JP2011201170A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】流路形成基板に接合されているノズルプレートの剥離を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル２０６が穿設されたノズルプレート２０７と、ノズル２０６に連通する複数の圧力発生室２０２及びこれら複数の圧力発生室２０２が連通するマニホールド２０５が形成された流路形成基板２０１と、圧力発生室２０２に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段２０９と、を有する複数のヘッド本体２００と、ノズル２０６が露出される露出口３０１を有し各ヘッド本体２００が位置決め固定される固定板３００と、を具備し、固定板３００に形成された露出口３０１の縁部がマニホールド２０５に対向する領域に位置している場合に、固定板３００のノズルプレート２０７側の面に、マニホールド２０５に対向する露出口３０１の縁部を窪ませた凹部３０５を設ける。
【選択図】図７

Description

本発明は、液滴を噴射するヘッド本体を複数備え、これら複数のヘッド本体が固定板に位置決め固定されてなる液体噴射ヘッド及びそれを備える液体噴射装置に関する。

従来から、圧電素子、あるいは発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。

インクジェット式記録ヘッド（ユニット）としては、例えば、インク滴を噴射するノズル開口が穿設されたノズルプレートと、ノズル開口に連通する圧力発生室や複数の圧力発生室が連通するリザーバ（連通部）等の流路が形成された流路形成基板と、を有するヘッド本体を複数備え、これら複数のヘッド本体が固定板に位置決め固定されて構成されたものがある（例えば、特許文献１参照）。

この構成において、固定板には各ヘッド本体のノズル開口を露出させるための露出開口部が設けられている。露出開口部は、平板状の金属材料からなる固定板を打ち抜き加工することによって形成されている。このため、露出開口部の縁部には、固定板の一方面側に突出する突出部（いわゆる「ばり」）が形成されてしまう。この突出部は、通常は、ノズルプレート側に突出するようにする。突出部が、記録用紙等の被噴射媒体側（ノズルプレートとは反対側）に突出していると、ノズルプレート表面をワイピングする際の障害になる等の問題が生じる虞があるからである。

またこの固定板の突出部を金属製のノズルプレートに食い込ませて両者を導通させることで、固定板を介してノズルプレートの静電気を除去することも行われている。

特開２００５−０９６４１９号公報

ところで、ノズルプレート表面をワイピングするという観点からは、露出開口部はできるだけ大きく形成されていることが好ましい。具体的には、露出開口部の縁部が流路形成基板に形成されたマニホールド（リザーバ）の外側に位置していることが好ましい。

一方、固定板とヘッド本体とを強固に接合するという観点からは、露出開口部はできるだけ小さくして固定板とヘッド本体との接合面積を十分に確保することが好ましい。具体的には、露出開口部の縁部が流路形成基板に形成されたマニホールド（リザーバ）の内側に位置していることが好ましい。

これらのバランスを考慮すると、露出開口部の縁部をマニホールド（リザーバ）に対向する位置に設ける必要性が生じる。つまり露出開口部の縁部をマニホールドに対向する位置に設けることで、ノズルプレート表面を良好にワイピングすることができ、且つ固定板と各ヘッド本体との接合強度も十分に確保することができる。

しかしながら、このような構成とすると、製造過程等においてノズルプレートが流路形成基板から剥離してしまうという問題が生じる虞がある。流路形成基板に設けられるマニホールド（連通部）は、複数の圧力発生室が連通する比較的広い空間であり、ノズルプレートがその一方面を構成している。このため、上述のように固定板に突出部が形成されていると、固定板にヘッド本体を接合する際等に突出部によってノズルプレートの連通部に対向する部分に、マニホールドの内側に向かって押圧する力が働き、それに伴い、マニホールドの周囲のノズルプレートには逆方向の力が働く。つまりノズルプレートのマニホールドに対向する領域の外側に、ノズルプレートを流路形成基板から剥離する方向の力が作用してしまう。これによりノズルプレートが流路形成基板から剥離してしまう虞がある。

また製造過程においては、ノズルプレートが流路形成基板から剥離しなかったとしても、突出部でノズルプレートのマニホールドに対向する部分が押し上げられた状態が続くと、製品完成後にノズルプレートが流路形成基板から徐々に剥離してしまう虞もある。

なお、このような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク以外の液滴を噴射する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、流路形成基板に接合されているノズルプレートの剥離を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明は、複数のノズルが穿設されたノズルプレートと、前記ノズルに連通する複数の圧力発生室及びこれら複数の圧力発生室が連通するマニホールドが形成された流路形成基板と、前記圧力発生室に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段と、を有する複数のヘッド本体と、前記ノズルが露出される露出口を有し各ヘッド本体が位置決め固定される固定板と、を具備し、前記固定板に形成された前記露出口の縁部が前記マニホールドに対向する領域に位置しており、前記固定板の前記ノズルプレート側の面には、前記マニホールドに対向する前記露出口の縁部を窪ませた凹部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本発明では、固定板によってマニホールドに対向する部分のノズルプレートが押圧されることがなくなる。したがって、それに伴って生じるノズルプレートの剥離を防止することができる。

ここで、前記ノズルプレートが金属材料で形成されており、前記凹部が、前記露出口の縁部の前記マニホールドに対向する部分のみに設けられていることが好ましい。これにより、露出口の縁部の凹部以外の部分でノズルプレートと固定板とを比較的容易に導通させることができる。

また前記固定板の前記ノズルプレートとは反対側の面には、前記露出口の縁部を面取りした面取り部が設けられていることが好ましい。これにより、クリーニング動作時に、ノズルプレートの表面を払拭するためのクリーニングブレードが固定板に引っかかるといった問題が生じることがなくなる。

また前記凹部内には、前記ヘッド本体と前記固定板とを接合するための接着剤が充填されているか、或いは撥水膜が設けられていることが好ましい。これにより、ノズルから噴射された液体が凹部内に溜まることがなく、凹部に溜まった液体によって被噴射媒体を汚すといった問題の発生を防止することができる。

さらに本発明は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、耐久性や信頼性等を向上した液体噴射装置を実現することができる。

本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの組立斜視図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの要部断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッド本体の分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッド本体の断面図である。 本発明の一実施形態に係る固定板の平面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの概略斜視図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの組立斜視図であり、図３は、その要部断面図である。

図示するように、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に「記録ヘッド」という）は、カートリッジケース１００と、インクジェット式記録ヘッド本体２００（以下、単に「記録ヘッド本体」という）と、複数の記録ヘッド本体２００が位置決め固定される固定板３００とで構成されている。

カートリッジケース１００は、例えば、樹脂材料で形成され、各色のインクが貯留されたインクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部１０１を有する。また、カートリッジケース１００の底面側には、一端が各カートリッジ装着部１０１に開口し、他端が記録ヘッド本体２００側に開口する複数のインク連通路１０２が設けられている。さらに、カートリッジ装着部１０１のインク連通路１０２の開口部分には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針１０３が固定されている。

カートリッジケース１００の底面には、所定間隔で位置決めされた複数（例えば、４個）の記録ヘッド本体２００が固定されている。各記録ヘッド本体２００は各色のインクに対応してそれぞれ設けられており、固定板３００に接着固定されることにより互いに位置決めされた状態でカートリッジケース１００の底面に固定されている。

ここで、記録ヘッド本体２００の構成について説明する。図４は、記録ヘッド本体の分解斜視図であり、図５は、記録ヘッド本体の断面図である。

図４及び図５に示すように、記録ヘッド本体２００を構成する流路形成基板２０１には、複数の圧力発生室２０２が流路形成基板２０１を厚さ方向に貫通して設けられている。例えば、本実施形態では、流路形成基板２０１に、圧力発生室２０２が幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室２０２の長手方向（圧力発生室の並設方向とは直交する方向）外側には連通部２０３が形成されている。この連通部２０３は、各列を構成する複数の圧力発生室２０２に対応する領域に連続的に設けられている。各圧力発生室２０２は、各圧力発生室２０２に対応して設けられるインク供給路２０４を介して連通部２０３に連通している。この連通部２０３は、後述する保護基板に設けられたマニホールド部と連通して各圧力発生室２０２の共通のインク室となるマニホールド２０５を構成する。

流路形成基板２０１の一方面側には、各圧力発生室２０２に連通する複数のノズル２０６が穿設されたノズルプレート２０７が接合されている。ノズルプレート２０７の材料は、特に限定されないが、例えば、本実施形態では、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いている。流路形成基板２０１の他方面側には弾性膜２０８が形成されている。本実施形態では、流路形成基板２０１がシリコン基板からなり、弾性膜２０８は酸化シリコンからなる。この弾性膜２０８上には、圧力発生室２０２内にノズル２０６からインク滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段としての圧電素子２０９が設けられている。圧電素子２０９は、図示は省略するが、弾性膜２０８上に設けられた下電極と圧電体層と上電極とで構成されている。

このような圧電素子２０９が形成された流路形成基板２０１上には、圧電素子２０９を保護するための圧電素子保持部２１０を有する保護基板２１１が接合されている。この保護基板２１１には、上述したように流路形成基板２０１の連通部２０３と連通されて各圧力発生室２０２の共通のインク室となるマニホールド２０５を構成するマニホールド部２１２が形成されている。

保護基板２１１上には、各圧電素子２０９を駆動するための駆動ＩＣ２１３が実装されている。この駆動ＩＣ２１３の各端子は、図示しないが、ボンディングワイヤー等を介して各圧電素子２０９の個別電極から引き出されたリード電極と接続されている。そして、駆動ＩＣ２１３の各端子には、図４に示すような、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線２１４が接続され、この外部配線２１４を介して印刷信号等の各種信号が供給されるようになっている。

また保護基板２１１上のマニホールド２０５に対応する領域にはコンプライアンス基板２１５が接合されている。このコンプライアンス基板２１５には、マニホールド２０５に対応する領域に、他の領域よりも厚さが薄い可撓部２１６が設けられており、マニホールド２０５内の圧力変化が、この可撓部２１６が変形することで吸収されるようになっている。また、コンプライアンス基板２１５には、マニホールド２０５に連通するインク導入口２１７が形成されている。

コンプライアンス基板２１５上には、このインク導入口２１７に連通すると共にカートリッジケース１００のインク連通路１０２に連通するインク供給連通路２１８が設けられたヘッドケース２１９が接合されている。そして、これらインク連通路１０２、インク供給連通路２１８及びインク導入口２１７を介してインクがマニホールド２０５内に供給されるようになっている。またこのヘッドケース２１９には、駆動ＩＣ２１３に対向する領域に、厚さ方向に貫通する駆動ＩＣ保持部２２０が設けられており、図示しないが、この駆動ＩＣ保持部２２０内には各駆動ＩＣ２１３を覆うようにポッティング剤が充填される。

このような構成の記録ヘッド本体２００では、マニホールド２０５からノズル２０６に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２１３からの記録信号に従い、圧力発生室２０２に対応するそれぞれの圧電素子２０９に電圧を印加し、弾性膜２０８及び圧電素子２０９をたわみ変形させて各圧力発生室２０２内のインクに圧力を付与することにより、ノズル２０６からインク滴が噴射する。

そして記録ヘッド１は、このような記録ヘッド本体２００が、複数個（本実施形態では４個）、所定間隔で互いに位置決めされた状態で固定板３００に固定されてなる。固定板３００には、ノズル２０６を露出する露出口３０１が、各記録ヘッド本体２００に対応して設けられている。すなわち固定板３００は、各記録ヘッド本体２００の間に対応する部分に梁部３０２を有し、露出口３０１が各記録ヘッド本体２００に対応して形成されている（図２参照）。このような梁部３０２を有する固定板３００に、各記録ヘッド本体２００のノズルプレート２０７側の面が接着剤によって接合されている。なお、固定板３００の梁部３０２は、記録ヘッド本体２００間にインクが侵入するのを防止するための役割を果たす。また梁部３０２により、各記録ヘッド本体２００のノズルプレート２０７の周囲に接着領域が確保されるため、各記録ヘッド本体２００が固定板３００に強固に固定される。

また固定板３００の周縁部には側壁部３０３が設けられている。すなわち本実施形態に係る固定板３００は、一方面側が開口する略箱形に形成されており、側壁部３０３によって画成される空間部３０４を有する（図１参照）。そして、各記録ヘッド本体２００のノズルプレート２０７は、固定板３００の空間部３０４の底面に接着固定されている。

図６は、固定板の平面図であり、図７は、図６のＡ−Ａ′線及びＢ−Ｂ′線に対応する部分の記録ヘッドの断面図である。

ここで固定板３００に形成された露出口３０１の縁部は、図６及び図７に示すように、流路形成基板２０１に形成された連通部（マニホールド）に対向する領域に位置している。そして、固定板３００のノズルプレート２０７側の面には、マニホールド２０５に対向する露出口３０１の縁部を窪ませた凹部３０５が設けられている。本実施形態では、この凹部３０５が、露出口の縁部の全周に亘って設けられることなく、マニホールド２０５に対向する部分のみに設けられている。

また固定板３００の露出口３０１の縁部には、凹部３０５に対応する部分を除いて、ノズルプレート２０７側に突出する突出部３０６が形成されている。例えば、本実施形態では、突出部３０６は、ノズルの列方向における露出口３０１の縁部に設けられている。固定板３００の露出口３０１は、例えば、プレス加工により固定板３００が打ち抜かれることによって形成される。その際に生じるいわゆる「ばり」が、露出口３０１の縁部に突出部３０６として存在している。

凹部３０５は、打ち抜き加工により露出口３０１を形成後、さらに固定板３００をプレス加工することによって形成されている。このとき突出部３０６は潰されるため、凹部３０５内には突出部３０６が存在しない。また、打ち抜き加工により露出口３０１を形成していることで、ノズルプレート２０７とは反対側の面には、露出口３０１の縁部を面取りした面取り部３０７が設けられている。つまり打ち抜き加工により露出口３０１を形成する際に、その角部がだれることによって面取り部３０７が形成されている。

そして固定板３００に記録ヘッド本体２００のノズルプレート２０７を接着剤３５０によって接合する際、固定板３００の突出部３０６がノズルプレート２０７のマニホールド（連通部）の外側の領域に食い込むことになる。これにより、ノズルプレート２０７が固定板３００と電気的に接続される。したがって、ノズルプレート２０７に溜まった静電気を、固定板３００を介して良好に除去することができる。

これに対し、マニホールド２０５に対向する露出口３０１の縁部には凹部３０５が設けられているため、ノズルプレート２０７のマニホールド２０５に対向する部分には、突出部３０６が当接することはない。したがってノズルプレート２０７のマニホールド２０５に対向する部分に、固定板３００によってマニホールド２０５の内側に向かって押圧する力が働くことはなく、ノズルプレート２０７のマニホールド２０５に対向する部分の外側の領域にも、逆方向の力が働くことはない。したがって、ノズルプレート２０７が流路形成基板２０１から剥離してしまうのを防止することができる。

また固定板３００の凹部３０５内には、図８（ａ）に示すように、記録ヘッド本体２００と固定板３００とを接合するための接着剤３５０が充填されるようにしてもよい。或いは、図８（ｂ）に示すように、凹部３０５内の表面に、撥液性（撥インク性）を有する材料からなる撥水膜３１０を設けるようにしてもよい。このような構成とすることで、ノズルからインク滴を噴射した際に発生するインクミストがこの凹部３０５内に溜まってしまうことを防止することができる。

そして、このような構成の記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置に搭載される。図９は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図９に示すように、記録ヘッド本体を有する記録ヘッド１には、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられてキャリッジ３に搭載される。記録ヘッド１が搭載されたキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１が搭載されたキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。

また、キャリッジ３のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１のノズルが開口するノズル面を封止するキャップ部材９が設けられている。なおキャップ部材９にはその内部を吸引する吸引手段（図示なし）が接続されている。本実施形態では、キャップ部材９は、上述した各記録ヘッド本体２００に対応して複数（４つ）設けられている。これらのキャップ部材９は、各記録ヘッド本体２００のノズル面を封止することにより、記録ヘッド１のノズル近傍のインクの乾燥を防止すると共に、例えば、ノズルからインク滴を噴射させるフラッシング動作、あるいは、所定のタイミングで吸引手段によってキャップ部材９の内部を吸引してノズルからインク等を強制的に排出させる吸引動作時等のインク受けとして機能するものである。

このようなキャップ部材９によって記録ヘッド１を構成する各記録ヘッド本体２００のノズル面を封止しようとすると、各記録ヘッド本体２００間に、キャップ部材９が当接するためのスペースが確保されている必要がある。本実施形態の構成では、記録ヘッド本体２００のノズル面に含まれる固定板３００の梁部３０２に、キャップ部材９が当接することになるため、梁部３０２の幅が比較的広く確保されている必要がある。本発明では、上述したように、固定板３００に形成される露出口３０１の縁部がマニホールド２０５に対向する位置にあり、梁部３０２の幅が比較的広く確保されるため、キャップ部材９が各記録ヘッド本体２００に対応して設けられていても、各記録ヘッド本体２００のノズル面を良好に封止することができる。

さらに、このようなキャップ部材９に隣接して、記録ヘッド１のノズル面をクリーニング（ワイピング）するためのクリーニングブレード１０が設けられている。そして、所定のタイミングでキャリッジ３を移動させることにより、記録ヘッド１のノズル面にクリーニングブレード１０の先端部を摺接させ、ノズル面（ノズルプレート２０７の表面）を払拭するクリーニング動作が実行される。このとき、固定板３００の露出口３０１が小さいと、クリーニングブレード１０によってノズルプレート２０７の表面を良好に払拭することができない虞がある。しかしながら本発明では、上述したように固定板３００に形成される露出口３０１の縁部がマニホールド２０５に対向する位置にあり、露出口３０１が比較的広く確保されている。したがって、クリーニングブレード１０によってノズルプレート２０７の表面を良好に払拭することができる。さらに、上述したように本実施形態では、露出口３０１の縁部に面取り部３０７が設けられていることで、クリーニングブレード１０が固定板３００に引っかかることがなく、クリーニング動作を良好に実施することができる。

以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、固定板の露出口の縁部の一部に凹部が設けられ、それ以外の部分に突出部が設けられた構成を例示したが、固定板の構成はこれに限定されるものではない。例えば、突出部は必ずしも設けられていなくてもよく、露出口の全周に亘って凹部が設けられていてもよい。なおこのような構成とする場合には、ノズルプレートの静電気を除去するために、他の部分でノズルプレートと固定板とを電気的に接続しておくことが好ましい。例えば、ノズルプレートの外周部に、固定板側に向かって突出する突出部（いわゆる「ばり」）が形成されるようにし、この突出部でノズルプレートと固定板とが電気的に接続されるようにしてもよい。

さらに、上述の実施形態では、固定板の凹部がプレス加工で形成されているため、凹部内には突出部が存在しないが、ノズルプレートに当接しない程度の高さであれば、凹部内に突出部が存在していてもよい。

また、上述した実施形態では、圧力発生室内の液体に圧力を付与する圧力発生手段として、撓み振動型の圧電素子を例示したが、圧力発生手段は、特に限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子であってもよいし、発熱素子等であってもよい。

なお、上述の実施形態では、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドを例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。

１ インクジェット式記録ヘッド、 １００ カートリッジケース、 １０１ カートリッジ装着部、 １０２ インク連通路、 １０３ インク供給針、 ２００ インクジェット式記録ヘッド本体、 ２０１ 流路形成基板、 ２０２ 圧力発生室、 ２０３ 連通部、 ２０５ マニホールド、 ２０６ ノズル、 ２０７ ノズルプレート、 ２０８ 弾性膜、 ２０９ 圧電素子、 ２１１ 保護基板、 ２１５ コンプライアンス基板、 ２１９ ヘッドケース、 ３００ 固定板、 ３０１ 露出口、 ３０２ 梁部、 ３０３ 側壁部、 ３０４ 空間部、 ３０５ 凹部、 ３０６ 突出部、 ３０７ 面取り部、 ３１０ 撥水膜、 ３５０ 接着剤

Claims (6)

1. 複数のノズルが穿設されたノズルプレートと、前記ノズルに連通する複数の圧力発生室及びこれら複数の圧力発生室が連通するマニホールドが形成された流路形成基板と、前記圧力発生室に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段と、を有する複数のヘッド本体と、前記ノズルが露出される露出口を有し各ヘッド本体が位置決め固定される固定板と、を具備し、
   前記固定板に形成された前記露出口の縁部が前記マニホールドに対向する領域に位置しており、
   前記固定板の前記ノズルプレート側の面には、前記マニホールドに対向する前記露出口の縁部を窪ませた凹部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記ノズルプレートが金属材料で形成されており、
   前記凹部が、前記露出口の縁部の前記マニホールドに対向する部分のみに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記固定板の前記ノズルプレートとは反対側の面には、前記露出口の縁部を面取りした面取り部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記凹部内には、前記ヘッド本体と前記固定板とを接合するための接着剤が充填されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記凹部内には、撥水膜が設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

Images