JP2011190039A - ガラス基板搬送装置及びガラス基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス基板2の上端部における幅方向の複数箇所をそれぞれ挟持して該ガラス基板2を吊り下げ支持する複数の挟持手段3と、ガラス基板2の上方に配設され且つ複数の挟持手段3により吊り下げ支持されたガラス基板2を該ガラス基板2の面と直交する方向に搬送させる走行ユニット4と、該走行ユニット4を搬送方向に走行駆動させる走行駆動手段5とを備え、複数の挟持手段3が、走行ユニット4に装着され且つガラス基板2と共に該ガラス基板2の面と直交する方向に揺動可能に保持される。
【選択図】図1
Description
2 ガラス基板
3 挟持手段
4 走行ユニット
5 走行駆動手段
6 梱包用パレット
8 基部材
9 揺動手段
11 支軸
13 軸受
14 レール
21 角度検出手段
22 規制手段
27 昇降手段
L1 走行始端位置
L2 一時停止位置(手前位置)
L3 走行終端位置
Claims (13)
- ガラス基板の上端部における幅方向の複数箇所をそれぞれ挟持して該ガラス基板を吊り下げ支持する複数の挟持手段と、ガラス基板の上方に配設され且つ前記複数の挟持手段により吊り下げ支持されたガラス基板を該ガラス基板の面と直交する方向に搬送させる走行ユニットと、該走行ユニットを搬送方向に走行駆動させる走行駆動手段とを備えると共に、
前記複数の挟持手段が、前記走行ユニットに装着され且つガラス基板と共に該ガラス基板の面と直交する方向に揺動可能に保持されていることを特徴とするガラス基板搬送装置。 - 前記走行ユニットが走行を開始して最初に停止するまでの間は、ガラス基板の下部側が搬送方向後方側で浮上して該ガラス基板が傾斜姿勢に維持されるように前記走行ユニットの走行速度を設定したことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板搬送装置。
- 前記走行ユニットが走行始端位置で走行を開始してから走行終端位置の近辺の手前位置までガラス基板を前記傾斜姿勢で搬送し、該手前位置で前記走行ユニットを停止させてガラス基板に前記傾斜姿勢からからの揺れ戻りを生じさせ、その揺れ戻りの途中で走行ユニットを同方向に再走行させることにより前記走行終端位置でガラス基板を実質的に揺れが生じていない垂直姿勢で停止させるように構成したことを特徴とする請求項2に記載のガラス基板搬送装置。
- 前記走行ユニットを停止させる前記手前位置が、前記走行終端位置の100〜300mm手前の位置であることを特徴とする請求項3に記載のガラス基板搬送装置。
- 前記複数の挟持手段の揺動角度を検出する角度検出手段を備え、該角度検出手段は、前記手前位置での走行ユニットの停止時に、ガラス基板が前記走行ユニットを再走行させるために必要な姿勢に揺れ戻ったことを検出するように構成したことを特徴とする請求項4に記載のガラス基板搬送装置。
- 前記複数の挟持手段の揺動を規制する規制手段を備え、該規制手段は、前記走行ユニットの走行開始前におけるガラス基板の受け取り時と、前記走行ユニットの走行終了後におけるガラス基板の受け渡し時に、前記複数の挟持手段の揺動を規制するように構成したことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のガラス基板搬送装置。
- 前記走行ユニットを上下昇降させる昇降手段を備え、該昇降手段は、前記走行ユニットの走行終了後におけるガラス基板の受け渡し時に、該走行ユニットを上下昇降させることを特徴とする請求項1〜6に記載のガラス基板搬送装置。
- 前記走行ユニットが、ガラス基板の面と直交する方向に揺動不能とされた基部材と、該基部材にガラス基板の面と直交する方向に揺動可能に支持された揺動部材とを備え、前記複数の挟持手段の全てが、前記揺動部材に装着され且つ該揺動部材と共に揺動可能に保持されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のガラス基板搬送装置。
- 前記基部材と前記揺動部材との何れか一方に幅方向に沿う支軸が取付けられ、且つ他方に前記支軸を回動自在に保持する軸受が取付けられることにより、前記基部材に前記揺動部材が揺動可能に支持されていることを特徴とする請求項8に記載のガラス基板搬送装置。
- 前記角度検出手段が、前記基部材と前記揺動部材との相互間に配設されていることを特徴とする請求項8または9に記載のガラス基板搬送装置。
- 前記規制手段が、前記基部材と前記揺動部材との相互間に配設されていることを特徴とする請求項8〜10の何れかに記載のガラス基板搬送装置。
- 前記走行ユニットが、基部材を備え、前記複数の挟持手段が該基部材にそれぞれ個別に揺動可能に保持されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のガラス基板搬送装置。
- 複数の挟持手段によりガラス基板の上端部における幅方向の複数箇所を挟持して該ガラス基板を吊り下げ支持した状態で、ガラス基板の上方に配設され且つ走行駆動手段の動作により走行する走行ユニットが、前記ガラス基板を該ガラス基板の面と直交する方向に搬送するに際して、
前記走行ユニットに装着された前記複数の挟持手段が、ガラス基板と共に該ガラス基板の面と直交する方向に揺動することを特徴とするガラス基板搬送方法。
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