JP5472595B2

JP5472595B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

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Publication number: JP5472595B2
Application number: JP2009195984A
Authority: JP
Inventors: 寛之小林
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-08-26
Filing date: 2009-08-26
Publication date: 2014-04-16
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Also published as: US8550254B2; US20110050821A1; JP2011046081A

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドとして有用なものである。

液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、このインクカートリッジに着脱可能に挿入されるインク供給体となるインク供給針及びインクカートリッジが保持されるカートリッジケース等の供給部材に形成されたインク流路を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に設けられた圧電素子等の圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから吐出される。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。

このような問題を解決するために、インクカートリッジに挿入されるインク供給針と供給部材との間にインク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルターを設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に記載するインクジェット式記録ヘッドでは、フィルターと供給部材とは、熱溶着等により固定され、インク供給針と供給部材とは超音波溶着等により固定されている。

しかしながら、特許文献１のような構成では、供給部材のインク供給針が固定される領域にフィルターが設けられているため、フィルターの面積に応じた領域が必要であると共に、供給部材にインク供給針及びフィルターをそれぞれ個別に溶着するための領域が必要であるため、隣り合うインク供給針の間隔を短くすることができず、ヘッドが大型化してしまう等の問題がある。

そこで、かかる問題点を解決し、インクジェット式記録ヘッドの小型化を図るべく、フィルターをインク供給針と供給部材との間に挟持し、かかる状態でインク供給針及び供給部材を樹脂成型により一体化したインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば特許文献２参照）。

特開２０００−２１１１３０号公報特開２００９−１３２１３５号公報

上記特許文献２に開示するインクジェット式記録ヘッドでは、インク供給針と供給部材を樹脂成型により一体化する際に、インク供給針と供給部材との間に挟持されたフィルターにもその周縁部の一部に樹脂を回り込ませ、この樹脂によってもフィルターをインク供給針及び供給部材に固定する構造を採っている。

しかしながら、特許文献２のような構造では、フィルターに樹脂を回り込ませてあるので、樹脂成型の際の射出圧や充填樹脂の収縮によりフィルターの挟持部が変形し、これに伴いフィルターに撚れが発生し、フィルターが流路内に張り付く結果、圧力損出が大きくなり、同時に気泡排出性も悪化するという新たな問題を生起している。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、成形樹脂の射出圧の作用や収縮等におけるフィルターの撚れを未然に防止し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成する本発明の態様は、液体供給路を介して供給された液体を噴射するノズル開口を有するヘッド本体と、前記液体供給路が設けられて前記液体を導入するための導入口を有する第１供給部材と、前記第１供給部材の下流側に配置され、前記液体供給路が設けられた第２供給部材と、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に前記液体供給路を横断して設けられたフィルターと、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間で前記フィルターを挟持した状態で前記第１供給部材と前記第２供給部材とを樹脂により固定している一体成型部とを備える液体噴射ヘッドであって、前記第１供給部材と前記第２供給部材とには、前記フィルターを挟持する挟持部が設けられており、前記第１供給部材又は前記第２供給部材の一方には壁部が設けられており、該壁部は前記フィルターの外周を取り囲むように、前記フィルターと前記樹脂との間に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、一体成型のための樹脂は壁部の外周に接触することでフィルターに接触することはないので、成形樹脂の射出圧や収縮等に起因する力がフィルターに作用することはない。

この結果、樹脂成型によるフィルターの撚れを防止して、圧力損出の低下を防止する一方、気泡の排出性は良好にこれを維持することができる。

ここで、前記第１供給部材又は前記第２供給部材の他方には、前記壁部の少なくとも一部を収容する溝部を設けても良い。このことによりフィルターに対する壁部による樹脂の隔離効果をより確実なものとすることができる。

さらに、この場合において、前記壁部は弾性変形可能であり、しかも前記壁部の内周面と前記フィルターの外周面との間には前記溝部に臨む空間が形成されていることが望ましい。一体化樹脂の押圧力が壁部に作用した場合、この壁部が空間側に弾性変形することで、壁部の先端と溝部との間でかしめ効果が発揮されることとも相俟ってフィルターの挟持部に対する成形樹脂の射出圧の作用や収縮等による外力の作用を低減することができるからである。

さらに、前記壁部の前記樹脂と接触する面に溝を設けても良い。この場合には、壁部と樹脂との接着面積を増加させることによる接着力の向上を図ることができる。

本発明の他の態様は、上述の如き液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、小形化を図った上で、フィルターの撚れがない良好な気泡排出性を有するとともに圧力損出も小さい液体噴射ヘッドとすることができる。

本発明の実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。本発明の実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。本発明の実施形態に係る供給部材の上面図である。本発明の実施形態に係る供給部材の断面図である。図４の一部を抽出・拡大して示す拡大断面図である。本発明の実施形態に係る供給部材の製造方法を示す断面図である。本発明の実施形態に係る供給部材の製造方法を示す断面図である。本発明の実施形態に係るヘッド本体を示す分解斜視図である。本発明の実施形態に係るヘッド本体を示す断面図である。本発明の他の実施形態に係る供給部材の断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。本発明のインクジェット式記録装置１０は、図１に示すように、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドとも言う）１１がキャリッジ１２に固定され、この記録ヘッド１１には、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留された液体貯留手段であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。

記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。一方、装置本体１４にはキャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。

また、キャリッジ１２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸１５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１１のノズル形成面を封止するキャップ部材１９を有するキャッピング装置２０が設けられている。このキャップ部材１９によってノズル開口が形成されたノズル形成面を封止することにより、インクの乾燥を防止している。また、このキャップ部材１９は、フラッシング動作時のインク受けとしても機能する。

ここで、本実施形態に係る記録ヘッド１１について説明する。なお、図２は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図である。

図２に示すように、記録ヘッド１１は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３が固定されるカートリッジケース等の供給部材３０と、供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側の面に固定されたヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面側に設けられたカバーヘッド２４０とを具備する。

まず、供給部材３０について詳細に説明する。なお、図３は、供給部材の上面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ'線拡大断面図である。

図４に示すように、供給部材３０は、本実施形態では第２供給部材に相当するフィルター取付部材３１と、フィルター取付部材３１の一方面側に設けられた第１供給部材としての供給針３２と、フィルター取付部材３１と供給針３２との間に設けられたフィルター３３と、フィルター取付部材３１と供給針３２の外周に設けられた樹脂による一体成型部であるアウター部３４とを具備する。供給部材３０には、一方面に上述したインクカートリッジ１３がそれぞれ装着される。

また、フィルター取付部材３１には、後述するフィルター３３よりも下流側にあって、一端がフィルター取付部材３１の上方に開口し、他端がヘッド本体２２０側に開口して、インクカートリッジ１３からのインクをヘッド本体２２０に供給するための液体供給路３６が設けられている。なお、液体供給路３６は、フィルター取付部材３１の長手方向に並設されて複数設けられており、インクの色毎に設けられたインクカートリッジ１３に対してそれぞれ独立して設けられている。

さらに、フィルター取付部材３１には、各液体供給路３６が開口する領域の周囲に亘って挟持部３７が設けられている。これに対し供給針３２において挟持部３７に対向する部分には同様の挟持部４０が形成されている。フィルター３３は、その外縁部が挟持部３７，４０に当接してフィルター取付部材３１と供給針３２とで挟持される。

すなわち、供給針３２は、フィルター取付部材３１側の端部近傍にフランジ部３９を有しており、このフランジ部３９の挟持部３７に対応する領域が挟持部４０となっている。

ここで、供給体となる供給針３２は、フィルター取付部材３１の表面に固定されるものであり、液体供給路３６に連通する貫通路３８を有する。この供給針３２は、インクカートリッジ１３から供給されたインクをフィルター取付部材３１に供給するための部材である。

さらに、本実施形態における供給針３２のフランジ部３９の最外周部、すなわち挟持部４０の外周側にはフィルター取付部材３１側に伸びる壁部４３が設けてある。この壁部４３は、その外周に接触するアウター部３４の樹脂からフィルター３３を隔離するようにフィルター３３の外周をそれぞれ取り囲んでいる。

かかる壁部４３及びその近傍部分の構成を、この部分を抽出・拡大して示す図５に基づきさらに詳細に説明する。同図に示すように、壁部４３はフランジ部３９に一体的に連続する比較的薄肉部分で弾性変形可能に形成してあり、その内周面とフィルター３３の外周面との間には溝部４９に臨む空間４８が形成されている。この結果、アウター部３４を成型する際の一体化樹脂の押圧力が壁部４３に作用した場合、この壁部４３が空間４８側に弾性変形することで、壁部４３の先端と溝部４９との間でかしめ効果が発揮される。この結果、かかるかしめ効果とも相俟ってフィルター３３の挟持部４０に対する成形樹脂の射出圧の作用や収縮等による外力の作用を良好に低減することができる。すなわち、壁部４３により挟持部３７，４０に挟持されたフィルター３３をアウター部３４を成型する際の樹脂から隔離することで、フィルター３３に樹脂が回り込むことを防止することができる。この結果、樹脂成型に伴う射出圧乃至収縮圧の影響を低減し得る。加えて本実施形態においては、壁部４３のかしめ効果を伴う弾性変形により樹脂成型に伴う射出圧乃至収縮圧の影響が挟持部３７，４０に及ぶのを確実に防止し得る。

供給針３２の貫通路３８の液体供給路３６との接続領域には、他の領域よりも内径の大きい空間、すなわち幅広部であるフィルター室４１が設けられている。このフィルター室４１は、例えば本実施形態では、フィルター取付部材３１側ほど内径が大きくなるように形成されている。なお、このフィルター室４１は、フィルター３３の面積を大きくしてインクが通過する際の抵抗をできるだけ小さくするために、貫通路３８の他の領域よりも大きい内径で形成されている。

フィルター３３は、例えば金属が細かく編みこまれたシート状のものであり、前述の如くフィルター取付部材３１と供給針３２とで挟持されている。また、本実施形態では、フィルター３３の外周面は、挟持部３７，４０の外周面と一致するように形成してある。

本実施形態におけるフィルター３３は、１つの液体供給路３６毎に独立して設けてあり、それぞれが壁部４３でアウター部３４の樹脂から隔離されている。

アウター部３４は、フィルター取付部材３１と供給針３２との外周に一体成形により形成された樹脂からなる。本実施形態では、複数の供給針３２とフィルター取付部材３１との境界の周囲に亘って１つのアウター部３４を設けるようにした。

このようなアウター部３４は、フィルター取付部材３１と供給針３２との外周に、フィルター取付部材３１及び供給針３２の端面と、フィルター取付部材３１及び供給針３２のフィルター３３とは反対側の面とに亘って設けられている。これにより、フィルター取付部材３１と供給針３２とが固定されて一体化している。すなわち、アウター部３４は、フィルター取付部材３１の挟持部３７と、供給針３２の挟持部４０との間でフィルター３３を挟持した状態でフィルター取付部材３１と供給針３２とを一体化して固定している。

このように、一体成形により形成されたアウター部３４によって、フィルター取付部材３１、供給針３２及びフィルター３３を一体化することで、フィルター取付部材３１に供給針３２及びフィルター３３を溶着するための領域が不要となり、隣り合う供給針３２の間隔を短くすることができ、ヘッドを小型化することができる。また、ヘッドの小型化を図るためにフィルター３３の面積を小さくする必要がなく、動圧が上がるのを防止して圧電素子３００を駆動する駆動電圧を上げる必要がなくなる。

また、アウター部３４を用いることで、フィルター取付部材３１にフィルター３３と供給針３２とを同時に固定することができるため、フィルター取付部材３１にフィルター３３及び供給針３２をそれぞれ固定する必要がなくなり、製造コストを低くすることができる。

さらに、フィルター取付部材３１と供給針３２とをアウター部３４によって固定するため、フィルター取付部材３１と供給針３２との間に隙間が発生するのを防止して、隙間からインクが漏出するのを防止することができる。ちなみに、アウター部３４は２つの供給針３２の間にも形成されている。

次に、上述の如きインクジェット式記録ヘッド１１、特に供給部材３０の製造方法について詳細に説明する。なお、図６及び図７は、供給部材の製造方法を示す断面図である。

まず、図６（ａ）に示すように、フィルター取付部材３１の挟持部３７と供給針３２の挟持部４０との間にフィルター３３を挟持させる。すなわち、フィルター取付部材３１の挟持部３７と供給針３２の挟持部４０とをフィルター３３を介在させた状態で当接させる。

次に、図６（ｂ）に示すように、フィルター取付部材３１と供給針３２との境界の外周に亘って金型２００を嵌合する。金型２００は、上下に分割された部材からなり、内部にアウター部３４が形成されるキャビティ２０１が設けられている。また、金型２００には、キャビティ２０１と外部とを連通するゲート２０２が設けられている。

そして、図７に示すように、アウター部３４を一体成形により形成して供給部材３０を形成する。具体的には、溶融した樹脂を金型２００のゲート２０２を介してキャビティ２０１内に充填することで、アウター部３４を成形する。このとき、キャビティ２０１内に充填された溶融された樹脂は、壁部４３によりその内部の空間４８側への流入が阻害される。すなわち、フィルター３３は壁部４３でその外周面に接触する樹脂から隔離される。

これにより、アウター部３４が、液体供給路３６の周囲に亘って設けられてフィルター取付部材３１、供給針３２及びフィルター３３を固定して一体化している。

このように形成された供給部材３０は、フィルター取付部材３１にフィルター３３及び供給針３２をそれぞれ溶着する工程が不要となり、アウター部３４を一体成形により形成する一工程でフィルター取付部材３１、供給針３２及びフィルター３３を固定して一体化することができる。したがって、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。

さらに、本実施形態では成型樹脂の射出圧乃至収縮圧に起因する外力の挟持部３７，４０及びフィルター３３部分に対する作用を防止することができるので、これによるフィルター３３の撚れを有効に防止することができる。

また、このような供給部材３０の液体供給路３６の他方側、すなわち、供給針３２とは反対側にはヘッド本体２２０が設けられている。ここで、ヘッド本体２２０について説明する。なお、図８は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図９は、ヘッド本体の断面図である。

両図に示すように、ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板６０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板６０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、後述するリザーバー形成基板８０に設けられるリザーバー部８１と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成する連通部６３が形成されている。また、連通部６３は、インク供給路６４を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板６０に形成された液体流路として、圧力発生室６２、連通部６３及びインク供給路６４が設けられている。

また、流路形成基板６０の開口面側には、ノズル開口７１が形成されたノズルプレート７０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート７０が設けられており、当該ノズルプレート７０は後で詳述するカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤等によって固定されている。なお、ノズルプレート７０のノズル開口７１は、各圧力発生室６２のインク供給路６４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板６０に圧力発生室６２が並設された列
を２列設けたため、１つのヘッド本体２２０にノズル開口７１の並設されたノズル列７１Ａが２列設けられている。そして、本実施形態では、このノズルプレート７０のノズル開口７１が開口する面が液体噴射面となっている。このようなノズルプレート７０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。

一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。

このような圧電素子３００が形成された流路形成基板６０上には、リザーバー１００の少なくとも一部を構成するリザーバー部８１を有するリザーバー形成基板８０が接合されている。このリザーバー部８１は、本実施形態では、リザーバー形成基板８０を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板６０の連通部６３と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成している。

また、リザーバー形成基板８０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部８２が設けられている。

さらに、リザーバー形成基板８０上には、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路１１０が設けられている。この駆動回路１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤー等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動回路１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。

また、このようなリザーバー形成基板８０上には、コンプライアンス基板１４０が接合されている。コンプライアンス基板１４０のリザーバー１００に対向する領域には、リザーバー１００にインクを供給するためのインク導入口１４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板１４０のリザーバー１００に対向する領域のインク導入口１４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部１４３となっており、リザーバー１００は、可撓部１４３により封止されている。この可撓部１４３により、リザーバー１００内にコンプライアンスを与えている。

また、コンプライアンス基板１４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。

ヘッドケース２３０は、インク導入口１４４に連通すると共に供給部材３０の液体供給路３６に連通して、供給部材３０からのインクをインク導入口１４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板１４０の可撓部１４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部１４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバー形成基板８０上に設けられた駆動回路１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動回路保持部２３３を挿通して駆動回路１１０と接続されている。

また、ヘッドケース２３０を介して供給部材３０に保持されたヘッド本体２２０は、図２に示すように、５つのヘッド本体２２０の液体噴射面側を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０によって相対的に位置決めされて保持されている。カバーヘッド２４０は、ノズル開口７１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成すると共にヘッド本体２２０の液体噴射面の少なくともノズル列７１Ａの並設されたノズル開口７１の両端部側に接合される接合部２４２とを具備する。

接合部２４２は、本実施形態では、複数のヘッド本体２２０に亘って液体噴射面の外周に沿って設けられた枠部２４３と、隣接するヘッド本体２２０の間に延設されて露出開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されており、枠部２４３及び梁部２４４がヘッド本体２２０の液体噴射面、すなわちノズルプレート７０の表面に接合されている。

また、カバーヘッド２４０には、ヘッド本体２２０の液体噴射面の側面側に、液体噴射面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。

このようにカバーヘッド２４０は、接合部２４２をヘッド本体２２０の液体噴射面に接着するようにしたため、液体噴射面とカバーヘッド２４０との段差を減少させることができ、液体噴射面のワイピングや吸引動作などを行っても、液体噴射面にインクが残留するのを防止することができる。また、梁部２４４によって隣接するヘッド本体２２０の間が塞がれているため、隣接するヘッド本体２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動回路１１０などのインクによる劣化及び破壊を防止することができる。

また、ヘッド本体２２０の液体噴射面とカバーヘッド２４０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体Ｓが入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。さらに、側壁部２４５が、複数のヘッド本体２２０の外周縁部を覆うことで、ヘッド本体２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。また、カバーヘッド２４０に、ヘッド本体２２０の液体噴射面と接合される接合部２４２を設けるようにしたため、複数のヘッド本体２２０の各ノズル列７１Ａをカバーヘッド２４０に対して高精度に位置決めして接合することができる。

このようなカバーヘッド２４０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成形により形成するようにしてもよい。また、カバーヘッド２４０を導電性の金属材料とすることで、接地することができる。

なお、カバーヘッド２４０とノズルプレート７０との接合は、特に限定されず、例えば、熱硬化性のエポキシ系接着剤や、紫外線硬化型の接着剤による接着などが挙げられる。

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１１は、インクカートリッジ１３からのインクを液体供給路３６から取り込み、インク供給連通路２３１及びインク導入口１４４を介して、リザーバー１００からノズル開口７１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル開口７１からインク滴が吐出する。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、図５に示すような空間４８及び溝部４９を形成したがこれは必須ではない。壁部によってフィルターが樹脂から隔離されるような構造であれば特に限定はされない。すなわち溝４９がなくても、また空間４８がなくても構わない。ただ、上記実施形態のように空間４８及び溝４９を設けた場合が最も効果的に樹脂成型の際の射出圧乃至収縮に伴う外力のフィルター３３に対する影響を回避することができる。

また、壁部は壁部４３と同様の機能を発揮するようにフィルター取付部材３１側に形成することもできる。すなわち、壁部はフィルター取付部材３１（第１供給部材）又は供給針３２（第２供給部材）の何れか一方に設ければよい。この場合において、溝部を形成する場合は他方の部材にこれを形成する。

さらに、壁部４３において樹脂と接触する面に溝を設けても良い。この場合には、壁部と樹脂との接着面積を増加させることによる接着力の向上を図ることができる。

また、上述した実施形態では、独立の２つの供給針３２を一つのヘッド本体２２０に対応させた場合について説明したが、特にこれに限定されず、例えば、図１０に示すように、フィルター取付部材３１Ａに一個の供給針３２Ａを組み合わせ、フィルター取付部材３１Ａ及び供給針３２Ａのそれぞれの外周にアウター部３４Ａを設けるようにしてもよい。なお、図１０中、図４と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。

また、上述した実施形態では、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３を供給部材３０に着脱自在となるように設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、液体貯留手段として、インクタンク等を記録ヘッド１１とは異なる位置に設け、液体貯留手段と記録ヘッド１１とをチューブなどの供給管を介して接続するようにしてもよい。すなわち、上述した実施形態では、供給体として針状の供給針３２を例示したが、供給体は、針状のものに限定されるものではない。

また、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１１を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。

１０インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１１インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、３０，３０Ａ供給部材、３１，３１Ａフィルター取付部材、３２，３２Ａ供給針、３３フィルター、３４，３４Ａアウター部、３７，４０挟持部、４３壁部、４８空間、４９溝部、２００金型、２２０ヘッド本体、２４０カバーヘッド

Claims

液体供給路を介して供給された液体を噴射するノズル開口を有するヘッド本体と、前記液体供給路が設けられて前記液体を導入するための導入口を有する第１供給部材と、前記第１供給部材の下流側に配置され、前記液体供給路が設けられた第２供給部材と、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に前記液体供給路を横断して設けられたフィルターと、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間で前記フィルターを挟持した状態で前記第１供給部材と前記第２供給部材とを樹脂により固定している一体成型部とを備える液体噴射ヘッドであって、
前記第１供給部材と前記第２供給部材とには、前記フィルターを挟持する挟持部が設けられており、
前記第１供給部材又は前記第２供給部材の一方には壁部が設けられており、該壁部は前記フィルターの外周を取り囲むように、前記フィルターと前記樹脂との間に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１供給部材又は前記第２供給部材の他方には、前記壁部の少なくとも一部を収容する溝部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記壁部は弾性変形可能であり、しかも前記壁部の内周面と前記フィルターの外周面との間には前記溝部に臨む空間が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記壁部の前記樹脂と接触する面には溝が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。