JP2007152698A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 Download PDF

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Abstract

【課題】線膨張係数が異なる材料の部材が積層接着されてヘッド本体が構成されていても、温度環境に拘わらず剥離やクラックの発生を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル207が複数穿設されたノズルプレート208と、ノズル207に連通する圧力発生室203が形成された流路形成基板201と、圧力発生室203内に液滴を吐出するための圧力を付与する圧力発生素子212とを有する複数のヘッド本体200と、ノズルプレート208に接着されて複数のヘッド本体200が位置決め固定される接合部材300とを具備すると共に、この接合部材300の少なくともヘッド本体200間に対応する領域に、ヘッド本体200が接合される領域よりも剛性の高い補強部303を有するようにする。
【選択図】図6

Description

本発明は、ノズルプレートに穿設されたノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、ノズルと連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板上に設けられた圧電素子の変位によりノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
従来から、圧電素子、あるいは発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧力発生室が形成された流路形成基板に、ノズル開口が穿設されたノズルプレート等が接合されてヘッド本体が構成され、これら複数のヘッド本体が固定板(接合部材)に接着固定されると共に、ヘッドケースによって覆われているものがある(例えば、特許文献1参照)。
このような液体噴射ヘッドでは、流路形成基板は主にシリコン(Si)からなり、ノズルプレートは主にステンレス鋼(SUS)からなるため、両者の線膨張係数の違いより、ヘッド本体に反りが生じてしまうという問題がある。すなわち、SUS製のノズルプレートはシリコン(Si)製の流路形成基板に対して線膨張係数が大きいため、加圧接着時の温度(常温)とは異なる温度環境に置かれた場合ヘッド本体に反りが生じ、その結果、流路形成基板にクラックが発生する、あるいはノズルプレートと流路形成基板との間で剥離が生じるといった問題がある。
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
特開2005−96419号公報
本発明は、このような事情に鑑み、線膨張係数が異なる材料の部材が積層接着されてヘッド本体が構成されていても、温度環境に拘わらず剥離やクラックの発生を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、ノズル開口が複数穿設されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、前記圧力発生室内に液滴を吐出するための圧力を付与する圧力発生素子とを有する複数のヘッド本体と、前記ノズルプレートに接着されて複数の前記ヘッド本体が位置決め固定される接合部材とを具備し、前記接合部材の少なくとも前記ヘッド本体間に対応する領域に、前記ヘッド本体が接合される領域よりも剛性の高い補強部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第1の態様では、ヘッド本体が固定される接合部材の剛性が高められて温度変化に伴うヘッド本体の反りが適度に抑えられるため、流路形成基板へのクラックの発生や、ノズルプレートと流路形成基板との剥離等を防止することができる。
本発明の第2の態様は、前記補強部が、平板である前接合部材を湾曲することによって形成されていることを特徴とする第1の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第2の態様では、接合部材の剛性が確実に高められる補強部を極めて容易に形成することができる。
本発明の第3の態様は、前記補強部が、前記接合部材の他の領域よりも厚みを厚くすることによって形成されていることを特徴とする第1の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第3の態様では、接合部材の剛性が確実に高められる補強部を極めて容易に形成することができる。
本発明の第4の態様は、前記補強部が、平板である前記接合部材上に補強部材を固着することによって形成されていることを特徴とする第3の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第4の態様では、接合部材の剛性が確実に高められる補強部を極めて容易に形成することができる。
本発明の第5の態様は、前記接合部材が、前記ノズルプレートと同等若しくはそれよりも低い線膨張率を有する材料からなることを特徴とする第1〜4の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第5の態様では、環境温度の変化に伴う接合部材の変形が小さいため、環境温度の変化に伴うヘッド本体の反りをより確実に抑えられる。
本発明の第6の態様は、前記補強部が、前記ヘッド本体の周囲を囲んで設けられていることを特徴とする第1〜5の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第6の態様では、補強部で囲まれた領域にヘッド本体を固定することで、ヘッド本体が位置決めされる。したがって、ヘッド本体の位置決めが極めて容易となり、製造工程が大幅に簡略化される。
本発明の第7の態様は、前記接合部材が、複数の前記ヘッド本体を覆って設けられると共に液体供給手段がそれぞれ装着されるカートリッジケースに固定されるカバーヘッドであることを特徴とする第1〜6の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第7の態様では、固定板によってヘッド本体の反りの発生が抑えられる。
本発明の第8の態様は、複数の前記ヘッド本体を覆って設けられると共に液体供給手段がそれぞれ装着されるカートリッジケースに固定されるカバーヘッドをさらに具備し、前記接合部材が、前記ヘッド本体と前記カバーヘッドとの間に設けられ複数の前記ヘッド本体が位置決め固定される固定板であることを特徴とする第1〜6の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第8の態様では、カバーヘッドによってヘッド本体の反りの発生が抑えられる。
本発明の第9の態様は、第1〜8の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第9の態様では、ヘッドの耐久性及び信頼性を向上した液体噴射装置を比較的容易に実現することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの組立斜視図であり、図3は、その要部断面図である。
図示のインクジェット式記録ヘッド1(以下、記録ヘッドという)は、カートリッジケース100と、インクジェット式記録ヘッド本体200(以下、記録ヘッド本体という)と、ノズルプレート208に接着されて複数の記録ヘッド本体200が位置決め固定される接合部材としての固定板300と、カバーヘッド400とで構成されている。カートリッジケース100は、インク供給手段(液体供給手段)であるインクカートリッジ(図示なし)がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部101を有する。また、カートリッジケース100の底面には、一端が各カートリッジ装着部101に開口し、他端が記録ヘッド本体200側に開口する複数のインク連通路102が設けられている。さらに、カートリッジ装着部101のインク連通路102の開口部分には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針103が固定されている。
カートリッジケース100の底面側には、所定間隔で位置決めされた複数(図示例では4個)の記録ヘッド本体200が固定されて記録ヘッドユニットが形成されている。記録ヘッドユニットの4個の記録ヘッド本体200は各色のインクに対応してそれぞれ設けられ、4個の記録ヘッド本体200は固定板300に接着固定されることにより互いに位置決めされている。このように位置決めされた状態で記録ヘッドユニットはカートリッジケース100の底面側に固定されている。
ここで、記録ヘッド本体200の構成について説明する。図4は、記録ヘッド本体の分解斜視図であり、図5は、記録ヘッド本体の断面図であり、図6は、記録ヘッド本体の要部断面図である。図4〜図6に示すように、記録ヘッド本体200を構成する流路形成基板201は、例えば、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜202が形成されている。流路形成基板201には複数の圧力発生室203が形成され、圧力発生室203は他方面側から異方性エッチングすることにより形成される。例えば、流路形成基板201には圧力発生室203が幅方向に並設された列が2列形成されている。また、各列の圧力発生室203の長手方向外側にはリザーバ204を構成する連通部205が形成され、連通部205は後述する保護基板に設けられるリザーバ部と連通し、リザーバ204は各圧力発生室203の共通のインク室となる。また、連通部205は、インク供給路206を介して各圧力発生室203の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
また、流路形成基板201の開口面側にはノズル207が穿設されたノズルプレート208が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ノズルプレート208は、例えば、本実施形態では、ステンレス鋼(SUS)によって形成されている。
一方、流路形成基板201の表面に形成された弾性膜202上には、例えば、白金、イリジウム等の金属材料からなる下電極膜209と、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等からなる圧電体層210と、例えば、イリジウム等の金属材料からなる上電極膜211とからなる圧電素子212が形成されている。
さらに、このような圧電素子212が形成された流路形成基板201上には、圧電素子212に対向する領域に圧電素子212を保護するための圧電素子保持部213を有する保護基板214が接合されている。また、この保護基板214には、上述したように流路形成基板201の連通部205と連通されて各圧力発生室203の共通のインク室となるリザーバ204を構成するリザーバ部215が形成されている。
保護基板214上には、各圧電素子212を駆動するための駆動IC216が実装されている。この駆動IC216の各端子は、図示しないが、ボンディングワイヤ等を介して各圧電素子212の個別電極から引き出されたリード電極と接続されている。そして、駆動IC216の各端子には、図1に示すような、フレキシブルプリントケーブル(FPC)等の外部配線217が接続され、この外部配線217を介して印刷信号等の各種信号が供給されるようになっている。
保護基板214上のリザーバ204に対応する領域には、コンプライアンス基板218が接合されている。このコンプライアンス基板218には、リザーバ204に対応する領域に、他の領域よりも厚さが薄い可撓部219が設けられており、リザーバ204内の圧力変化が、この可撓部219が変形することで吸収されるようになっている。また、コンプライアンス基板218には、リザーバ204に連通するインク導入口220が形成されている。
コンプライアンス基板218上には、このインク導入口220に連通すると共にカートリッジケース100のインク連通路102に連通するインク供給連通路221が設けられたヘッドケース222が接合されている。そして、これらインク連通路102、インク供給連通路221及びインク導入口220を介してインクがリザーバ204内に供給されるようになっている。またこのヘッドケース222には、駆動IC216に対向する領域に、厚さ方向に貫通する駆動IC保持部223が設けられており、図示しないが、この駆動IC保持部223内には各駆動IC216を覆うようにポッティング剤が充填される。
記録ヘッド本体200は、リザーバ204からノズル207に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC216からの記録信号に従い、圧力発生室203に対応するそれぞれの圧電素子212に電圧を印加し、弾性膜202及び圧電素子212をたわみ変形させて各圧力発生室203内のインクに圧力を付与することにより、ノズル207からインク滴を吐出させる。
記録ヘッド本体200は、図6に示すように、所定間隔で互いに位置決めされた状態で固定板300に接着固定されている。この固定板300にはノズル207を露出する開口部301が、例えば、各記録ヘッド本体200に対応して設けられており、各記録ヘッド本体200は、ノズルプレート208の周縁部が固定板300に接着剤を介して接合されている。すなわち、固定板300の各記録ヘッド本体200の間に対応する領域には、梁部302が設けられて開口部301が各記録ヘッド本体200に対応して形成されている。なお、この梁部302は、記録ヘッド本体200間にインク吐出方向からインクが侵入するのを防止するための役割を果たすと共に、記録ヘッド本体200のノズルプレート208の全周に亘って接着剤を塗布して固定板300に接着する際の接着領域を確保する機能を有する。
ここで、本発明に係る固定板300の梁部302は、少なくとも記録ヘッド本体200の間の領域に、記録ヘッド本体200(ノズルプレート208)が接合される領域よりも剛性の高い補強部303を有する。本実施形態では、補強部303が、各記録ヘッド本体200の間に対応する領域に設けられていて、インク滴が吐出される方向とは反対側の方向に向けて突出するように形成されている。また、梁部302以外の領域として、記録ヘッド本体200の列の両外側の領域にも補強部303が設けられていて、やはりインク滴が吐出される方向とは反対方向に突出するように形成されている。また、各記録ヘッド本体200はノズル207の列方向とは直交する方向で並設されており、各補強部303は、ノズル207の列方向、すなわち、記録ヘッド本体200の長手方向に沿って形成されている。この補強部303は、本実施形態では、平板である固定板300の各記録ヘッド本体200の間に対応する領域と記録ヘッド本体200の列の両外側の領域を湾曲させて、インク滴が吐出される方向とは反対方向に突出するように形成されている。すなわち、補強部303は、固定板300の各記録ヘッド本体200の間に対応する部分を記録ヘッド本体200側に突出するようにし、記録ヘッド本体200の側面部分に補強部303が存在するように湾曲させた湾曲部304によって構成されている。このような補強部303の大きさ(湾曲部304の幅及び高さ)は、特に限定されないが、記録ヘッド本体200に干渉しない程度に比較的大きく形成するのが好ましい。
このように補強部303を固定板300に設けることで、固定板300の剛性、本実施形態では、固定板300の少なくとも記録ヘッド本体200の長手方向での曲げ剛性が高められるため、固定板300に接合されている記録ヘッド本体200に反りが発生するのを防止することができる。本実施形態のように流路形成基板201とノズルプレート208とが線膨張係数の異なる材料で形成されている場合、環境温度の変化に伴って、これら流路形成基板201及びノズルプレート208を含む記録ヘッド本体200には反りが生じてしまう。この反りは、記録ヘッド本体200の長手方向において特に発生しやすい。しかしながら、上述したように固定板300の各記録ヘッド本体200の間に対応する領域に補強部303を設けることで、すなわち、固定板300に記録ヘッド本体200が固定される部分よりも相対的に剛性が高い領域(補強部)を設けることで、固定板300の剛性を高め、記録ヘッド本体200を構成する各部材の線膨張係数の違いによって生じる記録ヘッド本体200の反りが適度に抑制される。これにより、記録ヘッド本体200の反りに起因する流路形成基板201へのクラックの発生、あるいはノズルプレート208の剥離等を防止することができる。
なお、固定板全体の剛性を高めることによっても、記録ヘッド本体の反りの発生自体は抑えることができるが、固定板の記録ヘッド本体が接合される部分の剛性まで高められると、環境温度の変化に伴う記録ヘッド本体の反りが抑えられ過ぎてしまい、逆に、流路形成基板へのクラックの発生等が起こり易くなってしまう。このため、固定板300の記録ヘッド本体200が固定される部分の剛性は、記録ヘッド本体200を良好に固定できる程度に比較的低くし、且つ補強部303の剛性はできるだけ高くするのが好ましい。
また、接合部材である固定板300の材料は、特に限定されないが、記録ヘッド本体200の固定板300に接合される部分、すなわち、ノズルプレート208と同等か若しくはそれよりも低い線膨張率を有する材料を用いることが好ましい。例えば、本実施形態では、固定板300の材料として、ノズルプレート208と同一材料であるステンレス鋼(SUS)を用いている。固定板300の材料として、このような材料を用いることで、環境温度の変化に伴う記録ヘッド本体200の反りをさらに確実に抑えることができる。
このように固定板300に固定された複数の記録ヘッド本体200の周囲には、図1及び図2に示すように、これら複数の記録ヘッド本体200をインク等から保護するためのカバーヘッド400が設けられている。このカバーヘッド400は、複数の記録ヘッド本体200を露出させる1つの露出開口部を有していても良いが、本実施形態のように、各記録ヘッド本体200をそれぞれ露出させる複数の露出開口部401を有しているのが好ましい。湾曲部304を形成することで湾曲部304のインク滴吐出方向側には溝が形成されてしまい、吐出されたインク滴がミストになってこの溝に毛細管力で停滞し、停滞したインクがあふれてノズルプレート20側に流れ込む虞がある。しかしながら、カバーヘッド400が、各記録ヘッド本体200に対応した露出開口部401を有することで、すなわち、固定板300の補強部303に対応する領域に梁部402を形成するための梁部402を有することにより(図6参照)、上記のような不具合が生じることはない。
また、カバーヘッド400は、本実施形態では、記録ヘッド本体200が固定されたカートリッジケース100に固定されている。詳しくは、図2及び図3に示すように、カバーヘッド400は、記録ヘッド本体200側の端部にフランジ部403を有し、このフランジ部403には、当該フランジ部403を貫通する固定孔404が設けられている。一方、カートリッジケース100の記録ヘッド本体200側の面には、カバーヘッド400の固定孔404に対応する位置に突起部104が設けられている。そして、このカートリッジケース100の突起部104をカバーヘッド400の固定孔404に挿入し、この突起部104の先端を加熱してかしめることによって、カバーヘッド400をカートリッジケース100に固定している。
なお、このような構成の記録ヘッド1は、インクジェット式記録装置に搭載される。図7は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図7に示すように、記録ヘッド本体を有する記録ヘッド1A及び1Bには、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられてキャリッジ3に搭載される。記録ヘッド1A,1Bが搭載されたキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッド1が搭載されたキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。
(実施形態2)
図8は、実施形態2に係る液体噴射ヘッドの要部を示す断面図である。本実施形態は、固定板に設けられる補強部の変形例である。すなわち、本実施形態では、図8に示すように、固定板300Aの記録ヘッド本体200の間に対応する領域等に、記録ヘッド本体200(ノズルプレート208)が接合される部分よりも、厚さの厚い突出部305を一体的に設け、この突出部305が補強部303Aとして機能するようにした以外は、実施形態1と同様である。
このような構成としても、実施形態1と同様に、固定板300Aの剛性が良好に高められて環境温度の変化に伴う記録ヘッド本体200の反りが防止され、その結果、流路形成基板201にクラックが発生するのを防止でき、またノズルプレート208の剥離等も防止することができる。
なお、本実施形態では、補強部303Aとなる突出部305を固定板300Aに一体的に設けるようにしたが、これに限定されず、例えば、図9に示すように、平板である固定板300B上に、別部材の補強部材306を接合することによって突出部305A(補強部303A)を形成するようにしてもよい。また、本実施形態では、突出部305が、記録ヘッド本体200側に突出するように設けられているが、これに限定されず、例えば、カバーヘッド400側に突出するように設けられていてもよい。ただし、このような構成とする場合、ノズルプレート208の表面と、例えば、紙等の記録媒体(図示なし)との間隔が広がることによる印刷品質の低下、あるいは突出部305と記録媒体とが接触する等の虞があるため、突出部305の高さは比較的低くするのが望ましい。
(実施形態3)
図10は、実施形態3に係る固定板の概略斜視図である。本実施形態も固定板に設けられた補強部の変形例であり、固定板の周縁部にも補強部を連続的に設けるようにした例である。すなわち、本実施形態では、図10に示すように、固定板300Cの各記録ヘッド本体200間に対応する領域及び記録ヘッド本体200の列の両外側の領域だけでなく、各記録ヘッド本体200の周囲に補強部303Aとなる突出部305が連続的に設けられている以外は、実施形態2と同様である。
このような構成としても、勿論、上述の実施形態と同様に、記録ヘッド本体200の反りを抑制し、流路形成基板201のクラックの発生等を防止することができる。さらに、本実施形態のように補強部303Aを各記録ヘッド本体200の周囲に設けることで、各記録ヘッド本体200を固定板300Cに固定する際、記録ヘッド本体200を高精度に位置決めすることができる。すなわち、各記録ヘッド本体200を固定板300Cの補強部303Aで囲まれた領域内に配置するだけで、記録ヘッド本体200を高精度に位置決めすることができるため、製造工程を簡略化してコストの削減を図ることができる。
なお、補強部303Aとなる突出部305は、記録ヘッド本体200の長手方向においては連続的に設けられていることが望ましいが、記録ヘッド本体200の周囲に亘って連続的に設けられている必要はなく、例えば、図11に示すように、突出部305は、記録ヘッド本体200の周囲に断続的に設けられていてもよい。
(他の実施形態)
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、各記録ヘッド本体200のノズルプレート208に接合される接合部材として、固定板300を例示したが、これに限定されず、例えば、カバーヘッド400が接合部材として機能するようにしてもよい。すなわち、固定板300を設けずに、各記録ヘッド本体200をカバーヘッド400に接合するようにしてもよい。その場合には、カバーヘッド400の梁部402に補強部303を設ければよい。
また、上述した実施形態では、圧力発生室203内の液体に圧力を付与する圧力発生素子として、撓み振動型の圧電素子を例示したが、圧力発生素子は、特に限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子であってもよいし、発熱素子等であってもよい。
なお、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態1に係る記録ヘッドの組立斜視図である。 実施形態1に係る記録ヘッドの要部断面図である。 実施形態1に係る記録ヘッド本体の分解斜視図である。 実施形態1に係る記録ヘッド本体の断面図である。 実施形態1に係る記録ヘッドの要部断面図である。 実施形態1に係る記録装置の概略斜視図である。 実施形態2に係る記録ヘッドの要部断面図である。 実施形態2に係る記録ヘッドの変形例を示す要部断面図である。 実施形態3に係る固定板の斜視図である。 実施形態3に係る固定板の変形例を示す斜視図である。
符号の説明
1 記録ヘッド、 100 カートリッジケース、 200 記録ヘッド本体、 300 固定板、 301 開口、 302 補強部、 303 湾曲部、 304 突出部、 400 カバーヘッド

Claims (9)

  1. ノズルが複数穿設されたノズルプレートと、前記ノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、前記圧力発生室内に液滴を吐出するための圧力を付与する圧力発生素子とを有する複数のヘッド本体と、前記ノズルプレートに接着されて複数の前記ヘッド本体が位置決め固定される接合部材とを具備し、
    前記接合部材の少なくとも前記ヘッド本体間に対応する領域に、前記ヘッド本体が接合される領域よりも剛性の高い補強部を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記補強部が、平板である前接合部材を湾曲することによって形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
  3. 前記補強部が、前記接合部材の他の領域よりも厚みを厚くすることによって形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
  4. 前記補強部が、平板である前記接合部材上に補強部材を固着することによって形成されていることを特徴とする請求項3に記載の液体噴射ヘッド。
  5. 前記接合部材が、前記ノズルプレートと同等若しくはそれよりも低い線膨張率を有する材料からなることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
  6. 前記補強部が、前記ヘッド本体の周囲を囲んで設けられていることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
  7. 前記接合部材が、複数の前記ヘッド本体を覆って設けられると共に液体供給手段がそれぞれ装着されるカートリッジケースに固定されるカバーヘッドであることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
  8. 複数の前記ヘッド本体を覆って設けられると共に液体供給手段がそれぞれ装着されるカートリッジケースに固定されるカバーヘッドをさらに具備し、前記接合部材が、前記ヘッド本体と前記カバーヘッドとの間に設けられ複数の前記ヘッド本体が位置決め固定される固定板であることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
  9. 請求項1〜8の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011173409A (ja) * 2010-02-23 2011-09-08 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd インクジェットヘッド
JP2013095009A (ja) * 2011-10-31 2013-05-20 Brother Industries Ltd 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法
JP2016124222A (ja) * 2015-01-05 2016-07-11 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよびその製造方法
JP2017019153A (ja) * 2015-07-08 2017-01-26 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置

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