JP4335042B2

JP4335042B2 - 基板処理装置及び基板処理方法

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Publication number: JP4335042B2
Application number: JP2004074547A
Authority: JP
Inventors: 修玉田; 雅和真田
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2004-03-16
Filing date: 2004-03-16
Publication date: 2009-09-30
Anticipated expiration: 2024-03-16
Also published as: JP2005268294A; US20100126532A1; US20050205113A1

Description

本発明は、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板、プラズマ表示パネル用ガラス基板等の基板に、所定の処理液を供給するための基板処理装置及び基板処理方法に関する。

半導体レジストの現像プロセスにおいては、ウエハ上にアルカリ水溶液等の現像液を供給して現像反応を所定時間行った後、該ウエハ上に純水をリンス液として吐出し、現像反応を終了させている。

従来では、純水吐出は、パイプ状ノズルの先端をウエハ面に向けた状態で行われており、ウエハを回転させることで、純水をウエハ全体に行渡らせる手法がとられていた（第１の技術）。

しかしながら、上記のようにウエハを回転させながら純水を吐出すると、ウエハの回転によってウエハで摩擦帯電が生じ、これにより、溶液中の帯電粒子がウエハ表面に付着して現像欠陥の原因となることがわかった。

ここで、スリット状の吐出口を有するノズルを、ウエハ上方を通過させることで、静止もしくはほぼ静止させたウエハ全体に純水を供給する方式（第２の技術）が考えられている（例えば、特許文献１参照）。

この方式では、ウエハを静止もしくはほぼ静止させた状態としているため、ウエハでの摩擦帯電を抑制することができ、従って、現像欠陥を減少させることが期待される。

一方、ウエハの帯電現象を防ぐため、二酸化炭素ガスを溶解させた純水をリンス液として用いる手法（第３の技術）が知られている（例えば、特許文献２参照）。

特開２００３−１００６０１号公報特開昭６０−１６５７２６号公報

しかしながら、発明者らによる試行錯誤検討の結果、以下のような問題点が判明した。

すなわち、上記第２の技術によっても、純水供給時の流れ等による帯電を完全に防ぐことはできず、現像欠陥発生を一定以上に抑えることはできいことが判明した。

また、第３の技術でも、ウエハ全面に、均一な量のリンス液を供給することができず、特に、相対的に供給量が少なくなるウエハのエッジ付近で欠陥が発生し易くなっていることが判明した。

また、リソグラフィに用いられる数多くのレジストの中には、特許文献２のように、二酸化炭素ガスを溶解させた純水を供給する手法をとることで、逆に現像欠陥が発生し易くなるものがあることが判明した。これは、アルカリ性である現像液に対し、酸性である二酸化炭素溶存水が急激に混合・中和することにより、現像液に溶解していたレジストが沈殿を起してしまうためであることがわかった。

そこで、本発明の課題は、基板上に処理液を供給する際に、処理欠陥の発生を可及的に抑止できる技術を提供することにある。

この発明の第１の態様は、現像処理後の基板の主面に処理液を供給する基板処理装置であって、基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、前記基板の幅寸法と実質的に同寸法又はそれ以上の吐出幅で第１の処理液を吐出する吐出部を有する第１の処理液供給ノズルと、前記第１の処理液供給ノズルに、前記第１の処理液として現像反応を停止させる現像停止液を供給する現像停止液供給手段と、前記基板の上方を通過するように、前記第１の処理液供給ノズルを前記基板の一端側から他端側に向けて移動させるノズル移動手段と、前記基板上に第２の処理液を吐出する第２の処理液供給ノズルと、前記第２の処理液供給ノズルに、前記第２の処理液として帯電防止洗浄液を供給する帯電防止洗浄液供給手段と、を備え、前記基板上に、前記第１の処理液供給ノズルから前記現像停止液を供給した後に、前記第２の処理液供給ノズルから前記帯電防止洗浄液を供給するものである。

この場合において、第２の態様のように、現像停止液として、純水を用いるとよく、また、第３の態様のように、前記帯電防止洗浄液として、気泡を発生させない程度の濃度で、イオンが溶解した液を用いるとよい。

この発明の第４の態様は、現像処理後の基板の主面に処理液を供給する基板処理方法であって、現像処理後の前記基板に現像停止液を供給した後、前記基板に帯電防止洗浄液を供給するものである。

この場合に、第５の態様のように、現像停止液として、純水を用いるとよく、また、第６の態様のように、前記帯電防止洗浄液として、気泡を発生させない程度の濃度で、イオンが溶解した液を用いるとよい。

この発明の第１の態様によると、基板上に、現像停止液を供給した後に、帯電防止洗浄液を供給しているため、現像液と帯電防止洗浄液との反応物の生成を抑制することができ、欠陥の発生を防止できる。

また、現像停止液供給後に、帯電防止洗浄液を供給しているため、基板の帯電を抑制して欠陥の発生を防止できる。

この場合に、帯電防止洗浄液として、気泡を発生させない程度の濃度で、イオンが溶解した液を用いると、気泡によるパターン倒壊等を防止できる。

この発明の第４の態様によると、現像処理後の前記基板に現像停止液を供給した後、前記基板に帯電防止洗浄液を供給しているため、現像液と帯電防止洗浄液との反応物の生成を抑制することができ、欠陥の発生を防止できる。

｛第１の実施の形態｝
以下、この発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置および基板処理方法について説明する。この第１の実施の形態では、基板に対して現像液を供給して所定時間現像反応を行わせた後、当該基板に対していわゆるスリットスキャン方式にて帯電防止処理液を供給する基板処理装置及び基板処理方法について説明する。

図１は基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図２は基板処理装置の概略構成を示す側面図であり、図３は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。なお、図３において基板を保持する部分についても断面で示している。

この基板処理装置は、基板である半導体ウエハＳＷの表面に形成されたレジスト薄膜を現像するための装置である。なお、本装置により現像処理がなされるのに先立って、レジスト薄膜には、露光装置により所定のパターンが露光されている。

処理対象物である半導体ウエハＳＷは、実質的に円形板状に形成されている。半導体ウエハＳＷの直径は、例えば、２００mm或は３００mmである。また、半導体ウエハＳＷの外周縁の一部には、ノッチＮＣ或はオリエンテーションフラット（オリフラ）が形成されている。

この基板処理装置は、ウエハ保持・回転機構１０と、現像液供給ノズル２０と、現像液供給系機構（図７参照）と、現像液供給ノズル走査機構３０と、現像液供給ノズル昇降機構３９と、処理液供給ノズル４０と、処理液供給系機構（図８参照）と、処理液供給ノズル回動機構５０と、処理液供給ノズル昇降機構５６と、最終リンス液供給ノズル７０とを備えている。

ウエハ保持・回転機構１０は、半導体ウエハＳＷを略水平姿勢で保持すると共に回転させるための機構であり、支持軸部１１と、支持軸部１１の上端部に設けられたスピンチャック１２と、支持軸部１１の下端部に連結された回転軸を有するスピンモータ１３とを備えている。

スピンチャック１２は、半導体ウエハＳＷを略水平姿勢に保持するものであり、半導体ウエハＳＷを吸着保持するバキュームチャックにより構成されている。スピンチャック１２として、その他、半導体ウエハＳＷの外周縁部を掴んで保持するメカチャックを用いてもよい。

スピンモータ１３は、例えば、サーボモータにより構成されるものであり、後述する制御部６０から与えられる信号（パルス数信号等）により回転速度及び回転量を可変に制御可能に構成されている。このスピンモータ１３の回転が支持軸部１１を介してスピンチャック１２に伝達される。このスピンモータ１３の回転駆動により、半導体ウエハＳＷが鉛直軸を回転軸として水平面内で回転可能とされることとなる。

なお、スピンチャック１２の周りには、スピンチャック１２に保持される半導体ウエハＳＷを囲むようにして平面視略円形状の内カップ１６が設けられている。内カップ１６の上側開口部は、上方に向けて順次狭まる開口形状に形成されている。そして、その開口上縁部を半導体ウエハＳＷの外周部周りに配設した上昇位置とそれよりも低い下降位置との間で、エアシリンダ等の昇降機構によって昇降移動自在とされている。

また、内カップ１６を囲むようにして平面視略方形状の外カップ１７が設けられている。そして、現像液供給ノズル２０や処理液供給ノズル４０から半導体ウエハＳＷ上に現像液や処理液を吐出する際、該半導体ウエハＳＷからはみ出た部分に供給された現像液や処理液等が、内カップ１６の外周面を伝わって或は内カップ１６と外カップ１７間を通って、外カップ１７の底部に向けて導かれるようになっている。

さらに、外カップ１７の外方一側部であって現像液供給ノズル２０の待機位置に対応して、待機ポット１８が設けられている。待機ポット１８は、現像液供給ノズル２０を上方から収容配置可能な上方開口状の筺状体に形成されている。

現像液供給ノズル２０は、半導体ウエハＳＷの幅寸法（直径寸法）と実質的に同寸法又はそれ以上の吐出幅で現像液を吐出する吐出部２２を有している。

図４は現像液供給ノズル２０に形成された吐出部２２を示す図である。同図に示すように、現像液供給ノズル２０は、長尺状のノズル本体部２１の一側部に、スリット状の吐出部２２が形成されてなる。吐出部２２は、ノズル本体部２１の長手方向に沿って延びている。この吐出部２２からは、その幅方向全体に亘って一様なカーテン状に現像液が吐出され、半導体ウエハＳＷの幅方向全体に亘って現像液を供給可能な構成となっている。

また、この現像液供給ノズル２０には、現像液供給機構系が連結されている。この現像液供給系機構については、後述する。

図１〜図３に戻って、現像液供給ノズル走査機構３０は、半導体ウエハＳＷの上方を通過するように、現像液供給ノズル２０を水平方向に沿って移動させるための機構であり、支持体５の両側部に水平移動自在にガイド支持された一対の支持側板部３１ａ，３１ｂと、一方側の支持側板部３１ａを水平方向に沿って往復移動させるための水平駆動部３５とを備えている。

一方側の支持側板部３１ａは、長尺板形状に形成されている。この支持側板部３１ａの上側部分を支持体５よりも上方に突出させた状態で、支持側板部３１ａの下側部分が、支持体５の一側壁部の外面に設けられた２本のリニアガイド３２によって水平方向に沿って移動自在にガイド支持されている。

また、水平駆動部３５は、支持体５の一側壁部の両端部に設けられた駆動プーリ３６及び従動プーリ３７と、駆動プーリ３６を回転させるための現像液供給ノズル走査用モータ３６ａと、これらプーリ３６，３７に巻掛けられたベルト３８とを備えている。また、上記支持側板部３１ａの下端部は、ベルト３８のうち両プーリ３６，３７間を走行する上側部分に固定されている。そして、現像液供給ノズル走査用モータ３６ａの駆動により駆動プーリ３６を回転させることで、ベルト３８が回転し、この回転に伴って支持側板部３１ａが支持体５の一側で水平方向に沿って往復移動する構成となっている。なお、現像液供給ノズル走査用モータ３６ａは、例えばステッピングモータにより構成されており、制御部６０から与えられる信号（パルス数信号等）に応じて正逆両方向への回転量及び回転速度を制御可能に構成されている。

なお、支持体５の一側壁部の外面には、支持側板部３１ａの移動位置を検出することで現像液供給ノズル２０の移動位置を検出する複数の位置検出センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄが設けられている。図２の右側から順に、処理液供給動作位置Ｕ１を検出する位置検出センサ３４ａ、待機位置Ｕ２を検出する位置検出センサ３４ｂ、現像液吐出開始位置Ｕ３を検出する位置検出センサ３４ｃ、現像液吐出停止位置Ｕ４を検出する位置検出センサ３４ｄである。そして、支持側板部３１ａに取付けられたセクタ３１ｅが各センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄに挿入されることで、各位置Ｕ１，Ｕ２，Ｕ３，Ｕ４の検出がなされるようになっている。

また、他方側の支持側板部３１ｂは、長尺板形状に形成されている。また、支持体５とは別の支持体にガイドレール３３が固定されている。そして、上記支持側板部３１ｂの上側部分を支持体５よりも上方に突出させた状態で、支持側板部３１ｂの下端部がカムフォロワー３３ａを介してガイドレール３３上を水平方向に沿って往復移動自在に支持された構成となっている。なお、現像液供給ノズル２０が上昇した位置にある状態では、カムフォロワー３３ａとガイドレール３３とは互いに離間した状態となる。

また、両支持側板部３１ａ，３１ｂの上端部分間に掛渡すようにして現像液供給ノズル２０が固定支持されている。現像液供給ノズル２０は、略水平姿勢でかつ吐出部２２を下方に向けた姿勢で、即ち、ほぼ真下に向けて現像液を吐出させる姿勢とされている。なお、現像液供給ノズル２０の一側部にも両支持側板部３１ａ，３１ｂの上端部分間に掛渡すようにして、補強用の横棹部３１ｃが配設されている。なお、これらの両支持側板部３１ａ，３１ｂ及び横棹部３１ｃは、例えば鋳物成形等で、一体形成されていることが好ましい。

そして、現像液供給ノズル走査機構３０の駆動により、現像液供給ノズル２０が半導体ウエハＳＷの上方を通過可能となっており、また、その通過の際に、吐出部２２から現像液を吐出させることで、半導体ウエハＳＷの主面に現像液が供給される構成となっている。

なお、他方側の支持側板部３１ｂ及びこれを支持するガイドレール３３を省略し、現像液供給ノズル２０を片持ち支持する構成であってもよい。

現像液供給ノズル昇降機構３９は、現像液供給ノズル２０が半導体ウエハＳＷの上方を通過可能な位置と、それより低位置にあって現像液供給ノズル２０が待機ポッド１８内に配設可能な位置との間で、当該現像液供給ノズル２０を昇降駆動させる機構であり、ここでは、エアシリンダ３９ａと現像液供給ノズル昇降ガイド３９ｂとを備えている。

現像液供給ノズル昇降ガイド３９ｂは支持体５を昇降移動自在にガイドしており、エアシリンダ３９ａは支持体５を昇降移動させる。そして、支持体５が昇降移動することで、該支持体５に取付けられた各構成要素、即ち、現像液供給ノズル２０や、現像液供給ノズル走査機構３０、処理液供給ノズル４０、処理液供給ノズル回動機構５０が昇降することとなる。ここで、上記ウエハ保持・回転機構１０や内カップ１６、外カップ１７、待機ポット１８は、支持体５とは別の支持体により支持されている。従って、支持体５と共に昇降する現像液供給ノズル２０や処理液供給ノズル４０は、ウエハ保持・回転機構１０により保持される半導体ウエハＳＷに対して相対的に上下に移動する。

なお、エアシリンダ３９ａの代りに、サーボモータ、ボールネジ機構を用いてもよい。この場合、現像液供給ノズル２０の高さ調整を任意に設定できるという利点がある。

これらの現像液供給ノズル走査機構３０及び現像液供給ノズル昇降機構３９によって、現像液供給ノズル２０を移動させるための移動機構が構成される。

処理液供給ノズル４０は、半導体ウエハＳＷの幅寸法（直径寸法）と実質的に同寸法又はそれ以上の吐出幅で、半導体ウエハＳＷの帯電を防止しつつ現像反応を停止させる処理液として帯電防止処理液を吐出する吐出部４２を有している。

ここでは、処理液供給ノズル４０は、上記現像液供給ノズルと同様に、長尺状のノズル本体部４１の一側部に、スリット状の吐出部４２が形成されてなる。吐出部４２は、ノズル本体部４１の長手方向に沿って延びている。この吐出部４２からは、その幅方向全体に亘って一様なカーテン状に帯電防止処理液が吐出され、半導体ウエハＳＷの幅方向全体に亘って帯電防止処理液を供給可能な構成となっている。

そして、後述するように、処理液供給ノズル４０が半導体ウエハＳＷ上を通過することで、該半導体ウエハＳＷ上に帯電防止処理液が供給される。この帯電防止処理液により、半導体ウエハＳＷ上の現像液が現像反応を停止させる程度の濃度以下に薄められ、或は、現像液が帯電防止処理液に置換され、半導体ウエハＳＷ上での現像反応が停止することになる。

また、この処理液供給ノズル４０には、帯電防止処理液の供給を行うための処理液供給系機構が連結されている。この処理液供給系機構については、後述する。

処理液供給ノズル回動機構５０は、半導体ウエハＳＷの上方を通過するように、処理液供給ノズル４０を回動させるための機構であり、処理液供給ノズル回動用モータ５２と、回転軸部５４とを備えている。

処理液供給ノズル回動用モータ５２は、ステッピングモータ等により構成されるものであり、ブラケット５１及び処理液供給ノズル昇降機構５６を介して、上記現像液供給ノズル２０の一端部よりの位置に取付けられている。このモータ５２の回転速度及び回転量は、制御部６０から与えられる信号（パルス数信号等）に応じて可変に制御される。

上記回転軸部５４は、処理液供給ノズル回動用モータ５２のモータ軸に連結されて、ブラケット５１の下面より垂設されている。上記現像液供給ノズル２０が処理液供給動作位置Ｕ１に位置する状態で、回転軸部５４は、ウエハ保持・回転機構１０により保持された半導体ウエハＳＷの周縁部に外接する仮想正方形Ｓの一頂点を中心として回転自在とされる。

この回転軸部５４の下端部に、処理液供給ノズル４０の一端部が連結固定されることで、該処理液供給ノズル４０が支持体５の上方に略水平姿勢で片持支持されている。また、処理液供給ノズル４０の吐出部４２は、水平面に対して、処理液供給ノズル４０の吐出時の回動方向とは反対方向に向けて例えば１５度から６０度の範囲で傾斜するように設定されている。なお、このように処理液供給ノズル４０の回動方向とは反対方向に傾斜させているのは、処理液供給ノズル４０の移動に先行して帯電防止処理液が流れてしまうことを防止するためである。そして、上記処理液供給ノズル回動用モータ５２の駆動により回転軸部５４が回転することで、処理液供給ノズル４０が半導体ウエハＳＷの上方を通過するように回動する。処理液供給ノズル４０が半導体ウエハＳＷの上方を通過際に、その吐出部４２から帯電防止処理液を吐出することで、半導体ウエハＳＷの主面上に帯電防止処理液が供給されることになる。

処理液供給ノズル４０は、ブラケット５１、処理液供給ノズル回動用モータ５２及び処理液供給ノズル昇降機構５６及び後述するシリンダ取付用ブラケット３１ｄを介して、上記横棹部３１ｃに取付けられていることになる。

なお、ブラケット５１には、センサブラケット５５ａを介して処理液供給ノズル原点位置検出用センサ５５ｂが取付けられている。一方、処理液供給ノズル４０のノズル本体部４１側には、被検出子であるセクタ４１ａが固定されている。そして、ノズル４０が原点位置（現像液供給ノズル２０に対して実質的に平行な姿勢が原点位置）に位置する状態で、該セクタ４１ａがセンサ５５ｂに挿入される。これにより、センサ５５ｂは、処理液供給ノズル４０が原点位置にあるか否かを検出する。

図５及び図６は、現像液供給ノズル２０と処理液供給ノズル４０とを示す要部拡大図であり、図５は処理液供給ノズル４０が上方の位置にある状態を示し、図６は処理液供給ノズル４０が下方の位置にある状態を示している。

すなわち、処理液供給ノズル昇降機構５６は、ロッド５６ｃを介してブラケット５１ａ側に固定されたブロック片５６ａとシリンダ取付用ブラケット３１ｄを介して横棹部３１ｃ側に固定されたブロック片５６ｂとが上下にスライド自在に連結されてなる。この一方のブロック片５６ａは、例えばエア駆動により、他方のブロック片５６ｂに対して相対的にスライド移動するようになっている。これにより、ブラケット５１が上下に移動することで、現像液供給ノズル２０に対して、処理液供給ノズル４０が処理液供給ノズル回動用モータ５２等と共に昇降移動する構成となっている。

なお、この実施の形態では、処理液供給ノズル４０が現像液供給ノズル２０に対して一体的に取付けられた構成となっているが、それらを別々に独立して設けてもよい。

また、図１〜図３に戻って、最終リンス液供給ノズル７０は、ノズル支持アーム７１の先端部とそれよりも手前の位置に２つ取付けられている。各最終リンス液供給ノズル７０のそれぞれには配管７２を介してリンス液が供給される。

ここで、供給されるリンス液としては、上記処理液供給ノズル４０から供給されるのと同様の帯電防止処理液であってもよいし、或は、純水であってもよい。純水を用いることで、省薬液を図ることができる。

先端部の最終リンス液供給ノズル７０は、半導体ウエハＳＷの中央部にリンス液を供給するためのもので、それよりも手前の位置の最終リンス液供給ノズル７０は半導体ウエハＳＷの外周側部分にリンス液を供給するためのものである。ノズル支持アーム７１の一端部は半導体ウエハＳＷの外周側、より具体的には、処理液供給動作位置Ｕ１よりも外側の位置に回動自在に取付けられている。そして、半導体ウエハＳＷに現像液や帯電防止処理液を供給する際には、ノズル支持アーム７１は半導体ウエハＳＷから側方へ外れた待機位置に位置している（１参照）。また、半導体ウエハＳＷに帯電防止処理液を供給した後、該半導体ウエハＳＷの上面を洗浄する際には、先端側の最終リンス液供給ノズル７０が半導体ウエハＳＷの上方に位置するように、最終リンス液供給ノズル回転用モータ７３（図９参照）を含むノズル回転機構の駆動によりノズル支持アーム７１が回動し、該最終リンス液供給ノズル７０からのリンス液が半導体ウエハＳＷの中央部及びそれよりも外周側の部分に向けて吐出される構成となっている。

図７は現像液供給系機構を示す配管図である。

現像液供給系機構は、加圧用の現像液タンク８０と、該現像液タンク８０とそれとは別の現像液貯留タンク又は工場に設置された所定の現像液供給源である工場ユーティティとの間を結ぶ第１現像液系配管８１と、所定のＮ２ガス供給源と現像液タンク８０との間を結ぶ第２現像液系配管８２と、現像液タンク８０と現像液供給ノズル２０との間を結ぶ第３現像液系配管８３とを備えている。第１現像液系配管８１には、エアオペレーションバルブ８１ａが介装されている。また、第２現像液系配管８２には、Ｎ２ガスの流量調整用のレギュレータ８２ａとエアオペレーションバルブ８２ｂとが介装されている。第３現像液系配管８３には、エアオペレーションバルブ８３ａ、現像液供給ノズル２０に向けて流れる現像液の流量を計測するとともにこの流量を調整する機構を備えた流量計８３ｂ及び該現像液に含まれる異物を除去するためのフィルタ８３ｃが介装されている。上記第１現像液系配管８１及び第２現像液系配管８２の現像液タンク８０側端部は、現像液タンク８０内の現像液非貯留空間である上部空間に開口しており、第３現像液系配管８３の現像液タンク８０側の端部は、現像液タンク８０内の底部に向けて引込まれおり、その開口が貯留された現像液に浸された状態となっている。上記各エアオペレーションバルブ８１ａ、８２ｂ、８３ａの開閉制御は、例えばＮ２ガス等の気体の流量制御により行われ、その開閉制御用の気体の流量は、制御部６０による電磁弁の開閉制御により調整される。

現像液供給ノズル２０に現像液を供給するにあたって、前もって、現像液タンク８０内に現像液を供給する。現像液タンク８０内に現像液を供給する際には、エアオペレーションバルブ８２ｂ，８３ａを閉じた状態で、エアオペレーションバルブ８１ａを開いて、第１現像液系配管８１を通じて現像液を現像液タンク８０内に供給する。そして、現像液タンク８０内に充分に現像液が貯留され、現像液供給ノズル２０に現像液を供給する場合には、エアオペレーションバルブ８１ａを閉じた状態で、エアオペレーションバルブ８２ｂ，８３ａを開く。これにより、第２現像液系配管８２を通じて現像液タンク８０内にＮ２ガスが導入され、現像液タンク８０の内圧が高まり、この内圧により現像液タンク８０が押出され、第３現像液系配管８３を通じて現像液供給ノズル２０に現像液が供給されることとなる。なお、第３現像液系配管８３を通じて現像液供給ノズル２０に供給される現像液の流量調整は、流量計８３ｂにより行われる。

図８は処理液供給系機構を示す配管図である。

処理液供給系機構は、加圧用の処理液タンク８５と、該処理液タンク８５とそれとは別の液貯留タンク又は工場に設置された所定の純水供給源である工場ユーティティとの間を結ぶ第１処理液系配管８６と、所定のＮ２ガス供給源と処理液タンク８５との間を結ぶ第２処理液系配管８７と、処理液タンク８５と処理液供給ノズル４０との間を結ぶ第３処理液系配管８８とを備えている。第１処理液系配管８６には、エアオペレーションバルブ８６ａが介装されている。また、第２処理液系配管８７には、Ｎ２ガスの流量調整用のレギュレータ８７ａとエアオペレーションバルブ８７ｂとが介装されている。第３処理液系配管８８には、エアオペレーションバルブ８８ａ、処理液に含まれる異物を除去するためのフィルタ８８ｃ及び該処理液供給ノズル４０に向けて流れる処理液の流量を計測するとともにこの流量を調整する機構を備えた流量計８８ｂとが介装されている。

つまり、この処理液供給系機構は、第３処理液系配管８８におけるフィルタ８８ｃと流量計８８ｂの位置が逆になっている点と、次述するガス溶解部８９が付加された点を除けば、上記現像液供給系機構と同様構成となっており、同様の原理・動作にて、処理液供給ノズル４０に対して帯電防止処理液の供給を行う。

また、第３処理液系配管８８の途中、ここでは、流量計８８ｂと処理液供給ノズル４０との間に、ガス溶解部８９が介挿されている。このガス溶解部８９には、図示省略の炭酸ガス供給源からの炭酸ガスが供給されており、ガス溶解部８９は、供給された炭酸ガスを純水に溶解させる。このようなガス溶解部８９としては、例えば、水分子を透過させずに気体分子だけを透過させる隔膜を用いて炭酸ガスを純水に溶解させる構成や、超音波ノズルにより純水を炭酸ガス雰囲気中に噴霧して炭酸ガスを純水に溶解させる構成等を採用することができる。

このように、純水に炭酸ガスを溶解させることで得られた炭酸水溶液では、水素イオンと炭酸水素イオンとが解離しているため電気比抵抗値が小さい。このため、かかる炭酸水溶液が基板上に供給されると、該基板の帯電を解消する役目を持つ帯電防止処理液として機能する。

なお、帯電防止処理液としては、上述のような炭酸水溶液の他、基板の帯電を解消できる程度にイオンが解離した種々の処理液を用いることができる。

図９は、本基板処理装置の電気的構成を示すブロック図である。

制御部６０は、後に説明する一連の動作制御を行うものであり、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備え、予め格納されたソフトウェアプログラムによって所定の演算動作を行う一般的なマイクロコンピュータにより構成されている。

この制御部６０には、現像液供給ノズル２０の移動位置を検出する位置検出センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄと、処理液供給ノズル原点位置検出用センサ５５ｂとが接続されており、各検出信号が制御部６０に入力される。また、操作パネル６２が制御部６０に接続されており、該操作パネル６２を通じて所定の操作指令が制御部６０に入力される構成となっている。

また、サーボモータ等により構成されるスピンモータ１３が制御部６０に接続されている。制御部６０は、該スピンモータ１３側のロータリーエンコーダ等の回転量検出機構等により出力される検出信号を受取り、該検出信号に基づいてスピンモータ１３の回転量をフィードバック制御する。

さらに、現像液供給ノズル走査用モータ３６ａと、現像液供給ノズル昇降用のエアシリンダ３９ａと、処理液供給ノズル回動用モータ５２と、処理液供給ノズル昇降機構（エアシリンダ）５６と、最終リンス液供給ノズル回転用モータ７３と、上記現像液供給系機構及び処理液供給系機構におけるエアオペレーションバルブ８１ａ、８２ｂ、８３ａ、８６ａ、８７ｂ、８８ａ用の各電磁弁もそれぞれ制御部６０に接続されており、それぞれ制御部６０によって動作制御がなされる。

次に、この基板処理装置による半導体ウエハＳＷの現像処理動作について説明する。

図１０は基板処理装置による一連の現像処理動作を示すフローチャートであり、図１１は現像液供給ノズル２０の動きを説明するための説明図であり、図１２は処理液供給ノズル４０の動きを説明するための説明図である。

処理開始後、まず、ステップＳ１において、搬送ロボットにより半導体ウエハＳＷがウエハ保持・回転機構１０のスピンチャック１２上に搬入される。なお、初期状態において内カップ１６は下降している。

続いて、ステップＳ２で半導体ウエハＳＷに対して現像液が供給される。

すなわち、図１１に示すように、初期状態では、現像液供給ノズル２０は、待機位置Ｕ２において待機ポット１８内に下降した位置にある。そして、ステップＳ２の処理開始後、矢符(i)に示すように当該待機位置Ｕ２において現像液供給ノズル２０が上昇し、待機ポット１８から上方に離れる。続いて、矢符(ii)に示すように、現像液供給ノズル２０が半導体ウエハＳＷの一端部の現像液吐出開始位置Ｕ３に向けて一定速度で水平移動した後、現像液吐出開始位置Ｕ３で矢符(iii)に示すように現像液供給ノズル２０が下降し、現像液供給ノズル２０からの現像液の吐出が開始される。次に、矢符(iv)に示すように、現像液供給ノズル２０は現像液吐出開始位置Ｕ３から半導体ウエハＳＷの他端部の現像液吐出停止位置Ｕ４に向けて一定速度で水平移動しつつ、一定流量で現像液を半導体ウエハＳＷに向けて供給する。これにより、現像液が半導体ウエハＳＷ上に液盛りされる。

次に、矢符(v)に示すように、現像液吐出停止位置Ｕ４で、現像液供給ノズル２０が上昇する。

なお、このステップＳ２において、処理液供給ノズル４０は、上昇位置にあって、現像液供給ノズル２０と共に移動している。また、半導体ウエハＳＷは静止している。

次に、ステップＳ３において、静止現像処理を行う。

すなわち、半導体ウエハＳＷの静止させた状態で、露光後の半導体ウエハＳＷに対する現像処理を行う。この静止現像時間は、レジストの溶解速度や装置のスループット等に依存し、３秒から１２０秒の範囲内で設定される。

なお、この静止現像処理が終了した後、図１１の矢符(vi)に示すように、現像液供給ノズル２０は一旦待機位置Ｕ２に戻り待機ポット１８内に下降する。なお、処理液供給ノズル４０と現像液供給ノズル２０とは別に設けた構成にあっては、後述する基板搬出工程（ステップＳ７）後、即ち、半導体ウエハＳＷを取出した後で、現像液供給ノズル２０が待機位置Ｕ２に戻る構成であってもよい。

次に、ステップＳ４に示すように、半導体ウエハＳＷに対して帯電防止処理液の供給を行う。

まず、図１１の矢符(vii)に示すように、現像液供給ノズル２０が上昇し、半導体ウエハＳＷから離れた位置である処理液供給動作位置Ｕ１に向けて移動する。現像液供給ノズル２０は上昇位置のまま静止する。このとき、処理液供給ノズル４０は半導体ウエハＳＷの一端部上に位置することとなる。この位置は、現像液供給ノズル２０が現像液の吐出を開始する位置とは若干異なっており、当該位置よりも若干半導体ウエハＳＷに近づいた位置である。

この状態で、図１２の矢符ａに示すように、現像液供給ノズル２０に対して処理液供給ノズル４０が下降する。続いて、処理液供給ノズル４０からの帯電防止処理液の吐出を開始する。帯電防止処理液吐出開始後、処理液供給ノズル４０の回動を開始するのと同時に、半導体ウエハＳＷの回転を開始する。なお、半導体ウエハＳＷの周方向において、帯電防止処理液の供給がなされる位置と現像液の供給がなされる位置とは実質的に同じである。そして、処理液供給ノズル４０をπ／２rad（９０度）回動させる（図１２の矢符ｂ参照）と共に、半導体ウエハＳＷを同じくπ／２rad（９０度）回転させる。

この際、半導体ウエハＳＷのうち帯電防止処理液の供給を開始する供給開始端とこれに対して半導体ウエハＳＷの中心を挟んで反対側となる供給終了端とを結ぶ方向を仮想走査方向とすると、この仮想走査方向と処理液供給ノズル４０の延在方向とが可及的に直交する関係にあることが好ましい。

また、半導体ウエハＳＷにおける処理液供給ノズル４０の仮想走査方向における処理液供給ノズル４０の速度成分と、上記現像液供給ノズル２０の速度とが可及的に等しい関係にあることが好ましい。

これら両関係を可及的に満足するように、処理液供給ノズル４０の回転速度や半導体ウエハＳＷの回転速度が適宜制御される。

なお、この場合、従来のようにウエハの中央部に供給されたリンス液をウエハ全面に行渡らせるように、該ウエハを高速回転させる必要はない。従って、回転によって半導体ウエハＳＷに帯電が過度に生じない程度の低速で半導体ウエハＳＷが回転する。

このように半導体ウエハＳＷ上に帯電防止処理液が供給されることで、当該半導体ウエハＳＷ上における現像反応が停止する。

そして、処理液供給ノズル４０が半導体ウエハＳＷ上を回動した後、図１２の矢符ｃに示すように、処理液供給ノズル４０が現像液供給ノズル２０に対して上昇し、矢符ｄに示すように、処理液供給ノズル４０が先ほどとは逆方向に元の原点位置に戻る。そして、図１１の矢符(viii)(ix)に示すように、現像液供給ノズル２０が待機位置Ｕ２に移動し待機ポット１８内に下降する。

次に、ステップＳ５において、半導体ウエハＳＷ上に最終的なリンス供給が行われる。

すなわち、内カップ１６を上昇させ、半導体ウエハＳＷを回転させつつ、リンス液（純水）を最終リンス液供給ノズル７０から半導体ウエハＳＷの中央部に供給して、現像生成物を洗浄して除去する。

このときの半導体ウエハＳＷの回転数は、例えば、５００rpmから１０００rpmである。

次に、ステップＳ６において、半導体ウエハＳＷを高速回転させて、半導体ウエハＳＷ上のリンス液を振り切り乾燥する。

このときの半導体ウエハＳＷの回転数は、例えば、１５００rpmから３０００rpmである。

最後に、ステップＳ７において、内カップ１６を下降させ、スピンチャック１２による半導体ウエハＳＷの吸着保持を解除した後、搬送ロボットにより半導体ウエハＳＷを搬出する。

以上のように構成された基板処理装置によると、所定の吐出幅で帯電防止処理液を吐出する吐出部４２を有する処理液供給ノズル４０が、半導体ウエハＳＷの上方を通過することで、帯電防止処理液が半導体ウエハＳＷ全体にほぼ均一な態様で供給される。

この際、従来のように、処理液を半導体ウエハＳＷ全体に行渡らせるために該半導体ウエハＳＷを高速回転させる必要がないため、半導体ウエハＳＷの帯電を防止できる。また、半導体ウエハＳＷ上に炭酸水等の帯電防止処理液を供給しているため、半導体ウエハＳＷに僅かに生じた帯電もその帯電防止処理液によって解消される。従って、半導体ウエハＳＷの帯電防止効果に優れ、現像欠陥の発生を防止できる。

しかも、スリット状の吐出部４２が半導体ウエハＳＷ上方を移動することで、現像停止液が、半導体ウエハＳＷ上に供給されるため、半導体ウエハＳＷ上における現像液の濃度変化が比較的緩やかになり、現像反応が緩やかに停止する。これにより、急激な中和による欠陥発生を抑制することができる。

さらに、その帯電防止処理液は、所定の吐出幅の吐出部４２を有する処理液供給ノズル４０により、半導体ウエハＳＷ全体にほぼ均一な態様で供給されるため、該帯電防止処理液が供給されない領域を可及的に無くすことができ、この点からも現像欠陥の発生を防止できる。

また、この基板処理装置では、図１３に示すように、処理液供給ノズル４０は、半導体ウエハＳＷに対して仮想走査方向Ｌａに沿って非直線的に、即ち、円弧状に移動する。このため、帯電防止処理液を半導体ウエハＳＷ全体に均一に供給できる。

図１４及び図１５を参照してより詳細に説明する。図１４及び図１５は、処理液供給ノズル４０の延在方向に沿った所定箇所で帯電防止処理液の非供給箇所Ｐ１が生じた状態で、帯電防止処理液の供給を行った場合における、半導体ウエハＳＷに対する帯電防止処理液の供給状態を示している。なお、図１４及び図１５において、右上がりの斜線を付した領域は、図１４に示す時点において、帯電防止処理液が供給された領域を示している。また、図１５において、左上がりの斜線を付した領域は、図１５に示す時点において、帯電防止処理液が供給された領域を示している。

図１４に示すように、処理液供給ノズル４０が半導体ウエハＳＷの仮想走査方向Ｌａの途中まで移動した状態を想定すると、前記非供給箇所Ｐ１の後方延長上において、半導体ウエハＳＷ上で帯電防止処理液の非供給領域Ｅ１が筋状に残ることとなる。

そして、図１５に示すように、処理液供給ノズル４０が半導体ウエハＳＷ上を略弧状に移動すると、処理液供給ノズル４０は、仮想走査方向Ｌａに沿って距離Ｍｘ移動すると共に、仮想走査方向Ｌａに実質的に直交する方向に沿って距離Ｍｙ移動することとなる。従って、吐出部４２の非供給箇所Ｐ１も、図１４に示す位置から、仮想走査方向Ｌａに実質的に直交する方向に沿って距離Ｍｙずれた位置に移動し、吐出部４２のうち帯電防止処理液を供給可能な部分（非供給箇所Ｐ１以外の部分）が上記非供給領域Ｅ１に対応する位置に配設される。そして、図１５に示す状態では、吐出部４２のうち帯電防止処理液を供給可能な部分から吐出される帯電防止処理液が、上記非供給領域Ｅ１に供給されることとなる。

これらの動作が処理液供給ノズル４０の回転移動に伴い、連続的に行われるので、半導体ウエハＳＷ上における帯電防止処理液の非供給領域を無くすことができる。これにより現像の均一化、現像欠陥の防止が図られる。

なお、本実施形態において、最終リンス工程（ステップＳ５）における最終リンスの供給態様は、上記の態様に限られない。例えば、処理液供給ノズル４０と同様、スリット状の吐出部を有するノズルを用いて、リンス液を供給してもよい。また、この最終リンス工程（ステップＳ５）自体を省いてもよい。

｛第２の実施の形態｝
この発明の第２の実施の形態に係る基板処理装置について説明する。なお、本実施形態の説明において、上記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様構成要素については同一符号を用いてその説明を省略する。

この第２の実施の形態に係る基板処理装置では、処理液供給ノズル４０に、上記１実施形態の図８に示す処理液供給系機構に換えて、図１６に示す処理液供給系機構が連結されている。

図１６に示す処理液供給系機構は、第１の処理液供給ノズルである処理液供給ノズル４０に対して、第１の処理液として現像反応を停止させる現像停止液（例えば純水）を供給する機構である。具体的な構成は、図８に示す処理液供給系機構においてガス溶解部８９を除いた構成と同じである。

また、この基板処理装置では、第２の処理液供給ノズルである最終リンス液供給ノズル７０に、第２の処理液として帯電防止洗浄液を供給する帯電防止洗浄液供給機構が連結されている。

この帯電防止洗浄液供給機構は、図１７に示すように、加圧用の処理液タンク１８５と、該処理液タンク１８５とそれとは別の液貯留タンク又は工場に設置された所定の純水供給源である工場ユーティティとの間を結ぶ第１帯電防止洗浄液系配管１８６と、所定のＮ２ガス供給源と処理液タンク１８５との間を結ぶ第２帯電防止洗浄液系配管１８７と、処理液タンク１８５と最終リンス液供給ノズル７０との間を結ぶ第３帯電防止洗浄液系配管１８８とを備えている。第１帯電防止洗浄液系配管１８６には、エアオペレーションバルブ１８６ａが介装されている。また、第２帯電防止洗浄液系配管１８７には、Ｎ２ガスの流量調整用のレギュレータ１８７ａとエアオペレーションバルブ１８７ｂとが介装されている。第３帯電防止洗浄液系配管１８８には、エアオペレーションバルブ１８８ａ、帯電防止洗浄液に含まれる異物を除去するためのフィルタ１８８ｃ及び該最終リンス液供給ノズル７０に向けて流れる帯電防止洗浄液の流量を計測するとともにこの流量を調整する機構を備えた流量計１８８ｂとが介装されている。さらに、第３帯電防止洗浄液系配管１８８の途中、ここでは、流量計８８ｂと最終リンス液供給ノズル７０との間に、ガス溶解部１８９が介挿されている。

すなわち、この帯電防止洗浄液供給機構は、図８に示す処理液供給系機構と同様構成となっており、同様の原理・動作にて、最終リンス液供給ノズル７０に対して帯電防止洗浄液の供給を行う。

なお、この最終リンス液供給ノズル７０に供給される帯電防止洗浄液には、気泡を発生させない程度の濃度で、イオン、即ち、炭酸が溶解しいることが好ましい。

図１８は基板処理装置による一連の現像処理動作を示すフローチャートである。

処理開始後、半導体ウエハＳＷの搬入が行われ（ステップＳ１１（基板搬入工程））、この後、半導体ウエハＳＷに対して現像液の供給が行われ（ステップＳ１２（現像液供給工程（ステップＳ１２））、さらにこの後、静止現像処理（ステップＳ１３（静止現像工程））を行う。このステップＳ１１〜Ｓ１３までの処理は、上記ステップＳ１〜Ｓ３と同様工程である。

そして、現像液供給後所定時間が経過して静止現像処理が終了すると、ステップＳ１４において、半導体ウエハＳＷに対して現像停止液の供給を行う。

すなわち、処理液供給ノズル４０からの現像停止液の吐出を開始した後、処理液供給ノズル４０の回動を開始するのと同時に、半導体ウエハＳＷの回転を開始する。

これにより、第１実施形態において、半導体ウエハＳＷ上に帯電防止処理液が供給されるのと同様態様で、半導体ウエハＳＷ上に現像停止液が供給される。このように半導体ウエハＳＷ上に現像停止液が供給されることで、当該半導体ウエハＳＷ上における現像反応が停止する。

なお、この際、処理液供給ノズル４０からは、半導体ウエハＳＷ上の現像液を所定濃度（現像反応が停止する程度の濃度）以下にできる程度の量、態様で現像停止液が供給される。このため、この工程Ｓ１４直後では、半導体ウエハＳＷ上には、現像処理等による生成物等が残存している。

すなわち、最終リンス液供給ノズル７０を半導体ウエハＳＷの上方に移動させ、半導体ウエハＳＷを回転させつつ、帯電防止洗浄液を最終リンス液供給ノズル７０から半導体ウエハＳＷの中央部に供給する。このとき、半導体ウエハＳＷ上の現像液が完全に帯電防止洗浄液に置換、除去されると共に、現像生成物が洗浄除去される程度の量、態様で、帯電防止洗浄液が供給される。

この際、半導体ウエハＳＷには、帯電防止洗浄液が供給されているため、半導体ウエハＳＷを高速回転させた場合であっても、高速回転による半導体ウエハＳＷの摩擦帯電は抑制される。

なお、ステップＳ１４，１５における処理液供給ノズル４０等の動作は、上記第１実施形態におけるステップＳ４，Ｓ５における動作とほぼ同じである。

次に、上記ステップＳ６，Ｓ７と同様に、ステップＳ１６において、半導体ウエハＳＷを高速回転させて、半導体ウエハＳＷ上のリンス液を振り切り乾燥する。最後に、ステップＳ１７において、搬送ロボットにより半導体ウエハＳＷを搬出する。

以上のように構成された基板処理装置及び基板処理方法によると、半導体ウエハＳＷ上に、現像停止液を供給した後に、帯電防止洗浄液を供給しているため、現像液と帯電防止洗浄液との反応物の生成を抑制することができ、欠陥の発生を防止できる。

そして、この現像停止液供給後に続いて、半導体ウエハＳＷ上の現像液及び生成物を除去洗浄すべく帯電防止洗浄液を供給しているため、現像停止後の洗浄処理において、半導体ウエハＳＷの帯電が抑制される。従って、半導体ウエハＳＷ上の液中の帯電粒子が半導体ウエハＳＷ表面に付着することに起因する現像欠陥を抑制できる。

特に、帯電防止洗浄液として、気泡を発生させない程度の濃度で、炭酸イオン等のイオンが溶解した液を用いると、気泡によるパターン倒壊等を防止できる。

なお、本実施形態において、帯電防止洗浄液を供給する構成は上記の態様に限られない。例えば、処理液供給ノズル４０と同様に、スリット状の吐出部を有するノズルを用いて帯電防止洗浄液を供給してもよい。

｛変形例｝
なお、上記各実施形態では、処理液供給ノズル４０と半導体ウエハＳＷとの双方を回転させた例について述べたが、図１９に示すように、半導体ウエハＳＷを静止状態に保ったままで、処理液供給ノズル４０を、その半導体ウエハＳＷの一端側から他端側に向けて直線的に移動させるようにしてもよい。

また、図２０に示すように、半導体ウエハＳＷを静止状態に保ったままで、処理液供給ノズル４０を、その半導体ウエハＳＷの一端側と他端側とを結ぶ方向に対して斜行するラインに沿って直線的に移動させるようにしてもよい。なお、このとき、処理液供給ノズル４０の移動方向と処理液供給ノズル４０の延在方向とは常に同じ角度を保つ姿勢で、処理液供給ノズル４０を移動させるようにする。

また、現像液供給ノズル２０について、処理液供給ノズル４０と同様に、現像液供給ノズル２０と半導体ウエハＳＷとの双方を回転させて、現像液を供給するようにしてもよい。

この発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。同上の基板処理装置の概略構成を示す側面図である。図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。現像液供給ノズルに形成された吐出部を示す図である。現像液供給ノズルと処理液供給ノズルとを示す要部拡大図である。現像液供給ノズルと処理液供給ノズルとを示す要部拡大図である。現像液供給系機構を示す図である。処理液供給系機構を示す図である。基板処理装置の電気的構成を示すブロック図である。基板処理装置による一連の現像処理動作を示すフローチャートである。現像液供給ノズルの動きを説明するための図である。処理液供給ノズルの動きを説明するための図である。半導体ウエハに対する相対的な処理液供給ノズルの動きを説明する図である。処理液供給状態を示す説明図である。他の処理機液供給状態を示す説明図である。この発明の第２実施形態に係る基板処理装置の処理液供給系機構を示す図である。同上の基板処理装置の帯電防止洗浄液供給機構を示す図である。同上の基板処理装置による一連の現像処理動作を示すフローチャートである。処理液供給ノズルの移動態様に係る変形例を示す図である。処理液供給ノズルの移動態様に係る他の変形例を示す図である。

符号の説明

１２スピンチャック
２０現像液供給ノズル
３０現像液供給ノズル走査機構
４０処理液供給ノズル
４２吐出口
５０処理液供給ノズル回動機構
６０制御部
７０最終リンス液供給ノズル
８５処理液タンク
８６第１処理液系配管
８７第２処理液系配管
８８第３処理液系配管
８９ガス溶解部
１８５処理液タンク
１８６第１帯電防止洗浄液系配管
１８７第２帯電防止洗浄液系配管
１８８第３帯電防止洗浄液系配管
１８９ガス溶解部
ＳＷ基板

Claims

現像処理後の基板の主面に処理液を供給する基板処理装置であって、
基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板の幅寸法と実質的に同寸法又はそれ以上の吐出幅で第１の処理液を吐出する吐出部を有する第１の処理液供給ノズルと、
前記第１の処理液供給ノズルに、前記第１の処理液として現像反応を停止させる現像停止液を供給する現像停止液供給手段と、
前記基板の上方を通過するように、前記第１の処理液供給ノズルを前記基板の一端側から他端側に向けて移動させるノズル移動手段と、
前記基板上に第２の処理液を吐出する第２の処理液供給ノズルと、
前記第２の処理液供給ノズルに、前記第２の処理液として帯電防止洗浄液を供給する帯電防止洗浄液供給手段と、
を備え、
前記基板上に、前記第１の処理液供給ノズルから前記現像停止液を供給した後に、前記第２の処理液供給ノズルから前記帯電防止洗浄液を供給する、基板処理装置。
請求項１記載の基板処理装置であって、
前記現像停止液は、純水である、基板処理装置。
請求項１又は請求項２記載の基板処理装置であって、
前記帯電防止洗浄液は、気泡を発生させない程度の濃度で、イオンが溶解した液である、基板処理装置。
現像処理後の基板の主面に処理液を供給する基板処理方法であって、
現像処理後の前記基板に現像停止液を供給した後、前記基板に帯電防止洗浄液を供給する、基板処理方法。
請求項４記載の基板処理方法であって、
前記現像停止液は、純水である、基板処理方法。
請求項４又は請求項５記載の基板処理方法であって、
前記帯電防止洗浄液は、気泡を発生させない程度の濃度で、イオンが溶解した液である、基板処理方法。