JP5741146B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、ノズルと連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板上に設けられた圧電素子の変位によりノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

従来から、圧電素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このようなインクジェット式記録ヘッド（ユニット）としては、例えば、圧力発生室が形成された流路形成基板に、ノズル開口が穿設されたノズルプレート、ヘッドケース等が接合されてヘッド本体が構成され、これら複数のヘッド部材（ヘッド本体）が固定部材（固定板）に接着固定されると共に、ヘッドケースによって覆われているものがある（例えば、特許文献１参照）。

このように複数のヘッド部材を有するインクジェット式記録ヘッドにおいては、ヘッド部材間の隙間にインクが溜まってしまい、例えば、そのインクが記録媒体に付着してしまい、印刷不良が発生するといった問題があった。

このような問題を解決するために、例えば、固定部材（カバープレート）上に複数のヘッド部材（フロントヘッドユニット）が並設されて固定された構成において、これらヘッド部材間の隙間に接着剤が充填されているものがある（例えば、特許文献２参照）。

特開２００５−０９６４１９号公報 特開２００６−６２３７３号公報

しかしながら、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、ヘッド部材間の隙間を埋めた接着剤によって固定部材、つまりノズル面が湾曲してしまう虞がある。具体的には、接着剤は硬化させると若干収縮するため、この収縮に伴って固定部材が湾曲してしまう虞がある。そして、固定部材が湾曲してしまうと、インク滴の吐出方向にばらつきが生じてしまい、印刷品質を良好に維持することができなくなる虞がある。

例えば、ヘッド部材間の隙間に充填する接着剤として比較的粘度の高いものを用いることで固定部材の湾曲を小さく抑えることはできるかもしれない。しかしながら、ヘッド部材間の隙間は狭いため、粘度の高い接着剤を良好に充填することができない虞がある。またヘッド部材間の間隔を広げることで、このような問題は解消することはできるが、ヘッドが大型化してしまうため好ましくない。さらに、ヘッド部材間の隙間に充填した接着剤によってヘッド部材と固定部材とを接着していることもあり、このような場合には、接着剤が良好に充填されていないとヘッド部材と固定部材との接合不良が生じる虞もある。

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、近接して配置した各ヘッド部材間の隙間を接着剤によって確実に塞ぐことができ且つ各ヘッド部材と固定部材とをその接着剤によって良好に固定することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、圧力発生素子の駆動によって圧力発生室内の液体をノズルから噴射するヘッド本体及び前記圧力発生室に液体を供給するための流路が形成されて前記ヘッド本体の液体噴射面とは反対の面に接合されるヘッドケースを有する複数のヘッド部材と、前記複数のヘッド部材が所定間隔で前記液体噴射面を接着されて位置決め固定される固定部材と、前記複数のヘッド部材の隙間に充填されて硬化した充填部と、
を備え、前記ヘッドケースは、前記充填部に接する壁部に前記充填部の収縮を吸収するコンプライアンス部を有することを特徴とする。

前記コンプライアンス部は、前記壁部に形成された溝部を有することを特徴とする。

前記溝部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体に接合される面とは反対側の面側から、前記壁部に沿って形成されたスリット溝であることを特徴とする。

前記スリット溝の一部は、前記壁部の外面又は内面まで貫通することを特徴とする。

前記コンプライアンス部は、前記充填部に接しない位置に形成されることを特徴とする。

本発明に係る液体噴射装置は、上述したいずれかの液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ａの概略構成を示した斜視図である。 本実施形態に係る記録ヘッド１の構成を示す分解斜視図である。 記録ヘッド１を示す斜視図である。 記録ヘッド１の要部断面図である。 ヘッド部材２００の分解斜視図である。 ヘッド部材２００の断面図である。 記録ヘッド１の要部断面図である。 ヘッドケース２５０を示す平面図及び断面図である。 ヘッドケース２５０の変形例（カートリッジケース１００への接着面）を示す図である。

以下、本発明の実施形態に係るインクジェット式記録装置について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

［インクジェット式記録装置Ａ］
図１は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ａの概略構成を示した斜視図である。
インクジェット式記録装置（液体噴射装置）Ａは、インクを噴射する記録ヘッド１、記録ヘッド１を搭載するキャリッジ２及びインクが着弾する記録紙Ｓを支持するプラテン３等を備えている。
キャリッジ２は、キャリッジモータ４により駆動されるタイミングベルト５を介して、キャリッジ軸６に案内されて往復移動するように構成されている。
プラテン３は、記録媒体である記録紙Ｓをその裏面から支持して、記録ヘッド１に対する記録紙Ｓの位置を規定する。

記録ヘッド１は、キャリッジ２の記録紙Ｓに対向する面側に搭載される。そして、キャリッジ２には、記録ヘッド１にインクを供給する複数のインクカートリッジ７が着脱可能に装着されている。

［記録ヘッド１］
図２は、本実施形態に係る記録ヘッド１の構成を示す分解斜視図である。
図３は、記録ヘッド１を示す斜視図である。
図４は、記録ヘッド１の要部断面図である。

インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）１は、カートリッジケース１００と、ヘッド部材２００と、複数のヘッド部材２００が位置決め固定される固定板３００と、カバーヘッド４００とを有する。
カートリッジケース１００は、例えば、樹脂材料で形成され、インクを供給するインクカートリッジ７がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部１０１を有する。
また、カートリッジケース１００の底面側には、一端が各カートリッジ装着部１０１に開口し、他端がヘッド部材２００側に開口する複数のインク連通路１０２が設けられている。さらに、カートリッジ装着部１０１のインク連通路１０２の開口部分には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針１０３が固定されている。

このカートリッジケース１００の底面に、所定間隔で位置決めされた複数（例えば４個）のヘッド部材２００が固定されて記録ヘッド１が構成されている。記録ヘッド１の各ヘッド部材２００は、各色のインクに対応してそれぞれ設けられている。
また、各ヘッド部材２００は、固定板（固定部材）３００に接着固定されることにより互いに位置決めされている。このように位置決めされた状態で各ヘッド部材２００はカートリッジケース１００の底面に固定されている。

[ヘッド部材２００]
図５は、ヘッド部材２００の分解斜視図である。
図６は、ヘッド部材２００の断面図である。
図７は、記録ヘッド１の要部断面図である。
ヘッド部材２００は、ヘッド本体２１０とヘッドケース２５０とで構成されている。
ヘッド本体２１０を構成する流路形成基板２１１は、例えば、シリコン単結晶基板からなり、その一方面側には予め熱酸化することによって二酸化シリコンからなる弾性膜２１２が形成されている。また、流路形成基板２１１には複数の圧力発生室２１３が、流路形成基板２１１をその他方面側から異方性エッチングすることにより形成されている。例えば、流路形成基板２１１には、圧力発生室２１３が幅方向に並設された列が２列形成されている。
また、各列の圧力発生室２１３の長手方向外側には連通部２１４が形成され、連通部２１４は後述する保護基板に設けられるリザーバ部と連通し、各圧力発生室２１３の共通のインク室となるリザーバ２１５を構成している。また、連通部２１４は、インク供給路２１６を介して各圧力発生室２１３の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。

流路形成基板２１１の開口面側には、インク滴を吐出する複数のノズル２１７が穿設されたノズルプレート２１８が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。つまり、本実施形態に係るヘッド部材２００の構成においては、このノズルプレート２１８の表面がインク吐出面（液体吐出面）となる。
ノズルプレート（液体噴射面）２１８は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）によって形成されている。

一方、流路形成基板２１１の表面に形成された弾性膜２１２上には、例えば白金、イリジウム等の金属材料からなる下電極膜２１９と、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層２２０と、例えばイリジウム等の金属材料からなる上電極膜２２１とからなる圧電素子２２２が形成されている。

このような圧電素子（圧力発生素子）２２２が形成された流路形成基板２１１上には、圧電素子２２２に対向する領域に圧電素子２２２を保護するための圧電素子保持部２２３を有する保護基板２２４が接合されている。
また、この保護基板２２４には、上述したように流路形成基板２１１の連通部２１４と連通されて各圧力発生室２１３の共通のインク室となるリザーバ２１５を構成するリザーバ部２２５が形成されている。

保護基板２２４上には、各圧電素子２２２を駆動するための駆動ＩＣ２２６が実装されている。この駆動ＩＣ２２６の各端子は、ボンディングワイヤ等（不図示）を介して各圧電素子２２２の個別電極から引き出されたリード電極と接続されている。
そして、駆動ＩＣ２２６の各端子には、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線２２７が接続され、この外部配線２２７を介して印刷信号等の各種信号が供給されるようになっている（図２参照）。

保護基板２２４上のリザーバ２１５に対応する領域には、例えば、ステンレス材料（ＳＵＳ）からなるコンプライアンス基板２２８が接合され、これら各部材でヘッド本体２１０が構成されている。
コンプライアンス基板２２８には、リザーバ２１５に対応する領域に、他の領域よりも厚さが薄い可撓部２２９が設けられており、リザーバ２１５内の圧力変化が、この可撓部２２９が変形することで吸収されるようになっている。また、コンプライアンス基板２２８には、リザーバ２１５に連通するインク導入口２３０が形成されている。

ヘッドケース２５０は、ヘッド本体２１０の流路形成基板２１１側の面であるコンプライアンス基板２２８の表面に接合されている。
そして、このヘッドケース２５０とヘッドケース２５０の下面に接合されたヘッド本体２１０とでヘッド部材２００が構成されている。
ヘッドケース２５０には、コンプライアンス基板２２８のインク導入口２３０に連通すると共にカートリッジケース１００のインク連通路１０２に連通するインク供給連通路（流路）２５３が設けられている。そして、これらインク連通路１０２、インク供給連通路２５３及びインク導入口２３０を介してインクがリザーバ２１５内に供給されるようになっている。

さらにヘッドケース２５０には、駆動ＩＣ２２６に対向する領域に、厚さ方向に貫通する駆動ＩＣ保持部２５６が設けられており、この駆動ＩＣ保持部２５６内には各駆動ＩＣ２２６を覆うようにポッティング剤（不図示）が充填される。
なお、ヘッドケース２５０の成形材料としては、例えば変性ポリフェニレンエーテル（ｍ−ＰＰＥ）を用いることができる。

ヘッド部材２００では、リザーバ２１５からノズル２１７に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２２６からの記録信号に従い、圧力発生室２１３に対応するそれぞれの圧電素子２２２に電圧を印加し、弾性膜２１２及び圧電素子２２２をたわみ変形させて各圧力発生室２１３内のインクに圧力を付与することにより、ノズル２１７からインク滴が噴射される。

複数個（例えば４個）のヘッド部材２００が所定間隔で互いに位置決めされた状態で固定板３００に接着固定される（図７参照）。
固定板３００には、ノズル２１７を露出する開口部３０１が、例えば各ヘッド部材２００に対応して設けられている。すなわち、固定板３００には、各ヘッド部材２００の間に対応する領域に梁部３０２が設けられる。その結果、各ヘッド部材２００に対応して開口部３０１が形成されている。
このような梁部３０２を有する固定板３００に各ヘッド部材２００のインク吐出面側、例えばノズルプレート２１８側の表面の周縁部が接着剤３５０によって接合されている。

また、固定板３００の周縁部には、ヘッド部材２００側に折り曲げられた折り曲げ部３０３が設けられている。すなわち、本実施形態に係る固定板３００は、一方面側が開口する略箱形に形成されており、折り曲げ部３０３を側壁とする凹部３０４を有し（図２参照）、各ヘッド部材２００のノズルプレート２１８は、この凹部３０４の底面に接着固定されている。
なお、固定板３００の材料は、特に限定されないが、ヘッド部材２００の固定板３００に接合される部分、すなわちノズルプレート２１８と同等か若しくはそれよりも低い線膨張率を有する材料を用いることが好ましい。例えば、固定板３００の材料として、ノズルプレート２１８と同一材料であるステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いている。

そしてこのように固定板３００に固定された複数のヘッド部材２００の周囲には、これら複数のヘッド部材２００をインク等から保護するためのカバーヘッド４００が設けられている。
このカバーヘッド４００は、各ヘッド部材２００をそれぞれ露出させる複数の露出開口部４０１を有しているが、勿論、複数のヘッド部材２００を露出させる１つの露出開口部を有するようにしてもよい。

このカバーヘッド４００は、ヘッド部材２００が固定されたカートリッジケース１００に固定されている。詳しくは、図３及び図４に示すように、カバーヘッド４００は、ヘッド部材２００側の端部にフランジ部４０３を有し、このフランジ部４０３には、当該フランジ部４０３を貫通する固定孔４０４が設けられている。
一方、カートリッジケース１００のヘッド部材２００側の面には、カバーヘッド４００の固定孔４０４に対応する位置に突起部１０４が設けられている。そして、このカートリッジケース１００の突起部１０４をカバーヘッド４００の固定孔４０４に挿入し、この突起部１０４の先端を加熱してかしめることによって、カバーヘッド４００をカートリッジケース１００に固定している。

固定板３００に所定間隔で接着された各ヘッド部材２００間の隙間には、接着剤が充填されて硬化されてなる充填部２７０が設けられている。充填部２７０は、固定板３００の周縁部にも連続的に設けられている。つまり、充填部２７０が、固定板３００の折り曲げ部３０３と各ヘッド部材２００との隙間にも連続的に設けられる。

充填部２７０のうち固定板３００側は、各ヘッド部材２００と固定板３００とを固定する役割を果たす。一方、充填部２７０のうちヘッド部材２００側は、各ヘッド部材２００間の隙間を埋めることを目的として設けられる。
ヘッド部材２００間等の隙間が充填部２７０によって確実に塞がれることで、印刷品質を常に良好に維持することができる。すなわち、ノズル２１７から吐出したインク滴のミスト等がヘッド部材２００間の隙間に入り込んで溜まってしまうと、記録媒体に付着する等の問題が生じる虞がある。しかし、このような充填部２７０が設けられていることで、ヘッド部材２００間の隙間にインクが溜まることがないため、記録媒体の汚れ等の発生を防止することができ、常に良好な印刷品質を維持することができる。

充填部２７０は、各ヘッド部材２００を固定板３００に位置決めして固定した後、各ヘッド部材２００間の隙間に所定の接着剤を充填して硬化させることによって形成される。
充填部２７０となる接着剤としては、硬化収縮が小さいものが好ましい。充填部２７０となる接着剤の硬化収縮によってヘッド本体２１０（流路形成基板２１１、保護基板２２４）が変形して破損する虞があるからである。具体的には、充填部２７０となる接着剤が硬化収縮すると、ヘッドケース２５０同士が引っ張り合って傾き、このヘッドケース２５０に接着されたヘッド本体２１０が変形して、流路形成基板２１１と保護基板２２４とが剥離してしまう。
充填部２７０としての接着剤は、例えばエポキシ系接着剤を用いることができる。

もっとも、充填部２７０となる接着剤の硬化収縮は少なからず発生する。そこで、後述するように、ヘッドケース２５０にコンプライアンス部２６０を設けている。すなわち、充填部２７０となる接着剤の硬化収縮によって、ヘッドケース２５０同士が引っ張り合って傾くことなく、ヘッドケース２５０にコンプライアンス部２６０のみ変形する。これにより、ヘッド本体２１０が変形して流路形成基板２１１と保護基板２２４とが剥離する不具合を防止している。

図８は、ヘッドケース２５０を示す図であって、（ａ）は端面（カートリッジケース１００への接着面）を示す平面図、（ｂ）は（ａ）におけるｂ−ｂ線に沿う断面図である。
ヘッドケース２５０には、ヘッド部材２００の並設方向における壁部２５７内に、スリット溝（溝部）２６１が壁部２５７に沿って形成される。スリット溝２６１は、ヘッドケース２５０の壁部２５７の中央に形成されたインク供給連通路２５３を挟んで、その両側（長手方向側）にそれぞれ形成される。

スリット溝２６１は、ヘッドケース２５０の厚さ方向に、下面に達することなく形成されている。つまり、スリット溝２６１は、ヘッドケース２５０を厚さ方向に貫通することなく形成されている。
具体的には、スリット溝２６１は、カートリッジケース１００への接着面から、固定板３００の折り曲げ部３０３の端部（周縁部）付近まで形成される。

壁部２５７にスリット溝２６１を設けることにより、壁部２５７が外壁２５８と内壁２５９とに分割される。このように、壁部２５７を外壁２５８と内壁２５９に分割することで、スリット溝２６１が存在しない場合に比べて壁厚を薄くすることができる。これにより、壁部２５７（外壁２５８、内壁２５９）の剛性を低下させて、変形しやすくしている。

そして、上述するように、外壁２５８は、ヘッドケース２５０の周囲に配置（充填）される充填部２７０の硬化収縮を吸収する。すなわち、外壁２５８は、充填部２７０の硬化収縮に連動して変形するコンプライアンス部２６０として機能する。
具体的には、ヘッドケース２５０の周辺に配置（充填）された充填部２７０が硬化収縮すると、充填部２７０がヘッドケース２５０の壁部２５７に接着され始めていることから、壁部２５７を外側（近接するヘッドケース２５０側）に向けて引っ張る力が加わる。

しかし、ヘッドケース２５０では、充填部２７０に接触する壁部２５７に、剛性を低下させた外壁２５８（コンプライアンス部２６０）が設けられているので、ヘッドケース２５０自体が移動したり傾いたりすることなく、外壁２５８のみが変形する。これにより、充填部２７０の硬化収縮によるヘッド本体２１０の変形、特に流路形成基板２１１と保護基板２２４との剥離が防止される。

なお、壁部２５７の厚みを単に薄くして外壁２５８のみとする形状を採用しないのは、壁部２５７の端面にカートリッジケース１００が接着されるからである。つまり、壁部２５７の端面の面積を、カートリッジケース１００への接着のために必要とされる面積以上にする必要があるからである。

上述したように、壁部２５７に形成されたスリット溝２６１は、固定板３００の折り曲げ部３０３の端部（周縁部）付近まで形成される。したがって、コンプライアンス部２６０としての外壁２５８は、充填部２７０に接触する位置まで形成されているとは限らない。つまり、コンプライアンス部２６０としての外壁２５８は、必ずしも充填部２７０に接触する必要はない。コンプライアンス部２６０としての外壁２５８が充填部２７０に接触していなくても、充填部２７０に接触する部位の周辺にコンプライアンス部２６０を配置するだけで、ヘッドケース２５０自体が移動したり傾いたりすることが防止できる。

本実施形態の記録ヘッド１によれば、各ヘッド部材２００と固定板３００とを固定すると共にインク滴のミスト等の浸入を防止するための充填部２７０が硬化収縮しても、ヘッドケース２５０の壁部２５７にコンプライアンス部２６０としての外壁２５８を設けているので、ヘッドケース２５０自体が移動したり傾いたりすることが防止できる。すなわち、充填部２７０の硬化収縮をコンプライアンス部２６０としての外壁２５８が吸収する。これにより、充填部２７０の硬化収縮に起因するヘッド本体２１０の変形、特に流路形成基板２１１と保護基板２２４との剥離が防止できる。

したがって、このような記録ヘッド１を備えるインクジェット式記録装置Ａによれば、高い印刷品質を得ることができる。すなわち、ヘッド部材２００間の隙間にインクが溜まることがないため、記録媒体の汚れ等の発生を防止することができ、常に良好な印刷品質を維持することができる。

[ヘッドケースの変形例]
図９は、ヘッドケース２５０の変形例（カートリッジケース１００への接着面）を示す図である。
図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、ヘッド部材２００の並設方向における壁部２５７内に、スリット溝（溝部）２６３を形成して外壁２５８と内壁２５９とに分割し、更にスリット溝２６３が外壁２５８又は内壁２５９の一方又は両方の一部を貫通するようにしてもよい。つまり、スリット溝２６３が壁部２５７の外面又は内面に貫通するようにしてもよい。
このように、外壁２５８又は内壁２５９の一方（又は両方）を片持ち梁形状に形成することで、更にコンプライアンス部２６０としての外壁２５８及び内壁２５９の剛性を低下させて、変形しやすくすることができる。また、スリット溝２６３が壁部２５７の外面又は内面を貫通する位置は、任意に設定することができる。
このように、壁部２５７に形成するコンプライアンス部２６０の形状は、壁部２５７の一部を薄くした形状であれば任意の形状を採用することができる。
もっとも、上述したように、壁部２５７の端面は、カートリッジケース１００に接着されるので、所定の表面積を確保する必要がある。

また、上述の実施形態では、各ヘッド部材の周囲、具体的には、各ヘッド部材間の隙間及び各ヘッド部材と折り曲げ部との間に充填部を設けるようにしたが、これに限定されるものではない。すなわち充填部は、少なくとも各ヘッド部材間の隙間に設けられていればよい。

また、上述した実施形態では、圧力発生室内の液体に圧力を付与する圧力発生素子として、撓み振動型の圧電素子を例示したが、特に限定されない。例えば、圧力発生素子として、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子であってもよいし、発熱素子等であってもよい。

また、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。

Ａ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 Ｓ…記録紙、 １…記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ２００…ヘッド部材、 ２１０…ヘッド本体、 ２１１…流路形成基板、 ２１３…圧力発生室、 ２１７…ノズル、 ２１８…ノズルプレート（液体噴射面）、 ２２２…圧電素子（圧力発生素子）、 ２２４…保護基板、 ２５０…ヘッドケース、 ２５３…インク供給連通路（流路）、 ２５６…保持部、 ２５７…壁部、 ２５８…外壁、 ２５９…内壁、 ２６０…コンプライアンス部、 ２６１…スリット溝（溝部）、 ２６３…スリット溝（溝部）、 ２７０…充填部、 ３００…固定板（固定部材）

Claims (4)

1. 圧力発生素子の駆動によって圧力発生室内の液体をノズルから噴射するヘッド本体及び前記圧力発生室に液体を供給するための流路が形成されて前記ヘッド本体の液体噴射面とは反対の面に接合されるヘッドケースを有する複数のヘッド部材と、
   前記複数のヘッド部材が所定間隔で前記液体噴射面を接着されて位置決め固定される固定部材と、
   前記複数のヘッド部材の隙間に充填されて硬化した充填部と、
   を備え、
   前記ヘッドケースは、前記充填部に接する壁部に前記充填部の収縮を吸収するコンプライアンス部を有し、
   前記コンプライアンス部は、前記壁部に形成された溝部を有し、
   前記溝部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体に接合される面とは反対側の面側から、前記壁部に沿って形成されたスリット溝であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記スリット溝の一部は、前記壁部の外面又は内面に貫通することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記コンプライアンス部は、前記充填部に接しない位置に形成されることを特徴とする請求項１又は２のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。

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