上に形成された一層または複数の層上に、酸化アルミニウムの結晶による凹凸構造が形成された酸化アルミニウムを主成分とする層を有する光学用部材であって、
前記酸化アルミニウムを主成分とする層の厚みは240nm以上であり、かつ、微小光散乱度が6.0以下であることを特徴とする光学用部材。
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