JP2011198893A - 電極形成方法および電極形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に多数本のフィンガー電極を形成した後に(ステップS102)、これらと交わる幅広のバス電極を塗布により形成する。電極材料および光硬化性樹脂を含む塗布液を基板に塗布した後(ステップS103)、所定時間が経過するのを待ってから塗布液にUV光を照射し塗布液を硬化させる(ステップS104)。塗布から光照射までの時間差tsについては、予め実験的に塗布した塗布液の高さの変化を測定した結果に基づいて設定しておく(ステップS101、S201〜S204)。
【選択図】図2
Description
Hm≒Hm0・exp(−t/τ)
により近似的に表すことができる。ここで、記号τは、盛り上がり部PPの高さの変化の速さ、言い換えれば前記した平坦化時間に関するパラメータである。
3 ステージ(基板保持手段)
6 制御部(調整手段)
72 吐出ノズル部(ノズル)
83 光照射部(硬化手段、光照射手段)
123 フレーム(調整手段)
B バス電極
F フィンガー電極
W 基板
Claims (11)
- 基板の表面に、第1方向に沿って延びるライン状のフィンガー電極を多数形成するフィンガー電極形成工程と、
電極材料を含む塗布液を吐出するノズルを、前記基板に対して前記第1方向と異なる第2方向に相対移動させて、前記塗布液を前記フィンガー電極と交わらせて前記基板に塗布する塗布工程と、
前記基板に前記塗布液が塗布されてから所定時間の経過後に、前記塗布液を硬化させてバス電極を形成する硬化工程と、
前記硬化工程を実行するよりも前に、前記フィンガー電極との交差部に塗布された前記塗布液の平坦化時間に基づいて前記所定時間を設定する時間設定工程と
を備えることを特徴とする電極形成方法。 - 基板の表面に、第1方向に沿って延びるライン状のフィンガー電極を多数形成するフィンガー電極形成工程と、
電極材料を含む塗布液を吐出するノズルを、前記基板に対して前記第1方向と異なる第2方向に相対移動させて、前記塗布液を前記フィンガー電極と交わらせて前記基板に塗布する塗布工程と、
前記基板に前記塗布液が塗布されてから所定時間の経過後に、前記塗布液を硬化させてバス電極を形成する硬化工程と
を備え、
前記塗布液が塗布されてから前記硬化工程を実行するまでの前記所定時間を調整して、前記フィンガー電極と前記バス電極との交点における電極の高さを制御することを特徴とする電極形成方法。 - 前記フィンガー電極を形成された前記基板に前記塗布液を塗布し、該塗布から前記塗布液の最大高さと前記フィンガー電極の高さとの差が所定の許容高低差になるまでの時間を予め測定し前記所定時間とする請求項1または2に記載の電極形成方法。
- 前記塗布工程では、光硬化性材料を含む前記塗布液を前記基板に塗布し、前記硬化工程では、前記基板に塗布された前記塗布液に光を照射する請求項1ないし3のいずれかに記載の電極形成方法。
- 前記硬化工程では、前記光を照射する光照射手段を前記基板に対し前記第2方向に、かつ前記ノズルの移動速度と同じまたは略同じ速度で相対移動させる請求項4に記載の電極形成方法。
- 前記フィンガー電極形成工程では、電極材料を含む塗布液をノズルから吐出し前記基板に塗布して前記フィンガー電極を形成する請求項1ないし5のいずれかに記載の電極形成方法。
- 前記基板としての光電変換素子の光電変換面に前記フィンガー電極および前記バス電極を形成する請求項1ないし6のいずれかに記載の電極形成方法。
- 第1方向に沿って延びるライン状のフィンガー電極が多数形成された基板を保持する基板保持手段と、
電極材料を含む塗布液を吐出するノズルと、
前記ノズルを前記基板に対し前記第1方向と異なる第2方向に相対移動させる移動手段と、
前記基板に塗布された前記塗布液を硬化させる硬化手段と、
前記基板に前記塗布液が塗布されてから前記硬化手段による硬化を行うまでの時間を調整する調整手段と
を備えることを特徴とする電極形成装置。 - 前記硬化手段は、前記基板に塗布された前記塗布液に光を照射する光照射手段である請求項8に記載の電極形成装置。
- 前記移動手段は、前記ノズルと前記光照射手段とを一体的に前記基板に対し相対移動させ、前記調整手段は、前記ノズルと前記光照射手段との前記第2方向の距離を調整する請求項9に記載の電極形成装置。
- 前記移動手段は、前記光照射手段を前記基板に対し相対移動可能に構成され、
前記調整手段は、前記移動手段を制御して前記ノズルおよび前記光照射手段をそれぞれ前記基板に対し相対移動させるとともに、前記基板に対し前記ノズルを相対移動させた後、前記基板に対し前記光照射手段を相対移動させるまでの時間を調整する請求項9に記載の電極形成装置。
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